JPH0334511A - フィルムコンデンサの製造方法 - Google Patents
フィルムコンデンサの製造方法Info
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- JPH0334511A JPH0334511A JP1170183A JP17018389A JPH0334511A JP H0334511 A JPH0334511 A JP H0334511A JP 1170183 A JP1170183 A JP 1170183A JP 17018389 A JP17018389 A JP 17018389A JP H0334511 A JPH0334511 A JP H0334511A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電子機器、電気機器に用いられるコンデンサ
、中でも金属化フィルムコンデンサの製造方法に関する
ものである。
、中でも金属化フィルムコンデンサの製造方法に関する
ものである。
従来の技術
近年、電子機器、電気機器の多機能化、小型化の取り組
みが盛んであり、これに用いられるフィルムコンデンサ
も益々小型化を要求されている。
みが盛んであり、これに用いられるフィルムコンデンサ
も益々小型化を要求されている。
以下、図面を参照しながら、従来のフィルムコンデンサ
の製造方法の一例について説明する。
の製造方法の一例について説明する。
第６図は従来の巻回型フィルムコンデンサ素子の代表的
な形成方法を示す。
な形成方法を示す。
図において、１９と２Ｏは、いずれも片面金属化フィル
ムである。この１９と２Ｏを同時に巻回することによっ
て（２１）、巻回型フイルムコンデンサ素子２２ができ
上がる。
ムである。この１９と２Ｏを同時に巻回することによっ
て（２１）、巻回型フイルムコンデンサ素子２２ができ
上がる。
従来、巻回型フイルムコンデンサ素子２２の端面には電
極金属を形成する為に、フィルム幅方向（現在最小で０
．２Ｍ程度）に交互にずらせた状態で巻き取り、端面電
極を形成すべき端面に間隔をもうけていた。また、交互
にずらせる為に、第６図に示すように、１個のフィルム
コンデンサ素子を形成するのに１９．２Ｏのそれぞれ１
対の原反が必要であった。
極金属を形成する為に、フィルム幅方向（現在最小で０
．２Ｍ程度）に交互にずらせた状態で巻き取り、端面電
極を形成すべき端面に間隔をもうけていた。また、交互
にずらせる為に、第６図に示すように、１個のフィルム
コンデンサ素子を形成するのに１９．２Ｏのそれぞれ１
対の原反が必要であった。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上述のような構成では、広幅の原反を、
１９．２Ｏのようにコンデンサ素子１個分幅に精度よく
スリットする必要がある上、第６図のようにずらし巻き
が精度よく行わなければならない。
１９．２Ｏのようにコンデンサ素子１個分幅に精度よく
スリットする必要がある上、第６図のようにずらし巻き
が精度よく行わなければならない。
このような方法では、広幅の原反を細幅にスリットする
必要があること、装置コストが高いこと、巻取りに高い
精度が必要であること、ずらし巻きのためにフィルムコ
ンデンサの小型化が図りにくいことなどの問題があった
。
必要があること、装置コストが高いこと、巻取りに高い
精度が必要であること、ずらし巻きのためにフィルムコ
ンデンサの小型化が図りにくいことなどの問題があった
。
本発明は上記従来の方法にあった課題に鑑み、有機材料
からなる誘電体と電極とを多重に交互に重ね合わせた巻
回型、もしくは積層型のフィルムコンデンサを形成する
に際し、１枚の広幅の原反を巻取りながら、もしくは１
対の広幅の原反を巻き取りながら複数個のコンデンサ素
子を提供するものである。
からなる誘電体と電極とを多重に交互に重ね合わせた巻
回型、もしくは積層型のフィルムコンデンサを形成する
に際し、１枚の広幅の原反を巻取りながら、もしくは１
対の広幅の原反を巻き取りながら複数個のコンデンサ素
子を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために、本発明は、１枚の広幅の金
属化有機材料を１枚、もしくは非金属化有機材料と重ね
合わせながら２枚同時に、あるいは２枚の金属化有機材
料を２枚重ね合わせ、幅方向の間隔が１個分のコンデン
サに相当する間隔でスリットしながら巻取り、複数の巻
回型もしくは積層型フィルムコンデンサを形成し各々の
電極端面を有機材料と反応性の高いガスを接触させ、各
々の端面側部分を化学的に選択的除去した後に端面電極
を形成するものである。
属化有機材料を１枚、もしくは非金属化有機材料と重ね
合わせながら２枚同時に、あるいは２枚の金属化有機材
料を２枚重ね合わせ、幅方向の間隔が１個分のコンデン
サに相当する間隔でスリットしながら巻取り、複数の巻
回型もしくは積層型フィルムコンデンサを形成し各々の
電極端面を有機材料と反応性の高いガスを接触させ、各
々の端面側部分を化学的に選択的除去した後に端面電極
を形成するものである。
作用
この製造方法により、広幅の原反から複数のフィルムコ
ンデンサを形成することができ、ずらし巻きを行う必要
もなく高い精度で巻取り、かつ、端面電極の十分名付着
強度を得る。
ンデンサを形成することができ、ずらし巻きを行う必要
もなく高い精度で巻取り、かつ、端面電極の十分名付着
強度を得る。
実施例
以下、本発明のフィルムコンデンサとその製造方法につ
いて、実施例にもとづいて説明する。
いて、実施例にもとづいて説明する。
実施例１
第１図ｆａ）は本発明の第１の実施例である巻回型フィ
ルムコンデンサの製造工程の巻取り部を示す。
ルムコンデンサの製造工程の巻取り部を示す。
図において、１は片面金属化フィルム、２はスリット刃
、３は巻回型の巻取り部、４は巻回型フイルムコンデン
サ素子である。
、３は巻回型の巻取り部、４は巻回型フイルムコンデン
サ素子である。
本実施例において、広幅の片面金属化フィルム１はコン
デンサ素子１個分の間隔でマージン（非金属化部）が形
成されており、マージンの横をスリット刃２によってコ
ンデンサ素子４１個分の間隔でスリットしながら巻取る
。
デンサ素子１個分の間隔でマージン（非金属化部）が形
成されており、マージンの横をスリット刃２によってコ
ンデンサ素子４１個分の間隔でスリットしながら巻取る
。
また、第１図（ｂｌは、広幅の片面金属化フィルムｌを
平板のボビン６に積層巻取りをおこなっているものを示
す。第１図ｔｂ＋においても第１図ｆａｔと同様、広幅
の片面金属化フィルム１はコンデンサ素子７１個分の間
隔でマージンが形成されており、マージンの横をスリッ
ト刃２によってコンデンサ素子７１個分の間隔でスリッ
トしながら巻取る。
平板のボビン６に積層巻取りをおこなっているものを示
す。第１図ｔｂ＋においても第１図ｆａｔと同様、広幅
の片面金属化フィルム１はコンデンサ素子７１個分の間
隔でマージンが形成されており、マージンの横をスリッ
ト刃２によってコンデンサ素子７１個分の間隔でスリッ
トしながら巻取る。
なおこのとき、第１図（ａ）及び（ｂｌのマージンは、
第３図（ａ）に示されるように１層毎に位置を切り替え
られ対向部（容量に寄与する部分）を形成する。
第３図（ａ）に示されるように１層毎に位置を切り替え
られ対向部（容量に寄与する部分）を形成する。
第１図ｆａｔ及び（ｂｌによって巻取られたコンデンサ
素子４．７は第２図に示されるように矢印の方向８．９
から電極引き出し端面側部分を化学的に選択的除去され
る。この選択的除去の様子を第３図に示す。
素子４．７は第２図に示されるように矢印の方向８．９
から電極引き出し端面側部分を化学的に選択的除去され
る。この選択的除去の様子を第３図に示す。
第３図（ａ）は前述した巻回、もしくは積層されたコン
デンサ素子４，７の層間断面を示す。ここで、１０はフ
ィルム（有機材料）、１１は蒸着アルミ（金属化部）、
１２はマージン（非金属化部）を示す。、この第３図ｆ
ａｔに示される構造をもつコンデンサ素子は、第３図（
ｂｌに示されるようにフィルム（有機材料）のみを化学
的に選択的除去される。
デンサ素子４，７の層間断面を示す。ここで、１０はフ
ィルム（有機材料）、１１は蒸着アルミ（金属化部）、
１２はマージン（非金属化部）を示す。、この第３図ｆ
ａｔに示される構造をもつコンデンサ素子は、第３図（
ｂｌに示されるようにフィルム（有機材料）のみを化学
的に選択的除去される。
ここで、１３は化学的に選択的除去されたフィルム（有
機材料）であり、蒸着アルミ１１（金属化部）は除去さ
れることなく露出した状態となる。
機材料）であり、蒸着アルミ１１（金属化部）は除去さ
れることなく露出した状態となる。
この化学的に選択的除去された端面に端面電極を形成す
ると第３図（Ｃ１のようになる。１４は溶射された黄銅
粒子であり、１個のコンデンサができ上がる。
ると第３図（Ｃ１のようになる。１４は溶射された黄銅
粒子であり、１個のコンデンサができ上がる。
なお、上記の有機材料の化学的選択的除去方法として、
酸素プラズマ処理装置が用いられる。この酸素プラズマ
処理装置によって、第３図（ａｌの電極引き出しをすべ
き端面を酸素ガスプラズマに接触させ第３図（ｂｌに示
すように、電極引き出し端面側部分の有機材料のみを化
学的に選択的除去する。
酸素プラズマ処理装置が用いられる。この酸素プラズマ
処理装置によって、第３図（ａｌの電極引き出しをすべ
き端面を酸素ガスプラズマに接触させ第３図（ｂｌに示
すように、電極引き出し端面側部分の有機材料のみを化
学的に選択的除去する。
この酸素プラズマ処理装置によるエツチング条件は、酸
素流量６０８ＣＣＭ、圧力１ 、 Ｑ Ｔｏｒｒ、高周
波電力４００Ｗとした。
素流量６０８ＣＣＭ、圧力１ 、 Ｑ Ｔｏｒｒ、高周
波電力４００Ｗとした。
酸素プラズマによる有機物フィルムの除去刃、有機物フ
ィルムのＣ−Ｃ，Ｃ−Ｈ，Ｃ−８などの結合を酸素プラ
ズマ中の酸素ラジカルが攻撃し、有機物がＣＯ２，Ｈ２
ＯやＳＯ２などのガスとなり、それが排出されることに
より行われる。
ィルムのＣ−Ｃ，Ｃ−Ｈ，Ｃ−８などの結合を酸素プラ
ズマ中の酸素ラジカルが攻撃し、有機物がＣＯ２，Ｈ２
ＯやＳＯ２などのガスとなり、それが排出されることに
より行われる。
また、金属化フィルムの巻回体もしくは積層体の端面電
極側部分のフィルムを上記方法により化学的に選択的除
去すると、巻回時もしくは積層時に微小な隙間があ−る
金属化フィルムの非金属化側の方が、それがない金属化
部側の部分よりも優先的に除去されるため、各フィルム
の端面がテーパー状に加工されることが予想される。
極側部分のフィルムを上記方法により化学的に選択的除
去すると、巻回時もしくは積層時に微小な隙間があ−る
金属化フィルムの非金属化側の方が、それがない金属化
部側の部分よりも優先的に除去されるため、各フィルム
の端面がテーパー状に加工されることが予想される。
実施例２
次に、本発明の第２の実施例について説明する。
第４図は本発明の第２の実施例である巻回型フイルムコ
ンデンサの製造工程の巻取り部を示す。
ンデンサの製造工程の巻取り部を示す。
図において、１５と１６はいずれも片面金属化フィルム
か、もしくは両面金属化フィルムと非金属化フィルムの
組み合わせである。
か、もしくは両面金属化フィルムと非金属化フィルムの
組み合わせである。
ここでは、１５と１６いずれも片面金属化フィルムであ
った場合について説明する。１５と１６いずれの片面金
属化フィルムもコンデンサ素子１個分の間隔でマージン
（非金属化部）が形成されており、マージン横をスリッ
ト刃２によってコンデンサ素子１個分の間隔でスリット
しながら２枚重ね合わせて巻取る。
った場合について説明する。１５と１６いずれの片面金
属化フィルムもコンデンサ素子１個分の間隔でマージン
（非金属化部）が形成されており、マージン横をスリッ
ト刃２によってコンデンサ素子１個分の間隔でスリット
しながら２枚重ね合わせて巻取る。
第４図によって巻取られたコンデンサ素子１７は実施例
１と同様に電極引き出し端面側部分を化学的に選択的除
去される。さらに、この選択的除去の様子も実施例１と
同様に第３図（ａｌ〜（Ｃ）に示されるとおりであり、
有機材料の化学的な選択的除去方法である酸素プラズマ
処理についても実施例１と同様である。
１と同様に電極引き出し端面側部分を化学的に選択的除
去される。さらに、この選択的除去の様子も実施例１と
同様に第３図（ａｌ〜（Ｃ）に示されるとおりであり、
有機材料の化学的な選択的除去方法である酸素プラズマ
処理についても実施例１と同様である。
実施例１と同様、この方法によれば、広幅の原反から高
い精度で巻取られた複数のコンデンサ素子を得ることが
できる。
い精度で巻取られた複数のコンデンサ素子を得ることが
できる。
なお、上記のコンデンサの製造方法は第４図において１
５と１６が、両面金属化フィルムと非金属化フィルムと
の組み合わせであっても同様である。
５と１６が、両面金属化フィルムと非金属化フィルムと
の組み合わせであっても同様である。
また、上記のコンデンサの製造方法は、第５図に示すよ
うな積層型のフィルムコンデンサの製造工程についても
同様である。
うな積層型のフィルムコンデンサの製造工程についても
同様である。
発明の効果
以上のように本発明はフィルムコンデンサ素子を広幅の
原反から、コンデンサ素子１個分の幅でスリットしなが
ら精度よく巻取りフィルムコンデンサ素子を形成した後
、この電極引き出し端面を有機材料と反応性のガスを少
なくとも含むガスに接触させ、誘電体の電極引き出し端
面側部分を化学的に選択的除去を施し、電極を前記端面
より露出させ、電極と端面電極との良好な電気的な接触
と、端面電極の十分な付着強度を得ることができ、特性
の勝れた巻回型あるいは積層型フィルムコンデンサを量
産性よく生産することができる。
原反から、コンデンサ素子１個分の幅でスリットしなが
ら精度よく巻取りフィルムコンデンサ素子を形成した後
、この電極引き出し端面を有機材料と反応性のガスを少
なくとも含むガスに接触させ、誘電体の電極引き出し端
面側部分を化学的に選択的除去を施し、電極を前記端面
より露出させ、電極と端面電極との良好な電気的な接触
と、端面電極の十分な付着強度を得ることができ、特性
の勝れた巻回型あるいは積層型フィルムコンデンサを量
産性よく生産することができる。
第１図（ａｌ、 （ｂ）は本発明の第１の実施例におけ
る巻回型及び積層型フィルムコンデンサの製造方法の工
程の主要部分を示す図、第２図は第１図によって巻取ら
れたフィルムコンデンサ素子の有機材料の化学的な選択
的除去方向を示す図、第３図はコンデンサ素子の誘電体
の電極引き出し端面側部分を化学的に選択的除去する様
子を、コンデンサ素子の断面で示した図、第４図は２枚
の金属化フィルム、もしくは１枚の金属化フィルムと１
枚の非金属化フィルムをコンデンサ１個分の幅でスリッ
トしながら、重ね合わせながら巻取り、巻回型フィルム
コンデンサを製造する工程を示す図、第５図は第４図同
様、積層型フィルムコンデンサを製造する工程を示す図
、第６図は従来の巻回型フイルムコンデンサの代表的な
製造工程を示す図である。 １・・・・・・金属化フィルム、２・・・・・・スリッ
ト刃、３・・・・・・巻回型巻取部、４・・・・・・巻
回フィルムコンデンサ素子、５・・・・・・積層型巻取
部、６・・・・・・平板ボビン、７・・・・・・積層型
フィルムコンデンサ素子。
る巻回型及び積層型フィルムコンデンサの製造方法の工
程の主要部分を示す図、第２図は第１図によって巻取ら
れたフィルムコンデンサ素子の有機材料の化学的な選択
的除去方向を示す図、第３図はコンデンサ素子の誘電体
の電極引き出し端面側部分を化学的に選択的除去する様
子を、コンデンサ素子の断面で示した図、第４図は２枚
の金属化フィルム、もしくは１枚の金属化フィルムと１
枚の非金属化フィルムをコンデンサ１個分の幅でスリッ
トしながら、重ね合わせながら巻取り、巻回型フィルム
コンデンサを製造する工程を示す図、第５図は第４図同
様、積層型フィルムコンデンサを製造する工程を示す図
、第６図は従来の巻回型フイルムコンデンサの代表的な
製造工程を示す図である。 １・・・・・・金属化フィルム、２・・・・・・スリッ
ト刃、３・・・・・・巻回型巻取部、４・・・・・・巻
回フィルムコンデンサ素子、５・・・・・・積層型巻取
部、６・・・・・・平板ボビン、７・・・・・・積層型
フィルムコンデンサ素子。
Claims (8)
- （１）１枚の幅広の金属化有機材料を１枚、もしくは非
金属化有機材料と重ね合わせながら２枚同時に幅方向の
間隔が１個分のコンデンサに相当する間隔でスリットし
ながら巻取り、複数の電極と、前記電極間に少なくとも
１層以上の誘電体とを形成する積層物あるいは巻回物を
形成する工程と、前記積層物あるいは巻回物の端面の揃
った電極引き出し端面を有機材料と反応性のガスを少な
くとも含むガスに接触させ、前記誘電体の前記電極引き
出し端面側部分を化学的に除去した後に、端面電極を形
成する工程とを具備することを特徴とするフィルムコン
デンサの製造方法。 - （２）２枚の幅広の金属化有機材料を２枚同時に幅方向
の間隔が１個分のコンデンサに相当する間隔でスリット
しながら巻取り、複数の電極と、前記電極間に少なくと
も１層以上の誘電体とを形成する積層物あるいは巻回物
を形成する工程と、前記積層物あるいは巻回物の端面の
揃った電極引き出し端面を有機材料と反応性のガスを少
なくとも含むガスに接触させ、前記誘電体の前記電極引
き出し端面側部分を化学的に除去した後に、端面電極を
形成する工程とを具備することを特徴とするフィルムコ
ンデンサの製造方法。 - （３）誘電体の電極引き出し端面側部分を、少なくとも
酸素を含むプラズマで化学的に選択的除去することを特
徴とする請求項１及び２記載のフィルムコンデンサの製
造方法。 - （４）誘電体の電極引き出し端面側部分を、酸素を含む
ガスにＣＦ＿４、ＳＦ＿６及びＮ＿２Ｏのうち少なくと
も１種を添加したプラズマで化学的に選択的除去するこ
とを特徴とする請求項１及び２記載のフィルムコンデン
サの製造方法。 - （５）誘電体の電極引き出し端面側部分を、少なくとも
酸素を含むプラズマから引き出した酸素ラジカルで化学
的に選択的除去することを特徴とする請求項１及び２記
載のフィルムコンデンサの製造方法。 - （６）誘電体の電極引き出し端面側部分を、少なくとも
オゾンを含むガスで化学的に選択的除去することを特徴
とする請求項１及び２記載のフィルムコンデンサの製造
方法。 - （７）誘電体の電極引き出し端面側部分を、少なくとも
オゾンを含むガスにＮ＿２Ｏを添加したガスで化学的に
選択的除去することを特徴とする請求項１及び２記載の
フィルムコンデンサの製造方法。 - （８）誘電体の電極引き出し端面側部分を、少なくとも
酸素もしくは水素を含むガスプラズマで化学的に選択的
除去することを特徴とする請求項１及び２記載のフィル
ムコンデンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1170183A JPH0334511A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | フィルムコンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1170183A JPH0334511A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | フィルムコンデンサの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0334511A true JPH0334511A (ja) | 1991-02-14 |
Family
ID=15900227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1170183A Pending JPH0334511A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | フィルムコンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0334511A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021062931A (ja) * | 2019-10-10 | 2021-04-22 | 京セラ株式会社 | 積層フィルムの製造装置および積層フィルムの製造方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59163826A (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-14 | Toshiba Corp | ドライエツチング方法 |
| JPS59165423A (ja) * | 1983-03-11 | 1984-09-18 | Comput Basic Mach Technol Res Assoc | 有機樹脂膜のテ−パ−エツチング方法 |
| JPS6122612A (ja) * | 1984-04-16 | 1986-01-31 | スペクトラム コントロール インコーポレーテツド | モノリシツクコンデンサの縁端処理方法 |
| JPS62272539A (ja) * | 1986-05-20 | 1987-11-26 | Fujitsu Ltd | レジスト除去方法 |
| JPS6376311A (ja) * | 1986-09-17 | 1988-04-06 | 松下電器産業株式会社 | 金属化フイルムコンデンサの製造方法 |
| JPS63262843A (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-31 | Nec Corp | ガスプラズマエツチング法 |
-
1989
- 1989-06-30 JP JP1170183A patent/JPH0334511A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2021062931A (ja) * | 2019-10-10 | 2021-04-22 | 京セラ株式会社 | 積層フィルムの製造装置および積層フィルムの製造方法 |
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