JPH03293018A - オゾン含有ガスの浄化装置及び浄化方法 - Google Patents
オゾン含有ガスの浄化装置及び浄化方法Info
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- JPH03293018A JPH03293018A JP2096942A JP9694290A JPH03293018A JP H03293018 A JPH03293018 A JP H03293018A JP 2096942 A JP2096942 A JP 2096942A JP 9694290 A JP9694290 A JP 9694290A JP H03293018 A JPH03293018 A JP H03293018A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、オゾン含有ガスの浄化装置及び浄化方法に関
する。
する。
[従来の技術]
オゾンは強力な酸化作用を有するため、上水、下水、工
場廃液、有害ガス等の浄化、殺菌、脱硝、脱臭処理等に
広く用いられている。通常これらの処理においては、酸
化処理を充分に行なわせるため過剰のオゾンが使用され
てあり、処理後に未反応のオゾンが余剰として空気中に
排出されている。
場廃液、有害ガス等の浄化、殺菌、脱硝、脱臭処理等に
広く用いられている。通常これらの処理においては、酸
化処理を充分に行なわせるため過剰のオゾンが使用され
てあり、処理後に未反応のオゾンが余剰として空気中に
排出されている。
また、電子写真複写機等のコロナ放電を伴う装置からも
オゾンが空気中に排出されている。かかるオゾンは、非
常に臭気の強い気体であり、空気中にQ、lppm以上
の濃度で存在する場合は人体に悪影響を及ぼすため、環
境衛生上、オゾン含有ガスを浄化し、0.O5ppm以
下の濃度まで無害化することが要望されている。
オゾンが空気中に排出されている。かかるオゾンは、非
常に臭気の強い気体であり、空気中にQ、lppm以上
の濃度で存在する場合は人体に悪影響を及ぼすため、環
境衛生上、オゾン含有ガスを浄化し、0.O5ppm以
下の濃度まで無害化することが要望されている。
従来、活性炭を用いてオゾン含有ガスを浄化する方法が
知られている。活性炭は、その優れた吸着性能により、
オゾン含有ガス中のオゾン(03)を吸着し、酸素原子
(0)を炭素(C)と反応させて二酸化炭素(CO2>
の形で放出する。
知られている。活性炭は、その優れた吸着性能により、
オゾン含有ガス中のオゾン(03)を吸着し、酸素原子
(0)を炭素(C)と反応させて二酸化炭素(CO2>
の形で放出する。
また、伯の浄化方法として、アルミナ、シリカ、チタニ
ア等のセラミック粉末からなるペレット担体や、コージ
ェライト、紙等からなるハニカム担体にマンガン、ニッ
ケル、コバルト、クロム、銅、銀、白金、パラジウム、
ロジウム等を担持させたオゾン分解触媒を用いたものも
知られている。このオゾン分解触媒を用いた浄化方法の
中には、セラミック繊維でベレット担体を成形し、かか
るペレット担体にマンガン、鉄等を担持させたものを用
いるものもある(特開昭62−201648号公報)。
ア等のセラミック粉末からなるペレット担体や、コージ
ェライト、紙等からなるハニカム担体にマンガン、ニッ
ケル、コバルト、クロム、銅、銀、白金、パラジウム、
ロジウム等を担持させたオゾン分解触媒を用いたものも
知られている。このオゾン分解触媒を用いた浄化方法の
中には、セラミック繊維でベレット担体を成形し、かか
るペレット担体にマンガン、鉄等を担持させたものを用
いるものもある(特開昭62−201648号公報)。
また、活性炭の表面に銀を展着させたオゾン分解触媒も
知られている(特公昭56−17939号公報)。オゾ
ン分解触媒は、その優れた分解性能により、オゾン(0
3)を酸素(02)に分解して放出する。かかるオゾン
分解触媒のうち、ベレット触媒は、ハニカム触媒より反
応面積が小さいため、低濃度域で反応速度が遅延し、般
にlppmを超える中濃度から数1100Dp以上の高
濃度までのオゾン含有ガス浄化用として用いられている
。一方、反応面積の比較的大きなハニカム触媒は一般に
LpDm以下の低濃度のオゾン含有ガス浄化用として用
いられている。
知られている(特公昭56−17939号公報)。オゾ
ン分解触媒は、その優れた分解性能により、オゾン(0
3)を酸素(02)に分解して放出する。かかるオゾン
分解触媒のうち、ベレット触媒は、ハニカム触媒より反
応面積が小さいため、低濃度域で反応速度が遅延し、般
にlppmを超える中濃度から数1100Dp以上の高
濃度までのオゾン含有ガス浄化用として用いられている
。一方、反応面積の比較的大きなハニカム触媒は一般に
LpDm以下の低濃度のオゾン含有ガス浄化用として用
いられている。
[発明が解決しようとする課題]
活性炭のみを用いた浄化方法は、低濃度域であれば、ま
た高濃度域であっても初期段階であれば、活性炭とオゾ
ンとの反応がオゾン分解触媒とオゾンとの反応よりも極
めて速いため、オゾン分解触媒のみを用いた方法より浄
化性能に優れる。しかし、かかる方法では、反応がオゾ
ンを活性炭の表面で直接燃焼させる反応であるため、高
濃度域の初期段階を過ぎた段階から、活性炭の吸着性能
が短期間で低下してしまう欠点がある。従って、かかる
方法により、浄化後のオゾン濃度を長期間にわたってO
,o5ppm以下にするには、活性炭を頻繁に交換しな
ければならず、コスト高となってしまう。
た高濃度域であっても初期段階であれば、活性炭とオゾ
ンとの反応がオゾン分解触媒とオゾンとの反応よりも極
めて速いため、オゾン分解触媒のみを用いた方法より浄
化性能に優れる。しかし、かかる方法では、反応がオゾ
ンを活性炭の表面で直接燃焼させる反応であるため、高
濃度域の初期段階を過ぎた段階から、活性炭の吸着性能
が短期間で低下してしまう欠点がある。従って、かかる
方法により、浄化後のオゾン濃度を長期間にわたってO
,o5ppm以下にするには、活性炭を頻繁に交換しな
ければならず、コスト高となってしまう。
また、一般に、オゾン含有ガスの浄化方法では、10〜
25°Cの常温でかつ水中を経由して排出された湿度9
5%以上と飽和状態に近いオゾン含有ガスを浄化してい
る。このため、オゾン分解触媒を用いた浄化方法では、
ガス中の水分がオゾン分解触媒の表面に付着しやすく、
少量の水分で必っても活性が低下してしまう欠点がある
。従って、オゾン分解触媒のみを用いた浄化方法により
、浄化後のオゾン濃度を長期間にわたって0.O5pp
m以下にするには、多量のオゾン分解触媒を用いて分解
性能を上げるか、入ガス温度を上昇させて相対湿度を下
げることによりオゾン分解触媒の表面に水分が付着しに
くいようにするかしなければならず、やはりコスト高と
なってしまう。
25°Cの常温でかつ水中を経由して排出された湿度9
5%以上と飽和状態に近いオゾン含有ガスを浄化してい
る。このため、オゾン分解触媒を用いた浄化方法では、
ガス中の水分がオゾン分解触媒の表面に付着しやすく、
少量の水分で必っても活性が低下してしまう欠点がある
。従って、オゾン分解触媒のみを用いた浄化方法により
、浄化後のオゾン濃度を長期間にわたって0.O5pp
m以下にするには、多量のオゾン分解触媒を用いて分解
性能を上げるか、入ガス温度を上昇させて相対湿度を下
げることによりオゾン分解触媒の表面に水分が付着しに
くいようにするかしなければならず、やはりコスト高と
なってしまう。
本発明は、上記従来の不具合に鑑みてなされたものであ
って、低濃度域から高濃度域までのオゾン含・有ガスを
優れた耐久性能を有しかつ低コストでO,o5ppm以
下に浄化できる浄化装置及び浄化方法を提供することを
目的とする。
って、低濃度域から高濃度域までのオゾン含・有ガスを
優れた耐久性能を有しかつ低コストでO,o5ppm以
下に浄化できる浄化装置及び浄化方法を提供することを
目的とする。
[課題を解決するための手段]
本発明のオゾン含有ガスの浄化装置は、オゾン含有ガス
を浄化する浄化装置において、前記浄化装置は、上流側
にオゾン分解触媒が配設され、 下流側に活性炭が配設されていることを特徴とするもの
である。
を浄化する浄化装置において、前記浄化装置は、上流側
にオゾン分解触媒が配設され、 下流側に活性炭が配設されていることを特徴とするもの
である。
本発明の浄化装置は、オゾン含有ガスを吸入して浄化後
に排出する容器と、この容器の上流側に充填されるオゾ
ン分解触媒と、容器の下流側に充填される活性炭とで構
成することができる。容器の入口側とオゾン分解触媒と
の間、オゾン分解触媒と活性炭との間及び活性炭と容器
の出口側との間においては、未充填の空間を設けること
か好ましい。かかる未充填の空間によりオゾン含有ガス
の流速を均一化でき、浄化性能を向上させることができ
るからである。特に、オゾン分解触媒と活性炭との間に
設けることのできる未充填の空間は1、オゾン分解触媒
の充填容積の1,73以上の容積であることか望ましい
。
に排出する容器と、この容器の上流側に充填されるオゾ
ン分解触媒と、容器の下流側に充填される活性炭とで構
成することができる。容器の入口側とオゾン分解触媒と
の間、オゾン分解触媒と活性炭との間及び活性炭と容器
の出口側との間においては、未充填の空間を設けること
か好ましい。かかる未充填の空間によりオゾン含有ガス
の流速を均一化でき、浄化性能を向上させることができ
るからである。特に、オゾン分解触媒と活性炭との間に
設けることのできる未充填の空間は1、オゾン分解触媒
の充填容積の1,73以上の容積であることか望ましい
。
容器)は単一のものであってもよく、2個に分割された
ものであってもよい。
ものであってもよい。
オゾン分解触媒としては、ニッケル、マンカン、コバル
ト、銅、鉛、クロム、鉄等の金属酸化物又はこれらの複
合体からなるペレット触媒やハニカム触媒を採用するこ
とかできる。また、アルミナ、シリカ、チタニア、コー
ジェライト等のセラミッりの粉末又は繊維からなるベレ
ット担体ヤハニカム担体にニッケル、マンガン、コバル
ト、銅、鉛、クロ11、鉄等の金属酸化物又はこれらの
複合体を担持ざゼたペレット触媒ヤハニカム触媒を採用
することもできる。ベレット触媒を用いることが低コス
トの点で望ましい。
ト、銅、鉛、クロム、鉄等の金属酸化物又はこれらの複
合体からなるペレット触媒やハニカム触媒を採用するこ
とかできる。また、アルミナ、シリカ、チタニア、コー
ジェライト等のセラミッりの粉末又は繊維からなるベレ
ット担体ヤハニカム担体にニッケル、マンガン、コバル
ト、銅、鉛、クロ11、鉄等の金属酸化物又はこれらの
複合体を担持ざゼたペレット触媒ヤハニカム触媒を採用
することもできる。ベレット触媒を用いることが低コス
トの点で望ましい。
このオゾン分解触媒には、銀、白金、パラジウム、ロジ
ウムから選ばれた少なくとも一種の触媒成分を担持させ
ることが浄化性能を向上させる点で好ましい。また、紙
からなるベレット担体ヤハニカム担体又は担体としての
活性炭に触媒成分を担持させたオゾン分解触媒を用いる
こともできる。
ウムから選ばれた少なくとも一種の触媒成分を担持させ
ることが浄化性能を向上させる点で好ましい。また、紙
からなるベレット担体ヤハニカム担体又は担体としての
活性炭に触媒成分を担持させたオゾン分解触媒を用いる
こともできる。
活性炭としては、市販の種々の活性炭例えば破砕炭を採
用することができる。
用することができる。
本発明のオゾン含有ガスの浄化方法は、オゾン含有ガス
をオゾン分解触媒と接触さぜる第1工程と、 該第1工程を経た該オゾン含有ガスを活性炭に吸着させ
る第2工程とからなることを特徴とするものである。
をオゾン分解触媒と接触さぜる第1工程と、 該第1工程を経た該オゾン含有ガスを活性炭に吸着させ
る第2工程とからなることを特徴とするものである。
第1工程では、オゾン含有ガスを上記オゾン分解触媒と
接触させ、オゾンを酸素に分解する。
接触させ、オゾンを酸素に分解する。
第2工程では、第1工程を経たオゾン含有ガスを上記活
性炭に吸着させ、第1工程で残ったオゾンの酸素原子を
炭素と反応させて二酸化炭素にする。
性炭に吸着させ、第1工程で残ったオゾンの酸素原子を
炭素と反応させて二酸化炭素にする。
[作用]
本発明の浄化装置及び浄化方法では、オゾン含有ガスは
、まずオゾン分解触媒と接触する。このとき、オゾン含
有ガス中の水分によってオゾン分解触媒の活性が低下し
ても、オゾン含有ガスは高濃度でオゾン分解触媒に供給
されるため、そのオゾン分解触媒によって大部分のオゾ
ンが分解され、残った低濃度のオゾンを活性炭が吸着す
る。このため、この浄化装置及び浄化方法では、オゾン
分解触媒と活性炭とが互いの欠点をカバーし、かつ互い
の優れた分解性能及び吸着性能を同時に発揮する。また
、このとき、オゾン分解触媒の分解性能を上げる必要が
なく、オゾン分解触媒に水分が付着しにくくなるように
する必要がなく、かつ活性炭を頻繁に交換する必要もな
い。
、まずオゾン分解触媒と接触する。このとき、オゾン含
有ガス中の水分によってオゾン分解触媒の活性が低下し
ても、オゾン含有ガスは高濃度でオゾン分解触媒に供給
されるため、そのオゾン分解触媒によって大部分のオゾ
ンが分解され、残った低濃度のオゾンを活性炭が吸着す
る。このため、この浄化装置及び浄化方法では、オゾン
分解触媒と活性炭とが互いの欠点をカバーし、かつ互い
の優れた分解性能及び吸着性能を同時に発揮する。また
、このとき、オゾン分解触媒の分解性能を上げる必要が
なく、オゾン分解触媒に水分が付着しにくくなるように
する必要がなく、かつ活性炭を頻繁に交換する必要もな
い。
オゾン分解触媒としてペレット触媒を用いる場合には、
ベレット形状への成形が容易であるため、さらに低コス
トである。また、ペレット触媒にあける小さな反応面積
に起因する低濃度域での反応速度の遅延は、低濃度域の
吸着性能に優れた下流側の活性炭により解決される。
ベレット形状への成形が容易であるため、さらに低コス
トである。また、ペレット触媒にあける小さな反応面積
に起因する低濃度域での反応速度の遅延は、低濃度域の
吸着性能に優れた下流側の活性炭により解決される。
[実施例コ
以下、本発明を浄化装置に具体化した実施例を比較例と
ともに説明する。
ともに説明する。
(実施例1)
実施例1の浄化装置は、第1図に示1−ように、容器1
と、この容器1の上流側に充填されたペレット触媒2と
、容器1の下流側に充填された活性炭3とからなる。
と、この容器1の上流側に充填されたペレット触媒2と
、容器1の下流側に充填された活性炭3とからなる。
容器1としては、内径5.5cm、長さ90Cmの円筒
状のものを用意した。
状のものを用意した。
ペレット触媒2は、無定形二酸化マンガン粉末(平均粒
径10μ77L)99重量部と、アルミナ粉末(平均粒
径0.01μTrL)からなるバインダ5O重量部とを
混練後、ディスクペレツタを用いて直径3mm、長さ5
mmに押出し成形し、これを300℃で乾燥することに
より、得たものである。
径10μ77L)99重量部と、アルミナ粉末(平均粒
径0.01μTrL)からなるバインダ5O重量部とを
混練後、ディスクペレツタを用いて直径3mm、長さ5
mmに押出し成形し、これを300℃で乾燥することに
より、得たものである。
活性炭3としては、市販品の10〜20メツシユの破砕
炭を用意した。
炭を用意した。
そして、容器1の上流側にベレット触tiX2を0゜6
、ll充填し、容器1の下流側に活性炭3を0.6g充
填し、実施例1の浄化装置を組付けた。なお、容器]の
入口側とペレット触媒2どの間、ペレット触媒2と活性
炭3との間及び活性炭3と容器1の出口側との間には、
それぞれ0.49以上の未充填の空間が設けられている
。
、ll充填し、容器1の下流側に活性炭3を0.6g充
填し、実施例1の浄化装置を組付けた。なお、容器]の
入口側とペレット触媒2どの間、ペレット触媒2と活性
炭3との間及び活性炭3と容器1の出口側との間には、
それぞれ0.49以上の未充填の空間が設けられている
。
(実施例2)
実施例2の浄化装置は、ペレット触媒2の代わりにペレ
ット触媒21を用いたものである。他の構成は実施例1
の浄化装置と同じである。
ット触媒21を用いたものである。他の構成は実施例1
の浄化装置と同じである。
ペレット触媒21は、ペレット触[2を塩化パラジウム
溶液中に浸漬することによりペレット触媒2にパラジウ
ムを1g/fJ担持させたものである。
溶液中に浸漬することによりペレット触媒2にパラジウ
ムを1g/fJ担持させたものである。
(比較例1)
比較例1の浄化装置は、容器1に活性炭3のみを1.8
J充填したものである。容器1及び活性炭3は実施例1
で使用したものと同じものである。
J充填したものである。容器1及び活性炭3は実施例1
で使用したものと同じものである。
なお、容器1の入口側と活性炭3との間及び活性炭3と
容器1の出口側との間には、それぞれ0゜452以上の
未充填の空間が設けられている。
容器1の出口側との間には、それぞれ0゜452以上の
未充填の空間が設けられている。
(比較例2)
比較例2の浄化装置は、容器1にベレット触媒2のみを
1.2j充填したものである。容器1及びベレット触媒
2は実施例1で使用したものと同じものである。なお、
容器1の入口側とベレット触媒2との間及びベレット触
媒2と容器1の出口側との間には、それぞれ0.49以
上の未充填の空間が設けられている。
1.2j充填したものである。容器1及びベレット触媒
2は実施例1で使用したものと同じものである。なお、
容器1の入口側とベレット触媒2との間及びベレット触
媒2と容器1の出口側との間には、それぞれ0.49以
上の未充填の空間が設けられている。
(比較例3)
比較例3の浄化装置は、容器1にベレット触媒2のみを
1.8g充填したものである。容器1及びベレット触媒
2は実施例1で使用したものと同じものである。なお、
容器1の入口側とベレット触媒2との間及びベレット触
w2と容器1の出口側との間には、それぞれ0.49以
上の未充填の空間が設けられている。
1.8g充填したものである。容器1及びベレット触媒
2は実施例1で使用したものと同じものである。なお、
容器1の入口側とベレット触媒2との間及びベレット触
w2と容器1の出口側との間には、それぞれ0.49以
上の未充填の空間が設けられている。
(比較例4)
比較例4の浄化装置は、容器1の上流側に活性炭3を0
.652充填し、容器1の下流側にベレット触媒2を0
.652充填したものである。容器1、活性炭3及びベ
レット触媒2は実施例1で使用したものと同じものであ
る。なお、容器1の入口側と活性炭3との間、活性炭3
とベレット触媒2との間及びベレット触媒2と容器1の
出口側との間には、それぞれ0.452以上の未充填の
空間が設けられている。
.652充填し、容器1の下流側にベレット触媒2を0
.652充填したものである。容器1、活性炭3及びベ
レット触媒2は実施例1で使用したものと同じものであ
る。なお、容器1の入口側と活性炭3との間、活性炭3
とベレット触媒2との間及びベレット触媒2と容器1の
出口側との間には、それぞれ0.452以上の未充填の
空間が設けられている。
(比較例5)
比較例5の浄化装置は、容器1の上流側に活性炭3をC
L 651!充填し、容器1の下流側にベレット触媒2
1を0.65!充填したものである。容器1、活性炭3
及びベレット触媒21は実施例2で使用したものと同じ
ものであり、他の構成は比較例4の浄化装置と同じであ
る。
L 651!充填し、容器1の下流側にベレット触媒2
1を0.65!充填したものである。容器1、活性炭3
及びベレット触媒21は実施例2で使用したものと同じ
ものであり、他の構成は比較例4の浄化装置と同じであ
る。
(評価)
第1図に示すように、各浄化装置の上流に流量計4を装
備し、かかる流量計4からオゾン含有ガスをオゾン濃度
2000ppm、エアー一定、流量1ON/min、温
度25℃、湿度90%の条件で容器1内に供給した。そ
して、各浄化装置から排出されるガスのオゾン出口濃度
(ppm)と耐久時間(Hr)とを測定した。結果を第
2図にボす。
備し、かかる流量計4からオゾン含有ガスをオゾン濃度
2000ppm、エアー一定、流量1ON/min、温
度25℃、湿度90%の条件で容器1内に供給した。そ
して、各浄化装置から排出されるガスのオゾン出口濃度
(ppm)と耐久時間(Hr)とを測定した。結果を第
2図にボす。
第2図に示されるように、実施例1.2の浄化装置は、
1000時間後であっても目標レベルの0、O5ppm
を充分に下回り、優れた耐久性能を有して浄化できるこ
とがわかる。また、実施例2の浄化装置の方か実施例1
のものよりヤヤ浄化性能に優れていることがわかる。従
って、実施例1.2の浄化装置では、高濃度域のオゾン
含有ガスを優れた耐久性能を有しかつ低コストで0.O
5ppm以下に浄化できることがわかる。
1000時間後であっても目標レベルの0、O5ppm
を充分に下回り、優れた耐久性能を有して浄化できるこ
とがわかる。また、実施例2の浄化装置の方か実施例1
のものよりヤヤ浄化性能に優れていることがわかる。従
って、実施例1.2の浄化装置では、高濃度域のオゾン
含有ガスを優れた耐久性能を有しかつ低コストで0.O
5ppm以下に浄化できることがわかる。
一方、活性炭3のみを1.5倍充填した比較例1の浄化
装置は、初期段階で0.001ppm以下の優れた浄化
性能を示すが、数10時間を超えた段階で0.O5pp
mを超えてしまうことがわかる。ベレット触媒2のみを
用いた比較例2及び比較例3の浄化装置は、ベレット触
媒2の充填量が多いほど浄化性能に優れることがわかる
が、いずれも数10〜数100時間程度で0.05pD
mを超えてしまうことがわかる。ベレット触媒2.21
及び活性炭3を実施例1及び実施例2の浄化装置と逆に
充填した比較例4及び比較例5の浄化装置は、初期段階
で優れた浄化性能を示すが、いずれも1000時間程度
で0.O5ppmを超えてしまうことかわかる。従って
、比較例1〜5の浄化装置では、いずれも耐久性能に劣
り、浄化が高コストとなることがわかる。
装置は、初期段階で0.001ppm以下の優れた浄化
性能を示すが、数10時間を超えた段階で0.O5pp
mを超えてしまうことがわかる。ベレット触媒2のみを
用いた比較例2及び比較例3の浄化装置は、ベレット触
媒2の充填量が多いほど浄化性能に優れることがわかる
が、いずれも数10〜数100時間程度で0.05pD
mを超えてしまうことがわかる。ベレット触媒2.21
及び活性炭3を実施例1及び実施例2の浄化装置と逆に
充填した比較例4及び比較例5の浄化装置は、初期段階
で優れた浄化性能を示すが、いずれも1000時間程度
で0.O5ppmを超えてしまうことかわかる。従って
、比較例1〜5の浄化装置では、いずれも耐久性能に劣
り、浄化が高コストとなることがわかる。
[発明の効果]
以上詳述したように、本発明のオゾン含有ガスの浄化装
置及び浄化方法では、オゾン含有ガスをまずオゾン分解
触媒と接触させてオゾンを分解することにより低濃度と
してから、残った低濃度のオゾンを活性炭に吸着させる
ため、優れた耐久性能を有して、低濃度域から高濃度域
までのオゾン含有ガスを0.05pDm以下に浄化でき
る。
置及び浄化方法では、オゾン含有ガスをまずオゾン分解
触媒と接触させてオゾンを分解することにより低濃度と
してから、残った低濃度のオゾンを活性炭に吸着させる
ため、優れた耐久性能を有して、低濃度域から高濃度域
までのオゾン含有ガスを0.05pDm以下に浄化でき
る。
また、このとき、オゾン分解触媒の分解性能を上げたり
、オゾン分解触媒に水分が付着しにくくなるようにする
必要がなく、かつ活性炭を頓繁に交換する必要もないた
め、低いコストで浄化を行なうことができる。
、オゾン分解触媒に水分が付着しにくくなるようにする
必要がなく、かつ活性炭を頓繁に交換する必要もないた
め、低いコストで浄化を行なうことができる。
第1図は実施例及び比較例の浄化装置を示す模式断面図
、第2図は実施例及び比較例の浄化性能を示すグラフで
ある。
、第2図は実施例及び比較例の浄化性能を示すグラフで
ある。
Claims (2)
- (1)オゾン含有ガスを浄化する浄化装置において、 前記浄化装置は、上流側にオゾン分解触媒が配設され、 下流側に活性炭が配設されていることを特徴とするオゾ
ン含有ガスの浄化装置。 - (2)オゾン含有ガスをオゾン分解触媒と接触させる第
1工程と、 該第1工程を経た該オゾン含有ガスを活性炭に吸着させ
る第2工程とからなることを特徴とするオゾン含有ガス
の浄化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2096942A JPH03293018A (ja) | 1990-04-12 | 1990-04-12 | オゾン含有ガスの浄化装置及び浄化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2096942A JPH03293018A (ja) | 1990-04-12 | 1990-04-12 | オゾン含有ガスの浄化装置及び浄化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03293018A true JPH03293018A (ja) | 1991-12-24 |
Family
ID=14178377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2096942A Pending JPH03293018A (ja) | 1990-04-12 | 1990-04-12 | オゾン含有ガスの浄化装置及び浄化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03293018A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5837036A (en) * | 1994-07-21 | 1998-11-17 | Ticona Gmbh | Process and filter for removing organic substances and ozone from gases |
| US7396516B2 (en) | 2000-11-20 | 2008-07-08 | Johnson Matthey Public Limited Company | Manganese containing oxygen storage component comprising three-way catalyst composition |
-
1990
- 1990-04-12 JP JP2096942A patent/JPH03293018A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5837036A (en) * | 1994-07-21 | 1998-11-17 | Ticona Gmbh | Process and filter for removing organic substances and ozone from gases |
| US7396516B2 (en) | 2000-11-20 | 2008-07-08 | Johnson Matthey Public Limited Company | Manganese containing oxygen storage component comprising three-way catalyst composition |
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