JPH0330449A - ウェハの搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［概要］ ウェハキャリヤによるウェハの搬送方法に関し、キャリ
ヤからのパーティクルの発生を抑制して、キャリヤを長
期に亘って使用可能としてコストの低下を図ることを目
的とし、 ウェハ端縁部を支持する支持溝を備えたキャリアでのウ
ェハの搬送に先立って該ウェハには周囲に前記支持溝を
保護するための合成樹脂被膜を形成してキャリヤに収納
し１．該キャリヤでの搬送後はウェハ周囲の合成樹脂被
膜を除去するように構成する。

［産業上の利用骨ｇＦ］ この発明はウェハキャリヤによるウェハの搬送方法に関
するものである。

近年の半導体装置の高集積化にともない、その製造工程
中におけるウェハ搬送時にそのウェハを搬送するキャリ
ヤから発生するパーティクルはそのウェハから形成され
る半導体装置の歩留りを低下させる大きな要因となって
いる。

［従来の技術］ 第４図に示すように、ウェハ１を搬送するキャリヤ２は
例えばポリプロピレン等の合成樹脂や石英で一方を開口
した箱型に形成され、その内壁にウェハ端縁を支持する
支持溝３が多数設けられている。そして、ウェハ１はキ
ャリヤ２内で対向する支持溝３間に搬送装置（図示しな
い）で搬送され、各支持溝３で多数のウェハ１が積層支
持されて搬送されるようになっている。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のようなキャリヤ２にウェハ１を収納する場合には
ウェハ１端縁部とキャリヤ２の支持溝３とが擦れ合って
支持溝３が削られることによりパーティクルが発生する
。特に、近年のウェハの大径化による重量増にともなっ
てこのようなパーティクルの発生が増大する傾向にある
。

そこで、このようなパーティクルのウェハ２への付着を
防止するために、キャリヤ２は短期間で交換してウェハ
１を常に新たなキャリヤ２に収容する方法も実施されて
いるが、キャリヤの使用コスト増の要因となるという問
題点がある。

この発明の目的は、キャリヤの構造を変更することなく
キャリヤからのパーティクルの発生を抑制して、キャリ
ヤを長期に亘って使用可能とじてコストの低下を図り得
るウェハの搬送方法を提供するにある。

［課題を解決するための手ｌ−１１ 上記目的は、ウェハ端縁部を支持する支持溝を備えたキ
ャリアでのウェハの搬送に先立って該ウェハには周囲に
支持溝を保護するための合成樹脂被膜を形成してキャリ
ヤに収納し、該キャリヤでの搬送後はウェハ周囲の合成
樹脂被膜を除去することにより達成される。

［作用］ ウェハとキャリヤの支持溝とは合成樹脂被膜を介して接
触するので、ウェハと支持溝との擦れ合いによる支持溝
からのパーティクルの発生は抑制される。

［実施例］ 以下、この発明を具体化した実施例を第１図に従って説
明する。

第１図に示すウェハ移し替え装置は塗布装置４と剥離装
置５とから構成される。前記キャリア２に収容されるウ
ェハ１は搬送装置で駆動される回転軸６上端の吸着部６
ａに真空吸着され、同回転軸６にともなって回転あるい
は移動される。塗布装置４はウェハ１周縁部にテフロン
被膜を形成するものであり、第２図に示すようにウェハ
１はキャリヤ２への収容に先立ってその周縁部両面が塗
布装置４の塗布四部７内で塗布片８に当接する位置まで
移送される。そして、この状態で回転軸６が回転され、
塗布装置４から塗布片８に供給されるテフロン溶液がウ
ェハ１周縁部両面にｍ布されて被膜９が形成される。な
お、被ＷＡ９はキャリヤ２の支持溝に当接する範囲より
幅広に形成され、その幅は約１０ｍｍに設定されている
。

このような被ｐｌＡ９が形成された後、ウェハｌは回転
軸６に支持された状態でキャリヤ２内に搬送され、被Ｗ
Ａ９が形成された周縁部で支持溝３に支持される。

キャリヤ２内に支持されたウェハ１を取り出す場合には
、回転軸６がキャリヤ２内に進出してその吸着部に吸着
され、第３図に示すように同回転軸うでウェハ１の周縁
部両面が剥離装Ｎ５の切削刃ｌＯに当接する位置まで搬
送される４そして、この状態で回転軸６が回転されると
被膜９が切削刃１０ではがすように削り取られ、この後
ウェハ１が回転軸６で次工程へ搬送される。

以上のようにキャリヤ移し替え装置を介してキャリヤ２
に対するウェハ１の搬入及び搬出を行なうと、キャリヤ
２への搬入に先立ってウェハ１の周縁部両面にはテフロ
ンの被膜９が形成されているので、ウェハ１とギヤリヤ
２の支持溝３どの擦れ合いによるパーティクルの発生が
防止される。

従って、キャリヤ２は長期に亘って使用可能どなり、そ
の使用コストが低減される。また、被膜つと支持溝３と
の摩擦係数が増大してキャリヤ２の搬送中にウェハ１が
同キャリヤ２内でガタつくことなく安定して保持される
。

そして、ウェハ１をキャリヤ２かち取り出して次工程へ
搬送する際には剥離装置５で被膜９が除去されるので、
その被膜９が後工程の障害となることはない。

［発明の効果コ 以上詳述したように、この発明はキャリヤの横道を変更
することなくキャリヤからのパーティクルの発生を抑制
することができるので、キャリヤを長期に亘って使用可
能としてコストの低下を図ることができる浸れた効果を
発揮する。

図中、 １はウェハ ２はキャリヤ、 ３は支持溝、 ９は合成樹脂被膜である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例のキャリヤ移し替え装置を示
す概略図、 第２図はキャリヤ移し替え装置を構成する塗布装置を示
す概略図。 第３図はキャリヤ移し替え装置を構成する剥離装置を示
す概略図、 第４図はウェハを収容したキャリヤを示す斜視図である
。 第１図 第２図 塗布装置のＩＩ略図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ウェハ端縁部を支持する支持溝を備えたキャリアで
   のウェハの搬送に先立って該ウェハには周囲に前記支持
   溝を保護するための合成樹脂被膜を形成してキャリヤに
   収納し、該キャリヤでの搬送後はウェハ周囲の合成樹脂
   被膜を除去することを特徴とするウェハの搬送方法。