JPH033519Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は液体注入用治具に係り、特に吐出口
部が胴部よりも縮径した形状のビン内に充填され
た液体を他の器に移し換える場合に最適な液体注
入用治具に関する。

従来の技術 吐出口部が胴部よりも縮径するような形状の比
較的小さなビン内に充填された液体を、上方が開
口した比較的大きな器に移し換える場合には、人
が両手に前記ビンを持つて、これを傾斜させてビ
ン内の液体を器に移し換えるのが普通である。

このような液体の移し換え作業の一例として、
次のような場合がある。例えば半導体装置等を製
造する際のエツチングプロセスのレジスト剥離工
程等である。具体的には、このレジスト剥離工程
では、上記器となる薬品槽内に収納した比較的大
量の剥離液に剥離すべき物を所定時間浸漬させる
ような作業が行われている。しかして、一般に前
記薬品槽内の剥離液を新しい剥離液に交換させる
必要があり、この際に上述した液体の移し換え作
業が行われる。

考案が解決しようとする問題点 この従来の方式において、前記比較的大きな器
内を液体で満たすには前記ビンが多数必要である
と共に、液体の移し換え作業を何回も行わなけれ
ばならない。即ち、前記移し換え作業が非常に煩
わしいと共に時間がかかるという欠点がある。し
かも、液体の注入時において誤つて該ビンを落と
したり或いは注入した液体が器から跳ね返つて該
作業者に付着する恐れがある。

即ち、この考案は上記事情により創案されたも
ので、ビン内の液体を他の器に簡便に且つ俊敏に
移し換えることができると共に、該液体の注入時
における不具合を無くする液体注入用治具を提供
することを目的としている。

問題点を解決するための手段 そのため本考案の液体注入用治具は、半導体製
造工程において使用されるエツチングプロセスの
レジスト剥離液の如き人体に有害な液体が注入さ
れる場合に使用される治具であつて、液体が注入
される器の上方開口部に着脱自在に被覆装着され
るカバーと、複数のホルダー部と、前記ホルダー
部と同数の細管を具備しており、且つ前記カバー
にはホルダー部と同数の円孔が形成されており、
前記ホルダー部は上部円筒部と上部円筒部に連な
り下方に向かつて開口縮径した縮径部からなり、
前記円孔には前記ホルダー部の上部円筒部が嵌入
固定されており、且つ前記細管はホルダー部の軸
芯に沿つて細管の一端がカバーに固定されるとと
もに、細管の他端は前記液体が充填されたビンを
ホルダー部に倒立させた状態において細管の他端
がビンの吐出口部に挿入可能になるようにしたこ
とを特徴としている。

作 用 即ち、作業者はかかる液体注入用治具のホルダ
ー部に複数本のビンをそれぞれはめ込むだけでよ
くなり、はめ込んだ後は自動的にビン内の液体が
器に注入されるようになる。しかも、作業中にお
いて、継続してビンを持たなくてよくなる。

実施例 以下、図面を参照してこの考案の一実施例を詳
細に説明する。第１図にはこの考案の一実施例で
ある液体注入用治具の斜視図を、第２図には第１
図Ａ−Ａ線矢視断面図をそれぞれ示している。

図例の液体注入用治具１は、ステンレス等を加
工して形成されたものである。この液体注入用治
具１のカバー１１は略矩形板状になつており、こ
のカバー１１の各辺からは下方に延在する周壁１
２が折曲又は溶接にて形成されている。この周壁
１２の対向する二辺には取手１３が螺子止め等で
固定されている。即ち、この液体注入用治具１
は、ビン２内の液体を注入すべき器（図示省略）
の上方開口部に着脱自在に装着されるようになつ
ている。さらに、カバー１１には、円孔１４が複
数個開孔されており、この円孔１４には、例えば
剥離液等の液体が充填されているビン２がはめ込
まれるホルダー部１５が例えば溶接等でもつて、
取付けまたは固定されている。このホルダー部１
５は、ステンレス等を筒状に折曲形成したもので
あり、ビン２の肩部２１及び胴部２２を保持する
役目をなす。具体的には、ホルダー部１５は上部
円筒部１５１と、上部円筒部１５１に連なる下方
に向かつて縮径した縮径部１５２からなつてい
る。さらに、ホルダー部１５の上端にはリング状
のゴムカバー３が取り付けられており、カバー１
１の下面には細管４が配設されている。この細管
４は、その一端がカバー１１の下面に保持具４′
を介して螺子止めにより鉛直に固定されており、
他端は前記ホルダー部１５内に挿通されるように
なる。

しかして、上記の液体供給用治具１を用いてビ
ン２内の液体を例えば薬品槽等の器（図示省略）
に移し換える場合の手順を説明する。

まず、前記器の上方開口部を覆うように液体注
入用治具１を装着する。その後、ビン２の吐出口
部２３を下にしてホルダー部１５にはめ込む。こ
れにより、ビン２はその吐出口部２３が下になつ
た状態で倒立すると共にビン２の吐出口部２３に
は細管４の他端が入り、細管４の上端より液面が
下がるとこの細管４により空気の流入通路が形成
され、ビン２内の液体が流出しやすくなつてビン
２内の液体の流出速度を速める役目をする。細管
４の上端口を倒立させたビンの底部付近まで位置
させれば、ビンのセツト後すぐにビン内に空気流
路を形成させることも可能である。以下、上述と
同様にして順次ビン２を他のホルダー部１５には
め込む。そして、図のようにホルダー部１５が多
数ある場合には、ビン２を１本ずつ順次入れてい
くと、最後のビン２を入れ終えた時にはすでに最
初に入れたビン２内の液体が注入し終えることと
なり、後は空になつたビンと新たなビンとを順次
入れ換えるようにする。

なお、この考案にかかる液体注入用治具１のカ
バー１１は上記実施例に限定されず、液体を注入
すべき器の上方開口部の形状に関連した形状に適
宜設定されることは言うまでもない。

考案の効果 以上詳説したようにこの考案によれば、作業者
はかかる液体注入用治具のホルダー部に複数本の
ビンをそれぞれはめ込むだけでよくなり、はめ込
んだ後は自動的にビン内の液体が器注入されるよ
うになる。そのため、従来と比較して液体の移し
換え作業が簡便になると共に液体を注入する時間
を大幅に短縮できる。しかも、作業中において、
継続してビンを持たなくてよいからビンを落とす
ような不具合がなくなる。一方、該器からの液体
の跳ね返りが液体注入用治具のカバーの裏面にあ
たるから該液体が体に付着するような不具合をも
防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案に係る液体注入用治具の一実
施例を示す斜視図、第２図は第１図のＡ−Ａ線矢
視断面図である。 １……液体注入用治具、１１……カバー、１４
……円孔、１５……ホルダー部、２……ビン、２
１……肩部、２２……胴部、２３…吐出口部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体製造工程において使用されるエツチング
   プロセスのレジスト剥離液の如き人体に有害な液
   体が注入される場合に使用される治具であつて、
   液体が注入される器の上方開口部に着脱自在に被
   覆装着されるカバーと、複数のホルダー部と、前
   記ホルダー部と同数の細管を具備しており、且つ
   前記カバーにはホルダー部と同数の円孔が形成さ
   れており、前記ホルダー部は上部円筒部と上部円
   筒部に連なり下方に向かつて開口縮径した縮径部
   からなり、前記円孔には前記ホルダー部の上部円
   筒部が嵌入固定されており、且つ前記細管はホル
   ダー部の軸芯に沿つて細管の一端がカバーに固定
   されるとともに、細管の他端は前記液体が充填さ
   れたビンをホルダー部に倒立させた状態において
   細管の他端がビンの吐出口部に挿入可能になるよ
   うにしたことを特徴とする液体注入用治具。