JPH0334046Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0334046Y2 JPH0334046Y2 JP1984149378U JP14937884U JPH0334046Y2 JP H0334046 Y2 JPH0334046 Y2 JP H0334046Y2 JP 1984149378 U JP1984149378 U JP 1984149378U JP 14937884 U JP14937884 U JP 14937884U JP H0334046 Y2 JPH0334046 Y2 JP H0334046Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample introduction
- introduction system
- vacuum chamber
- vacuum
- integrated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は混合物試料の定性・定量分析などを行
なうために使用されるガスクロマトグラフ質量分
析計（GC−MS）のイオン源に関するものであ
る。
なうために使用されるガスクロマトグラフ質量分
析計（GC−MS）のイオン源に関するものであ
る。
（従来の技術）
ガスクロマトグラフ質量分析計はガスクロマト
グラフと質量分析計とを直結したものであるが、
広い応用分野に対応させるため、質量分析計の試
料導入系は通常少なくとも３個が設けられてい
る。それらの試料導入系は、例えば第２図に示さ
れるように、標準試料導入系２、ガスクロマトグ
ラフのパツクドカラムからセパレータやスプリツ
ターを経由して導入されるパツクドカラム導入系
４、及びガスクロマトグラフのキヤピラリーカラ
ムから導入されるキヤピラリーカラム導入系６で
ある。
グラフと質量分析計とを直結したものであるが、
広い応用分野に対応させるため、質量分析計の試
料導入系は通常少なくとも３個が設けられてい
る。それらの試料導入系は、例えば第２図に示さ
れるように、標準試料導入系２、ガスクロマトグ
ラフのパツクドカラムからセパレータやスプリツ
ターを経由して導入されるパツクドカラム導入系
４、及びガスクロマトグラフのキヤピラリーカラ
ムから導入されるキヤピラリーカラム導入系６で
ある。
各試料導入系２，４，６は、試料導入系保持部
８に一体的に形成された真空フランジ１０により
質量分析計の真空室１２に取りつけられ、真空室
１２中のイオン化室１４に試料ガスを導入するよ
うになつている。各試料導入系保持部８の経路と
イオン化室１４の間はそれぞれ接続器１６により
連結され、この接続器１６は軸方向に伸縮可能で
あり、バネ１８により伸びる方向に力が加えられ
ているとともに、試料導入系の経路とイオン化室
１４との間では球面接触することにより、試料導
入系経路とイオン化室１４の間の連結を気密に保
つている。また、各試料導入系保持部８には試料
が内壁に付着するのを防止するための温度調節用
ヒータ２０が設けられている。なお、この例では
イオン化室１４は電子衝撃型であり、フイラメン
ト２２とトラツプ２４とを備えている。
８に一体的に形成された真空フランジ１０により
質量分析計の真空室１２に取りつけられ、真空室
１２中のイオン化室１４に試料ガスを導入するよ
うになつている。各試料導入系保持部８の経路と
イオン化室１４の間はそれぞれ接続器１６により
連結され、この接続器１６は軸方向に伸縮可能で
あり、バネ１８により伸びる方向に力が加えられ
ているとともに、試料導入系の経路とイオン化室
１４との間では球面接触することにより、試料導
入系経路とイオン化室１４の間の連結を気密に保
つている。また、各試料導入系保持部８には試料
が内壁に付着するのを防止するための温度調節用
ヒータ２０が設けられている。なお、この例では
イオン化室１４は電子衝撃型であり、フイラメン
ト２２とトラツプ２４とを備えている。
一般にイオン化室１４への試料導入系は真直で
あることが望ましい。そのため、従来のガスクロ
マトグラフ質量分析計ではその試料導入系は第２
図に示されるように、真空室外から試料導入系保
持部８を経てイオン化室１４に至る経路が真直に
なるように各試料導入系経路がイオン化室１４を
中心として放射状に配置されている。
あることが望ましい。そのため、従来のガスクロ
マトグラフ質量分析計ではその試料導入系は第２
図に示されるように、真空室外から試料導入系保
持部８を経てイオン化室１４に至る経路が真直に
なるように各試料導入系経路がイオン化室１４を
中心として放射状に配置されている。
（考案が解決しようとする問題点）
従来の質量分析計では各試料導入系はそれぞれ
独立の真空フランジ１０により真空室１２に取り
つけられているため、経路の数だけの真空フラン
ジが必要となる。
独立の真空フランジ１０により真空室１２に取り
つけられているため、経路の数だけの真空フラン
ジが必要となる。
そのため、試料導入系の構造が複雑になつてコ
スト高になるだけでなく、保守も複雑になる問題
点がある。
スト高になるだけでなく、保守も複雑になる問題
点がある。
本発明は構造が簡単で保守も容易な試料導入系
を備えた質量分析計のイオン源を提供することを
目的とするものである。
を備えた質量分析計のイオン源を提供することを
目的とするものである。
（問題点を解決するための手段）
本考案のイオン源では、質量分析計の真空室外
から真空室へ気体試料を導入する複数の試料導入
系の管路の全て又は少なくとも２個が共通の保持
部により互いに平行に設置されて一体化されてお
り、この共通の保持部は１個の真空フランジによ
り真空室に取りつけられているとともに、真空室
内に設置されたイオン化室に試料導入系管路を接
続する接続器は前記一体化された試料導入系用の
ものが連結されて一体化されている。
から真空室へ気体試料を導入する複数の試料導入
系の管路の全て又は少なくとも２個が共通の保持
部により互いに平行に設置されて一体化されてお
り、この共通の保持部は１個の真空フランジによ
り真空室に取りつけられているとともに、真空室
内に設置されたイオン化室に試料導入系管路を接
続する接続器は前記一体化された試料導入系用の
ものが連結されて一体化されている。
（作用）
１個の真空フランジに２個以上の試料導入系が
一体として設けられるので必要なフランジの数が
する。また、試料導入系をイオン化室に接続する
接続器が一体化されているので、保守時の真空フ
ランジの着脱作業も少なくてすむ。
一体として設けられるので必要なフランジの数が
する。また、試料導入系をイオン化室に接続する
接続器が一体化されているので、保守時の真空フ
ランジの着脱作業も少なくてすむ。
（実施例）
第１図は本考案の一実施例における真空室と試
料導入系を表わす。第２図の従来のものと比較す
るために３個の試料導入系が設けられたものを例
として説明するがこれに限定されるものではな
い。
料導入系を表わす。第２図の従来のものと比較す
るために３個の試料導入系が設けられたものを例
として説明するがこれに限定されるものではな
い。
２６は３経路一体型の試料導入系保持部で、熱
伝導のよい金属で構成され、標準試料導入系用管
路２８、パツクドカラム導入系用管路３０及びキ
ヤピラリーカラム導入系用管路３２の３本の管路
が相互に平行に設けられており、この保持部２６
に一体的に設けられた真空フランジ３４により真
空室１２に取りつけられている。
伝導のよい金属で構成され、標準試料導入系用管
路２８、パツクドカラム導入系用管路３０及びキ
ヤピラリーカラム導入系用管路３２の３本の管路
が相互に平行に設けられており、この保持部２６
に一体的に設けられた真空フランジ３４により真
空室１２に取りつけられている。
３５はフイラメント２２とトラツプ２４を備え
た第２図のものと同じ電子衝撃型イオン源のイオ
ン化室であるが、本実施例ではイオン化室３５の
３本の試料導入管路３６，３８，４０が試料導入
系保持部２６に対向する１個の端面に延び、それ
ぞれの導入口は試料導入系保持部２６に対応する
管路２８，３０，３２にそれぞれ対向している。
た第２図のものと同じ電子衝撃型イオン源のイオ
ン化室であるが、本実施例ではイオン化室３５の
３本の試料導入管路３６，３８，４０が試料導入
系保持部２６に対向する１個の端面に延び、それ
ぞれの導入口は試料導入系保持部２６に対応する
管路２８，３０，３２にそれぞれ対向している。
４２は試料導入系保持部の管路２８，３０，３
２とそれぞれに対応するイオン化室の導入管路３
６，３８，４０とを接続する接続器であり、第２
図に示されたものと同様の伸縮可能で球面接触す
る３個の接続器がかなりの自由度をもつて連結さ
れており、３個の接続器は同時に収縮させること
もできるようになつている。
２とそれぞれに対応するイオン化室の導入管路３
６，３８，４０とを接続する接続器であり、第２
図に示されたものと同様の伸縮可能で球面接触す
る３個の接続器がかなりの自由度をもつて連結さ
れており、３個の接続器は同時に収縮させること
もできるようになつている。
試料導入系保持部２６において、標準試料導入
用管路２８の保持部部分と他の２本の管路３０，
３２の保持部部分との間が所定の断面積の接合部
でつながるように切込み４４が設けられ、管路３
０，３２の保持部部分に温度調節用ヒータ４６が
設けられている。これにより両保持部部分間で接
合部を通じて温度勾配が生じ、標準試料導入用管
路２８は他の２本の間路３０，３２より低温に保
たれるようになつている。
用管路２８の保持部部分と他の２本の管路３０，
３２の保持部部分との間が所定の断面積の接合部
でつながるように切込み４４が設けられ、管路３
０，３２の保持部部分に温度調節用ヒータ４６が
設けられている。これにより両保持部部分間で接
合部を通じて温度勾配が生じ、標準試料導入用管
路２８は他の２本の間路３０，３２より低温に保
たれるようになつている。
この実施例では試料導入系保持部２６の管路２
８，３０，３２と接続器４２との間の経路は真直
にすることができるが、接続器４２とイオン化室
３５の導入管路３６，３８，４０の間の経路には
屈曲部が形成される。このことは好ましいことで
はないが、この実施例の程度の屈曲部は実用上あ
まり問題とはならない。
８，３０，３２と接続器４２との間の経路は真直
にすることができるが、接続器４２とイオン化室
３５の導入管路３６，３８，４０の間の経路には
屈曲部が形成される。このことは好ましいことで
はないが、この実施例の程度の屈曲部は実用上あ
まり問題とはならない。
本実施例を第２図の従来のものと比較すると、
第２図のものでは真空フランジが３個必要である
のに対し、本実施例では１個で済む。それに伴な
つて構造が簡単になつていることは勿論、保守の
際にも１個の真空フランジの着脱作業により３個
の試料導入系を同時に着脱することができる。
第２図のものでは真空フランジが３個必要である
のに対し、本実施例では１個で済む。それに伴な
つて構造が簡単になつていることは勿論、保守の
際にも１個の真空フランジの着脱作業により３個
の試料導入系を同時に着脱することができる。
実施例では３個の試料導入系をもつものについ
て説明したが、２個又は４個以上のものについて
も同様に適用することができる。
て説明したが、２個又は４個以上のものについて
も同様に適用することができる。
また、全ての試料導入系を１個の真空フランジ
に一体化する例を説明しているが、例えば標準試
料導入系だけは従来通り独立して取りつけるよう
にし、他の複数の試料導入系を一体化するように
してもよい。その場合、一体化された複数の試料
導入系について本考案の効果を発揮することがで
きる。
に一体化する例を説明しているが、例えば標準試
料導入系だけは従来通り独立して取りつけるよう
にし、他の複数の試料導入系を一体化するように
してもよい。その場合、一体化された複数の試料
導入系について本考案の効果を発揮することがで
きる。
また、イオン源は例示の電子衝撃型のものに限
らず他の型のものであつても同様である。
らず他の型のものであつても同様である。
（考案の効果）
本考案によれば、質量分析計の試料導入系の構
造が簡単になつてコストが低下するだけでなく、
保守作業も容易になる。
造が簡単になつてコストが低下するだけでなく、
保守作業も容易になる。
第１図は一実施例を示す要部端面図、第２図は
従来の例を示す要部断面図である。 １２…真空室、２６…試料導入系保持部、２
８，３０，３２…試料導入系用管路、３４…真空
フランジ、３５…イオン化室。
従来の例を示す要部断面図である。 １２…真空室、２６…試料導入系保持部、２
８，３０，３２…試料導入系用管路、３４…真空
フランジ、３５…イオン化室。
Claims (1)
- 質量分析計の真空室外から真空室へ気体試料を
導入する複数の試料導入系の管路の全て又は少な
くとも２個が共通の保持部により互いに平行に設
置されて一体化されており、この共通の保持部は
１個の真空フランジにより真空室に取りつけられ
ているとともに、真空室内に設置されたイオン化
室に試料導入系管路を接続する接続器は前記一体
化された試料導入系用のものが連結されて一体化
されているイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984149378U JPH0334046Y2 (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984149378U JPH0334046Y2 (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6163757U JPS6163757U (ja) | 1986-04-30 |
| JPH0334046Y2 true JPH0334046Y2 (ja) | 1991-07-18 |
Family
ID=30707562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984149378U Expired JPH0334046Y2 (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0334046Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BRPI0910238A2 (pt) * | 2008-03-28 | 2015-09-29 | Getters Spa | sistema de bombeamento combinado. |
| JP5253923B2 (ja) * | 2008-08-19 | 2013-07-31 | 日本電子株式会社 | ガスクロマトグラフ質量分析装置用イオン源 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5843862A (ja) * | 1981-09-09 | 1983-03-14 | Kayaba Ind Co Ltd | プラネタリギヤ型動力舵取装置 |
-
1984
- 1984-10-02 JP JP1984149378U patent/JPH0334046Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6163757U (ja) | 1986-04-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0053768B1 (en) | Flow combining or distributing assembly for use in connecting capillaries of chromatographic analysis apparatus | |
| US5829794A (en) | Vacuumtight connection | |
| NO20011866L (no) | Forbedret integrert ventilutforming for gasskromatografi | |
| US4988870A (en) | Open-split interface for mass spectrometers | |
| JPS6183894A (ja) | 熱交換器 | |
| US5600136A (en) | Single potential ion source | |
| US4826121A (en) | Fastener for securing a shell to a firewall | |
| US6301952B1 (en) | Gas chromatographic device | |
| US7216899B2 (en) | Alternative method for sealing all-metal vacuum joints | |
| JPH0550808B2 (ja) | ||
| JPS62165081A (ja) | バルブの製造法 | |
| JPS5830540B2 (ja) | ガスクロマトグラフ | |
| USRE31055E (en) | Aperture mask supported by spring lugs and spring clips | |
| JPS6032117B2 (ja) | 熱交換器管板の取付構造 | |
| JP3909395B2 (ja) | 液体クロマトグラフ質量分析装置 | |
| JPH0351742Y2 (ja) | ||
| JPH03209087A (ja) | 管接続装置 | |
| JPS6163757U (ja) | ||
| Wetzel et al. | Construction of a gas chromatography-mass spectrometry interface using a fused-silica transfer line | |
| JPS5930996Y2 (ja) | 質量分析装置のイオン源装置 | |
| JPH0438204Y2 (ja) | ||
| JP2536980Y2 (ja) | 質量分析計 | |
| JPH0244211Y2 (ja) | ||
| KR200232355Y1 (ko) | 공기조화기의온도감지부재고정구조 | |
| JP2024518579A (ja) | 二次フランジを備えた飛行時間型質量分析計アセンブリ |