JPH03291375A - イオン源装置、および連続蒸着媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、イオンを発生するイオン源装置及び連続蒸着
媒体の製造方法に間するものである。

従来の技術 従来、例えば、テープ基板の連続蒸着装置においては、
所定物質をテープ基板に蒸着する前に、イオンをテープ
基板に照射しているが、そのイオン照射するイオン源装
置の前に、二：１−）ラライザーフィラメントが設けら
れている。このニュートラライザ−フィラメントはイオ
ンの電荷を中和するためのものであるが、基板ホルダー
電流かエミッション電流でフィードバックをかけるため
に、アースより浮かしであるかもしくは正電圧を印加し
ていた。

発明が解決しようとする課題 しかし、正電荷を中和するニュートラライザ−の電位は
アースから浮いている時も正に偏るため、真空チエイン
バー内の浮遊電位も正に偏フていた。

特にターゲットが絶縁物の時はその表面が不安定かつ正
に帯電してしまい、エツチングレートに変動を生じる、
または基板が絶縁物かつ長尺で真空中を走行している時
は走行中に帯電してしまうため走行不安定性と同時にし
わが発生するという課題があった。

本発明は、従来のこの様な課題を解消したイオン源装置
および連続蒸着媒体製造方法を提供することを目的とす
る。

課題を解決するための手段 請求項１０本発明は、ニュートラライザ−フィラメント
を備えたイオン源装置において、前記ニュートラライザ
−フィラメントの片端子が接地されるとともに他の端子
に負電圧が印加されていることを特徴とするイオン源装
置である。

また、請求項４の本発明は、蒸着媒体を連続製造する連
続蒸着媒体製造方法において、請求項１〜３のいずれか
のイオン源装置を用い、ベースフィルムに、蒸着前予め
イオン照射処理を行うことを特徴とする連続蒸着媒体の
製造方法である。

作用 本発明は、ニュートラライザ−電位が負であるため、真
空チエインバー内の浮遊電位を正から負にまで自由に変
化させることが可能となる。従って絶縁物ターゲットま
たは基板でも正の帯電を打ち消すことが可能となる。

実施例 以下に本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は、本発明にがかる一実施例のイオン源装置を示
す。

ｌはイオンを発生するイオン源、２はニュートラライザ
−フィラメント、３はイオンが照射される基板、４は電
源である。図に示すように、ニュートラライザ−フィラ
メント２の片端子が接地されるとともに他の端子に、電
ｆｉ４によって、負電圧が印加されている。

ニュートラライザ−フィラメント２の電位を確実に負に
した結果として、たとえ相対する基板３が絶縁物質であ
ってもその表面に発生する帯電を十分除去し、本来のニ
ュートラライザ−２としての役目を果たすことが出来る
ようになる。中でもエツチングレートに顕著に現れ、対
絶縁物質基板では従来法では２〜３割の変動が見られた
のに対し本発明実施後は１割未満の変動幅に抑えること
が出来るようになフた。

なお、８１インチ以上の大口径イオン源装置においては
ニュートラライザ−フィラメントの長さが長くなり、そ
の両端に掛けねばならない電位差は大きくなりがちであ
った。端子電圧が一５０Ｖを負の側に越えると、逆に空
間電位に負の領域が現れ基板を負に帯電させてしまう。

すなわち、負電圧は一５０Ｖ以上接地電位以下であるこ
とが望ましい。

そこで大口径イオン源においては、ニュートラライザ−
フィラメント長を短くし端子電圧を負からアース側に低
下させるため、複数本のニュートラライザ−を用いるの
が特に有効である。第２図は、そのイオン源ｌのイオン
射出口１１の正面略図である。図に示すように、イオン
Ｒ１のイオン射出口１１にニュートラライザ−フィラメ
ント群が配設されている。イオンＲ１の直径方向に長く
フィラメント２を張るのではなく、イオン源１の周囲に
短いフィラメント２を複数本設置するわけである。但し
その時フィラメント２の一部は必ずイオン束の中にある
よう設置せねばならない、完全にイオン束からはみ出た
フィラメント２があるとその部位において空間電位が大
きく負に傾き真空チエインバー内を帯電させかねないか
らである。

第３図は本発明の偏平大型イオン源の正面略図である。

１１はイオン源のイオン射出口、２はニュー！ラライザ
ーフィラメントである。ニュートラライザ−フィラメン
トを短軸方向に張ることによりイオン射出口１１の中心
近傍を最短の距離で通すことができる。この場合図にお
いてはニュートラライザ−フィラメント２は１本である
が複数本有する方がより安定したイオン源動作が可能と
なる。

第４図は本発明のたの大型イオン源の概略構成図である
。２はニュートラライザ−フィラメント、２０はプロー
ブ、３０は大気中と真空部を分けて配線を通すフィール
ドスルー　４０はニュートラライザ−コントロール基板
である。プローブ２０は電気的にアースから浮いており
、イオンｌの動作中にプローブ電位がアース近傍となる
ように、コントローラ基板４０ではニュートラライザ−
フィラメントｌに流す電流を調整する。すなわちプロー
ブ電位が正に偏っている場合はニュートラライザ−電流
を増加し、負の場合は逆とする。従来は基板またはター
ゲットホルダー電流がＯとなるように、すなわちイオン
電流と電子電流が等しくなるよう調整していたが、基板
やターゲット自身が絶縁物でできている場合、ホルダー
電流が殆ど流れず制御不能におちいり帯電させてしまう
ことがある０本発明の電源を用いれば絶縁物ターゲット
においてもターゲットを帯電させることなくより安定し
たイオン源動作を保証できる。

第５図は本発明の前記大型イオン源を用いた連続蒸着媒
体の製造方法に用いられる装置の略断面図である。５１
は長尺テープ基板であり通常は絶縁物でできている。５
２は蒸着源、５３は蒸着用回転キャン、５４は巻出しお
よび巻取りボビン、ｌが上記イオン源である。巻出しボ
ビン４より長尺基板ｌは巻出され回転キャン５３の円筒
側面に沿って走る閏に蒸着源５２より蒸発した金属蒸気
が基板５１上に堆積する。本発明においては蒸着前に予
め本発明の上記イオン源１を用いて基板５１にイオン照
射処理を行い蒸着媒体５１の性能向上を計っている。

従来の大型イオン源、中でもニュートラライザ−片端子
を接地していない場合、ビーム領域においても浮遊電位
は不安定なものとなり、基板５１を帯電させ、ひいては
基板安定走行の障害となりしわも入りやすかった。また
大型イオン源１故、ニュートラライザ−フィラメントの
長さが長くなり両端子間印加電圧が大きくなり、特にビ
ーム領域の外での浮遊電位が大きくなりがちであった。

すなわち図で言えはテープは巻出されてからイオン照射
を受ける場所まで走行している間にニュートラライザ−
から出た熱電子で負に帯電させられイオン照射を受ける
までに走行不安定性、しわを発生していたがそのような
問題点は、本発明では、前記イオンＲ１を用いることに
よって、解消されている。

発明の詳細 な説明し・たように、本発明は、ニュートラライザ−電
位を負とすることにより、チエインバー内の電位を接地
電位近傍とし絶縁基板を用いても帯電せず安定したイオ
ン照射をする事が可能となる。

また、本発明のイオン源を利用して連続蒸着媒体を製造
することによって、蒸着媒体の走行性、しわ発生率を良
好なものとすることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のイオン源の一実施例を示す略示側面
図、第２図は、本発明のイオン源の他の実施例を示す正
面図、第３図は、本発明のイオン源の他の実施例を示す
正面図、第４図は、本発明のイオン源の他の実施例の回
路図、第５図は、本発明の一実施例の連続蒸着媒体の製
造方法を示すための製造装置の断面略図である。 ｌ・・・イオン源、２・・・ニュートラライザ−フィラ
メント、３・・・基板、４・・・電源、１１・・・イオ
ン射出口、４０・・・ニュートラライザ−コントロール
基板、５１・・・長尺テープ基板、５２・・・蒸着源、
５３・・・蒸着用回転キャン、５４・・・巻出しおよび
巻取りボビン。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）ニユートラライザーフィラメントを備えたイオン
   源装置において、前記ニュートラライザーフィラメント
   の片端子が接地されるとともに他の端子に負電圧が印加
   されていることを特徴とするイオン源装置。
2. （２）負電圧は−５０Ｖ以上接地電位以下であることを
   特徴とする請求項１記載のイオン源装置。
3. （３）ニユートラライザーフィラメントを備えたイオン
   源装置において、イオン束の中における浮遊電位がアー
   ス近傍となるように前記ニュートラライザーフィラメン
   トの電流が制御されることを特徴とするイオン源装置。
4. （４）蒸着媒体を連続製造する連続蒸着媒体製造方法に
   おいて、請求項１〜３記載のいずれかのイオン源装置を
   用い、ベースフィルムに、蒸着前予めイオン照射処理を
   行うことを特徴とする連続蒸着媒体の製造方法。