JPH0333053U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の被研磨物保持具の一例を示す
平面図、第２図は第１図の−線における断面
図、第３図は本考案の被研磨物保持具のさらに他
の例を示す平面図、第４図本考案の被研磨物保持
具のさらに他の例を示す断面図、第５図は従来の
被研磨物保持具の平面図、第６図は第５図の−
における断面図である。 １１……テンプレート、１１ａ……リセス孔、
１３……バツキング材、１４……支持材、１８…
…保護部材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 主としてフラツトデイスプレイ用のガラス
   、反射鏡、水晶発振子、半導体ウエーハ等の角形
   の被研磨物の表面を研磨する際に使用される被研
   磨物保持具であつて、 該被研磨物が保持される角形のリセス孔が開設
   されたテンプレートと、 該リセス孔に脱着自在に保持された挿入体とか
   らなり、該挿入体は被研磨物の面に脱着自在に取
   付けることができるようになされた高分子発泡弾
   性体からなるバツキング材と、被研磨物との当接
   による応力と摩耗作用を受容する靭性および耐摩
   耗性に優れた材質からなる保護部材と、 を具備してなる被研磨物保持具。 (2) 前記保護部材がバツキング材周縁部の全周
   にわたつて一体的に接着または粘着されている請
   求項１に記載の被研磨物保持具。 (3) 前記保護部材がリセス孔の各角部を形成す
   る一対の周面部において、互いに隣接しない状態
   で各角部の周面部にのみ配設されるようにバツキ
   ング材に一体的に接着または粘着されている請求
   項１に記載の被研磨物保持具。 (4) 前記挿入体の周縁部におけるバツキング材
   側の角部が面取りされている請求項２〜３のいず
   れかに記載の被研磨物保持具。 (5) 前記テンプレートのリセス孔が複数である
   請求項１〜４のいずれかに記載の被研磨物保持具
   。