JPH0332417U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例を説明するオーバー
フロー式薬液循環処理装置の概略説明図、第２図
ａ，ｂは、第１図中の整流部の平面図及び正面図
、第３図は、別の整流部の部分縦断面図、第４図
は、従来のウエツトエツチング装置の概略説明図
である。 １……薬液循環処理装置、２……薬液処理槽、
２ａ……底部、２ｂ……中間槽、２ｃ，２ｄ……
側壁、３……薬液回収槽、３ａ……底部、５……
整流部、６……吐出部、７……ポンプ、８……濾
過フイルター、９……薬液供給管、１０……キヤ
リア位置決め治具、１１……排出部、１２，１３
……配管。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 拝液部を設けた薬液処理槽と、前記薬液処理槽
   に付設した薬液回収槽と、前記薬液回収槽の底部
   に配管を介して接続したポンプと、前記ポンプに
   配管を介して接続した濾過フイルターと、前記濾
   過フイルターと前記薬液処理槽とを連通した薬液
   供給管とから構成され、 前記薬液処理槽の底部側には、キヤリア載置治
   具を設けた整流部を取り付けるとともに薬液処理
   槽の底部と整流部との間に中間槽を形成し、 前記中間槽には、その長手方向両端側壁の複数
   箇所に吐出部を対向させて設けるとともに前記吐
   出部に前記薬液供給管を接続したことを特徴とす
   るオーバーフロー式薬液循環処理装置。