JPH0332683U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0332683U JPH0332683U JP9213189U JP9213189U JPH0332683U JP H0332683 U JPH0332683 U JP H0332683U JP 9213189 U JP9213189 U JP 9213189U JP 9213189 U JP9213189 U JP 9213189U JP H0332683 U JPH0332683 U JP H0332683U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary table
- sponge brush
- drive motor
- rotated
- cleaning fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 2
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案に係る洗浄装置の一実施例を示
す要部断面図、第２図は第１図の−線断面図
、第３図は同装置の平面図、第４図は回転テーブ
ルの基板設置状態における平面図、第５図ａ〜ｄ
はそれぞれスポンジブラシの断面図、第６図は洗
浄装置の従来例を示す概略正面図である。 ２……基板、１１……回転テーブル、１４……
ピン（基板保持部材）、２１……回転盤、２２…
…回転軸、２３……スイング機構、２４……スイ
ングアーム、２５……スポンジブラシ、２７，２
８……洗浄液供給孔、５０……駆動手段、５４…
…駆動モータ。
す要部断面図、第２図は第１図の−線断面図
、第３図は同装置の平面図、第４図は回転テーブ
ルの基板設置状態における平面図、第５図ａ〜ｄ
はそれぞれスポンジブラシの断面図、第６図は洗
浄装置の従来例を示す概略正面図である。 ２……基板、１１……回転テーブル、１４……
ピン（基板保持部材）、２１……回転盤、２２…
…回転軸、２３……スイング機構、２４……スイ
ングアーム、２５……スポンジブラシ、２７，２
８……洗浄液供給孔、５０……駆動手段、５４…
…駆動モータ。
Claims (1)
- 駆動モータによつて回転される回転テーブルと
、この回転テーブル上に突設され、被処理基板を
前記回転テーブルより浮かした状態で保持する基
板保持部材と、下面に前記被処理基板の上面を摺
擦洗浄するスポンジブラシを有して前記回転テー
ブルの上方にこれと略平行にかつ回転中心をずら
して配設され、駆動モータによつて回転される回
転盤とを具備してなり、この回転盤はスイング機
構によつて上下動自在に且つ水平方向に回動自在
に保持され、内部には前記スポンジブラシに洗浄
液を供給する洗浄液供給孔が形成されていること
を特徴とする洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9213189U JPH0332683U (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9213189U JPH0332683U (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0332683U true JPH0332683U (ja) | 1991-03-29 |
Family
ID=31641574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9213189U Pending JPH0332683U (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0332683U (ja) |
-
1989
- 1989-08-07 JP JP9213189U patent/JPH0332683U/ja active Pending
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