JPH0329206B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0329206B2 JPH0329206B2 JP59047950A JP4795084A JPH0329206B2 JP H0329206 B2 JPH0329206 B2 JP H0329206B2 JP 59047950 A JP59047950 A JP 59047950A JP 4795084 A JP4795084 A JP 4795084A JP H0329206 B2 JPH0329206 B2 JP H0329206B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric vibrator
- constant
- metal material
- piezoelectric
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/171—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
- H03H9/172—Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0595—Holders or supports the holder support and resonator being formed in one body
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は圧電振動子とその製造方法に関し、
特にたとえば拡がり振動、屈曲振動或いは輪郭振
動などの振動モードを利用する音片形の圧電振動
子とその製造方法に関する。
特にたとえば拡がり振動、屈曲振動或いは輪郭振
動などの振動モードを利用する音片形の圧電振動
子とその製造方法に関する。
（従来技術の説明）
第１図は、この発明の背景となるかつこの発明
が適用される従来の音片形の圧電振動子の一例を
示す斜視図である。圧電振動子１０は、たとえば
エリンバなどからなる基板１２を含み、この基板
１２は四角形の辺部分とそれに囲まれた島状の振
動体部分１４を含む。島状の振動体部分１４は連
結部分１６，１６によつて辺部分を構成する対向
する２辺に連結されて保持されている。振動体部
分１４の上面ないし一方主面上には、たとえば酸
化亜鉛（ZnO）などからなる圧電薄膜１８がたと
えばスパツタリングによつて形成される。この圧
電薄膜１８は、連結部分１６上を通つて基板１２
の辺部分にまで形成される。そして、振動体部分
１４上に形成された圧電薄膜１８の表面には、た
とえばアルミニウムなどからなる電極２０が形成
される。この電極２０は、１つの連結部分１６上
を通して辺部分上の引出し電極２２まで延ばされ
る。引出し電極２２と基板１２の辺部分の所定位
置とにそれぞれ外部端子を接続し、それら外部端
子間に電界を加えることによつて、圧電薄膜１８
が形成された振動体部分１４がたとえば拡がり振
動モードで振動する。
が適用される従来の音片形の圧電振動子の一例を
示す斜視図である。圧電振動子１０は、たとえば
エリンバなどからなる基板１２を含み、この基板
１２は四角形の辺部分とそれに囲まれた島状の振
動体部分１４を含む。島状の振動体部分１４は連
結部分１６，１６によつて辺部分を構成する対向
する２辺に連結されて保持されている。振動体部
分１４の上面ないし一方主面上には、たとえば酸
化亜鉛（ZnO）などからなる圧電薄膜１８がたと
えばスパツタリングによつて形成される。この圧
電薄膜１８は、連結部分１６上を通つて基板１２
の辺部分にまで形成される。そして、振動体部分
１４上に形成された圧電薄膜１８の表面には、た
とえばアルミニウムなどからなる電極２０が形成
される。この電極２０は、１つの連結部分１６上
を通して辺部分上の引出し電極２２まで延ばされ
る。引出し電極２２と基板１２の辺部分の所定位
置とにそれぞれ外部端子を接続し、それら外部端
子間に電界を加えることによつて、圧電薄膜１８
が形成された振動体部分１４がたとえば拡がり振
動モードで振動する。
第１図に示す圧電振動子では、振動モードがた
とえば拡がり振動であるとすると、その振動周波
数は、ｆ＝Ｋ（１／Ｌ）で決まる。ここで、Ｋは
定数、Ｌは第１図の線−方向断面における振
動体部分１４の長さである。このように、圧電振
動子の周波数を決定する大きな要因の１つに長さ
Ｌがある。
とえば拡がり振動であるとすると、その振動周波
数は、ｆ＝Ｋ（１／Ｌ）で決まる。ここで、Ｋは
定数、Ｌは第１図の線−方向断面における振
動体部分１４の長さである。このように、圧電振
動子の周波数を決定する大きな要因の１つに長さ
Ｌがある。
一方、従来、このような圧電振動子を形成する
ためには、主として、ウエツトエツチングが用い
られている。エツチングによる場合、エツチング
は厚み方向と同じ速さでその長さ方向（面方向）
にも進行するため、結局加工寸法精度はその板厚
ｄ（第２図）によつて左右される。すなわち、板
厚ｄと同じだけその長さ方向にも欠除されてしま
い、そのことが寸法精度を悪化させていた。そこ
で、従来、寸法精度を向上させるために、両面か
らエツチングする方法が採用されていたが、この
両面エツチングによつても、第２図に示すよう
に、厚みｄの略中央に突起が生じ、充分な寸法精
度が確保できなかつた。すなわち、従来の両面エ
ツチングでも板厚ｄの約1/10程度の寸法のばらつ
きがあり、それに応じて圧電振動子の共振周波数
もばらついていた。そしてこのような共振周波数
のばらつきを抑えるには寸法精度を向上させる必
要があり、寸法精度を向上させるには板厚ｄを薄
くする必要がある。しかしながら、板厚は、その
機械的な強度、圧電体との構成比率が変わること
による温度特性の変化、圧電薄膜をスパツタリン
グによつて成膜する際のそり応力などを考えれ
ば、あまり薄くすることはできない。このよう
に、従来板厚に起因する寸法精度の限界は圧電振
動子の一層の小型化のためには大きな障害となつ
ていたのである。
ためには、主として、ウエツトエツチングが用い
られている。エツチングによる場合、エツチング
は厚み方向と同じ速さでその長さ方向（面方向）
にも進行するため、結局加工寸法精度はその板厚
ｄ（第２図）によつて左右される。すなわち、板
厚ｄと同じだけその長さ方向にも欠除されてしま
い、そのことが寸法精度を悪化させていた。そこ
で、従来、寸法精度を向上させるために、両面か
らエツチングする方法が採用されていたが、この
両面エツチングによつても、第２図に示すよう
に、厚みｄの略中央に突起が生じ、充分な寸法精
度が確保できなかつた。すなわち、従来の両面エ
ツチングでも板厚ｄの約1/10程度の寸法のばらつ
きがあり、それに応じて圧電振動子の共振周波数
もばらついていた。そしてこのような共振周波数
のばらつきを抑えるには寸法精度を向上させる必
要があり、寸法精度を向上させるには板厚ｄを薄
くする必要がある。しかしながら、板厚は、その
機械的な強度、圧電体との構成比率が変わること
による温度特性の変化、圧電薄膜をスパツタリン
グによつて成膜する際のそり応力などを考えれ
ば、あまり薄くすることはできない。このよう
に、従来板厚に起因する寸法精度の限界は圧電振
動子の一層の小型化のためには大きな障害となつ
ていたのである。
（発明の目的）
それゆえに、この発明の目的は、共振周波数の
ばらつきの少ない圧電振動子を提供することであ
る。
ばらつきの少ない圧電振動子を提供することであ
る。
この発明の他の目的は、機械的強度等を損なう
ことなく寸法精度を向上させて共振周波数のばら
つきを抑えることができる圧電振動子の製造方法
を提供することである。
ことなく寸法精度を向上させて共振周波数のばら
つきを抑えることができる圧電振動子の製造方法
を提供することである。
（発明の概要）
この発明に係る圧電振動子は、簡単にいえば、
機械振動する振動体を構成する恒弾性金属材料の
共振周波数に関与する長さ方向断面における端部
を一方主面側において残余の部分に比べて肉薄に
した、圧電振動子である。そして、そのような圧
電振動子は、簡単にいえば、恒弾性金属材料の端
部を肉薄にするとほぼ同時にあるいはその後その
恒弾性金属材料の端部を他方主面側からエツチン
グすることによつて製造される。
機械振動する振動体を構成する恒弾性金属材料の
共振周波数に関与する長さ方向断面における端部
を一方主面側において残余の部分に比べて肉薄に
した、圧電振動子である。そして、そのような圧
電振動子は、簡単にいえば、恒弾性金属材料の端
部を肉薄にするとほぼ同時にあるいはその後その
恒弾性金属材料の端部を他方主面側からエツチン
グすることによつて製造される。
この発明の上述の目的およびその他の目的と特
徴は図面を参照して行なう以下の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
徴は図面を参照して行なう以下の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
（実施例の説明）
第３図はこの発明の一実施例を示す断面図であ
り、第２図に対応するものとして描かれている。
この圧電振動子１０は、たとえば、第１図に示す
拡がり振動を利用した圧電振動子である。基板１
２はエリンバのような恒弾性金属材料からなる
が、このような恒弾性金属材料としては、その他
に鉄−ニツケル系合金すなわち42アロイ36アロイ
（インバ）、アンバおよびコエリンバなどが利用可
能である。そして、基板１２の振動体部分１４の
表面には圧電薄膜１８がたとえばスパツタリング
によつて成膜されるが、このような圧電薄膜１８
の材料としては酸化亜鉛の他に窒化アルミニウム
（AlN）などが利用可能である。また、電極２０
の材料としては、アルミニウム、ニツケル、銀お
よび金などが利用可能である。
り、第２図に対応するものとして描かれている。
この圧電振動子１０は、たとえば、第１図に示す
拡がり振動を利用した圧電振動子である。基板１
２はエリンバのような恒弾性金属材料からなる
が、このような恒弾性金属材料としては、その他
に鉄−ニツケル系合金すなわち42アロイ36アロイ
（インバ）、アンバおよびコエリンバなどが利用可
能である。そして、基板１２の振動体部分１４の
表面には圧電薄膜１８がたとえばスパツタリング
によつて成膜されるが、このような圧電薄膜１８
の材料としては酸化亜鉛の他に窒化アルミニウム
（AlN）などが利用可能である。また、電極２０
の材料としては、アルミニウム、ニツケル、銀お
よび金などが利用可能である。
この実施例では、振動体部分１４の長さＬ方向
の端部において一方主面側からたとえばエツチン
グなどにより肉薄部１４ａが形成される。そし
て、残余の部分１４ｂでは、従来と同じ板厚ｄを
有する。したがつて、全体としての機械的強度や
温度特性或いはそり応力などは従来とほぼ同じに
することができる。一方、端部すなわち肉薄部１
４ａの厚みはたとえばｄ／５〜６とすることがで
き、そのような肉薄部１４ａをエツチングする
と、その端縁は第４図に示すような形状になる。
この第４図からも判るように、肉薄部１４ａにお
いてエツチングによつて形成される突起は、従来
のものに比べて非常に小さくなり、したがつて寸
法精度がそれだけ向上されている。発明者等の実
験によれば、板厚ｄを100μｍとし、肉薄部１４
ａの厚みを20μｍとした場合、長さＬのばらつき
は１つの端部において高々2μｍ程度であつた。
したがつて、従来のものに比べて共振周波数のば
らつきが非常に小さい圧電振動子が得られた。
の端部において一方主面側からたとえばエツチン
グなどにより肉薄部１４ａが形成される。そし
て、残余の部分１４ｂでは、従来と同じ板厚ｄを
有する。したがつて、全体としての機械的強度や
温度特性或いはそり応力などは従来とほぼ同じに
することができる。一方、端部すなわち肉薄部１
４ａの厚みはたとえばｄ／５〜６とすることがで
き、そのような肉薄部１４ａをエツチングする
と、その端縁は第４図に示すような形状になる。
この第４図からも判るように、肉薄部１４ａにお
いてエツチングによつて形成される突起は、従来
のものに比べて非常に小さくなり、したがつて寸
法精度がそれだけ向上されている。発明者等の実
験によれば、板厚ｄを100μｍとし、肉薄部１４
ａの厚みを20μｍとした場合、長さＬのばらつき
は１つの端部において高々2μｍ程度であつた。
したがつて、従来のものに比べて共振周波数のば
らつきが非常に小さい圧電振動子が得られた。
そのため、周波数トリミング等の工程の簡略化
が計れる。また周波数トリミングを行なう場合で
あつても、端部が肉薄であるためたとえばレーザ
ビームによつて完全に除去することができるの
で、トリミング加工も容易に行なうことができ
る。
が計れる。また周波数トリミングを行なう場合で
あつても、端部が肉薄であるためたとえばレーザ
ビームによつて完全に除去することができるの
で、トリミング加工も容易に行なうことができ
る。
第５図は第３図実施例の製造方法を工程順次に
示す断面図である。まず第５図Ａに示すように、
恒弾性金属材料からなる基板１２を準備する。そ
してその上に第５図Ｂで示すように、圧電薄膜１
８をスパツタリングにより成膜する。ついで第５
図Ｃに示すように、基板１２の圧電薄膜１８が形
成された同じ主面上に辺部分を規定するためのマ
スク２４を、たとえばフオトレジストによつて形
成する。そして、第５図Ｄに示すように、その一
体物をエツチング液２６に浸漬し、エツチングす
る。このエツチングは両面エツチングで行なわれ
るが、そのエツチング時間やエツチング速度をコ
ントロールすることにより、一方主面側において
はより速くエツチングされ、他方主面すなわち圧
電薄膜１８が形成されている面側においてはより
遅くエツチングされる。したがつて、第５図Ｅす
なわち第３図に示すように端部に肉薄部が形成さ
れた圧電振動子１０が得られるのである。このよ
うに、エツチングによれば肉薄部１４ａを形成す
るための加工と端部を成形ないし規定するための
加工とが同時にできるので、肉薄部１４ａを有す
る圧電振動子であつても、従来の加工時間と略同
じ加工時間で製造することができる。
示す断面図である。まず第５図Ａに示すように、
恒弾性金属材料からなる基板１２を準備する。そ
してその上に第５図Ｂで示すように、圧電薄膜１
８をスパツタリングにより成膜する。ついで第５
図Ｃに示すように、基板１２の圧電薄膜１８が形
成された同じ主面上に辺部分を規定するためのマ
スク２４を、たとえばフオトレジストによつて形
成する。そして、第５図Ｄに示すように、その一
体物をエツチング液２６に浸漬し、エツチングす
る。このエツチングは両面エツチングで行なわれ
るが、そのエツチング時間やエツチング速度をコ
ントロールすることにより、一方主面側において
はより速くエツチングされ、他方主面すなわち圧
電薄膜１８が形成されている面側においてはより
遅くエツチングされる。したがつて、第５図Ｅす
なわち第３図に示すように端部に肉薄部が形成さ
れた圧電振動子１０が得られるのである。このよ
うに、エツチングによれば肉薄部１４ａを形成す
るための加工と端部を成形ないし規定するための
加工とが同時にできるので、肉薄部１４ａを有す
る圧電振動子であつても、従来の加工時間と略同
じ加工時間で製造することができる。
なお、第５図の例では基板１２に圧電薄膜１８
を形成した後にエツチングするようにしたので、
圧電薄膜１８をエツチングのためのマスクとして
も利用できるという利点がある。
を形成した後にエツチングするようにしたので、
圧電薄膜１８をエツチングのためのマスクとして
も利用できるという利点がある。
第６図は圧電振動子の製造方法の他の例を工程
順次に示す断面図である。第６図Ａで準備した基
板１２の表面上に第６図Ｂで示すようにエツチン
グマスク２４および２８を形成する。マスク２４
は基板の辺部分を規定するために、マスク２８は
振動体１４（第１図）の部分を規定するために用
いられる。その後第６図Ｃで示すように、基板１
２がエツチング液２６に浸漬されエツチングされ
る。エツチングの後、第６図Ｄに示すようにエツ
チングマスクを除去し、その後、第６図Ｅすなわ
ち第３図に示すように圧電薄膜１８および電極２
０を順次積層的に形成することによつて、肉薄部
を有する圧電振動子１０が得られる。
順次に示す断面図である。第６図Ａで準備した基
板１２の表面上に第６図Ｂで示すようにエツチン
グマスク２４および２８を形成する。マスク２４
は基板の辺部分を規定するために、マスク２８は
振動体１４（第１図）の部分を規定するために用
いられる。その後第６図Ｃで示すように、基板１
２がエツチング液２６に浸漬されエツチングされ
る。エツチングの後、第６図Ｄに示すようにエツ
チングマスクを除去し、その後、第６図Ｅすなわ
ち第３図に示すように圧電薄膜１８および電極２
０を順次積層的に形成することによつて、肉薄部
を有する圧電振動子１０が得られる。
第７図は圧電振動子の他の例を示す斜視図であ
る。この第７図に示す圧電振動子１１は、恒弾性
金属材料からなる基板１３を含み、この基板１３
は連結部分１７によつて連結された辺部分と島状
の振動体部分１５を含む。この振動体部分１５上
にほぼ全面に亘つて圧電薄膜１９が成膜される。
この圧電薄膜１９は辺部分の一部にまで延びて形
成され、圧電薄膜１８上には電極２１および引出
し電極２３が形成される。
る。この第７図に示す圧電振動子１１は、恒弾性
金属材料からなる基板１３を含み、この基板１３
は連結部分１７によつて連結された辺部分と島状
の振動体部分１５を含む。この振動体部分１５上
にほぼ全面に亘つて圧電薄膜１９が成膜される。
この圧電薄膜１９は辺部分の一部にまで延びて形
成され、圧電薄膜１８上には電極２１および引出
し電極２３が形成される。
この実施例の圧電振動子１１は、第１図に示す
圧電振動子１０と異なり、屈曲振動を利用するも
のであり、連結部分１７，１７が振動の節に形成
される。そして、その共振周波数は、ｆ＝Ｋ
（ｄ／L2）で与えられる。ただし、ｄは基板の厚
み、Ｋは定数、Ｌは長さである。そこで、この実
施例の振動子１１では共振周波数に関与する長さ
Ｌの方向における振動体部分１５のエツジ部分が
第３図あるいは第４図に示すように肉薄に形成さ
れる。このように屈曲振動を利用する圧電振動子
であつても、この発明が適用され得て、同様の効
果が期待できるのである。
圧電振動子１０と異なり、屈曲振動を利用するも
のであり、連結部分１７，１７が振動の節に形成
される。そして、その共振周波数は、ｆ＝Ｋ
（ｄ／L2）で与えられる。ただし、ｄは基板の厚
み、Ｋは定数、Ｌは長さである。そこで、この実
施例の振動子１１では共振周波数に関与する長さ
Ｌの方向における振動体部分１５のエツジ部分が
第３図あるいは第４図に示すように肉薄に形成さ
れる。このように屈曲振動を利用する圧電振動子
であつても、この発明が適用され得て、同様の効
果が期待できるのである。
第１図および第７図の例では、いずれも、振動
体部分１４および１５が連結部分１６および１７
を通してそれぞれ基板１２および１３の辺部分と
連結された構造の圧電振動子について説明した。
しかしながら、別の構造によつて支持されるなら
ば振動体部分はそれ単体のものであつてもよいこ
とは勿論である。またその形状も実施例に示した
長方形ではなく、円形あるいは正方形のものであ
つてもよい。
体部分１４および１５が連結部分１６および１７
を通してそれぞれ基板１２および１３の辺部分と
連結された構造の圧電振動子について説明した。
しかしながら、別の構造によつて支持されるなら
ば振動体部分はそれ単体のものであつてもよいこ
とは勿論である。またその形状も実施例に示した
長方形ではなく、円形あるいは正方形のものであ
つてもよい。
さらに上述の実施例では、振動モードとして拡
がり振動あるいは屈曲振動を利用する圧電振動子
１０あるいは１１について説明した。しかしなが
ら、その他の輪郭振動等のように、共振周波数が
長さによつて影響を受ける振動モードを利用する
すべての圧電振動子について、この発明は適用で
きるものである。
がり振動あるいは屈曲振動を利用する圧電振動子
１０あるいは１１について説明した。しかしなが
ら、その他の輪郭振動等のように、共振周波数が
長さによつて影響を受ける振動モードを利用する
すべての圧電振動子について、この発明は適用で
きるものである。
さらに、上述の実施例では、恒弾性金属材料の
基板上に圧電薄膜を成膜する構造の圧電振動子に
ついて説明した。しかしながら、たとえば水晶、
LiNb2O3、LiTa3O4等の素材に電極が形成された
だけの圧電振動子についてもこの発明が適用でき
ることは勿論である。そして、恒弾性金属材料か
らなる基板が用いられる場合には、先にプレス成
形や切削加工などにより肉薄にしておき、その
後、他方面側からのエツチングを行なうようにす
ればよい。
基板上に圧電薄膜を成膜する構造の圧電振動子に
ついて説明した。しかしながら、たとえば水晶、
LiNb2O3、LiTa3O4等の素材に電極が形成された
だけの圧電振動子についてもこの発明が適用でき
ることは勿論である。そして、恒弾性金属材料か
らなる基板が用いられる場合には、先にプレス成
形や切削加工などにより肉薄にしておき、その
後、他方面側からのエツチングを行なうようにす
ればよい。
（発明の効果）
以上のように、この発明によれば、圧電振動子
の共振周波数に関与する長さ方向の端部を肉薄に
することによつて、その長さの寸法精度を従来に
比べて飛躍的に向上させることができる。そのた
めに、共振周波数のばらつきが少ない圧電振動子
が得られる。
の共振周波数に関与する長さ方向の端部を肉薄に
することによつて、その長さの寸法精度を従来に
比べて飛躍的に向上させることができる。そのた
めに、共振周波数のばらつきが少ない圧電振動子
が得られる。
第１図はこの発明の背景となるかつこの発明が
実施される圧電振動子の一例を示す斜視図であ
る。第２図は第１図の線−における断面図で
ある。第３図はこの発明の一実施例を示す断面図
である。第４図は第３図におけるエツジ部分を拡
大して示す図解図である。第５図は圧電振動子の
製造方法の一実施例を工程順次に示す図である。
第６図は圧電振動子の製造方法の他の実施例を工
程順次に示す図である。第７図はこの発明が適用
される圧電振動子の他の例を示す斜視図である。 図において、１０，１１は圧電振動子、１２，
１３は基板、１４，１５は振動体部分、１８，１
９は圧電薄膜、１４ａは肉薄部を示す。
実施される圧電振動子の一例を示す斜視図であ
る。第２図は第１図の線−における断面図で
ある。第３図はこの発明の一実施例を示す断面図
である。第４図は第３図におけるエツジ部分を拡
大して示す図解図である。第５図は圧電振動子の
製造方法の一実施例を工程順次に示す図である。
第６図は圧電振動子の製造方法の他の実施例を工
程順次に示す図である。第７図はこの発明が適用
される圧電振動子の他の例を示す斜視図である。 図において、１０，１１は圧電振動子、１２，
１３は基板、１４，１５は振動体部分、１８，１
９は圧電薄膜、１４ａは肉薄部を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 或る共振周波数で機械振動する振動体を含む
圧電振動子であつて、 前記振動体は恒弾性金属材料とその上に形成さ
れた圧電薄膜とを含み、 前記恒弾性金属材の前記共振周波数に関与する
長さ方向端部がその一方主面側において残余の部
分に比べて肉薄に形成されている、圧電振動子。 ２ 前記振動体は主としてその長さが共振周波数
を決定する振動モードで振動する、特許請求の範
囲第１項記載の圧電振動子。 ３ 前記振動モードは拡がり振動である、特許請
求の範囲第２項記載の圧電振動子。 ４ 前記振動モードは屈曲振動である、特許請求
の範囲第２項記載の圧電振動子。 ５ 前記振動モードは輪郭振動である、特許請求
の範囲第２項記載の圧電振動子。 ６ 或る共振周波数で機械振動する振動体を含む
圧電振動子の製造方法であつて、 (a) 恒弾性金属材料とその上に形成された圧電薄
膜とを含み、或る共振周波数で機械振動する振
動体を準備するステツプ、 (b) 前記振動体の前記恒弾性金属材料の前記共振
周波数に関与する長さ方向端部を一方主面側に
おいて残余の部分より肉薄にするステツプ、お
よび (c) 端縁を規定するために前記恒弾性金属材料の
前記端部を他方主面側からエツチングするステ
ツプを含む、圧電振動子の製造方法。 ７ 前記ステツプ(b)は、前記長さ方向断面におけ
る前記恒弾性金属材料のエツジ部分を一方主面側
からエツチングするステツプを含む、特許請求の
範囲第７項記載の圧電振動子の製造方法。 ８ 前記ステツプ(b)および(c)におけるエツチング
は、それぞれのエツチング時間が変えられて同時
に行なわれる、特許請求の範囲第７項記載の圧電
振動子の製造方法。 ９ 前記ステツプ(b)および(c)におけるエツチング
は、そのそれぞれのエツチング速度が変えられて
同時に行なわれる、特許請求の範囲第７項記載の
圧電振動子の製造方法。 １０ 前記ステツプ(a)では恒弾性金属材料からな
る素材を準備し、 前記ステツプ(b)ではプレス成形によつて前記恒
弾性金属材料の前記端部を一方主面側において肉
薄にする、特許請求の範囲第６項記載の圧電振動
子の製造方法。 １１ 前記ステツプ(a)では恒弾性金属材料からな
る素材を準備し、 前記ステツプ(b)では切削加工により前記恒弾性
金属材料の前記端部を一方主面側において肉薄に
する、特許請求の範囲第６項記載の圧電振動子の
製造方法。 １２ 前記ステツプ(a)は（ａ−）恒弾性金属材
料からなる素材を準備するステツプ、および（ａ
−）前記ステツプ(b)および(c)の後に前記恒弾性
金属材料の上に前記圧電薄膜を形成するステツプ
を含む、特許請求の範囲第６項ないし第１１項の
いずれかに記載の圧電振動子の製造方法。 １３ 前記ステツプ(a)は（ａ−）恒弾性金属材
料からなる素材を準備するステツプ、および（ａ
−）前記ステツプ(b)および(c)の前に前記恒弾性
金属材料の上に前記圧電薄膜を形成するステツプ
を含む、特許請求の範囲第６項ないし第１１項の
いずれかに記載の圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59047950A JPS60191511A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 圧電振動子とその製造方法 |
| US06/707,758 US4651042A (en) | 1984-03-12 | 1985-03-04 | Piezoelectric vibrator and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59047950A JPS60191511A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 圧電振動子とその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60191511A JPS60191511A (ja) | 1985-09-30 |
| JPH0329206B2 true JPH0329206B2 (ja) | 1991-04-23 |
Family
ID=12789638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59047950A Granted JPS60191511A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 圧電振動子とその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4651042A (ja) |
| JP (1) | JPS60191511A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62185117A (ja) * | 1986-02-10 | 1987-08-13 | Yazaki Corp | 振動ジヤイロ |
| JPH0522985Y2 (ja) * | 1987-09-07 | 1993-06-14 | ||
| US5198716A (en) * | 1991-12-09 | 1993-03-30 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Micro-machined resonator |
| ATE142375T1 (de) * | 1992-06-24 | 1996-09-15 | Algra Holding Ag | Verfahren zur herstellung einer piezoelektrischen drucksensitiven taste oder tastatur und durch dieses verfahren erhaltenes produkt |
| JP3845544B2 (ja) * | 1999-10-01 | 2006-11-15 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪デバイス及びその製造方法 |
| JP2004532743A (ja) * | 2000-10-25 | 2004-10-28 | ワシントン ステート ユニバーシティ リサーチ ファウンデーション | 圧電マイクロトランスデューサ、その使用法および製造法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5215285A (en) * | 1975-07-25 | 1977-02-04 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Method of processing piezo-electric oscillator |
| JPS5478693A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-22 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Crystal vibrator |
| JPS58127425A (ja) * | 1982-01-25 | 1983-07-29 | Kinseki Kk | 振動子用水晶素板とその製造方法 |
| JPS60232711A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子 |
| JPS6146609A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-06 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子 |
-
1984
- 1984-03-12 JP JP59047950A patent/JPS60191511A/ja active Granted
-
1985
- 1985-03-04 US US06/707,758 patent/US4651042A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4651042A (en) | 1987-03-17 |
| JPS60191511A (ja) | 1985-09-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1612472B (zh) | 压电振动片、压电器件、便携电话和电子设备的制造方法 | |
| JPH08186467A (ja) | 拡がり振動型圧電振動子およびその製造方法 | |
| US4418299A (en) | Face-shear mode quartz crystal vibrators and method of manufacture | |
| EP1883123A2 (en) | Method for manufacturing piezoelectric resonator | |
| JP3888107B2 (ja) | 圧電振動デバイス用圧電振動板のエッチング方法 | |
| JP5023734B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法及び圧電振動素子 | |
| JPH0329206B2 (ja) | ||
| JP2012065000A (ja) | 圧電振動片、圧電振動子 | |
| JP3915640B2 (ja) | 水晶ｚ板のエッチング方法及びその方法によって成形された水晶ウェハ | |
| JPS58157211A (ja) | 圧電振動板の製造方法 | |
| JP2010136202A (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片及び圧電振動子 | |
| JP2000004138A (ja) | 振動子の製造方法及び電子機器 | |
| JP4349283B2 (ja) | エッチング方法 | |
| JP6439808B2 (ja) | 音叉型振動子 | |
| JP4196641B2 (ja) | 超薄板圧電デバイスとその製造方法 | |
| JP2005020141A (ja) | 圧電振動片の製造方法及び圧電デバイスの製造方法 | |
| JPS60232711A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2007013383A (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片 | |
| JP2011124881A (ja) | 水晶振動子、電子部品および水晶振動子の製造方法 | |
| JP2017060125A (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
| JP2004040399A (ja) | エッチング方法及びその方法によって成形されたエッチング成形品 | |
| JP4600140B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法 | |
| JP2018125655A (ja) | 音叉型振動子 | |
| CN112787619A (zh) | 压电元件及其制造方法 | |
| JP2008160253A (ja) | 振動子及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |