JPH03289157A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH03289157A JPH03289157A JP9062190A JP9062190A JPH03289157A JP H03289157 A JPH03289157 A JP H03289157A JP 9062190 A JP9062190 A JP 9062190A JP 9062190 A JP9062190 A JP 9062190A JP H03289157 A JPH03289157 A JP H03289157A
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- JP
- Japan
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- fin
- resin
- chip bonding
- slit
- stress
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 23
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 abstract 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
の
本発明は、半導体装置に関するものであり、より特定的
には取り付け手段を持ったモールド構造の半導体装置に
関する。
には取り付け手段を持ったモールド構造の半導体装置に
関する。
一般に、IC(集積回路)チップは第7図に示すように
金属板よりなるフィン1に取り付けられ、複数の接続ビ
ン2と共に樹脂3によりモールドされる。フィン1はチ
ップボンディング領域4と、フィン1を取り付けるため
の取り付け部5とからなっている。フィン取り付け部5
はヒートシンクのために銅板やアルミニュウム板等の放
熱板に面接触した形で取り付けられるように比較的大き
く形成されている。6は取り付け部5に設けられた取り
付け用の穴で、通常ビスが施される。
金属板よりなるフィン1に取り付けられ、複数の接続ビ
ン2と共に樹脂3によりモールドされる。フィン1はチ
ップボンディング領域4と、フィン1を取り付けるため
の取り付け部5とからなっている。フィン取り付け部5
はヒートシンクのために銅板やアルミニュウム板等の放
熱板に面接触した形で取り付けられるように比較的大き
く形成されている。6は取り付け部5に設けられた取り
付け用の穴で、通常ビスが施される。
が しよ゛と る
ところで、前記の半導体装置を放熱板に取り付け六6に
ビス等を施して取り付ける際に、無理な力がフィン1に
かかると、フィン1に応力が生じ、樹脂3が剥がれ易く
なる。
ビス等を施して取り付ける際に、無理な力がフィン1に
かかると、フィン1に応力が生じ、樹脂3が剥がれ易く
なる。
本発明はこのような問題を簡単な構成で解決した新規な
半導体装置を提供することを目的とする。
半導体装置を提供することを目的とする。
るための
上記の目的を達成するため本発明では、金属板よりなる
フィンと、前記フィンのチップボンディング領域に取り
付けられたチップと、前記フィン上のチップボンディン
グ領域とは離れた位置に設けられたフィン取り付け穴と
、前記チップボンディング領域をチップと共にモールド
する樹脂と、を有する半導体装置において、前記フィン
取り付け穴と前記チップボンディング領域との間に応力
緩和用のスリットを設けた構成としている。
フィンと、前記フィンのチップボンディング領域に取り
付けられたチップと、前記フィン上のチップボンディン
グ領域とは離れた位置に設けられたフィン取り付け穴と
、前記チップボンディング領域をチップと共にモールド
する樹脂と、を有する半導体装置において、前記フィン
取り付け穴と前記チップボンディング領域との間に応力
緩和用のスリットを設けた構成としている。
住ニー囲−
このような構成によると、フィンにビス止め等の外力が
無理にかかつても、それに伴うフィンの応力はスリット
によって吸収緩和されるので、前記応力がモールド樹脂
部分まで影響を与えることはなくなる。
無理にかかつても、それに伴うフィンの応力はスリット
によって吸収緩和されるので、前記応力がモールド樹脂
部分まで影響を与えることはなくなる。
笑」4例−
以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説明する。本
発明を実施した第1図において、第7図と同一部分につ
いては同一の符号を付して重複説明を省略する。本実施
例では、フィン1のチップボンディング領域4と取り付
け六6との間にスリット7を設けた構成としている。こ
のスリット7はフィン1の取り付け六〇側で生じたフィ
ン1の応力をチップボンディング領域4側に対し遮断す
る役目を果たす。ICチップ(図示せず)は第1図に示
すチップボンディング領域4の反対側の面に搭載され、
樹脂3によりモールドされている。
発明を実施した第1図において、第7図と同一部分につ
いては同一の符号を付して重複説明を省略する。本実施
例では、フィン1のチップボンディング領域4と取り付
け六6との間にスリット7を設けた構成としている。こ
のスリット7はフィン1の取り付け六〇側で生じたフィ
ン1の応力をチップボンディング領域4側に対し遮断す
る役目を果たす。ICチップ(図示せず)は第1図に示
すチップボンディング領域4の反対側の面に搭載され、
樹脂3によりモールドされている。
第1図の実施例ではスリット7がモールド樹脂3の外に
設けられているが、第2図の実施例ではスリット7は樹
脂3によってモールドされる部分に形成されている。
設けられているが、第2図の実施例ではスリット7は樹
脂3によってモールドされる部分に形成されている。
第3図はフィンlの取り付け穴6a、 6bがフィン
1の2つの隅部に設けられており、これに対応してスリ
ット7a、 7bも2つ設けられている。ただし、こ
れらのスリット7a、 7bはモールド樹脂3の外に
設けられている。
1の2つの隅部に設けられており、これに対応してスリ
ット7a、 7bも2つ設けられている。ただし、こ
れらのスリット7a、 7bはモールド樹脂3の外に
設けられている。
第4図も第3図と同様に2つの取り付け穴6a。
6bとチップボンディング領域4との間に、それぞれス
リット7a、 7bが設けられているが、第4図のス
リット7a、 7bは樹脂3によってモールドされる
位置に設けられている。
リット7a、 7bが設けられているが、第4図のス
リット7a、 7bは樹脂3によってモールドされる
位置に設けられている。
上記第2図、第4図のようにスリット7、7a、 7
bが樹脂3に埋設される形態であっても、スリットによ
るフィンの応力緩和作用は発揮される。
bが樹脂3に埋設される形態であっても、スリットによ
るフィンの応力緩和作用は発揮される。
上記第1図〜第4図の各実施例において、フィン1と樹
脂3との配置関係について2つのバリエションが考えら
れる。即ち、1つは第5図に示すようにフィン1の一方
の面1aにモールド樹脂3が高く存し、他方の面1bは
フィン1と樹脂3とが同一平面をなすタイプである。こ
のタイプでは他方の面1b全体が放熱板(図示せず)と
面接触するように取り付けられるので、高い放熱効果を
得る場合に用いられる。他の1つは第6図に示すように
フィン上の両面に樹脂3が施され、チップボンディング
領域だけが折曲して、その領域の一面が外部に露出する
タイプである。第5図、第6図はフィン1と樹脂3のみ
を示し、他の要素は省略している。
脂3との配置関係について2つのバリエションが考えら
れる。即ち、1つは第5図に示すようにフィン1の一方
の面1aにモールド樹脂3が高く存し、他方の面1bは
フィン1と樹脂3とが同一平面をなすタイプである。こ
のタイプでは他方の面1b全体が放熱板(図示せず)と
面接触するように取り付けられるので、高い放熱効果を
得る場合に用いられる。他の1つは第6図に示すように
フィン上の両面に樹脂3が施され、チップボンディング
領域だけが折曲して、その領域の一面が外部に露出する
タイプである。第5図、第6図はフィン1と樹脂3のみ
を示し、他の要素は省略している。
児」【□載n(
以上説明した通り、本発明によれば、フィンにビス止め
等の外力が無理にかかつても、それに伴うフィンの応力
はスリットによって吸収緩和されるので、前記応力がモ
ールド樹脂部分まで及ぶことはなく、従って、フィンか
ら樹脂が剥がれるような不具合を防止することができる
。しかも、単に取り付け穴とチップボンディング領域と
の間にスリットを設けるだけの簡単な構成によって実現
できるので、本発明は極めて有用である。
等の外力が無理にかかつても、それに伴うフィンの応力
はスリットによって吸収緩和されるので、前記応力がモ
ールド樹脂部分まで及ぶことはなく、従って、フィンか
ら樹脂が剥がれるような不具合を防止することができる
。しかも、単に取り付け穴とチップボンディング領域と
の間にスリットを設けるだけの簡単な構成によって実現
できるので、本発明は極めて有用である。
第工図は本発明を実施した半導体装置の裏面図であり、
第2図、第3図および第4図は同じく他の実施例の裏面
図である。第5図および第6図はフィンとモールド樹脂
との関係構造についてバリエーションを示す断面図であ
る。第7図は従来例の裏面図である。 1・・・フィン、 3・・・樹脂、 5・・・取付部。 7・・・スリット。 2・・・接続ビン、 4・・・チップボンディング領域、 6・・・取り付け穴、
第2図、第3図および第4図は同じく他の実施例の裏面
図である。第5図および第6図はフィンとモールド樹脂
との関係構造についてバリエーションを示す断面図であ
る。第7図は従来例の裏面図である。 1・・・フィン、 3・・・樹脂、 5・・・取付部。 7・・・スリット。 2・・・接続ビン、 4・・・チップボンディング領域、 6・・・取り付け穴、
Claims (1)
- (1)金属板よりなるフィンと、前記フィンのチップボ
ンディング領域に取り付けられたチップと、前記フィン
上のチップボンディング領域とは離れた位置に設けられ
たフィン取り付け穴と、前記チップボンディング領域を
チップと共にモールドする樹脂と、を有する半導体装置
において、前記フィンは前記フィン取り付け穴と前記チ
ップボンディング領域との間に応力緩和用のスリットを
有していることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2090621A JP2838880B2 (ja) | 1990-04-05 | 1990-04-05 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2090621A JP2838880B2 (ja) | 1990-04-05 | 1990-04-05 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03289157A true JPH03289157A (ja) | 1991-12-19 |
| JP2838880B2 JP2838880B2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=14003562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2090621A Expired - Fee Related JP2838880B2 (ja) | 1990-04-05 | 1990-04-05 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2838880B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08186213A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Rohm Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
| JP2013110234A (ja) * | 2011-11-21 | 2013-06-06 | Toyota Industries Corp | 樹脂封止型パワー半導体モジュール |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52124163U (ja) * | 1976-03-17 | 1977-09-21 |
-
1990
- 1990-04-05 JP JP2090621A patent/JP2838880B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52124163U (ja) * | 1976-03-17 | 1977-09-21 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08186213A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Rohm Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
| JP2013110234A (ja) * | 2011-11-21 | 2013-06-06 | Toyota Industries Corp | 樹脂封止型パワー半導体モジュール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2838880B2 (ja) | 1998-12-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |