JPS62185117A - 振動ジヤイロ - Google Patents
振動ジヤイロInfo
- Publication number
- JPS62185117A JPS62185117A JP61026026A JP2602686A JPS62185117A JP S62185117 A JPS62185117 A JP S62185117A JP 61026026 A JP61026026 A JP 61026026A JP 2602686 A JP2602686 A JP 2602686A JP S62185117 A JPS62185117 A JP S62185117A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- vibrator
- conductor
- support rod
- vibrating body
- Prior art date
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は断面方形をなす柱状体の側面に圧電素子を形成
した振動子の屈曲振動を利用する振動ジャイロに関する
ものである。
した振動子の屈曲振動を利用する振動ジャイロに関する
ものである。
断面が方形をなす柱状体の複数の側面に圧電素子を形成
してなる振動子においては圧電素子が励振用や検知用に
用いられているが、この圧電素子は振動子本体を一方の
電極とし、この電極とその上に形成された圧電体をさら
にその上に形成された他方の電極とでサンドインチ状に
挟んでなるものである。
してなる振動子においては圧電素子が励振用や検知用に
用いられているが、この圧電素子は振動子本体を一方の
電極とし、この電極とその上に形成された圧電体をさら
にその上に形成された他方の電極とでサンドインチ状に
挟んでなるものである。
第５図の斜視図、第６図の断面図、第７図の展開図に基
づいて従来の振動ジャイロを説明する。
づいて従来の振動ジャイロを説明する。
振動体１の西側面には検知用あるいは励振用の圧電素子
２，３，４．５が形成されており、相対向する一対の側
面上で振動の節点に相当する位置に支持細線６が取付け
られ、細線６によって外部固定部材７に振動体ｌが可動
に取り付けられている。
２，３，４．５が形成されており、相対向する一対の側
面上で振動の節点に相当する位置に支持細線６が取付け
られ、細線６によって外部固定部材７に振動体ｌが可動
に取り付けられている。
各圧電素子２，３，４．５面上には蒸着、スパック等の
手段により薄膜状の電極８が形成されており、電極８は
振動体１面上に一部延出して節点に達し、節点にて外部
導線９と電気的に接続されてし）る。
手段により薄膜状の電極８が形成されており、電極８は
振動体１面上に一部延出して節点に達し、節点にて外部
導線９と電気的に接続されてし）る。
しかし乍ら上記従来例にあっては、導線９を節点上にて
接続することにより一応導線９が振動体１の振動に悪影
響を与えないように配慮されているものの、実際には導
線９を正確に節点上に接続することが困難であること、
導線９は太さと重さを有していること等が原因で、振動
体１の幅方向及び長手方向の微妙なバランスがくずれ、
節点が移動することになる。その結果、振動モードが変
化したり、共振尖鋭度Ｑが低下するなど性能が劣化する
。また導線の接続作業が煩雑であるとともに、振動体上
に導線が固定されるため振動体の小型化が困難となる。
接続することにより一応導線９が振動体１の振動に悪影
響を与えないように配慮されているものの、実際には導
線９を正確に節点上に接続することが困難であること、
導線９は太さと重さを有していること等が原因で、振動
体１の幅方向及び長手方向の微妙なバランスがくずれ、
節点が移動することになる。その結果、振動モードが変
化したり、共振尖鋭度Ｑが低下するなど性能が劣化する
。また導線の接続作業が煩雑であるとともに、振動体上
に導線が固定されるため振動体の小型化が困難となる。
本発明は上記の点に鑑み、振動体の節点位置が正確に定
められ、導線の接続作業の容易な振動ジャイロの提供を
目的としている。
められ、導線の接続作業の容易な振動ジャイロの提供を
目的としている。
上記目的を達成するため、本発明は、振動子の側面に形
成した圧電素子の薄膜状電極を、振動体の支持棒上を経
て非振動系の固定部材にまで延長形成し、この固定部材
上にて導線と接続した構成としたものである。
成した圧電素子の薄膜状電極を、振動体の支持棒上を経
て非振動系の固定部材にまで延長形成し、この固定部材
上にて導線と接続した構成としたものである。
第１図（ａｌ 、 （ｂｌは本発明の実施例を示してい
る。
る。
図において、一対のコ字状枠体からなる固定部材７が図
示しない基台に取付けられており、図に示すように１本
の振動体１が４木の支持棒１０により固定部材７に支持
される。支持棒１０と振動体１の接合部は振動体１の屈
曲運動の際の節点であることは従来構造と同様である。
示しない基台に取付けられており、図に示すように１本
の振動体１が４木の支持棒１０により固定部材７に支持
される。支持棒１０と振動体１の接合部は振動体１の屈
曲運動の際の節点であることは従来構造と同様である。
振動体１の４側面にはやはり従来と同様に検知用あるい
は励振用の圧電素子２，３，４．５が形成されており、
各圧電素子２，３，４．５上には薄膜状の電極８が蒸着
、スパッタ、へヶ塗りなどの手段にて形成されている。
は励振用の圧電素子２，３，４．５が形成されており、
各圧電素子２，３，４．５上には薄膜状の電極８が蒸着
、スパッタ、へヶ塗りなどの手段にて形成されている。
この電極８はそれぞれ一端において振動体１の長手方向
に延び、節点部分で前記各々の支持棒１０を経て固定部
材７に達している。固定部材７上で電極８はその面積を
大きくして接続部８ａを形成し、この接続部８ａにて外
部回路の導線９に接続される。
に延び、節点部分で前記各々の支持棒１０を経て固定部
材７に達している。固定部材７上で電極８はその面積を
大きくして接続部８ａを形成し、この接続部８ａにて外
部回路の導線９に接続される。
尚、図示はしていないが、前記電極８は圧電素子２，３
，４．５を除く振動体１、支持棒１０、固定部材７と絶
縁層を介して接触している。また図中１１はアース用電
極である。
，４．５を除く振動体１、支持棒１０、固定部材７と絶
縁層を介して接触している。また図中１１はアース用電
極である。
上記実施例において、振動体ｌが屈曲振動する際、振動
体１は導線等が接続されてな（，１本の棒状部材として
振動し得る。また支持棒１０も電極８部材と一体化して
一本の支持棒１０として作用する。従って、節点は予め
設定された位置に生じ性能の劣化や振動モードのバラツ
キ等が少ない。
体１は導線等が接続されてな（，１本の棒状部材として
振動し得る。また支持棒１０も電極８部材と一体化して
一本の支持棒１０として作用する。従って、節点は予め
設定された位置に生じ性能の劣化や振動モードのバラツ
キ等が少ない。
また導′１ＩＡ９は非振動系の固定部材７上に接続され
るから、接続作業が容易で、振動系に影響を与えること
もない。
るから、接続作業が容易で、振動系に影響を与えること
もない。
更に電極８の形成を、真空蒸着あるいはスパッタ等によ
って行えば、位置や重量、面積等の精度を向上させるこ
とができ、振動体の性能のバラツキをより少なくするこ
とができる。
って行えば、位置や重量、面積等の精度を向上させるこ
とができ、振動体の性能のバラツキをより少なくするこ
とができる。
第２図、第３図、第４図は本発明実施例の一部変形例を
それぞれ示している。
それぞれ示している。
第２図の例は、（ｂ）図に示すように固定部材７と振動
体１とを共に薄型とし、両者の厚みを略同−に形成した
ものである。この場合、固定部材７は（ａ）図に示す如
く一体化された口字状の枠体とし、薄型構造からくる強
度不足を補うようにすることが望ましい。尚、固定部材
７と振動体１の厚みを略同−とすれば、電極８は折れ曲
ることなく平面上にて延出形成されるから、蒸着等によ
る形成作業が行い易くなる。
体１とを共に薄型とし、両者の厚みを略同−に形成した
ものである。この場合、固定部材７は（ａ）図に示す如
く一体化された口字状の枠体とし、薄型構造からくる強
度不足を補うようにすることが望ましい。尚、固定部材
７と振動体１の厚みを略同−とすれば、電極８は折れ曲
ることなく平面上にて延出形成されるから、蒸着等によ
る形成作業が行い易くなる。
第３図は固定部材７を１個の口字状部材として、その開
口部側から蒸着その他による圧電素子３、電極８の形成
を容易とした例の上面図である。このような構造は検出
用圧電素子を振動体ｌの一側面のみに形成する場合に有
効である。
口部側から蒸着その他による圧電素子３、電極８の形成
を容易とした例の上面図である。このような構造は検出
用圧電素子を振動体ｌの一側面のみに形成する場合に有
効である。
第４図は振動体１の断面形状を略正方形とするとともに
支持棒１０、固定部材７の厚みを振動体１と略同−にし
た例の断面図である。固定部材７の平面形状は口字状、
口字状等適宜選択することができる。
支持棒１０、固定部材７の厚みを振動体１と略同−にし
た例の断面図である。固定部材７の平面形状は口字状、
口字状等適宜選択することができる。
本発明は上述したように、圧電素子上の薄膜電極を支持
棒上を経て固定部材にまで延長形成し、固定部材上にて
導線と接続したものである。
棒上を経て固定部材にまで延長形成し、固定部材上にて
導線と接続したものである。
従って、振動体の屈曲運動の節点はバラツキなく設定さ
れ、安定した性能の振動ジャイロを製造することができ
る。また導線は非振動系の固定部材上にて接合されるた
め、接続作業が従来に比べ容易となる。
れ、安定した性能の振動ジャイロを製造することができ
る。また導線は非振動系の固定部材上にて接合されるた
め、接続作業が従来に比べ容易となる。
第１図は本発明の実施例を示し、（ａ）はその平面図、
（ｂｌは断面図である。第２図、第３図、第４図はそれ
ぞれ本発明実施例の異なった変形例を示し、第２図（ａ
ｌは第１の例の平面図、（ｂｌはその断面図、第３図は
第２の例の平面図、第４図は第３例の断面図である。第
５図、第６図、第７図は従来例を示し、第５図は振動体
の斜視図、第６図は断面図、第７図は展開図である。 ■・・・振動体、２，３，４．５・・・圧電素子、７・
・・固定部材、８・・・電極、９・・・導線、１０・・
・支持棒。 特許出願人 矢崎総業株式会社 第１図 （ｂ） （ｂ） 手続補正書（自発） 昭和６１年 ５月１３日 特許庁長官 宇 賀 道 ＲＱ’Ｋ 殿■、
月１牛の耘 ■斜１６１年特許願第０２６０２６号 ２、 発明の名称 １辰動ジヤイロ ３、 補正をする者 羽生との関係 特許出願人 住所 東京都港区三田１丁目４番２８号名称 （６８９
）矢崎総業株式会社 ４、代理人 図面第５図及び第７図を添付図面と差し替える。
（ｂｌは断面図である。第２図、第３図、第４図はそれ
ぞれ本発明実施例の異なった変形例を示し、第２図（ａ
ｌは第１の例の平面図、（ｂｌはその断面図、第３図は
第２の例の平面図、第４図は第３例の断面図である。第
５図、第６図、第７図は従来例を示し、第５図は振動体
の斜視図、第６図は断面図、第７図は展開図である。 ■・・・振動体、２，３，４．５・・・圧電素子、７・
・・固定部材、８・・・電極、９・・・導線、１０・・
・支持棒。 特許出願人 矢崎総業株式会社 第１図 （ｂ） （ｂ） 手続補正書（自発） 昭和６１年 ５月１３日 特許庁長官 宇 賀 道 ＲＱ’Ｋ 殿■、
月１牛の耘 ■斜１６１年特許願第０２６０２６号 ２、 発明の名称 １辰動ジヤイロ ３、 補正をする者 羽生との関係 特許出願人 住所 東京都港区三田１丁目４番２８号名称 （６８９
）矢崎総業株式会社 ４、代理人 図面第５図及び第７図を添付図面と差し替える。
Claims (1)
- 断面が方形をなす柱状体の側面に圧電素子を形成した振
動子の屈曲振動を利用する振動ジャイロにおいて、振動
子の側面に形成した圧電素子の薄膜状電極を、振動体の
支持棒上を経て非振動系の固定部材にまで延長形成し、
この固定部材上にて外部と電気的に接続する導線と接続
してなる振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61026026A JPS62185117A (ja) | 1986-02-10 | 1986-02-10 | 振動ジヤイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61026026A JPS62185117A (ja) | 1986-02-10 | 1986-02-10 | 振動ジヤイロ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62185117A true JPS62185117A (ja) | 1987-08-13 |
| JPH0556807B2 JPH0556807B2 (ja) | 1993-08-20 |
Family
ID=12182189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61026026A Granted JPS62185117A (ja) | 1986-02-10 | 1986-02-10 | 振動ジヤイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62185117A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0289309U (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-16 | ||
| JPH0514828U (ja) * | 1991-08-01 | 1993-02-26 | 株式会社トーキン | 圧電振動ジヤイロ |
| JP2007047167A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Litton Syst Inc | 振動梁の節点位置修正方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138893A (en) * | 1974-08-20 | 1976-03-31 | Suisse Horlogerie | Piezodenkikyoshinki |
| JPS60191511A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-30 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子とその製造方法 |
-
1986
- 1986-02-10 JP JP61026026A patent/JPS62185117A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138893A (en) * | 1974-08-20 | 1976-03-31 | Suisse Horlogerie | Piezodenkikyoshinki |
| JPS60191511A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-30 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子とその製造方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0289309U (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-16 | ||
| JPH0514828U (ja) * | 1991-08-01 | 1993-02-26 | 株式会社トーキン | 圧電振動ジヤイロ |
| JP2007047167A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Litton Syst Inc | 振動梁の節点位置修正方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0556807B2 (ja) | 1993-08-20 |
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