JPH0587561A - 表面粗さ測定装置 - Google Patents
表面粗さ測定装置Info
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- JPH0587561A JPH0587561A JP3277340A JP27734091A JPH0587561A JP H0587561 A JPH0587561 A JP H0587561A JP 3277340 A JP3277340 A JP 3277340A JP 27734091 A JP27734091 A JP 27734091A JP H0587561 A JPH0587561 A JP H0587561A
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- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims abstract description 46
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 17
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 3
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- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 被測定物の特定の部位の表面粗さデータをそ
の特定の部位の位置に対応させて記憶する検出信号記憶
手段５０、及び評価領域をＸ方向及びＹ方向に所望長さ
ずつスライドさせながら、前記表面粗さの検出データ及
び必要に応じて該位置の座標値を演算し、評価領域毎の
パラメータ値を算出して表示するパラメータ演算表示手
段５２，５４（，５８）を備えた表面粗さ測定装置。 【効果】 適切な三次元粗さパラメータ分布を得ること
ができる。
の特定の部位の位置に対応させて記憶する検出信号記憶
手段５０、及び評価領域をＸ方向及びＹ方向に所望長さ
ずつスライドさせながら、前記表面粗さの検出データ及
び必要に応じて該位置の座標値を演算し、評価領域毎の
パラメータ値を算出して表示するパラメータ演算表示手
段５２，５４（，５８）を備えた表面粗さ測定装置。 【効果】 適切な三次元粗さパラメータ分布を得ること
ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は表面粗さ測定装置、特に
粗さパラメータの演算機構の改良に関する。
粗さパラメータの演算機構の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】被測定物の表面粗さを評価する装置とし
て表面粗さ測定装置が周知であり、該表面粗さ測定装置
は被測定物表面よりその凹凸を検出する検出手段と、該
検出手段より得られた凹凸情報に基づき表面粗さを適切
に表現するパラメータを出力するパラメータ演算手段と
を備えている。
て表面粗さ測定装置が周知であり、該表面粗さ測定装置
は被測定物表面よりその凹凸を検出する検出手段と、該
検出手段より得られた凹凸情報に基づき表面粗さを適切
に表現するパラメータを出力するパラメータ演算手段と
を備えている。
【０００３】すなわち、検出手段より得られた凹凸情報
をそのまま表示するのみでは、単に表面状態を示す粗さ
曲線が得られるのみであり、その表面粗さを適切に把握
することができない。
をそのまま表示するのみでは、単に表面状態を示す粗さ
曲線が得られるのみであり、その表面粗さを適切に把握
することができない。
【０００４】そこで、従来より粗さパラメータとして、
粗さ曲線とその中心線までの偏差の絶対値の平均である
中心線平均値、最も高い山頂から最も深い谷底までの高
さ方向の距離である最大高さなどを用い、被測定物の表
面粗さを適切に表現することが試みられていた。
粗さ曲線とその中心線までの偏差の絶対値の平均である
中心線平均値、最も高い山頂から最も深い谷底までの高
さ方向の距離である最大高さなどを用い、被測定物の表
面粗さを適切に表現することが試みられていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の表面
粗さ測定装置は、検出した断面曲線もしくは粗さ曲線を
二次元データとして処理することを原則としており、し
かも粗さパラメータの演算に際しては曲線全区間を対象
とした唯一の値を出力するものである。しかし、現実の
測定対象面における粗さパラメータ値の分布は、検出走
査の直線区間内であっても通常かなりのバラツキを示す
ことが知られており、実際的な粗さ測定を行なうために
は、このバラツキを考慮したデータ処理を併用すること
が必要である。
粗さ測定装置は、検出した断面曲線もしくは粗さ曲線を
二次元データとして処理することを原則としており、し
かも粗さパラメータの演算に際しては曲線全区間を対象
とした唯一の値を出力するものである。しかし、現実の
測定対象面における粗さパラメータ値の分布は、検出走
査の直線区間内であっても通常かなりのバラツキを示す
ことが知られており、実際的な粗さ測定を行なうために
は、このバラツキを考慮したデータ処理を併用すること
が必要である。
【０００６】これに対し、近年三次元粗さ測定装置とし
て断面曲線もしくは粗さ曲線をそれらの抽出断面に垂直
な方向の配列として検出し得るものも見受けられ、その
粗さパラメータの演算機能は、配列曲線群を構成する各
々を個別的に扱って前記同様の処理を行なうものと、全
曲線を一群の三次元データとして統計的に処理するもの
がある。
て断面曲線もしくは粗さ曲線をそれらの抽出断面に垂直
な方向の配列として検出し得るものも見受けられ、その
粗さパラメータの演算機能は、配列曲線群を構成する各
々を個別的に扱って前記同様の処理を行なうものと、全
曲線を一群の三次元データとして統計的に処理するもの
がある。
【０００７】しかしながら、後者のパラメ−タ演算機能
について、断面曲線を二次元データとして処理する場合
と同様に、粗さパラメータは面領域内においても大きな
バラツキを示し、このバラツキを考慮したパラメータ演
算は行なわれていなかったので、従来の三次元粗さ測定
装置には多くの課題が残されていた。本発明は前記従来
技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は断面
曲線もしくは粗さ曲線の集合に対し、全体を唯一の値と
して評価するだけであった三次元粗さパラメータの演算
処理機能に加えて、三次元粗さパラメータによる局部的
評価の連続、又は／及び断続的分布を求め得るようにし
た表面粗さ測定装置を提供することにある。
について、断面曲線を二次元データとして処理する場合
と同様に、粗さパラメータは面領域内においても大きな
バラツキを示し、このバラツキを考慮したパラメータ演
算は行なわれていなかったので、従来の三次元粗さ測定
装置には多くの課題が残されていた。本発明は前記従来
技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は断面
曲線もしくは粗さ曲線の集合に対し、全体を唯一の値と
して評価するだけであった三次元粗さパラメータの演算
処理機能に加えて、三次元粗さパラメータによる局部的
評価の連続、又は／及び断続的分布を求め得るようにし
た表面粗さ測定装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明にかかる表面粗さ測定装置は、表面粗さ検出手
段と、検出位置制御手段と、検出信号記憶手段と、パラ
メータ演算表示手段とを備える。そして、表面粗さ検出
手段は、被測定物の表面粗さを検出する。また、検出位
置制御手段は、該表面粗さ検出手段の検出走査開始点と
なる複数個の基準点を被測定面のＹ方向に順次決定し、
各基準点より表面粗さ検出手段を所定範囲でＸ方向に走
査するように制御する。
に本発明にかかる表面粗さ測定装置は、表面粗さ検出手
段と、検出位置制御手段と、検出信号記憶手段と、パラ
メータ演算表示手段とを備える。そして、表面粗さ検出
手段は、被測定物の表面粗さを検出する。また、検出位
置制御手段は、該表面粗さ検出手段の検出走査開始点と
なる複数個の基準点を被測定面のＹ方向に順次決定し、
各基準点より表面粗さ検出手段を所定範囲でＸ方向に走
査するように制御する。
【０００９】検出信号記憶手段は、被測定面の特定の部
位のＸ方向及びＹ方向に関する位置とその特定の部位に
対応する表面粗さの検出データを対応付けて記憶する。
パラメータ演算表示手段は、前記記憶手段に記憶された
表面粗さデータの検出及びその位置に基づき、前記表面
粗さ検出手段が走査するＸ方向走査区間及びＹ方向走査
区間よりも短く設定されたＸ方向評価区間及びＹ方向評
価区間で囲まれて形成される複数の評価領域を、Ｘ方向
及びＹ方向に所望の距離ずつスライドさせながら、該評
価領域の表面粗さ検出データ及び必要に応じて該位置の
座標値を演算し、評価領域毎のパラメータ値を算出して
表示する。
位のＸ方向及びＹ方向に関する位置とその特定の部位に
対応する表面粗さの検出データを対応付けて記憶する。
パラメータ演算表示手段は、前記記憶手段に記憶された
表面粗さデータの検出及びその位置に基づき、前記表面
粗さ検出手段が走査するＸ方向走査区間及びＹ方向走査
区間よりも短く設定されたＸ方向評価区間及びＹ方向評
価区間で囲まれて形成される複数の評価領域を、Ｘ方向
及びＹ方向に所望の距離ずつスライドさせながら、該評
価領域の表面粗さ検出データ及び必要に応じて該位置の
座標値を演算し、評価領域毎のパラメータ値を算出して
表示する。
【００１０】
【作用】本発明にかかる表面粗さ測定装置は、走査検出
によって得られた表面粗さデータを一時的にその検出位
置と対応付けて、検出信号記憶手段が記憶する。そし
て、パラメータ演算表示手段は、評価対象となるＸ−Ｙ
走査領域内で設定された複数の評価領域毎にパラメータ
値を求めるので、被測定物の局部的な粗さパラメータの
連続・断続分布を求めることが可能となる。
によって得られた表面粗さデータを一時的にその検出位
置と対応付けて、検出信号記憶手段が記憶する。そし
て、パラメータ演算表示手段は、評価対象となるＸ−Ｙ
走査領域内で設定された複数の評価領域毎にパラメータ
値を求めるので、被測定物の局部的な粗さパラメータの
連続・断続分布を求めることが可能となる。
【００１１】
【実施例】以下、図面に基づき本発明の好適な実施例を
説明する。なお、本発明は実施例に限定されるものでは
ない。図１には本発明の一実施例にかかる表面粗さ測定
装置の概略構成が示されている。
説明する。なお、本発明は実施例に限定されるものでは
ない。図１には本発明の一実施例にかかる表面粗さ測定
装置の概略構成が示されている。
【００１２】同図に示す表面粗さ測定装置１０は、プロ
ーブを被測定物表面に接触・移動させ、その表面粗さを
検出する接触式表面粗さ測定装置であり、ベース１２上
に立設された支柱１４と、該支柱１４に支持された表面
粗さ検出手段１６とを備える。そして、前記支柱１４に
はアーム１８が上下動可能に支持され、更にアーム１８
には移動部材２０がＸ軸方向に移動可能に支持されてい
る。前記表面粗さ検出手段１６は移動部材２０に固定さ
れ、モータ２２を駆動させて移動部材２０をＸ方向に移
動させることにより、該表面粗さ検出手段１６のＸ方向
への移動を可能としている。
ーブを被測定物表面に接触・移動させ、その表面粗さを
検出する接触式表面粗さ測定装置であり、ベース１２上
に立設された支柱１４と、該支柱１４に支持された表面
粗さ検出手段１６とを備える。そして、前記支柱１４に
はアーム１８が上下動可能に支持され、更にアーム１８
には移動部材２０がＸ軸方向に移動可能に支持されてい
る。前記表面粗さ検出手段１６は移動部材２０に固定さ
れ、モータ２２を駆動させて移動部材２０をＸ方向に移
動させることにより、該表面粗さ検出手段１６のＸ方向
への移動を可能としている。
【００１３】また、アーム１８は支柱に平行に設置され
たボールネジ２４に螺合されており、モータ２６でボー
ルネジ２４を回転駆動することにより、該アーム１８
（すなわち表面粗さ検出手段１６）をＺ方向に移動させ
ることができる。一方、ベース１２上にはＹ方向に移動
可能なテーブル２８が載置されており、該テーブル２８
はモータ３０の回転駆動によりＹ方向に移動する。この
結果、表面粗さ検出手段１６をＸないしＺ方向に移動
し、テーブル２８をＹ方向に移動させることで、テーブ
ル２８上に載置された被測定物３２と表面粗さ検出手段
１６との相対位置を三方向で設定することができる。
たボールネジ２４に螺合されており、モータ２６でボー
ルネジ２４を回転駆動することにより、該アーム１８
（すなわち表面粗さ検出手段１６）をＺ方向に移動させ
ることができる。一方、ベース１２上にはＹ方向に移動
可能なテーブル２８が載置されており、該テーブル２８
はモータ３０の回転駆動によりＹ方向に移動する。この
結果、表面粗さ検出手段１６をＸないしＺ方向に移動
し、テーブル２８をＹ方向に移動させることで、テーブ
ル２８上に載置された被測定物３２と表面粗さ検出手段
１６との相対位置を三方向で設定することができる。
【００１４】前記各モータ２２，２６，３０は、それぞ
れドライバー４０，４２，４４を介して各軸方向駆動制
御部３４，３６，３８により駆動制御されている。ま
た、各モータ２２，２６，３０は、その駆動量を検出す
るロータリーエンコーダ２３，２７，３１を備えてお
り、各エンコーダ２３，２７，３１の出力は各軸方向駆
動制御部３４，３６，３８にフィードバックされる。従
って、検出位置制御手段４６が各駆動制御部３４，３
６，３８に指示することで、表面粗さ検出手段１６を所
望の位置に位置決めする。そして、例えばＹ方向の位置
及びＺ方向の位置を基準の位置に設定し、Ｘ方向に表面
粗さ検出手段１６をスライド移動することで、Ｙ方向に
おける基準点の位置における表面粗さを測定し、更にＹ
方向に基準点の位置をずらして同様の操作を繰返すこと
で、被測定物３２の測定面の表面粗さ信号を得ることが
できる。
れドライバー４０，４２，４４を介して各軸方向駆動制
御部３４，３６，３８により駆動制御されている。ま
た、各モータ２２，２６，３０は、その駆動量を検出す
るロータリーエンコーダ２３，２７，３１を備えてお
り、各エンコーダ２３，２７，３１の出力は各軸方向駆
動制御部３４，３６，３８にフィードバックされる。従
って、検出位置制御手段４６が各駆動制御部３４，３
６，３８に指示することで、表面粗さ検出手段１６を所
望の位置に位置決めする。そして、例えばＹ方向の位置
及びＺ方向の位置を基準の位置に設定し、Ｘ方向に表面
粗さ検出手段１６をスライド移動することで、Ｙ方向に
おける基準点の位置における表面粗さを測定し、更にＹ
方向に基準点の位置をずらして同様の操作を繰返すこと
で、被測定物３２の測定面の表面粗さ信号を得ることが
できる。
【００１５】この表面粗さ検出結果はＡ／Ｄ変換器４８
によりデジタル信号に変換され、その検出座標に対応し
て検出信号記憶手段５０に記憶される。ここで、記憶手
段５０はＲＡＭからなり、図２に模式的に示されるよう
に各デジタル信号はその信号の得られた座標（ｘ，ｙ）
に対応してＺxyの形態でマトリックス状に記憶される。
なお、測定範囲が広い場合等データ量が著しく多い場合
には、記憶手段５０としてフロッピーディスク或いはハ
ードディスク等の外部記憶装置を用いることも可能であ
る。そして、検出信号記憶手段５０からの表面粗さ情報
に基づき、パラメータ演算手段５２がパラメータ演算を
行ない、表示手段５４へ所望の表示形式で表面粗さパラ
メータの表示を行なう。
によりデジタル信号に変換され、その検出座標に対応し
て検出信号記憶手段５０に記憶される。ここで、記憶手
段５０はＲＡＭからなり、図２に模式的に示されるよう
に各デジタル信号はその信号の得られた座標（ｘ，ｙ）
に対応してＺxyの形態でマトリックス状に記憶される。
なお、測定範囲が広い場合等データ量が著しく多い場合
には、記憶手段５０としてフロッピーディスク或いはハ
ードディスク等の外部記憶装置を用いることも可能であ
る。そして、検出信号記憶手段５０からの表面粗さ情報
に基づき、パラメータ演算手段５２がパラメータ演算を
行ない、表示手段５４へ所望の表示形式で表面粗さパラ
メータの表示を行なう。
【００１６】次に本発明において特徴的なパラメータ演
算方式について説明する。図３に示すように、表面粗さ
検出手段１６の触針５６は、所定Ｙ方向の基準の位置か
ら座標Ｘ方向に一単位測定当たり被測定物３２の表面を
距離Ｌだけ走査する。従って、表面粗さデータとしては
図４に示すような断面曲線が得られる。次にＹ方向の基
準の位置を一単位長さＰだけ移動し、更に同様に被測定
物３２の表面をＸ軸方向に距離Ｌだけ走査する操作を繰
返す。この結果、表面粗さデータとしては図５に示すよ
うに、対応した被測定面について、複数の断面曲線を得
ることができる。
算方式について説明する。図３に示すように、表面粗さ
検出手段１６の触針５６は、所定Ｙ方向の基準の位置か
ら座標Ｘ方向に一単位測定当たり被測定物３２の表面を
距離Ｌだけ走査する。従って、表面粗さデータとしては
図４に示すような断面曲線が得られる。次にＹ方向の基
準の位置を一単位長さＰだけ移動し、更に同様に被測定
物３２の表面をＸ軸方向に距離Ｌだけ走査する操作を繰
返す。この結果、表面粗さデータとしては図５に示すよ
うに、対応した被測定面について、複数の断面曲線を得
ることができる。
【００１７】次に、測定者が任意に設定した評価領域Ａ
毎に表面粗さパラメータを算出する。すなわち、図５に
おいて、単位評価領域ＡはＸ方向評価区間ＬVX及びＹ方
向評価区間ＬVYにより囲まれて形成される正方形状ない
し長方形状よりなる。そして、Ｘ方向、及びＹ方向のそ
れぞれの評価範囲ＬX，及びＬY内で複数個の評価領域Ａ
11，Ａ12，…Ａ1n，Ａ21…Ａij，Ａmnが設定され、この
各評価領域毎に所望の表面粗さパラメータＲijを算出し
ている。このようにして、パラメータ演算手段５２で算
出されたパラメータＲijも、それぞれ対応する被測定物
３２の座標領域毎に得られることとなり、これらのパラ
メータＲは図６に示すようにその得られた座標に応じて
Ｒx,yの形態でパラメータ記憶手段５８に記憶される。
毎に表面粗さパラメータを算出する。すなわち、図５に
おいて、単位評価領域ＡはＸ方向評価区間ＬVX及びＹ方
向評価区間ＬVYにより囲まれて形成される正方形状ない
し長方形状よりなる。そして、Ｘ方向、及びＹ方向のそ
れぞれの評価範囲ＬX，及びＬY内で複数個の評価領域Ａ
11，Ａ12，…Ａ1n，Ａ21…Ａij，Ａmnが設定され、この
各評価領域毎に所望の表面粗さパラメータＲijを算出し
ている。このようにして、パラメータ演算手段５２で算
出されたパラメータＲijも、それぞれ対応する被測定物
３２の座標領域毎に得られることとなり、これらのパラ
メータＲは図６に示すようにその得られた座標に応じて
Ｒx,yの形態でパラメータ記憶手段５８に記憶される。
【００１８】そして、被測定物の座標に応じて表示手段
５４上に例えば図７に示すように、それぞれの評価領域
ＡijのパラメータＲijの連続的ないし断続的な表示が可
能となる。図８には、本実施例にかかる表面粗さ測定装
置１０の作動状態を示すフローチャート図が示されてい
る。同図に示すように、まず触針５６のＸ方向測定距離
Ｌを設定し、更に所定Ｙ座標値でのＸ方向への走査が終
了した後にＹ軸方向へ移動させる駆動ピッチＰ及びＹ方
向への駆動回数Ｎ（被測定面上で何本の断面曲線を得る
か）を設定する。
５４上に例えば図７に示すように、それぞれの評価領域
ＡijのパラメータＲijの連続的ないし断続的な表示が可
能となる。図８には、本実施例にかかる表面粗さ測定装
置１０の作動状態を示すフローチャート図が示されてい
る。同図に示すように、まず触針５６のＸ方向測定距離
Ｌを設定し、更に所定Ｙ座標値でのＸ方向への走査が終
了した後にＹ軸方向へ移動させる駆動ピッチＰ及びＹ方
向への駆動回数Ｎ（被測定面上で何本の断面曲線を得る
か）を設定する。
【００１９】そして測定開始スイッチをＯＮすると、検
出手段１６の触針５６がＺ軸方向に降下し、原点位置合
せを行なった後、第一回目のＸ軸方向走査が行なわれ
る。そして、検出手段１６からの信号Ｚijをピッチｐ毎
に採取して検出信号記憶手段５０に記憶し、距離Ｌの走
査が終了すると、検出手段１６をＸ方向原点位置に復帰
させる。
出手段１６の触針５６がＺ軸方向に降下し、原点位置合
せを行なった後、第一回目のＸ軸方向走査が行なわれ
る。そして、検出手段１６からの信号Ｚijをピッチｐ毎
に採取して検出信号記憶手段５０に記憶し、距離Ｌの走
査が終了すると、検出手段１６をＸ方向原点位置に復帰
させる。
【００２０】次に検出手段１６をＹ軸方向にピッチＰだ
け移動させ、同様の走査を繰返し、走査回数がＮとなっ
たらば測定走査を終了する。ここで必要により測定手段
１６の上昇、検出信号の表示を行なう。
け移動させ、同様の走査を繰返し、走査回数がＮとなっ
たらば測定走査を終了する。ここで必要により測定手段
１６の上昇、検出信号の表示を行なう。
【００２１】次に所望パラメータの演算を行なうため、
Ｘ方向評価範囲ｘ、Ｙ方向評価範囲ｊ、Ｘ方向評価区間
ＬvX、Ｙ方向評価区間ＬVY、Ｘ方向評価区間の移動長さ
ＬSx、Ｙ方向評価区間の移動長さＬSyの設定をおこな
う。そして、Ｘ方向評価範囲の評価区間数Ｓx及びＹ方
向評価範囲の評価区間数Ｓyを演算し、更に求めるべき
パラメータＲの選択を行なった後、パラメータ演算を開
始する。そして、一単位評価領域Ａ内に存在する検出デ
ータＺ、すなわちＹ方向の評価範囲ｎ〜Ｎ、Ｘ方向の評
価範囲ｍ〜Ｍに於ける、検出データＺmn…ＺMNを検出信
号記憶手段５０より読み込んでＲabを演算し、パラメー
タ記憶手段５８に記憶する。
Ｘ方向評価範囲ｘ、Ｙ方向評価範囲ｊ、Ｘ方向評価区間
ＬvX、Ｙ方向評価区間ＬVY、Ｘ方向評価区間の移動長さ
ＬSx、Ｙ方向評価区間の移動長さＬSyの設定をおこな
う。そして、Ｘ方向評価範囲の評価区間数Ｓx及びＹ方
向評価範囲の評価区間数Ｓyを演算し、更に求めるべき
パラメータＲの選択を行なった後、パラメータ演算を開
始する。そして、一単位評価領域Ａ内に存在する検出デ
ータＺ、すなわちＹ方向の評価範囲ｎ〜Ｎ、Ｘ方向の評
価範囲ｍ〜Ｍに於ける、検出データＺmn…ＺMNを検出信
号記憶手段５０より読み込んでＲabを演算し、パラメー
タ記憶手段５８に記憶する。
【００２２】この操作を各評価領域Ａ毎に繰返し、Ｘ方
向評価範囲についてＳx個、Ｙ軸方向評価範囲について
Ｓy個、計Ｓx×Ｓy個の表面粗さパラメータＲabを得
る。全てのパラメータの演算が終了したらば、各パラメ
ータが得られた被測定物表面上の座標と対応させて表示
手段上にパラメータを三次元的に出力する。以上説明し
たように本実施例の表面粗さ測定装置によれば、被測定
物のＸ−Ｙ面に対応した被測定面表面粗さを、各評価領
域毎に演算・表示することが可能となる。
向評価範囲についてＳx個、Ｙ軸方向評価範囲について
Ｓy個、計Ｓx×Ｓy個の表面粗さパラメータＲabを得
る。全てのパラメータの演算が終了したらば、各パラメ
ータが得られた被測定物表面上の座標と対応させて表示
手段上にパラメータを三次元的に出力する。以上説明し
たように本実施例の表面粗さ測定装置によれば、被測定
物のＸ−Ｙ面に対応した被測定面表面粗さを、各評価領
域毎に演算・表示することが可能となる。
【００２３】なお、本発明においてパラメ−タの分布を
より連続的かつ緻密に評価する際には、例えば図９ない
し図１０に示すように移動長さを評価区間より短くし、
評価領域が重なるようにして扱う。
より連続的かつ緻密に評価する際には、例えば図９ない
し図１０に示すように移動長さを評価区間より短くし、
評価領域が重なるようにして扱う。
【００２４】以上説明したように本発明によれば、被測
定面における三次元微小形状を、被測定面とほぼ平行に
設定されたＸ，Ｙ座標と、それに対応する高さ（深さ）
方向のＺ座標から構成されるＸ，Ｙ，Ｚ座標系内の離散
的座標データとして測定し、Ｚ座標データとこのデ−タ
に対応するＸ，Ｙ座標との相関の下に演算処理して求め
られる三次元粗さパラメータ値Ｒを、Ｘ，Ｙ座標上で規
則的に配設された局所的な面領域Ａ毎に求め、結果をそ
の面領域の位置座標（Ｘ，Ｙ座標）との相関の下にグラ
フ化して出力表示することで、被測定面に於ける三次元
粗さパラメータ値の分布情報を提供する。なお、必要に
応じて得られたパラメータ値の分布データに統計演算処
理等を施し、平均値、標準偏差等を求めて表示すること
も好適である。また、上述実施例では評価領域は正方形
状または長方形状であるが、平行四辺形の形状にするこ
とが可能である。
定面における三次元微小形状を、被測定面とほぼ平行に
設定されたＸ，Ｙ座標と、それに対応する高さ（深さ）
方向のＺ座標から構成されるＸ，Ｙ，Ｚ座標系内の離散
的座標データとして測定し、Ｚ座標データとこのデ−タ
に対応するＸ，Ｙ座標との相関の下に演算処理して求め
られる三次元粗さパラメータ値Ｒを、Ｘ，Ｙ座標上で規
則的に配設された局所的な面領域Ａ毎に求め、結果をそ
の面領域の位置座標（Ｘ，Ｙ座標）との相関の下にグラ
フ化して出力表示することで、被測定面に於ける三次元
粗さパラメータ値の分布情報を提供する。なお、必要に
応じて得られたパラメータ値の分布データに統計演算処
理等を施し、平均値、標準偏差等を求めて表示すること
も好適である。また、上述実施例では評価領域は正方形
状または長方形状であるが、平行四辺形の形状にするこ
とが可能である。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明にかかる表面
粗さ測定装置によれば、被測定物の表面粗さデータをそ
の座標値と対応させて記憶する検出信号記憶手段、及び
評価領域をＸ方向及びＹ方向に所望長さずつスライドさ
せながら、前記表面粗さの検出データ及び必要に応じて
該位置の座標値を演算し、評価領域毎のパラメータ値を
算出して表示するパラメータ演算表示手段とを備えたの
で、三次元粗さパラメ−タによる局部的評価の連続、又
は断続的分布をも求めることができ、従って表面粗さの
評価をより厳密なものとすることができるという効果が
得られている。
粗さ測定装置によれば、被測定物の表面粗さデータをそ
の座標値と対応させて記憶する検出信号記憶手段、及び
評価領域をＸ方向及びＹ方向に所望長さずつスライドさ
せながら、前記表面粗さの検出データ及び必要に応じて
該位置の座標値を演算し、評価領域毎のパラメータ値を
算出して表示するパラメータ演算表示手段とを備えたの
で、三次元粗さパラメ−タによる局部的評価の連続、又
は断続的分布をも求めることができ、従って表面粗さの
評価をより厳密なものとすることができるという効果が
得られている。
【図１】本発明の一実施例にかかる表面粗さ測定装置の
概略構成の説明図である。
概略構成の説明図である。
【図２】図１に示した装置において、検出信号記憶手段
における信号記憶形態の説明図である。
における信号記憶形態の説明図である。
【図３】図１に示した装置において、表面粗さ検出手段
の作動状態の説明図である。
の作動状態の説明図である。
【図４】，
【図５】図１に示した装置において、移動長さと評価区
間の関係の一例の説明図である。
間の関係の一例の説明図である。
【図６】図１に示した装置において、処理データの記憶
形態の説明図である。
形態の説明図である。
【図７】図４に示したデータに基づく粗さパラメータ分
布を示す説明図である。
布を示す説明図である。
【図８】図１に示した装置の作動状態を示すフローチャ
ート図である。
ート図である。
【図９】，
【図１０】図１に示した装置において、移動長さと評価
区間の他の関係の説明図である。
区間の他の関係の説明図である。
１０ 表面粗さ測定装置 １６ 表面粗さ検出手段 ４６ 検出位置制御手段 ５０ 検出信号記憶手段 ５２ パラメータ演算手段 ５４ 表示手段 ５８ パラメータ記憶手段
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定物と相対移動してその被測定面の
表面粗さを走査検出する表面粗さ検出手段と、 被測定物が与えられた際に、その被測定面の一方向であ
るＹ方向に複数個の基準の点を設定し、それら複数個の
基準の点から前期Ｙ方向と異なる方向であるＸ方向に所
望一定の距離だけ前期表面粗さ検出手段を検出走査させ
るように、被測定物と表面粗さ測定手段の相対移動を制
御する検出位置制御手段と、 被測定物の表面粗さが得られる際に、被測定面の特定部
位のＸ方向及びＹ方向に関する位置とその特定部位に対
応する検出デ−タを対応付けて記憶する検出信号記憶手
段と、 対応付けられて該記憶手段に記憶された表面粗さデ−タ
及び部位の位置に基づき、前期表面粗さ検出手段が検出
走査するＸ方向の検出走査区間及びＹ方向の走査区間よ
りも短く設定されたＸ方向評価区間及びＹ方向評価区間
で囲まれて形成される複数個の評価領域を、Ｘ方向及び
Ｙ方向に所望の距離ずつスライドさせながら、それらの
評価領域の表面粗さ検出デ−タ及び必要に応じて検出デ
−タに対応する部位の位置の値を演算し、評価領域毎の
パラメ−タ値を算出して表示するパラメ−タ演算表示手
段と、 を備えたことを特徴とする表面粗さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27734091A JP2950660B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 表面粗さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27734091A JP2950660B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 表面粗さ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0587561A true JPH0587561A (ja) | 1993-04-06 |
| JP2950660B2 JP2950660B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=17582164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27734091A Expired - Fee Related JP2950660B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 表面粗さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2950660B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001081861A1 (fr) * | 1998-10-23 | 2001-11-01 | Nippo Sangyo Co., Ltd. | Dispositif de mesure de la rugosite de la surface d'une route |
| JP2016003871A (ja) * | 2014-06-13 | 2016-01-12 | 株式会社キーエンス | 三次元形状測定装置、測定データ処理ユニット、測定データ処理方法、及びコンピュータプログラム |
| JP2018163167A (ja) * | 2018-06-20 | 2018-10-18 | 株式会社キーエンス | 三次元形状測定装置、測定データ処理ユニット、測定データ処理方法、及びコンピュータプログラム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6371614A (ja) * | 1986-09-16 | 1988-04-01 | Komatsu Ltd | 物体形状の測定方法 |
| JPH0328708A (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-06 | Fanuc Ltd | レーザ加工物の表面粗さ計測方法及び表示方法 |
| JPH0367126A (ja) * | 1989-08-05 | 1991-03-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 測定位置決定方法 |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP27734091A patent/JP2950660B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6679106B1 (en) * | 1998-10-23 | 2004-01-20 | Nippo Sangyo Co., Ltd. | Road surface roughness measuring device |
| JP2016003871A (ja) * | 2014-06-13 | 2016-01-12 | 株式会社キーエンス | 三次元形状測定装置、測定データ処理ユニット、測定データ処理方法、及びコンピュータプログラム |
| JP2018163167A (ja) * | 2018-06-20 | 2018-10-18 | 株式会社キーエンス | 三次元形状測定装置、測定データ処理ユニット、測定データ処理方法、及びコンピュータプログラム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2950660B2 (ja) | 1999-09-20 |
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