JPH0334046Y2 - - Google Patents

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JPH0334046Y2
JPH0334046Y2 JP1984149378U JP14937884U JPH0334046Y2 JP H0334046 Y2 JPH0334046 Y2 JP H0334046Y2 JP 1984149378 U JP1984149378 U JP 1984149378U JP 14937884 U JP14937884 U JP 14937884U JP H0334046 Y2 JPH0334046 Y2 JP H0334046Y2
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sample introduction
introduction system
vacuum chamber
vacuum
integrated
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Description

【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本考案は混合物試料の定性・定量分析などを行
なうために使用されるガスクロマトグラフ質量分
析計(GC−MS)のイオン源に関するものであ
る。
[Detailed Description of the Invention] (Field of Industrial Application) The present invention relates to an ion source for a gas chromatograph mass spectrometer (GC-MS) used for qualitative and quantitative analysis of mixture samples.

(従来の技術) ガスクロマトグラフ質量分析計はガスクロマト
グラフと質量分析計とを直結したものであるが、
広い応用分野に対応させるため、質量分析計の試
料導入系は通常少なくとも3個が設けられてい
る。それらの試料導入系は、例えば第2図に示さ
れるように、標準試料導入系2、ガスクロマトグ
ラフのパツクドカラムからセパレータやスプリツ
ターを経由して導入されるパツクドカラム導入系
4、及びガスクロマトグラフのキヤピラリーカラ
ムから導入されるキヤピラリーカラム導入系6で
ある。
(Prior art) A gas chromatograph mass spectrometer is a device that directly connects a gas chromatograph and a mass spectrometer.
In order to accommodate a wide range of application fields, a mass spectrometer is usually provided with at least three sample introduction systems. These sample introduction systems include, for example, as shown in Figure 2, a standard sample introduction system 2, a packed column introduction system 4 that is introduced from a packed column of a gas chromatograph via a separator or a splitter, and a capillary column of a gas chromatograph. This is the capillary column introduction system 6 introduced from.

各試料導入系2,4,6は、試料導入系保持部
8に一体的に形成された真空フランジ10により
質量分析計の真空室12に取りつけられ、真空室
12中のイオン化室14に試料ガスを導入するよ
うになつている。各試料導入系保持部8の経路と
イオン化室14の間はそれぞれ接続器16により
連結され、この接続器16は軸方向に伸縮可能で
あり、バネ18により伸びる方向に力が加えられ
ているとともに、試料導入系の経路とイオン化室
14との間では球面接触することにより、試料導
入系経路とイオン化室14の間の連結を気密に保
つている。また、各試料導入系保持部8には試料
が内壁に付着するのを防止するための温度調節用
ヒータ20が設けられている。なお、この例では
イオン化室14は電子衝撃型であり、フイラメン
ト22とトラツプ24とを備えている。
Each of the sample introduction systems 2, 4, and 6 is attached to the vacuum chamber 12 of the mass spectrometer by a vacuum flange 10 formed integrally with the sample introduction system holder 8, and the sample gas is introduced into the ionization chamber 14 in the vacuum chamber 12. are being introduced. The path of each sample introduction system holder 8 and the ionization chamber 14 are connected by connectors 16, which can be expanded and contracted in the axial direction, and a force is applied in the direction of expansion by a spring 18. By making spherical contact between the sample introduction system path and the ionization chamber 14, the connection between the sample introduction system path and the ionization chamber 14 is kept airtight. Further, each sample introduction system holder 8 is provided with a temperature adjustment heater 20 for preventing the sample from adhering to the inner wall. In this example, the ionization chamber 14 is of an electron impact type and includes a filament 22 and a trap 24.

一般にイオン化室14への試料導入系は真直で
あることが望ましい。そのため、従来のガスクロ
マトグラフ質量分析計ではその試料導入系は第2
図に示されるように、真空室外から試料導入系保
持部8を経てイオン化室14に至る経路が真直に
なるように各試料導入系経路がイオン化室14を
中心として放射状に配置されている。
Generally, it is desirable that the sample introduction system into the ionization chamber 14 be straight. Therefore, in conventional gas chromatograph mass spectrometers, the sample introduction system is
As shown in the figure, each sample introduction system path is arranged radially around the ionization chamber 14 so that the path from outside the vacuum chamber to the ionization chamber 14 via the sample introduction system holder 8 is straight.

(考案が解決しようとする問題点) 従来の質量分析計では各試料導入系はそれぞれ
独立の真空フランジ10により真空室12に取り
つけられているため、経路の数だけの真空フラン
ジが必要となる。
(Problems to be Solved by the Invention) In a conventional mass spectrometer, each sample introduction system is attached to the vacuum chamber 12 by an independent vacuum flange 10, so as many vacuum flanges as there are paths are required.

そのため、試料導入系の構造が複雑になつてコ
スト高になるだけでなく、保守も複雑になる問題
点がある。
Therefore, there are problems in that the structure of the sample introduction system becomes complicated, which not only increases costs but also complicates maintenance.

本発明は構造が簡単で保守も容易な試料導入系
を備えた質量分析計のイオン源を提供することを
目的とするものである。
An object of the present invention is to provide an ion source for a mass spectrometer equipped with a sample introduction system that is simple in structure and easy to maintain.

(問題点を解決するための手段) 本考案のイオン源では、質量分析計の真空室外
から真空室へ気体試料を導入する複数の試料導入
系の管路の全て又は少なくとも2個が共通の保持
部により互いに平行に設置されて一体化されてお
り、この共通の保持部は1個の真空フランジによ
り真空室に取りつけられているとともに、真空室
内に設置されたイオン化室に試料導入系管路を接
続する接続器は前記一体化された試料導入系用の
ものが連結されて一体化されている。
(Means for Solving the Problems) In the ion source of the present invention, all or at least two of the pipes of the plurality of sample introduction systems that introduce gas samples from outside the vacuum chamber of the mass spectrometer into the vacuum chamber are held in common. This common holding part is attached to the vacuum chamber by one vacuum flange, and the sample introduction system pipe is connected to the ionization chamber installed in the vacuum chamber. The connectors for the integrated sample introduction system are connected and integrated.

(作用) 1個の真空フランジに2個以上の試料導入系が
一体として設けられるので必要なフランジの数が
する。また、試料導入系をイオン化室に接続する
接続器が一体化されているので、保守時の真空フ
ランジの着脱作業も少なくてすむ。
(Function) Since two or more sample introduction systems are integrally provided on one vacuum flange, the number of required flanges is reduced. Furthermore, since the connector that connects the sample introduction system to the ionization chamber is integrated, there is less work to attach and detach the vacuum flange during maintenance.

(実施例) 第1図は本考案の一実施例における真空室と試
料導入系を表わす。第2図の従来のものと比較す
るために3個の試料導入系が設けられたものを例
として説明するがこれに限定されるものではな
い。
(Embodiment) FIG. 1 shows a vacuum chamber and a sample introduction system in an embodiment of the present invention. For comparison with the conventional system shown in FIG. 2, an example in which three sample introduction systems are provided will be described, but the invention is not limited to this.

26は3経路一体型の試料導入系保持部で、熱
伝導のよい金属で構成され、標準試料導入系用管
路28、パツクドカラム導入系用管路30及びキ
ヤピラリーカラム導入系用管路32の3本の管路
が相互に平行に設けられており、この保持部26
に一体的に設けられた真空フランジ34により真
空室12に取りつけられている。
Reference numeral 26 denotes a 3-path integrated sample introduction system holder, which is made of a metal with good thermal conductivity, and includes a standard sample introduction system pipe 28, a packed column introduction system pipe 30, and a capillary column introduction system pipe 32. Three pipes are provided parallel to each other, and this holding part 26
It is attached to the vacuum chamber 12 by a vacuum flange 34 provided integrally therewith.

35はフイラメント22とトラツプ24を備え
た第2図のものと同じ電子衝撃型イオン源のイオ
ン化室であるが、本実施例ではイオン化室35の
3本の試料導入管路36,38,40が試料導入
系保持部26に対向する1個の端面に延び、それ
ぞれの導入口は試料導入系保持部26に対応する
管路28,30,32にそれぞれ対向している。
Reference numeral 35 designates the ionization chamber of the same electron impact ion source as that shown in FIG. It extends to one end face facing the sample introduction system holder 26, and each inlet faces the pipe lines 28, 30, 32 corresponding to the sample introduction system holder 26, respectively.

42は試料導入系保持部の管路28,30,3
2とそれぞれに対応するイオン化室の導入管路3
6,38,40とを接続する接続器であり、第2
図に示されたものと同様の伸縮可能で球面接触す
る3個の接続器がかなりの自由度をもつて連結さ
れており、3個の接続器は同時に収縮させること
もできるようになつている。
42 is the pipe line 28, 30, 3 of the sample introduction system holding part.
2 and the corresponding ionization chamber introduction pipe 3
6, 38, 40, and the second
Three extendable, spherical contact connectors similar to those shown in the figure are connected with considerable freedom, so that the three connectors can also be retracted simultaneously. .

試料導入系保持部26において、標準試料導入
用管路28の保持部部分と他の2本の管路30,
32の保持部部分との間が所定の断面積の接合部
でつながるように切込み44が設けられ、管路3
0,32の保持部部分に温度調節用ヒータ46が
設けられている。これにより両保持部部分間で接
合部を通じて温度勾配が生じ、標準試料導入用管
路28は他の2本の間路30,32より低温に保
たれるようになつている。
In the sample introduction system holding part 26, the holding part of the standard sample introduction pipe 28 and the other two pipes 30,
A notch 44 is provided so that the holding portion of the conduit 32 is connected to the holding portion of the conduit 3 at a joint having a predetermined cross-sectional area.
A temperature adjusting heater 46 is provided at the holding portion portions 0 and 32. This creates a temperature gradient across the joint between both holding portions, so that the standard sample introduction conduit 28 is kept at a lower temperature than the other two intervening passages 30, 32.

この実施例では試料導入系保持部26の管路2
8,30,32と接続器42との間の経路は真直
にすることができるが、接続器42とイオン化室
35の導入管路36,38,40の間の経路には
屈曲部が形成される。このことは好ましいことで
はないが、この実施例の程度の屈曲部は実用上あ
まり問題とはならない。
In this embodiment, the pipe line 2 of the sample introduction system holding section 26 is
The paths between the connectors 8, 30, 32 and the connector 42 can be straight, but the paths between the connectors 42 and the introduction pipes 36, 38, 40 of the ionization chamber 35 have bends. Ru. Although this is not preferable, the bent portion of this embodiment does not pose much of a problem in practice.

本実施例を第2図の従来のものと比較すると、
第2図のものでは真空フランジが3個必要である
のに対し、本実施例では1個で済む。それに伴な
つて構造が簡単になつていることは勿論、保守の
際にも1個の真空フランジの着脱作業により3個
の試料導入系を同時に着脱することができる。
Comparing this embodiment with the conventional one shown in Fig. 2,
While the one in FIG. 2 requires three vacuum flanges, this embodiment only requires one. This not only simplifies the structure, but also allows three sample introduction systems to be attached and detached at the same time during maintenance by attaching and detaching one vacuum flange.

実施例では3個の試料導入系をもつものについ
て説明したが、2個又は4個以上のものについて
も同様に適用することができる。
In the embodiment, a system having three sample introduction systems has been described, but the system can be similarly applied to systems having two or four or more.

また、全ての試料導入系を1個の真空フランジ
に一体化する例を説明しているが、例えば標準試
料導入系だけは従来通り独立して取りつけるよう
にし、他の複数の試料導入系を一体化するように
してもよい。その場合、一体化された複数の試料
導入系について本考案の効果を発揮することがで
きる。
Also, an example is explained in which all sample introduction systems are integrated into one vacuum flange, but for example, only the standard sample introduction system can be installed independently as before, and multiple other sample introduction systems can be integrated. . In that case, the effects of the present invention can be exhibited for a plurality of integrated sample introduction systems.

また、イオン源は例示の電子衝撃型のものに限
らず他の型のものであつても同様である。
Further, the ion source is not limited to the illustrated electron impact type, but the same applies to other types.

(考案の効果) 本考案によれば、質量分析計の試料導入系の構
造が簡単になつてコストが低下するだけでなく、
保守作業も容易になる。
(Effects of the invention) According to the invention, the structure of the sample introduction system of a mass spectrometer is simplified, and the cost is reduced.
Maintenance work also becomes easier.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は一実施例を示す要部端面図、第2図は
従来の例を示す要部断面図である。 12…真空室、26…試料導入系保持部、2
8,30,32…試料導入系用管路、34…真空
フランジ、35…イオン化室。
FIG. 1 is an end view of a main part showing one embodiment, and FIG. 2 is a sectional view of a main part showing a conventional example. 12... Vacuum chamber, 26... Sample introduction system holding section, 2
8, 30, 32... Sample introduction system conduit, 34... Vacuum flange, 35... Ionization chamber.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 質量分析計の真空室外から真空室へ気体試料を
導入する複数の試料導入系の管路の全て又は少な
くとも2個が共通の保持部により互いに平行に設
置されて一体化されており、この共通の保持部は
1個の真空フランジにより真空室に取りつけられ
ているとともに、真空室内に設置されたイオン化
室に試料導入系管路を接続する接続器は前記一体
化された試料導入系用のものが連結されて一体化
されているイオン源。
All or at least two of the pipes of the plurality of sample introduction systems that introduce gas samples from outside the vacuum chamber of the mass spectrometer into the vacuum chamber are installed parallel to each other by a common holding part and are integrated. The holding part is attached to the vacuum chamber by one vacuum flange, and the connector for connecting the sample introduction system pipe line to the ionization chamber installed in the vacuum chamber is for the integrated sample introduction system. A connected and integrated ion source.
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