JPH033295A - スルーホールの金属膜形成方法 - Google Patents
スルーホールの金属膜形成方法Info
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- JPH033295A JPH033295A JP1136787A JP13678789A JPH033295A JP H033295 A JPH033295 A JP H033295A JP 1136787 A JP1136787 A JP 1136787A JP 13678789 A JP13678789 A JP 13678789A JP H033295 A JPH033295 A JP H033295A
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- Japan
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- metal paste
- container
- metal
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
崖JLu冴υ1完1
本発明は、部品素体に設けたスルーホール内壁に金属膜
を形成するスルーホールの金属膜形成方法に関する。
を形成するスルーホールの金属膜形成方法に関する。
の ′およびそのi
例えばスルーホールの内壁全体に金属膜を形成する場合
、当初、第8図に示すように部品素体lのスルーホール
2に対し、これより若干小径かつ長寸のビン11が設け
であるピン取り付は板lOを用い、このビン11側を所
望の金属を溶融させであるペースト浴12に浸漬するか
或いは図示のようにピン取り付は板10全体を浸漬し、
ビン11の周り或いは全体にペースト13を付着させ、
ペースト13の付着したピン11をスルーホール2内に
挿入する方法により、スルーホール2の内壁全体に金属
膜を形成していた。
、当初、第8図に示すように部品素体lのスルーホール
2に対し、これより若干小径かつ長寸のビン11が設け
であるピン取り付は板lOを用い、このビン11側を所
望の金属を溶融させであるペースト浴12に浸漬するか
或いは図示のようにピン取り付は板10全体を浸漬し、
ビン11の周り或いは全体にペースト13を付着させ、
ペースト13の付着したピン11をスルーホール2内に
挿入する方法により、スルーホール2の内壁全体に金属
膜を形成していた。
ところで、上記方法による場合には、スルーホールとビ
ンとのクリアランスについては厳格な精度が要求される
。即ち、クリアランスが小さいと、第9図に示すように
ピン11先端側のペースト13の一部がスルーホール2
の下側入口部分で掻き取られてしまい、スルーホール2
の下側にはペーストが多量に塗布するが、上側には塗布
しないか、或いは塗布しても少量となるからで、ある。
ンとのクリアランスについては厳格な精度が要求される
。即ち、クリアランスが小さいと、第9図に示すように
ピン11先端側のペースト13の一部がスルーホール2
の下側入口部分で掻き取られてしまい、スルーホール2
の下側にはペーストが多量に塗布するが、上側には塗布
しないか、或いは塗布しても少量となるからで、ある。
そ些て、特に上側が不塗の状態となると、乾燥させたの
ち部品素体1を上下逆にしてもう1度同じようにペース
ト塗布を行って、スルーホールの内壁全体にペーストを
付着させるという2度塗りの必要があり不便であった。
ち部品素体1を上下逆にしてもう1度同じようにペース
ト塗布を行って、スルーホールの内壁全体にペーストを
付着させるという2度塗りの必要があり不便であった。
また、スルーホールの径、長さ等が異なる種々の部品素
体について金属膜を形成する場合には、各部品素体に応
じて設計したピン取り着は板を多数用意する必要があり
、不経済であると共にその管理が煩雑となっていた。こ
のことは、1つの部品素体に多数形成されたスルーホー
ルを1回の処理で同時に形成すべく、各スルーホールの
位置に対応させてピンを設けたピン取り付は板を使用す
る場合には、より顕著となる。
体について金属膜を形成する場合には、各部品素体に応
じて設計したピン取り着は板を多数用意する必要があり
、不経済であると共にその管理が煩雑となっていた。こ
のことは、1つの部品素体に多数形成されたスルーホー
ルを1回の処理で同時に形成すべく、各スルーホールの
位置に対応させてピンを設けたピン取り付は板を使用す
る場合には、より顕著となる。
更に、ペースト浴の上方が開放されているため、溶剤が
蒸発してペースト粘度が徐々に高くなり、そのコントロ
ール、管理が必要であるといった難点があった。
蒸発してペースト粘度が徐々に高くなり、そのコントロ
ール、管理が必要であるといった難点があった。
そこで、上記種々の難点を解消すべく、本願出願人は、
例えば第10図に示す如く、貫通孔3aが形成された蓋
3にて上面が閉蓋された容器4の前記蓋3上に、スルー
ホール2と貫通孔3aが連通状態となるように部品素体
1を位置せしめ、その後、容器4内に貯留してある金属
ペースト5を、容器4と連通管6を介して連通させたシ
リンダ7にて加圧して、金属ペースト5を貫通孔3aと
その上のスルーホール2内を上昇させ、スルーホール2
内壁に金属膜を形成させる方法を提案した(特願昭63
−310436号)。
例えば第10図に示す如く、貫通孔3aが形成された蓋
3にて上面が閉蓋された容器4の前記蓋3上に、スルー
ホール2と貫通孔3aが連通状態となるように部品素体
1を位置せしめ、その後、容器4内に貯留してある金属
ペースト5を、容器4と連通管6を介して連通させたシ
リンダ7にて加圧して、金属ペースト5を貫通孔3aと
その上のスルーホール2内を上昇させ、スルーホール2
内壁に金属膜を形成させる方法を提案した(特願昭63
−310436号)。
しかしながら、提案した方法による場合には、金属膜を
スルーホールに形成できるものの余分の金属ペーストが
スルーホール内に残り、金属膜の厚みを一定にできない
虞れがあった。
スルーホールに形成できるものの余分の金属ペーストが
スルーホール内に残り、金属膜の厚みを一定にできない
虞れがあった。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、スル
ーホール内に余分の金属ペーストが残るのを防止できる
ことは勿論のこと、これ以外に使用する装置が高精度な
加工を要さず、また位置合わせを容易にでき、しかもス
ルーホール径が違うものに対し同様にして塗布でき、更
にはペースト粘度の変化を抑制できるようにしたスルー
ホールの金属膜形成方法を提供することを目的とする。
ーホール内に余分の金属ペーストが残るのを防止できる
ことは勿論のこと、これ以外に使用する装置が高精度な
加工を要さず、また位置合わせを容易にでき、しかもス
ルーホール径が違うものに対し同様にして塗布でき、更
にはペースト粘度の変化を抑制できるようにしたスルー
ホールの金属膜形成方法を提供することを目的とする。
i ゛ るための
本発明は、部品素体に設けたスルーホール内壁に金属膜
を形成する方法において、貫通孔が形成された蓋にて上
面が閉蓋された容器の前記蓋上に、スルーホールと貫通
孔が連通状態となるように部品素体を位置せしめ、次い
で、容器内に貯留してある金属ペーストの浴面に働く雰
囲気圧を減圧し、或いは浴面下の金属ペーストを加圧し
て、金属ペーストを貫通孔とその上のスルーホール内を
上昇させ、スルーホール内壁に金属膜を塗着し、しかる
後、前記金属ペーストの浴面を蓋よりも下方まで降下さ
せ、最後に、連通状態のスルーホールと貫通孔に容器外
側から内側に向けて気体を通流させることを特徴とする
。
を形成する方法において、貫通孔が形成された蓋にて上
面が閉蓋された容器の前記蓋上に、スルーホールと貫通
孔が連通状態となるように部品素体を位置せしめ、次い
で、容器内に貯留してある金属ペーストの浴面に働く雰
囲気圧を減圧し、或いは浴面下の金属ペーストを加圧し
て、金属ペーストを貫通孔とその上のスルーホール内を
上昇させ、スルーホール内壁に金属膜を塗着し、しかる
後、前記金属ペーストの浴面を蓋よりも下方まで降下さ
せ、最後に、連通状態のスルーホールと貫通孔に容器外
側から内側に向けて気体を通流させることを特徴とする
。
作−一一一月一
本発明にあっては、容器内に貯留してある金属ペースト
の浴面に働く雰囲気圧を加減し、或いは浴面下の金属ペ
ースト部分を加減圧すると、金属ペーストが貫通孔を単
なる通路として容器の内外側に出入りする。このような
出入りが行われる貫通孔とスルーホールとが連通ずる状
態で部品素体が蓋の上に置かれていると、スルーホール
内において金属ペーストを上昇・下降させることができ
る。
の浴面に働く雰囲気圧を加減し、或いは浴面下の金属ペ
ースト部分を加減圧すると、金属ペーストが貫通孔を単
なる通路として容器の内外側に出入りする。このような
出入りが行われる貫通孔とスルーホールとが連通ずる状
態で部品素体が蓋の上に置かれていると、スルーホール
内において金属ペーストを上昇・下降させることができ
る。
よって、この状態で金属ペーストを上昇させてスルーホ
ール内に金属膜を形成したのち、金属ペーストを蓋より
下方に下降させ、その後、連通状態のスルーホールと貫
通孔に容器外側から内側に向けて気体を通流させると、
この通流気体によりスル:ホール内に残っている余分の
金属ペーストが吹き飛ぶこととなる。
ール内に金属膜を形成したのち、金属ペーストを蓋より
下方に下降させ、その後、連通状態のスルーホールと貫
通孔に容器外側から内側に向けて気体を通流させると、
この通流気体によりスル:ホール内に残っている余分の
金属ペーストが吹き飛ぶこととなる。
また、略密閉された容器内に金属ペーストが貯留されて
いるので、溶剤等の蒸発を防止できる。
いるので、溶剤等の蒸発を防止できる。
裏−施一班
以下本発明を具体的に説明する。第1図は本発明の実施
状態を示す側断面図である。図中1は、例えば円形のス
ルーホール2が複数の所定位置に設けられた部品素体で
あり、この部品素体1は、上面が蓋3にて閉蓋された容
器4の前記蓋3の上に置かれている。ここで、部品素体
1としては、スルーホールが設けられた回路基板、積層
コンデンサ等の電子部品を一部に含む多層基板等が該当
する。蓋3には、スルーホール2の位置、数に合わせて
、スルーホール2と略同じ内径を有する貫通孔3aが予
め複数形成されている。
状態を示す側断面図である。図中1は、例えば円形のス
ルーホール2が複数の所定位置に設けられた部品素体で
あり、この部品素体1は、上面が蓋3にて閉蓋された容
器4の前記蓋3の上に置かれている。ここで、部品素体
1としては、スルーホールが設けられた回路基板、積層
コンデンサ等の電子部品を一部に含む多層基板等が該当
する。蓋3には、スルーホール2の位置、数に合わせて
、スルーホール2と略同じ内径を有する貫通孔3aが予
め複数形成されている。
容器4の側壁部には連通管6の一端が取付けられ、連通
管6の他端には加減圧装置、例えばシリンダ7が取付け
られており、このシリンダ7を押し下げると容器4等の
内部に溶融状態で貯留してある金属ペースト5の浴面が
定位置Hから上っていき貫通孔3aより押し出され、逆
に引き上げると金属ペースト5の浴面を定位置Hにまで
下げることができるようになっている。
管6の他端には加減圧装置、例えばシリンダ7が取付け
られており、このシリンダ7を押し下げると容器4等の
内部に溶融状態で貯留してある金属ペースト5の浴面が
定位置Hから上っていき貫通孔3aより押し出され、逆
に引き上げると金属ペースト5の浴面を定位置Hにまで
下げることができるようになっている。
前記定位置Hよりも上側にある容器4の側壁部分には吸
引孔9が開設され、更にこの吸引孔9に一端を連結した
吸引管20の他端には吸引装置、例えば真空ポンプPが
取付けられており、この真空ポンプPを作動させると、
容器4内を吸引できる。なお、吸引孔9の容器内側開口
には、図示しない開閉扉が開閉自在に設けられ、金属ペ
ーストの上昇時には閉じて金属ペーストが吸引孔9に侵
入するのを防止してある。
引孔9が開設され、更にこの吸引孔9に一端を連結した
吸引管20の他端には吸引装置、例えば真空ポンプPが
取付けられており、この真空ポンプPを作動させると、
容器4内を吸引できる。なお、吸引孔9の容器内側開口
には、図示しない開閉扉が開閉自在に設けられ、金属ペ
ーストの上昇時には閉じて金属ペーストが吸引孔9に侵
入するのを防止してある。
次に、かかる装置を用いて本発明方法によりスルーホー
ルの内壁にのみ金属ペーストを形成する場合について説
明する。先ず、スルーホール2の位置、数に合わせて形
成した貫通孔3aの上にスルーホール2が位置するよう
にして部品素体1をM3の上に置く。この位置合わせに
ついては、貫通孔3aとスルーホール2を正確に合わせ
る必要はなく、第2図に示すように両者3aと2とが少
なくとも一部重なり、両者を連通状態にできればよく、
さほど精度を要求しない。
ルの内壁にのみ金属ペーストを形成する場合について説
明する。先ず、スルーホール2の位置、数に合わせて形
成した貫通孔3aの上にスルーホール2が位置するよう
にして部品素体1をM3の上に置く。この位置合わせに
ついては、貫通孔3aとスルーホール2を正確に合わせ
る必要はなく、第2図に示すように両者3aと2とが少
なくとも一部重なり、両者を連通状態にできればよく、
さほど精度を要求しない。
次いで、前記開閉扉(図示せず)を閉じた後、第3図に
示すようにシリンダ7を押し下げる。これにより、金属
ペースト5の浴面が定位置Hより上昇していき、貫通孔
3aより押し出され、その後これと連通しているスルー
ホール2内を上昇させて充填することができる。この金
属ペースト5の上昇高さは、スルーホール2の上端と同
じ高さにほぼ一致させる。したがって、金属ペースト5
がスルーホール2の内壁全体に接触して付着する。
示すようにシリンダ7を押し下げる。これにより、金属
ペースト5の浴面が定位置Hより上昇していき、貫通孔
3aより押し出され、その後これと連通しているスルー
ホール2内を上昇させて充填することができる。この金
属ペースト5の上昇高さは、スルーホール2の上端と同
じ高さにほぼ一致させる。したがって、金属ペースト5
がスルーホール2の内壁全体に接触して付着する。
しかる後、第4図に示すように、シリンダ7を引き上げ
てスルーホール2内に入っていた金属ペースト5を容器
4内に戻し、金属ペースト5の浴面を蓋3よりも下に降
下させる。これにより、金属ペースト5の浴面と蓋3と
の間には空間Aが生じる。
てスルーホール2内に入っていた金属ペースト5を容器
4内に戻し、金属ペースト5の浴面を蓋3よりも下に降
下させる。これにより、金属ペースト5の浴面と蓋3と
の間には空間Aが生じる。
その後、開閉扉(図示せず)を開き、真空ポンプPを駆
動させる。すると、前記空間Aが減圧され、連通状態の
スルーホール2と貫通孔3aに容器外側から内側に向け
て気体、この場合には容器外にある雰囲気(大気)が通
流するようになる。
動させる。すると、前記空間Aが減圧され、連通状態の
スルーホール2と貫通孔3aに容器外側から内側に向け
て気体、この場合には容器外にある雰囲気(大気)が通
流するようになる。
この結果、スルーホール2内に残っていた余分の金属ペ
ースト5が、通流する大気により吹き飛ばされてスルー
ホール2内から除去され、容器4内に戻る。なお、蓋3
としては、金属ペースト5が付着しにくい材質のものを
使用するか、或いは貫通孔3a部分を表面処理を施して
おき、金属ペースト5の付着により貫通孔3aが閉塞し
ないようにするのが好ましい。
ースト5が、通流する大気により吹き飛ばされてスルー
ホール2内から除去され、容器4内に戻る。なお、蓋3
としては、金属ペースト5が付着しにくい材質のものを
使用するか、或いは貫通孔3a部分を表面処理を施して
おき、金属ペースト5の付着により貫通孔3aが閉塞し
ないようにするのが好ましい。
このようにスルーホール2の内壁全部に金属ペーストを
形成する場合には、貫通孔は単なる通路として機能すれ
ばよく、このため貫通孔の径については上述のようにス
ルーホール2と同じ内径にする必要は必ずしもなく、ペ
ーストが通流できる最小限の大きさがあればよい。また
、貫通孔は1つのスルーホール2に対して1つ設ける必
要はなく、第5図に示すように小さい貫通孔3aを複数
集合させたものを1つのスルーホール2に対して設ける
ようにしても構わない。
形成する場合には、貫通孔は単なる通路として機能すれ
ばよく、このため貫通孔の径については上述のようにス
ルーホール2と同じ内径にする必要は必ずしもなく、ペ
ーストが通流できる最小限の大きさがあればよい。また
、貫通孔は1つのスルーホール2に対して1つ設ける必
要はなく、第5図に示すように小さい貫通孔3aを複数
集合させたものを1つのスルーホール2に対して設ける
ようにしても構わない。
なお、スルーホールの内壁だけでなく、第6図に示すよ
うに上縁部及び下縁部にも金属ペーストを形成する場合
には、貫通孔の径をスルーホールの径よりも大きい所望
の大きさとなし、この貫通孔の一部にスルーホールを位
置決めして部品素体を置き、その後同様にしてペースト
の上げ下げを行えばよい。但し、上縁部についてはペー
ストをスルーホールの上端より少し溢れ出させて山盛り
状(破線にて示す)とした後、容器に戻すようにする。
うに上縁部及び下縁部にも金属ペーストを形成する場合
には、貫通孔の径をスルーホールの径よりも大きい所望
の大きさとなし、この貫通孔の一部にスルーホールを位
置決めして部品素体を置き、その後同様にしてペースト
の上げ下げを行えばよい。但し、上縁部についてはペー
ストをスルーホールの上端より少し溢れ出させて山盛り
状(破線にて示す)とした後、容器に戻すようにする。
また、スルーホールの位置、数が異なる部品素体1に対
しては、予めその位置、数に応じて貫通孔を形成してあ
る蓋を用意しておき、該当する蓋を容器4に取り付けて
行うとよい。
しては、予めその位置、数に応じて貫通孔を形成してあ
る蓋を用意しておき、該当する蓋を容器4に取り付けて
行うとよい。
そして、この実施例では蓋3の上に直接に部品素体1を
置いているが、本発明はこれに限らず、第7図に示すよ
うに蓋3の上面に穴の開いた弾性シート8を貼り、この
上から部品素体1を押し付けた状態で保持し、同じよう
にして金属ペーストをスルーホールに形成するようにし
てもよい。このようにすることにより、M33内に反り
があってもペーストが部品素体1の下面にまわり込むこ
とを防止でき、部品素体1を汚すことなく、また確実に
金属膜の形成が可能となる。
置いているが、本発明はこれに限らず、第7図に示すよ
うに蓋3の上面に穴の開いた弾性シート8を貼り、この
上から部品素体1を押し付けた状態で保持し、同じよう
にして金属ペーストをスルーホールに形成するようにし
てもよい。このようにすることにより、M33内に反り
があってもペーストが部品素体1の下面にまわり込むこ
とを防止でき、部品素体1を汚すことなく、また確実に
金属膜の形成が可能となる。
尚、上記実施例では容器4内を減圧してスルーホールに
気体を通流させるようにしているが、スルーホールにお
ける気体の通流はこの方式に限るものでなく、他の方式
を用いても実施でき、例えば蓋の上から気体を吹付ける
ようにしてもよい。
気体を通流させるようにしているが、スルーホールにお
ける気体の通流はこの方式に限るものでなく、他の方式
を用いても実施でき、例えば蓋の上から気体を吹付ける
ようにしてもよい。
また、上記実施例ではシリンダ7の押し下げ、引き上げ
により金属ペーストをスルーホール内に付着させ、その
後容器内に戻しているが、本発明はこれに限らず、容器
4部分を真空ケース内に収納し、連通管6の他端を真空
ケース外に出した状態とし、真空ケース内を真空ポンプ
等により減圧して容器4内の金属ペーストを蓋3の上か
ら吸い上げた後、真空ケース内を増圧して金属ペースト
を容器4内に戻すようにしても実施できることは勿論で
ある。
により金属ペーストをスルーホール内に付着させ、その
後容器内に戻しているが、本発明はこれに限らず、容器
4部分を真空ケース内に収納し、連通管6の他端を真空
ケース外に出した状態とし、真空ケース内を真空ポンプ
等により減圧して容器4内の金属ペーストを蓋3の上か
ら吸い上げた後、真空ケース内を増圧して金属ペースト
を容器4内に戻すようにしても実施できることは勿論で
ある。
更に、本発明は、蓋3の上に複数の部品素体1を並べて
置き、上述のようにして金属膜をスルーホール部分に形
成することにより、同時に複数の部品素体に対してマル
チ処理することが可能である。
置き、上述のようにして金属膜をスルーホール部分に形
成することにより、同時に複数の部品素体に対してマル
チ処理することが可能である。
13B凶直果
以上詳述した如く本発明による場合には、貫通孔と連通
状態にあるスルーホール内に金属ペーストを上昇させ、
スルーホール内壁に金属膜を形成した後、連通状態の貫
通孔とスルーホールに容器外側から内側に向けて気体を
通流させるので、スルーホール内の余分な残留金属ペー
ストの除去が図れ、膜厚を上下方向において均一にでき
品質の向上を図れると共に、この他に以下のような効果
がある。
状態にあるスルーホール内に金属ペーストを上昇させ、
スルーホール内壁に金属膜を形成した後、連通状態の貫
通孔とスルーホールに容器外側から内側に向けて気体を
通流させるので、スルーホール内の余分な残留金属ペー
ストの除去が図れ、膜厚を上下方向において均一にでき
品質の向上を図れると共に、この他に以下のような効果
がある。
(1)スルーホール内において金属ペーストを上昇させ
ておく時間を管理することにより、金属膜の厚みを調整
することができ、ピンにて機械的に塗布する場合に厚み
によって必要とした2度塗りを回避でき、生産性を向上
できる。
ておく時間を管理することにより、金属膜の厚みを調整
することができ、ピンにて機械的に塗布する場合に厚み
によって必要とした2度塗りを回避でき、生産性を向上
できる。
(2)スルーホール径、数2位置が異なる部品素体に対
して、各々対応した状態で貫通孔を形成してある蓋を予
め用意しておき、該当する蓋を容器の上に乗せ代えれば
よい。また、貫通孔が基本的に通路として機能するため
、径のみが異なる場合、特に貫通孔をスルーホールより
も小さくした場合には同一の蓋を兼用しても行え、また
、貫通孔はドリル等にて簡単に孔を開けることができる
為、高精度の加工が不要となる。
して、各々対応した状態で貫通孔を形成してある蓋を予
め用意しておき、該当する蓋を容器の上に乗せ代えれば
よい。また、貫通孔が基本的に通路として機能するため
、径のみが異なる場合、特に貫通孔をスルーホールより
も小さくした場合には同一の蓋を兼用しても行え、また
、貫通孔はドリル等にて簡単に孔を開けることができる
為、高精度の加工が不要となる。
(3)貫通孔が基本的に通路として機能するため、貫通
孔が少なくともスルーホール径内に収まっていれば塗布
が可能であり、このため高精度の位置合わせが不要にで
きる。
孔が少なくともスルーホール径内に収まっていれば塗布
が可能であり、このため高精度の位置合わせが不要にで
きる。
(4)スルーホールの長さが違っても金属ペーストの押
し出し量をコントロールするだけで所望部分に塗布でき
、簡単である。
し出し量をコントロールするだけで所望部分に塗布でき
、簡単である。
(5)ペーストは略密閉された容器内に入っており、貫
通孔部のみ大気と接している為、溶剤が蒸発してペース
ト粘度が変化することが殆どなく、このためペースト粘
度の管理等を不要にできると共に形成した金属膜の品質
を安定させ得る。
通孔部のみ大気と接している為、溶剤が蒸発してペース
ト粘度が変化することが殆どなく、このためペースト粘
度の管理等を不要にできると共に形成した金属膜の品質
を安定させ得る。
第1図は本発明の実施状態を示す側断面図、第2図は本
発明の場合の貫通孔とスルーホールとの位置合わせ例を
示す断面図、第3.4図は本発明方法を説明するための
側断面図、第5図は本発明に用いることができる貫通孔
の他の例をスルーホールと共に示す斜視図、第6図は本
発明によりスルーホールの内面と上・下縁部に金属膜を
形成する場合を示す断面図、第7図は本発明に好適な、
上面に弾性シートを貼った蓋を示す断面図、第8図は従
来の技術を示す側断面図、第9図は従来の技術による場
合の問題説明に用いる側断面図、第10図は本願出願人
が提案した方法の説明に用いる側断面図である。 1・・・部品素体、2・・・スルーホール、3・・・蓋
、3a・・・貫通孔、4・・・容器、5・・・金属ペー
スト、7・・・シリンダ(加減圧装置)、9・・・吸引
孔、P・・・真空ポンプ。
発明の場合の貫通孔とスルーホールとの位置合わせ例を
示す断面図、第3.4図は本発明方法を説明するための
側断面図、第5図は本発明に用いることができる貫通孔
の他の例をスルーホールと共に示す斜視図、第6図は本
発明によりスルーホールの内面と上・下縁部に金属膜を
形成する場合を示す断面図、第7図は本発明に好適な、
上面に弾性シートを貼った蓋を示す断面図、第8図は従
来の技術を示す側断面図、第9図は従来の技術による場
合の問題説明に用いる側断面図、第10図は本願出願人
が提案した方法の説明に用いる側断面図である。 1・・・部品素体、2・・・スルーホール、3・・・蓋
、3a・・・貫通孔、4・・・容器、5・・・金属ペー
スト、7・・・シリンダ(加減圧装置)、9・・・吸引
孔、P・・・真空ポンプ。
Claims (1)
- (1)部品素体に設けたスルーホール内壁に金属膜を形
成する方法において、 貫通孔が形成された蓋にて上面が閉蓋された容器の前記
蓋上に、スルーホールと貫通孔が連通状態となるように
部品素体を位置せしめ、 次いで、容器内に貯留してある金属ペーストの浴面に働
く雰囲気圧を減圧し、或いは浴面下の金属ペーストを加
圧して、金属ペーストを貫通孔とその上のスルーホール
内を上昇させ、スルーホール内壁に金属膜を塗着し、 しかる後、前記金属ペーストの浴面を蓋よりも下方まで
降下させ、 最後に、連通状態のスルーホールと貫通孔に容器外側か
ら内側に向けて気体を通流させることを特徴とするスル
ーホールの金属膜形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1136787A JPH033295A (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | スルーホールの金属膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1136787A JPH033295A (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | スルーホールの金属膜形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH033295A true JPH033295A (ja) | 1991-01-09 |
Family
ID=15183510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1136787A Pending JPH033295A (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | スルーホールの金属膜形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH033295A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013009064A3 (ko) * | 2011-07-12 | 2013-03-14 | 한국생산기술연구원 | 가압유닛이 구비된 웨이퍼 비아 솔더 필링장치 및 이를 이용한 웨이퍼 비아 솔더 필링방법 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54110463A (en) * | 1978-02-17 | 1979-08-29 | Akai Electric | Method of producing printed circuit board |
-
1989
- 1989-05-30 JP JP1136787A patent/JPH033295A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54110463A (en) * | 1978-02-17 | 1979-08-29 | Akai Electric | Method of producing printed circuit board |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013009064A3 (ko) * | 2011-07-12 | 2013-03-14 | 한국생산기술연구원 | 가압유닛이 구비된 웨이퍼 비아 솔더 필링장치 및 이를 이용한 웨이퍼 비아 솔더 필링방법 |
| US9603254B2 (en) | 2011-07-12 | 2017-03-21 | Korea Institute Of Industrial Technology | Apparatus for filling a wafer via with solder |
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