JPH0332036A - ボンダ用ツール保持機構 - Google Patents
ボンダ用ツール保持機構Info
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- JPH0332036A JPH0332036A JP16525089A JP16525089A JPH0332036A JP H0332036 A JPH0332036 A JP H0332036A JP 16525089 A JP16525089 A JP 16525089A JP 16525089 A JP16525089 A JP 16525089A JP H0332036 A JPH0332036 A JP H0332036A
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- JP
- Japan
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- tool
- plate
- fixed
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野Ｊ
本発明はインナーリードボンダ、アウターリードボンダ
、バンプ転写ボンダ、ベレットボンダ等に用いるツール
保持機構に関する。
、バンプ転写ボンダ、ベレットボンダ等に用いるツール
保持機構に関する。
〔従来の技術Ｊ
ボンダ用ツール保持機構は、ツールが固定されたツール
ホルダと、このツールホルダが取付けられボンダのツー
ル保持部に固定される取付体とを備えている。
ホルダと、このツールホルダが取付けられボンダのツー
ル保持部に固定される取付体とを備えている。
ところで、ボンダにおいては、ツールの下面全体が試料
のポンディング面に均一に当ることが好ましい。
のポンディング面に均一に当ることが好ましい。
従来のボンダ用ツール保持機構として１例えば特開昭６
３−１６９７３０号公報及び特開昭６３−１６９７３１
号公報のように、自動倣い手段を設けたものが知られて
いる。この構造は、ツールホルダと取付体とをスプリン
グを介して結合している。従って、試料にツールを圧接
させた場合、スプリングがたわんで試料のボンディング
面にツールの下面が倣う。
３−１６９７３０号公報及び特開昭６３−１６９７３１
号公報のように、自動倣い手段を設けたものが知られて
いる。この構造は、ツールホルダと取付体とをスプリン
グを介して結合している。従って、試料にツールを圧接
させた場合、スプリングがたわんで試料のボンディング
面にツールの下面が倣う。
［発明が解決しようとする課題］
上記従来技術は、弾性を有する試料のリードに、ツール
をスプリングを介して圧着するので、圧着時にスベリが
発生することがある。このスベリにより、リードの中央
を圧着せずに片寄ってツールが圧着するために、ポンデ
ィング精度及びボンダビリティが悪くなり、圧着不良が
発生するという問題があった。
をスプリングを介して圧着するので、圧着時にスベリが
発生することがある。このスベリにより、リードの中央
を圧着せずに片寄ってツールが圧着するために、ポンデ
ィング精度及びボンダビリティが悪くなり、圧着不良が
発生するという問題があった。
本発明の目的は、短時間に平行出しが行えると共に、圧
着不良が防止できるボンダ用ツール保持機構を提供する
ことにある。
着不良が防止できるボンダ用ツール保持機構を提供する
ことにある。
［課題を解決するための手段］
上記目的は、ボンダのツール保持部に固定される取付板
と、この取付板に回動自在に設けられて該取付板に固定
される第２揺動板と、この第２揺動板に該第２揺動板の
回動方向と直交する方向に回動自在に設けられて該第２
揺動板に固定され、かつツールが固定された第１揺動板
と、この第１揺動板を回動させるＸ方向調整手段と、前
記第２揺動板を回動させるＹ方向調整手段とを備え、前
記第１揺動板及び前記第２揺動板は前記ツールの先端部
を中心として回動自在に設けることにより達成される。
と、この取付板に回動自在に設けられて該取付板に固定
される第２揺動板と、この第２揺動板に該第２揺動板の
回動方向と直交する方向に回動自在に設けられて該第２
揺動板に固定され、かつツールが固定された第１揺動板
と、この第１揺動板を回動させるＸ方向調整手段と、前
記第２揺動板を回動させるＹ方向調整手段とを備え、前
記第１揺動板及び前記第２揺動板は前記ツールの先端部
を中心として回動自在に設けることにより達成される。
［作用］
Ｘ方向調整手段で第ｘＷ動板を回動させると、ツールが
固定された第１ｋＭ動板はツールの先端部を中心として
回動する。即ち、ツールは先端部を中心として回動する
ので、ツールの下面のＸ方向の傾きが修正される。
固定された第１ｋＭ動板はツールの先端部を中心として
回動する。即ち、ツールは先端部を中心として回動する
ので、ツールの下面のＸ方向の傾きが修正される。
また第１ｆｉ動板を第２揺動板に固定した状態で、Ｙ方
向ＩＩ整手段で第２揺動板を回動させると、第２撫動板
は、前記第１揺動板の回動方向と直交する方向にツール
の先端部を中心として回動する。即ち、第２揺動板には
第１ｖｉ動板が固定され、第１揺動板にはツールが固定
されているので、ツールの下面のＹ方向のＷＩ３が修正
される。
向ＩＩ整手段で第２揺動板を回動させると、第２撫動板
は、前記第１揺動板の回動方向と直交する方向にツール
の先端部を中心として回動する。即ち、第２揺動板には
第１ｖｉ動板が固定され、第１揺動板にはツールが固定
されているので、ツールの下面のＹ方向のＷＩ３が修正
される。
このように、Ｘ方向及びＹ方向調整手段を回動させるの
みでよいので、迅速に短時間に、かつ高精度に調整でき
る。またツールの先端部を中心としてツールを揺動させ
るので、ツール先端位置が変ることもない。
みでよいので、迅速に短時間に、かつ高精度に調整でき
る。またツールの先端部を中心としてツールを揺動させ
るので、ツール先端位置が変ることもない。
［実施例Ｊ
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
ツール１は、第１揺動板２にツール受は板３で押付けら
れ、ねじ４で固定されている。第１揺動板２は第２揺動
板５に正面側よりねじ６で固定され、更に第２揺動板５
は取付板７に側面側よりねじ８で固定されている。ここ
で、取付板７は、上下方向に移動させられるボンダの図
示しないツール保持部に固定されている。
れ、ねじ４で固定されている。第１揺動板２は第２揺動
板５に正面側よりねじ６で固定され、更に第２揺動板５
は取付板７に側面側よりねじ８で固定されている。ここ
で、取付板７は、上下方向に移動させられるボンダの図
示しないツール保持部に固定されている。
前記第１揺動板２の裏面（第４図参照）には、前記ツー
ルｌの先端部を中心とした円弧の突起２ａが形成され、
第２揺動板５（第５図参照）には前記突起２ａが摺動自
在にｗｋ挿される１１１５ａが突起２ａと同一の円弧で
形成されている。またねじ６が挿入されるｔ５１揺動板
２のねじ穴２ｂもツール１の先端部を中心とした円弧の
長溝に形成されている。
ルｌの先端部を中心とした円弧の突起２ａが形成され、
第２揺動板５（第５図参照）には前記突起２ａが摺動自
在にｗｋ挿される１１１５ａが突起２ａと同一の円弧で
形成されている。またねじ６が挿入されるｔ５１揺動板
２のねじ穴２ｂもツール１の先端部を中心とした円弧の
長溝に形成されている。
また第１揺動板２には駒１０が回転自在に取付けられて
おり、この駒ｌＯの側面にはねじ部が形成されている。
おり、この駒ｌＯの側面にはねじ部が形成されている。
第２揺動板５には前記ｗ４１０に対応した側板部５ｂに
Ｘ方向調整ねじ１１が回転自在に支承されており、この
Ｘ方向調整ねじ１１のねじ部は前記駒ｌＯのねじ部に螺
合され、Ｘ方向調整ねじ１１の外側部にはっまみ１２が
固定されている。また第１揺動板２と第２揺動板５とに
は、第１揺動板２を前記つまみ１２側に付勢するように
ばね１３が掛けられている。
Ｘ方向調整ねじ１１が回転自在に支承されており、この
Ｘ方向調整ねじ１１のねじ部は前記駒ｌＯのねじ部に螺
合され、Ｘ方向調整ねじ１１の外側部にはっまみ１２が
固定されている。また第１揺動板２と第２揺動板５とに
は、第１揺動板２を前記つまみ１２側に付勢するように
ばね１３が掛けられている。
前記第２揺動板５の両側板部５ｂ、５ｃには、前記ツー
ルｌの先端部を中心とした円弧の突起５ｄ、５ｅが形成
され、取付板７（第６図参照）の両側板部７ａ、７ｂに
は、前記突起５ｄ、５ｅが摺動自在に嵌挿される１Ａ７
ｃ、７ｄが前記突起５ｄ、５ｅと同一の円弧で形成され
ている。またねじ８が挿入される取付板７のねじ穴７ｅ
もツールｌの先端部を中心とした円弧の長溝に形成され
ている。
ルｌの先端部を中心とした円弧の突起５ｄ、５ｅが形成
され、取付板７（第６図参照）の両側板部７ａ、７ｂに
は、前記突起５ｄ、５ｅが摺動自在に嵌挿される１Ａ７
ｃ、７ｄが前記突起５ｄ、５ｅと同一の円弧で形成され
ている。またねじ８が挿入される取付板７のねじ穴７ｅ
もツールｌの先端部を中心とした円弧の長溝に形成され
ている。
また第２揺動板５（第３図参照）には駒２０が回転自在
に取付けられており、この駒２０の正面にはねじ部が形
成されている。取付板７には前記駒２０に対応した部分
にアングル２１が固定されており、このアングル２１に
はＹ方向調整ねじ２２が回転自在に支承されている。Ｙ
方向調整ねじ２２は、ねじ部が前記駒２０に螺合され、
外側部につまみ２３が固定されている。また第２揺動板
５と取付板７とには、第２揺動板５を前記つまみ２３側
に付勢するようにばね２４が掛けられている。
に取付けられており、この駒２０の正面にはねじ部が形
成されている。取付板７には前記駒２０に対応した部分
にアングル２１が固定されており、このアングル２１に
はＹ方向調整ねじ２２が回転自在に支承されている。Ｙ
方向調整ねじ２２は、ねじ部が前記駒２０に螺合され、
外側部につまみ２３が固定されている。また第２揺動板
５と取付板７とには、第２揺動板５を前記つまみ２３側
に付勢するようにばね２４が掛けられている。
次に作用について説明する。ねじ６を緩め、つまみ１２
を回動させると、駒１０を介して第１揺動板２の突起２
ａが第２揺動板５の溝５ａに沿ってツールｌの下端を中
心とする矢印Ａ方向に摺動するので、ツール１の下面の
Ｘ方向の傾きを修正することができる。このＸ方向の傾
きを修正した後は、ねじ６を締め付けて第１揺動板２を
第２揺動板５に固定する。
を回動させると、駒１０を介して第１揺動板２の突起２
ａが第２揺動板５の溝５ａに沿ってツールｌの下端を中
心とする矢印Ａ方向に摺動するので、ツール１の下面の
Ｘ方向の傾きを修正することができる。このＸ方向の傾
きを修正した後は、ねじ６を締め付けて第１揺動板２を
第２揺動板５に固定する。
またねじ８を緩め、つまみ２３を回動させると、駒２０
を介して第２揺動板５の突起５ｅ、５ｆが取付板７の溝
７ｃ、７ｄに沿ってツールｌの下端を中心とする矢印Ｂ
方向に摺動するので、ツールｌの下面のＹ方向の傾きを
修正することができる。このＹ方向の傾きを修正した後
は、ねじ８を締め付けて第２揺動板５を取付板７に固定
する。
を介して第２揺動板５の突起５ｅ、５ｆが取付板７の溝
７ｃ、７ｄに沿ってツールｌの下端を中心とする矢印Ｂ
方向に摺動するので、ツールｌの下面のＹ方向の傾きを
修正することができる。このＹ方向の傾きを修正した後
は、ねじ８を締め付けて第２揺動板５を取付板７に固定
する。
このように、Ｘ方向調整ねじ１１で第１揺動板２を回動
させると、ツールｌが固定された第１ｔ！動板２はツー
ル１の先端部を中心として回動する。即ち、ツール１は
先端部を中心として回動するので、ツール１の下面のＸ
方向の傾きが修正される。
させると、ツールｌが固定された第１ｔ！動板２はツー
ル１の先端部を中心として回動する。即ち、ツール１は
先端部を中心として回動するので、ツール１の下面のＸ
方向の傾きが修正される。
また第１揺動板２を第２揺動板５に固定した状態で、Ｙ
方向調整ねじ２２で第２揺動板５を回動させると、第２
揺動板５は、前記第１揺動板の回動力向と直交する方向
にツール１の先端部を中心として回動する０ｗＪち、第
２揺動板５には第１揺動板２が固定され、第１揺動板２
にはツールｌが固定されているので、ツール１の下面の
Ｙ方向の傾きが修正される。
方向調整ねじ２２で第２揺動板５を回動させると、第２
揺動板５は、前記第１揺動板の回動力向と直交する方向
にツール１の先端部を中心として回動する０ｗＪち、第
２揺動板５には第１揺動板２が固定され、第１揺動板２
にはツールｌが固定されているので、ツール１の下面の
Ｙ方向の傾きが修正される。
このように、Ｘ方向及びＹ方向調整ねじ１１゜２２を回
動させるのみでよいので、迅速に短時間に、かつ高精度
に調整できる。またツールｌの先端部を中心としてツー
ル１を揺動させるので、ツール先端位置が変ることもな
い。
動させるのみでよいので、迅速に短時間に、かつ高精度
に調整できる。またツールｌの先端部を中心としてツー
ル１を揺動させるので、ツール先端位置が変ることもな
い。
なお、上記実施例においては、第１揺動板２に突起２ａ
を設け、第２揺動板５に１ｌｌ１５ａを設けたが、これ
は雄雌の関係であるので、逆に第１揺動板２に溝５ａを
設け、第２揺動板５に突起２ａを設けてもよい、同様に
、第２揺動板５に溝７Ｃ１７ｄを設け、取付板７に突起
５ｄ、５ｅを設けてもよい。
を設け、第２揺動板５に１ｌｌ１５ａを設けたが、これ
は雄雌の関係であるので、逆に第１揺動板２に溝５ａを
設け、第２揺動板５に突起２ａを設けてもよい、同様に
、第２揺動板５に溝７Ｃ１７ｄを設け、取付板７に突起
５ｄ、５ｅを設けてもよい。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように１本発明によれば、Ｘ方
向及びＹ方向調整手段を回動させるのみでよいので、迅
速に短時間に、かつ高精度にツールの傾きが調整できる
。またツールの先端部を中心としてツールを揺動させる
ので、ツール先端位置が変ることもない。
向及びＹ方向調整手段を回動させるのみでよいので、迅
速に短時間に、かつ高精度にツールの傾きが調整できる
。またツールの先端部を中心としてツールを揺動させる
ので、ツール先端位置が変ることもない。
第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図の右側面図、第３図は第１図のＣ−Ｃ線断面図、第４
図はツールが固定された第１揺動板を示し、（ａ）は正
面図、（ｂ）は側面図、第５図は第２揺動板を示し、（
ａ）は正面図。 （ｂ）は右側面図、（Ｃ）は左側面図、第６図は取付板
を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は
左側面図である。 ｌ：ツール、 ２：第１揺動板、２ａ：突起、
５：第２揺動板、５ａ、溝、 ５ｄ、
５ｅ：突起、７：取付板、 ７Ｃ１７ｄ：溝、
１１：Ｘ方向調整ねじ、 ２２：Ｙ方向調整ねじ。
図の右側面図、第３図は第１図のＣ−Ｃ線断面図、第４
図はツールが固定された第１揺動板を示し、（ａ）は正
面図、（ｂ）は側面図、第５図は第２揺動板を示し、（
ａ）は正面図。 （ｂ）は右側面図、（Ｃ）は左側面図、第６図は取付板
を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は
左側面図である。 ｌ：ツール、 ２：第１揺動板、２ａ：突起、
５：第２揺動板、５ａ、溝、 ５ｄ、
５ｅ：突起、７：取付板、 ７Ｃ１７ｄ：溝、
１１：Ｘ方向調整ねじ、 ２２：Ｙ方向調整ねじ。
Claims (3)
- （１）ボンダのツール保持部に固定される取付板と、こ
の取付板に回動自在に設けられて該取付板に固定される
第２揺動板と、この第２揺動板に該第２揺動板の回動方
向と直交する方向に回動自在に設けられて該第２揺動板
に固定され、かつツールが固定された第１揺動板と、こ
の第１揺動板を回動させるＸ方向調整手段と、前記第２
揺動板を回動させるＹ方向調整手段とを備え、前記第１
揺動板及び前記第２揺動板は前記ツールの先端部を中心
として回動自在に設けられていることを特徴とするボン
ダ用ツール保持機構。 - （２）請求項１において、前記第１揺動板と前記第２揺
動板のいずれか一方には、前記ツールの先端部を中心と
する第１突起が形成され、他方には前記突起と同一円弧
で該第１突起が摺動自在に嵌挿される第１溝が形成され
、前記第２揺動板と前記取付板のいずれか一方には、前
記第１揺動板の回動方向と直交する方向に前記ツールの
先端部を中心とする第２突起が形成され、他方には前記
第２突起と同一円弧で該第２突起が摺動自在に嵌挿され
る第２溝が形成されていることを特徴とするボンダ用ツ
ール保持機構。 - （３）請求項１において、前記Ｘ方向調整手段は、前記
第２揺動板に回転自在に支承されたＸ方向調整ねじより
なり、前記Ｙ方向調整手段は、前記取付板に回転自在に
支承されたＹ方向調整ねじよりなることを特徴とするボ
ンダ用ツール保持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1165250A JP2593711B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | ボンダ用ツール保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1165250A JP2593711B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | ボンダ用ツール保持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0332036A true JPH0332036A (ja) | 1991-02-12 |
| JP2593711B2 JP2593711B2 (ja) | 1997-03-26 |
Family
ID=15808737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1165250A Expired - Fee Related JP2593711B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | ボンダ用ツール保持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2593711B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63200541A (ja) * | 1987-02-17 | 1988-08-18 | Toshiba Corp | ボンデイングツ−ルの傾き調整機構 |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP1165250A patent/JP2593711B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63200541A (ja) * | 1987-02-17 | 1988-08-18 | Toshiba Corp | ボンデイングツ−ルの傾き調整機構 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2593711B2 (ja) | 1997-03-26 |
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Legal Events
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