JPH03296476A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH03296476A JPH03296476A JP9732790A JP9732790A JPH03296476A JP H03296476 A JPH03296476 A JP H03296476A JP 9732790 A JP9732790 A JP 9732790A JP 9732790 A JP9732790 A JP 9732790A JP H03296476 A JPH03296476 A JP H03296476A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- tank
- air
- cleaned
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はプリント基板、印刷用スクリーン、機械部品等
の種々の被洗浄物を洗浄する洗浄装置に係るもので、被
洗浄物を洗浄槽から取り出す事なく、洗浄槽内で乾燥す
ることを目的するものである。
の種々の被洗浄物を洗浄する洗浄装置に係るもので、被
洗浄物を洗浄槽から取り出す事なく、洗浄槽内で乾燥す
ることを目的するものである。
従来の技術
従来、液洗浄を行った被洗浄物を乾燥するには、洗浄槽
から被洗浄物を取り出し、他の乾燥装置に収納して乾燥
するか、人気中で自然乾燥することが行われている。
から被洗浄物を取り出し、他の乾燥装置に収納して乾燥
するか、人気中で自然乾燥することが行われている。
しかしながら、洗浄液がフロンとか、トリクロールエチ
レン等の、人体、周囲の環境に有害な溶剤を用いる場合
は、被洗浄物を洗浄槽から取り出し他の乾燥装置に移動
する過程で、有害な溶剤の拡散が行われ、作業者や、周
囲の環境に悪影響を及ぼすものであった。
レン等の、人体、周囲の環境に有害な溶剤を用いる場合
は、被洗浄物を洗浄槽から取り出し他の乾燥装置に移動
する過程で、有害な溶剤の拡散が行われ、作業者や、周
囲の環境に悪影響を及ぼすものであった。
また洗浄液が、トルエン、キシレン等の可燃性溶剤であ
る場合には、被洗浄物を洗浄槽から取り出し他の乾燥装
置に移動する過程で、引火の危険があり安全な作業を阻
害するものであった。
る場合には、被洗浄物を洗浄槽から取り出し他の乾燥装
置に移動する過程で、引火の危険があり安全な作業を阻
害するものであった。
発明が解決しようとする課題
本発明は上述のごとき課題を解決しようとするものであ
って、液洗浄を完了した被洗浄物を、洗浄槽から取り出
す事なく、洗浄槽内で乾燥作業を行うことを可能にし、
作業者や、周囲の環境に悪影響を及ぼす溶剤の拡散を防
止するとともに洗浄液が可燃性溶剤である場合には、引
火の危険を除去しようとするものである。
って、液洗浄を完了した被洗浄物を、洗浄槽から取り出
す事なく、洗浄槽内で乾燥作業を行うことを可能にし、
作業者や、周囲の環境に悪影響を及ぼす溶剤の拡散を防
止するとともに洗浄液が可燃性溶剤である場合には、引
火の危険を除去しようとするものである。
課題を解決するための手段
本発明は上述のごとき!lIMを解決するため、被洗浄
物の液体洗浄を行う洗浄槽に、洗浄液を充填した洗浄液
タンクを接続し、この洗浄液タンクと洗浄槽とを、洗浄
液タンクに洗浄液を還流する還流ポンプを介して接続す
るとともに洗浄槽に、空気の導入を行う空気導入管と空
気の導出を行う空気排出管とを接続して成るものである
。
物の液体洗浄を行う洗浄槽に、洗浄液を充填した洗浄液
タンクを接続し、この洗浄液タンクと洗浄槽とを、洗浄
液タンクに洗浄液を還流する還流ポンプを介して接続す
るとともに洗浄槽に、空気の導入を行う空気導入管と空
気の導出を行う空気排出管とを接続して成るものである
。
また洗浄液タンクと還流ポンプとの間には、洗浄液r適
用のフィルタを位置したものであっても良い。
用のフィルタを位置したものであっても良い。
作 用
上述のごとく構成したものに於いて、印刷用のスクリー
ン、プリント基板等の被洗浄物の洗浄を行うには、被洗
浄物を洗浄槽に収納した後、洗浄槽に洗浄液タンクから
洗浄液を充填する。そして、超音波洗浄、揺動洗浄等の
適宜の洗浄方法により被洗浄物の洗浄を行う、この被洗
浄物の洗浄を完了したら、洗浄槽内の洗浄液を、ドレン
タンク等の排出部に排出するか、洗浄液タンクに還流し
、被洗浄物のみを洗浄槽内に残留させる。
ン、プリント基板等の被洗浄物の洗浄を行うには、被洗
浄物を洗浄槽に収納した後、洗浄槽に洗浄液タンクから
洗浄液を充填する。そして、超音波洗浄、揺動洗浄等の
適宜の洗浄方法により被洗浄物の洗浄を行う、この被洗
浄物の洗浄を完了したら、洗浄槽内の洗浄液を、ドレン
タンク等の排出部に排出するか、洗浄液タンクに還流し
、被洗浄物のみを洗浄槽内に残留させる。
次に、空気導入管から洗浄槽に乾燥空気を導入するとと
もに空気排出管により、溶剤ガスを含んだ空気を洗浄槽
の外に排出する。この排出した溶剤ガスを含む空気は、
溶剤除去装置に導いて溶剤分を除去する。しかしながら
、溶剤除去装置を1回通過させるだけで溶剤分を除去出
来ない場合は、この溶剤残留空気を、空気導入管を介し
て再度洗浄槽に循環させる工程を繰り返すことにより、
溶剤分の除去を確実に行うことができる。
もに空気排出管により、溶剤ガスを含んだ空気を洗浄槽
の外に排出する。この排出した溶剤ガスを含む空気は、
溶剤除去装置に導いて溶剤分を除去する。しかしながら
、溶剤除去装置を1回通過させるだけで溶剤分を除去出
来ない場合は、この溶剤残留空気を、空気導入管を介し
て再度洗浄槽に循環させる工程を繰り返すことにより、
溶剤分の除去を確実に行うことができる。
従って、洗浄作業の完了した被洗浄物は、洗浄槽より取
り出す事なく乾燥を完了するから、洗浄作業と乾燥作業
とを一連に行うことができ、作業性を向上出来るばかり
でなく、溶剤ガスの外部への流出を防止できるものであ
る。
り出す事なく乾燥を完了するから、洗浄作業と乾燥作業
とを一連に行うことができ、作業性を向上出来るばかり
でなく、溶剤ガスの外部への流出を防止できるものであ
る。
また被洗浄物の液洗浄時に、洗浄槽内の洗浄液を、フィ
ルターを通過し濾過してがら洗浄液タンクに還流し、こ
の濾過洗浄液を洗浄槽に還流する事を繰り返せば、洗浄
液は常時清浄に保たれたまま、被洗浄物の洗浄を行うこ
とができる。
ルターを通過し濾過してがら洗浄液タンクに還流し、こ
の濾過洗浄液を洗浄槽に還流する事を繰り返せば、洗浄
液は常時清浄に保たれたまま、被洗浄物の洗浄を行うこ
とができる。
実施例
以下本発明の一実施例を説明すれば、(1)は洗浄槽で
、超音波の透過が可能な厚み31以下の金属等の透過材
にて、少なくとも1つの側W(2)を形成する。この洗
浄槽(1)は上端に蓋体(3)を設けて被洗浄物(4)
の出入口(5)とし、下端にはドレン管(6)を接続し
ドレンバルブ(7)を介してドレンタンク(8)に連通
している。またドレンバルブ(7)と洗浄槽(1)との
間のドレン管(6)に、洗浄液(9)の供給管(10)
を接続する。そしてこの供給管(10〉の他端を、供給
バルブ(11)を介して洗浄槽(1)よりも上方に位置
した洗浄液タンク(12)に接続している。この洗浄液
タンク(12)は、内部上方に還流管(13)の排出口
を開口し、この還流管(13)を、第1還流弁(14)
、第2還流弁(15)およびフィルター(16)を介し
て還流ポンプ(17)に接続している。またこの還流ポ
ンプ(17)は、還流ポンプ(17)方向にのみ開弁す
るチエツキ弁(18)を介して前記のドレンタンク(8
)に接続している。また洗浄槽(1)の上端方向には、
空気導入管(20〉を接続し、この空気導入管(20)
を、空気導入弁(21)を介して空気供給口(22)に
接続している。また洗浄槽(1)と空気導入弁(21ン
との間の空気導入管(20)には、循環管(23)の一
端を接続し、この循環管(23)を、循環弁(24)を
介して第1還流弁(14)と第2還流弁(15)との間
の還流管(13)に接続している。
、超音波の透過が可能な厚み31以下の金属等の透過材
にて、少なくとも1つの側W(2)を形成する。この洗
浄槽(1)は上端に蓋体(3)を設けて被洗浄物(4)
の出入口(5)とし、下端にはドレン管(6)を接続し
ドレンバルブ(7)を介してドレンタンク(8)に連通
している。またドレンバルブ(7)と洗浄槽(1)との
間のドレン管(6)に、洗浄液(9)の供給管(10)
を接続する。そしてこの供給管(10〉の他端を、供給
バルブ(11)を介して洗浄槽(1)よりも上方に位置
した洗浄液タンク(12)に接続している。この洗浄液
タンク(12)は、内部上方に還流管(13)の排出口
を開口し、この還流管(13)を、第1還流弁(14)
、第2還流弁(15)およびフィルター(16)を介し
て還流ポンプ(17)に接続している。またこの還流ポ
ンプ(17)は、還流ポンプ(17)方向にのみ開弁す
るチエツキ弁(18)を介して前記のドレンタンク(8
)に接続している。また洗浄槽(1)の上端方向には、
空気導入管(20〉を接続し、この空気導入管(20)
を、空気導入弁(21)を介して空気供給口(22)に
接続している。また洗浄槽(1)と空気導入弁(21ン
との間の空気導入管(20)には、循環管(23)の一
端を接続し、この循環管(23)を、循環弁(24)を
介して第1還流弁(14)と第2還流弁(15)との間
の還流管(13)に接続している。
また供給バルブ〈11)とドレン管(6)との間の供給
管(10)には、空気排出管(25)を接続し、この空
気排出管(25〉の外端部に開閉弁(26)を設けてい
る。
管(10)には、空気排出管(25)を接続し、この空
気排出管(25〉の外端部に開閉弁(26)を設けてい
る。
また洗浄槽(1)の、超音波透過材にて形成した側壁(
2)に隣接して、超音波振動子(27)を位置している
。この超音波振動子(27)は、水等の液体(28)を
充填した液槽(30)内に洗浄槽(1)とともに収納し
、この液槽く30)の上下方向に設けた支持杆(31)
に、摺動可能に接続することにより、液槽(30)内で
上下動可能に位置している。
2)に隣接して、超音波振動子(27)を位置している
。この超音波振動子(27)は、水等の液体(28)を
充填した液槽(30)内に洗浄槽(1)とともに収納し
、この液槽く30)の上下方向に設けた支持杆(31)
に、摺動可能に接続することにより、液槽(30)内で
上下動可能に位置している。
またこの超音波振動子(27)には、浮子(32)を固
定し、この浮子(32)は、液体(28)中で超音波振
動子(27)を浮上させる事が可能な浮力を有している
。また液槽(30)の下底方向には、液供給管(33)
を接続し、この液供給管(33)を、液供給弁(34)
を介して液体(28)のリザーブタンク(35)に接続
している。またこのリザーブタンク(35)には、内部
の上方に排出口を開口して液体還流管(36)を設置し
、この液体還流管(36)を、液体(28)の流入出を
lIJ復する注入出ポンプ(37)を介して、液供給管
(33)に接続し、液槽(30)への液体(28)の流
入出を任意に制御し得るものとしている。
定し、この浮子(32)は、液体(28)中で超音波振
動子(27)を浮上させる事が可能な浮力を有している
。また液槽(30)の下底方向には、液供給管(33)
を接続し、この液供給管(33)を、液供給弁(34)
を介して液体(28)のリザーブタンク(35)に接続
している。またこのリザーブタンク(35)には、内部
の上方に排出口を開口して液体還流管(36)を設置し
、この液体還流管(36)を、液体(28)の流入出を
lIJ復する注入出ポンプ(37)を介して、液供給管
(33)に接続し、液槽(30)への液体(28)の流
入出を任意に制御し得るものとしている。
上述のごとく構成したものにおいて、被洗浄物(4)の
洗浄を行うには、被洗浄物(4)を洗浄槽(1)に収納
する。この収納は、洗浄槽(1)の蓋体(3)を開いて
、出入口(5)から被洗浄物(4)を洗浄槽(1)に収
納する0次に、洗浄液タンクく12)の洗浄液(9)を
、供給バルブ(11ンを開弁した供給管(10)を介し
て洗浄槽(1)に落差を利用し゛〔充填する。
洗浄を行うには、被洗浄物(4)を洗浄槽(1)に収納
する。この収納は、洗浄槽(1)の蓋体(3)を開いて
、出入口(5)から被洗浄物(4)を洗浄槽(1)に収
納する0次に、洗浄液タンクく12)の洗浄液(9)を
、供給バルブ(11ンを開弁した供給管(10)を介し
て洗浄槽(1)に落差を利用し゛〔充填する。
次に超音波振動子(27)を収納した液槽(30)に、
水等の液体(28)を注入する。この注入は、液槽(3
0)よりも上部に位置した液体(28)のリザーブタン
ク(35)から、液供給弁(34)を開弁して液供給管
(33)により落差を利用して行う。
水等の液体(28)を注入する。この注入は、液槽(3
0)よりも上部に位置した液体(28)のリザーブタン
ク(35)から、液供給弁(34)を開弁して液供給管
(33)により落差を利用して行う。
この液槽(30〉への液体の注入によって、液体(28
)中で超音波振動子(27)の浮上が可能な浮子(32
)の作用により、発信状態の超音波振動子く27)を上
昇させる。この上昇速度は、液槽く30〉への液体(2
8)の注入速度により任意に調整できる。そしてこの超
音波振動子(27〉の上昇に伴って、洗浄槽(1)に収
納した印刷用のスクリーン、プリント基板等の上下方向
に大きな被洗浄物(4)、または上下方向に多量に位置
する機械部品等の被洗浄物(4)は、超音波振動子(2
7)から発信する超音波により、下から上方に順次超音
波洗浄される。また洗浄槽(1)は、側壁く2)を、超
音波の透過が可能な透過材にて形成しているから、超音
波を、減衰する事なく被洗浄物(4)に当てることがで
きるとともに超音波振動子(27)を、有機溶剤等の洗
浄液(9〉に接触させることがないがら、超音波振動子
(27)の長期間の使用を可能とする。
)中で超音波振動子(27)の浮上が可能な浮子(32
)の作用により、発信状態の超音波振動子く27)を上
昇させる。この上昇速度は、液槽く30〉への液体(2
8)の注入速度により任意に調整できる。そしてこの超
音波振動子(27〉の上昇に伴って、洗浄槽(1)に収
納した印刷用のスクリーン、プリント基板等の上下方向
に大きな被洗浄物(4)、または上下方向に多量に位置
する機械部品等の被洗浄物(4)は、超音波振動子(2
7)から発信する超音波により、下から上方に順次超音
波洗浄される。また洗浄槽(1)は、側壁く2)を、超
音波の透過が可能な透過材にて形成しているから、超音
波を、減衰する事なく被洗浄物(4)に当てることがで
きるとともに超音波振動子(27)を、有機溶剤等の洗
浄液(9〉に接触させることがないがら、超音波振動子
(27)の長期間の使用を可能とする。
また超音波振動子(27)が、液槽(30)の上端まで
移動したら、液槽(30)から液体(28)を抜き取る
ことにより、超音波振動子(27)を下降させることが
できる。この超音波振動子く27)の下降は、液供給弁
(34)を閉止した後、注入出ポンプ(37)を作動し
、液体還流管(36)を介してリザーブタンク(35)
に液体(28)を還流させて行う、この下降時にも、超
音波振動子(27)を作動させて、被洗浄物(4)の超
音波洗浄を行うことが可能であるし、超音波振動子(2
7)を複数回上下動させれば更に確実な洗浄効果を得る
ことができる。
移動したら、液槽(30)から液体(28)を抜き取る
ことにより、超音波振動子(27)を下降させることが
できる。この超音波振動子く27)の下降は、液供給弁
(34)を閉止した後、注入出ポンプ(37)を作動し
、液体還流管(36)を介してリザーブタンク(35)
に液体(28)を還流させて行う、この下降時にも、超
音波振動子(27)を作動させて、被洗浄物(4)の超
音波洗浄を行うことが可能であるし、超音波振動子(2
7)を複数回上下動させれば更に確実な洗浄効果を得る
ことができる。
また被洗浄物(4)の超音波洗浄時には、第1還流弁(
14)、供給バルブ(11)、空気導入弁(21)を閉
止し、第2還流弁(15)、循環弁(24)、ドレンバ
ルブ(7)を開弁じ、還流ポンプ(17)を作動する。
14)、供給バルブ(11)、空気導入弁(21)を閉
止し、第2還流弁(15)、循環弁(24)、ドレンバ
ルブ(7)を開弁じ、還流ポンプ(17)を作動する。
この還流ポンプ(17)の作動により、洗浄液(9)は
、ドレン管(6)、ドレンバルブ(7)、ドレンタンク
(8)の底部、チエツキ弁(18)、還流ポンプ(17
)、還流管(13)を介してフィルター(1,6)を通
過し、このフィルター(16)により沢過される。この
濾過された洗浄液(9)は第2還流弁(15)、循環管
く23)、循環弁(24)、空気導入管(20)を介し
て洗浄槽(1)の上部に還流する。この循環還流を繰り
返せば、洗浄液(9〉は常時清浄に保たれたまま、被洗
浄物(4)の洗浄を行うことがてきる。
、ドレン管(6)、ドレンバルブ(7)、ドレンタンク
(8)の底部、チエツキ弁(18)、還流ポンプ(17
)、還流管(13)を介してフィルター(1,6)を通
過し、このフィルター(16)により沢過される。この
濾過された洗浄液(9)は第2還流弁(15)、循環管
く23)、循環弁(24)、空気導入管(20)を介し
て洗浄槽(1)の上部に還流する。この循環還流を繰り
返せば、洗浄液(9〉は常時清浄に保たれたまま、被洗
浄物(4)の洗浄を行うことがてきる。
そして、被洗浄物(4)の洗浄を完了したら、ドレンバ
ルブ(7)を開弁するとともに、供給バルブ(11)を
閉止し、洗浄槽(1)内の洗浄液(9)をドレンタンク
(8)に排出し、被洗浄物(4)のみを洗浄槽(1)内
に残留させる0次にドレンバルブ(7)、循環弁(24
)、供給バルブ(11)、を閉止し、空気導入管(20
)、開閉弁く26)を開弁した状態で、空気供給口(2
2)から乾燥空気を導入する。この乾燥空気は、空気導
入管(20)、空気導入弁〈21)を介して洗浄液(9
)の抜き取られた洗浄槽(1)に流入し、被洗浄物(4
)を乾燥する。被洗浄物(4)から洗浄液(9)の溶剤
骨を除去した空気は、ドレン管(6)、供給管(10)
、空気排出管(25)、開閉弁(26〉を通って溶剤除
去装置に導かれる。従って、洗浄作業の完了した被洗浄
物(4)は、洗浄槽(1)から取り出す事なく乾燥を完
了する。そのため洗浄作業と乾燥作業とを一連に行うこ
とができ、作業性を向上出来るばかりでなく、溶剤ガス
の外部への流出を防止できる。また溶剤除去装置を1回
通過させるだけで溶剤骨を除去出来ない場合は、この溶
剤残留空気を空気導入管(20)を介して、再度洗浄槽
(1〉に循環させる工程を繰り返すことにより、溶剤骨
の除去を確実に行うことができるものである。
ルブ(7)を開弁するとともに、供給バルブ(11)を
閉止し、洗浄槽(1)内の洗浄液(9)をドレンタンク
(8)に排出し、被洗浄物(4)のみを洗浄槽(1)内
に残留させる0次にドレンバルブ(7)、循環弁(24
)、供給バルブ(11)、を閉止し、空気導入管(20
)、開閉弁く26)を開弁した状態で、空気供給口(2
2)から乾燥空気を導入する。この乾燥空気は、空気導
入管(20)、空気導入弁〈21)を介して洗浄液(9
)の抜き取られた洗浄槽(1)に流入し、被洗浄物(4
)を乾燥する。被洗浄物(4)から洗浄液(9)の溶剤
骨を除去した空気は、ドレン管(6)、供給管(10)
、空気排出管(25)、開閉弁(26〉を通って溶剤除
去装置に導かれる。従って、洗浄作業の完了した被洗浄
物(4)は、洗浄槽(1)から取り出す事なく乾燥を完
了する。そのため洗浄作業と乾燥作業とを一連に行うこ
とができ、作業性を向上出来るばかりでなく、溶剤ガス
の外部への流出を防止できる。また溶剤除去装置を1回
通過させるだけで溶剤骨を除去出来ない場合は、この溶
剤残留空気を空気導入管(20)を介して、再度洗浄槽
(1〉に循環させる工程を繰り返すことにより、溶剤骨
の除去を確実に行うことができるものである。
発明の効果
本発明は上述のごとく構成したものであるから、洗浄作
業の完了した被洗浄物は、洗浄槽より取り出す事なく乾
燥を完了でき、洗浄作業と乾燥作業とを一連に行うこと
が可能で、作業性を向上出来るばかりでなく、溶剤ガス
の外部への流出を防止し、作業者や周囲の環境を汚染す
ることがない。
業の完了した被洗浄物は、洗浄槽より取り出す事なく乾
燥を完了でき、洗浄作業と乾燥作業とを一連に行うこと
が可能で、作業性を向上出来るばかりでなく、溶剤ガス
の外部への流出を防止し、作業者や周囲の環境を汚染す
ることがない。
また洗浄液が、トルエン、キシレン等の可燃性溶剤であ
る場合にも、引火の危険を防止し安全な洗浄作業を可能
にする。
る場合にも、引火の危険を防止し安全な洗浄作業を可能
にする。
また被洗浄物の液洗浄時に、洗浄槽内の洗浄液をフィル
ターを通過し濾過してから洗浄液タンクに還流するもの
とすれば、この濾過洗浄液を洗浄槽に還流する事の繰り
返しにより2洗浄液は常時清浄に保たれたまま、被洗浄
物の洗浄を行うことができるものである。
ターを通過し濾過してから洗浄液タンクに還流するもの
とすれば、この濾過洗浄液を洗浄槽に還流する事の繰り
返しにより2洗浄液は常時清浄に保たれたまま、被洗浄
物の洗浄を行うことができるものである。
図面は本発明の一実施例を示す断面図である。
Claims (2)
- (1)被洗浄物の液体洗浄を行う洗浄槽に、洗浄液を充
填した洗浄液タンクを接続し、この洗浄液タンクと洗浄
槽とを、洗浄液タンクに洗浄液を還流する還流ポンプを
介して接続するとともに洗浄槽に、空気の導入を行う空
気導入管と空気の導出を行う空気排出管とを接続したこ
とを特徴とする超音波洗浄装置。 - (2)洗浄液タンクと還流ポンプとの間には、洗浄液濾
過用のフィルタを位置したことを特徴とする請求項1記
載の超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9732790A JPH03296476A (ja) | 1990-04-12 | 1990-04-12 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9732790A JPH03296476A (ja) | 1990-04-12 | 1990-04-12 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03296476A true JPH03296476A (ja) | 1991-12-27 |
Family
ID=14189392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9732790A Pending JPH03296476A (ja) | 1990-04-12 | 1990-04-12 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03296476A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009095720A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Sawa Corporation | 超音波洗浄装置 |
| CN103785640A (zh) * | 2012-10-31 | 2014-05-14 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 | 一种准单晶硅的清洗方法 |
| CN114887980A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-08-12 | 张深义 | 用于smt钢网的在线超声清洗装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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