JPH0329366A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH0329366A JPH0329366A JP1160844A JP16084489A JPH0329366A JP H0329366 A JPH0329366 A JP H0329366A JP 1160844 A JP1160844 A JP 1160844A JP 16084489 A JP16084489 A JP 16084489A JP H0329366 A JPH0329366 A JP H0329366A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- state image
- image sensor
- sensor chip
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
- H10W72/874—On different surfaces
- H10W72/884—Die-attach connectors and bond wires
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、固体撮像装置のうち、固体撮像素子チップを
封入するパッケージに関するものである.(従来の技術
) ビデオカメラなどの撮像装置に用いられる固体撮像素子
は小型,軽量、長寿命などの特長から、その開発が盛ん
に行われており,現在は,特に多画素,高密度化が進め
られている.固体撮像素子は,その多画素,高密度化に
伴い水平転送の高速化が必要となるが,これは水平転送
部の発熱を招く.この発熱で固体撮像素子全体の温度が
上がると暗電流の増加による面ざらが大きな問題となる
.これに対して従来は,固体撮像素子チップを封入した
パッケージの外部から空冷また4ま電子冷却により、素
子チップの温度を下げていた。以下,図面を参照しなが
ら、上述したような従来のパッケージについて説明する
. 第2図は従来の、固体撮像素子チップを封入したパッケ
ージの断面模式図を示すものである.第2図において1
は固体撮像素子チップ、2は固体撮像素子チップをマウ
ントするためのマウント材,3はセラミック基板,4は
封止ガラスで5はその封止材、6は導電配線、7は固体
撮像素子lのパッドとセラミック基板3の導電配線6を
電気的に接続させるボンデイングワイヤ,8は外部電極
ピンとなっている. 以上のように構成された固体撮豫素子チップを封入する
パッケージについて、以下その機能を説明する. セラミック基板3はその中央ベース部に固体撮像素子チ
ップ1をマウント材2によりマウント、固定するように
なっており、固体撮像素子チップ1を気密封止するため
に封止ガラス4を封止材5で固着する.また動作に必要
な駆動パルス、電源電位は外部電極ピン8より与えられ
、導電配線6よりボンディングワイヤ7を通して固体撮
像素子チップ1に印加されるようになっている。特にカ
メラ実装時のチップの冷却はパッケージ裏面の電子冷却
やファンによる空冷が行われていた.(発明が解決しよ
うとする課題) 上記のような構成では,固体撮像素子チップを封止する
パッケージがセラミックで形成されているため、素子チ
ップと外部との熱抵抗が高く,カメラなど撮像装置への
実装時に十分な素子チップの冷却効果が得られない、と
いう欠点を有していた. 本発明の目的は上記欠点に鑑み、固体撮像素子チップと
外部との熱抵抗を大幅に小さくして素子チップの冷却効
果を改善し、暗電流等による面ざらなどの問題を改良し
た固体級像装置を提供することである。
封入するパッケージに関するものである.(従来の技術
) ビデオカメラなどの撮像装置に用いられる固体撮像素子
は小型,軽量、長寿命などの特長から、その開発が盛ん
に行われており,現在は,特に多画素,高密度化が進め
られている.固体撮像素子は,その多画素,高密度化に
伴い水平転送の高速化が必要となるが,これは水平転送
部の発熱を招く.この発熱で固体撮像素子全体の温度が
上がると暗電流の増加による面ざらが大きな問題となる
.これに対して従来は,固体撮像素子チップを封入した
パッケージの外部から空冷また4ま電子冷却により、素
子チップの温度を下げていた。以下,図面を参照しなが
ら、上述したような従来のパッケージについて説明する
. 第2図は従来の、固体撮像素子チップを封入したパッケ
ージの断面模式図を示すものである.第2図において1
は固体撮像素子チップ、2は固体撮像素子チップをマウ
ントするためのマウント材,3はセラミック基板,4は
封止ガラスで5はその封止材、6は導電配線、7は固体
撮像素子lのパッドとセラミック基板3の導電配線6を
電気的に接続させるボンデイングワイヤ,8は外部電極
ピンとなっている. 以上のように構成された固体撮豫素子チップを封入する
パッケージについて、以下その機能を説明する. セラミック基板3はその中央ベース部に固体撮像素子チ
ップ1をマウント材2によりマウント、固定するように
なっており、固体撮像素子チップ1を気密封止するため
に封止ガラス4を封止材5で固着する.また動作に必要
な駆動パルス、電源電位は外部電極ピン8より与えられ
、導電配線6よりボンディングワイヤ7を通して固体撮
像素子チップ1に印加されるようになっている。特にカ
メラ実装時のチップの冷却はパッケージ裏面の電子冷却
やファンによる空冷が行われていた.(発明が解決しよ
うとする課題) 上記のような構成では,固体撮像素子チップを封止する
パッケージがセラミックで形成されているため、素子チ
ップと外部との熱抵抗が高く,カメラなど撮像装置への
実装時に十分な素子チップの冷却効果が得られない、と
いう欠点を有していた. 本発明の目的は上記欠点に鑑み、固体撮像素子チップと
外部との熱抵抗を大幅に小さくして素子チップの冷却効
果を改善し、暗電流等による面ざらなどの問題を改良し
た固体級像装置を提供することである。
(課題を解決するための手段)
本発明の固体撮像装置は、固体撮像素子チップを封止固
着するベース部と、ワイヤーボンドより外部電極ピンへ
の配線部を有する固体撮像装置のパッケージにおいて,
固体撮像素子チップをマウントするベース部を開口して
熱伝導率の良い材料を挿入固着し、その上に素子チップ
をマウントして、この素子チップとパッケージ外部との
熱抵抗を小さく構威したものである。
着するベース部と、ワイヤーボンドより外部電極ピンへ
の配線部を有する固体撮像装置のパッケージにおいて,
固体撮像素子チップをマウントするベース部を開口して
熱伝導率の良い材料を挿入固着し、その上に素子チップ
をマウントして、この素子チップとパッケージ外部との
熱抵抗を小さく構威したものである。
(作 用)
この構成によって、固体撮像素子の動作時における温度
上昇を抑え,暗電流等発熱によるノイズを低減して高レ
ベルの画質を実現できることとなる. (実施例) 以下,本発明の一実施例について,図面を参照しながら
説明する. 第1図は本発明の一実施例における固体撮像素子チップ
を封入したパッケージの断面模式図を示すものである.
本実施例における固体撮像装置の素子チップを封入した
パッケージは、第2図において固体撮像素子チップをマ
ウントするセラミック基板のベース部を開口し、メタル
ベースを埋め込んだ構造からなる. 第1図において1は固体撮像素子チップ、2は固体撮像
素子チップ1をマウントするためのマウント材、3はセ
ラミック基板、4は封止ガラス、5はその封止材、6は
導電配線、7は固体撮像素子チップ1のパッドとセラミ
ック基板3の導電配線6を電気的に接続させるボンディ
ングワイヤ、8は外部電極ピンであり,9はメタルのベ
ース部,10はメタルのベース部9とセラミック基板3
を固定する固着材である. 以上のように構成された固体撮像素子チップを封入した
パッケージについて、以下その機能を説明する.セラミ
ック基板3の中央部に固着材10で固定したメタルベー
ス部9上に固体撮像素子チップ1をマウント材2により
マウント、固定する。
上昇を抑え,暗電流等発熱によるノイズを低減して高レ
ベルの画質を実現できることとなる. (実施例) 以下,本発明の一実施例について,図面を参照しながら
説明する. 第1図は本発明の一実施例における固体撮像素子チップ
を封入したパッケージの断面模式図を示すものである.
本実施例における固体撮像装置の素子チップを封入した
パッケージは、第2図において固体撮像素子チップをマ
ウントするセラミック基板のベース部を開口し、メタル
ベースを埋め込んだ構造からなる. 第1図において1は固体撮像素子チップ、2は固体撮像
素子チップ1をマウントするためのマウント材、3はセ
ラミック基板、4は封止ガラス、5はその封止材、6は
導電配線、7は固体撮像素子チップ1のパッドとセラミ
ック基板3の導電配線6を電気的に接続させるボンディ
ングワイヤ、8は外部電極ピンであり,9はメタルのベ
ース部,10はメタルのベース部9とセラミック基板3
を固定する固着材である. 以上のように構成された固体撮像素子チップを封入した
パッケージについて、以下その機能を説明する.セラミ
ック基板3の中央部に固着材10で固定したメタルベー
ス部9上に固体撮像素子チップ1をマウント材2により
マウント、固定する。
固体撮像素子チップ1を気密封止するために封止ガラス
4を封止材5で固着する.また動作に必要な駆動パルス
、電源電位は外部電極ピン8より与えられ、導電配線6
よりボンディングワイヤ7を通して固体撮像素子チップ
1に印加されるようになっている.カメラ実装時の固体
撮像素子チップ1の冷却はメタルベース部9を介して行
うことができる. 以上のように本実施例によれば,従来のセラミック基板
の中央部に設けたメタルベース上に固体撮像素子チップ
をマウントすることで、素子チップの外部からの冷却に
対してその冷却効率をあげることを可能にし、暗電流等
素子チップの発熱によるノイズを改善した固体撮像装置
を実現することができる. なお、本実施例ではセラミック基板中央のベースをメタ
ルとしたが、これは熱伝導の良いものであれば他のもの
でもよい. (発明の効果) 本発明によれば、固体撮像素子チップを封入するパッケ
ージについて、そのセラミック基板中央部を熱良導体例
えばメタルベースで構成することにより,固体撮像装置
外部からの素子チップの冷却効率をあげることを可能に
し、暗電流等素子チップの発熱によるノイズを改善した
固体撮像装置を実現することができ、その実用的効果は
大なるものがある.
4を封止材5で固着する.また動作に必要な駆動パルス
、電源電位は外部電極ピン8より与えられ、導電配線6
よりボンディングワイヤ7を通して固体撮像素子チップ
1に印加されるようになっている.カメラ実装時の固体
撮像素子チップ1の冷却はメタルベース部9を介して行
うことができる. 以上のように本実施例によれば,従来のセラミック基板
の中央部に設けたメタルベース上に固体撮像素子チップ
をマウントすることで、素子チップの外部からの冷却に
対してその冷却効率をあげることを可能にし、暗電流等
素子チップの発熱によるノイズを改善した固体撮像装置
を実現することができる. なお、本実施例ではセラミック基板中央のベースをメタ
ルとしたが、これは熱伝導の良いものであれば他のもの
でもよい. (発明の効果) 本発明によれば、固体撮像素子チップを封入するパッケ
ージについて、そのセラミック基板中央部を熱良導体例
えばメタルベースで構成することにより,固体撮像装置
外部からの素子チップの冷却効率をあげることを可能に
し、暗電流等素子チップの発熱によるノイズを改善した
固体撮像装置を実現することができ、その実用的効果は
大なるものがある.
第1図は本発明の一実施例における固体撮像装置の固体
撮像素子チップを封入したパッケージの断面構造を説明
するための模式図,第2図は従来の固体撮像装置のパッ
ケージの断面構造を説明するための模式図である。 1 ・・・固体撮像素子チップ、 2・・・マウント材
, 3 ・・・セラミック基板, 4封止ガラス、 5
・・・封止材、 6 ・・・導電配線、 7・・・ボン
ディングワイヤ、8・・・外部電極ピン、 9 ・・・
メタルベー入部、 10 固着材.
撮像素子チップを封入したパッケージの断面構造を説明
するための模式図,第2図は従来の固体撮像装置のパッ
ケージの断面構造を説明するための模式図である。 1 ・・・固体撮像素子チップ、 2・・・マウント材
, 3 ・・・セラミック基板, 4封止ガラス、 5
・・・封止材、 6 ・・・導電配線、 7・・・ボン
ディングワイヤ、8・・・外部電極ピン、 9 ・・・
メタルベー入部、 10 固着材.
Claims (1)
- 固体撮像素子チップを封止固着するベース部と、ワイヤ
ーボンドより外部電極ピンへの配線部を有する固体撮像
装置のパッケージにおいて、前記固体撮像素子チップを
マウントするベース部を開口して熱伝導率の良い材料を
挿入固着し、その上に素子チップをマウントして前記素
子チップとパッケージ外部との熱抵抗を小さく構成した
ことを特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1160844A JPH0329366A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1160844A JPH0329366A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0329366A true JPH0329366A (ja) | 1991-02-07 |
Family
ID=15723632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1160844A Pending JPH0329366A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0329366A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5751059A (en) * | 1992-06-19 | 1998-05-12 | Thomson-Csf Semiconducteurs Specifiques | Pyroelectric sensor |
| US6392309B1 (en) * | 1995-08-25 | 2002-05-21 | Sony Corporation | Semiconductor device including solid state imaging device |
| JP2006332841A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Shimadzu Corp | 撮像素子組立体 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5610975A (en) * | 1979-07-09 | 1981-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Semiconductor device |
| JPH01303745A (ja) * | 1988-06-01 | 1989-12-07 | Hitachi Ltd | 固体撮像素子のパツケージ |
-
1989
- 1989-06-26 JP JP1160844A patent/JPH0329366A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5610975A (en) * | 1979-07-09 | 1981-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Semiconductor device |
| JPH01303745A (ja) * | 1988-06-01 | 1989-12-07 | Hitachi Ltd | 固体撮像素子のパツケージ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5751059A (en) * | 1992-06-19 | 1998-05-12 | Thomson-Csf Semiconducteurs Specifiques | Pyroelectric sensor |
| US6392309B1 (en) * | 1995-08-25 | 2002-05-21 | Sony Corporation | Semiconductor device including solid state imaging device |
| JP2006332841A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Shimadzu Corp | 撮像素子組立体 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4551760A (en) | Television camera with solid-state imagers cooled by a thermal servo | |
| EP0828298A2 (en) | Imaging apparatus and process for producing the same | |
| CN101847644A (zh) | 半导体器件 | |
| JPWO2020039733A1 (ja) | 半導体装置、電子機器、および半導体装置の製造方法 | |
| JPH01295449A (ja) | 冷却型固体撮像装置 | |
| JPH04164361A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
| JPH01303745A (ja) | 固体撮像素子のパツケージ | |
| JP3239640B2 (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
| JPH04171994A (ja) | 駆動部品 | |
| JPH0329366A (ja) | 固体撮像装置 | |
| WO2022259684A1 (ja) | 固体撮像装置および電子機器 | |
| JP7853279B2 (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法及び電子機器 | |
| GB2146865A (en) | Camera with reduced condensation cooled solid-state imager | |
| JP2002009211A (ja) | 撮像装置及び冷却材ユニット | |
| JPH1169241A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法 | |
| JPH0955489A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JP3013612B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP2001148437A (ja) | 固体撮像素子パッケージ | |
| JPH0435373A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JP3235346B2 (ja) | Icパッケージ | |
| JPH0412556A (ja) | 半導体装置の放熱構造 | |
| CN1870283A (zh) | 图像拾取元件组件和图像拾取元件 | |
| JPS6086973A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JP3449312B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPS6190459A (ja) | 固体撮像素子のパツケ−ジ |