JPH0335579A - ガスレーザーのビームを最高出力に推持する方法 - Google Patents
ガスレーザーのビームを最高出力に推持する方法Info
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- JPH0335579A JPH0335579A JP1170752A JP17075289A JPH0335579A JP H0335579 A JPH0335579 A JP H0335579A JP 1170752 A JP1170752 A JP 1170752A JP 17075289 A JP17075289 A JP 17075289A JP H0335579 A JPH0335579 A JP H0335579A
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- 238000012423 maintenance Methods 0.000 title 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 10
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 23
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- -1 silver halide Chemical class 0.000 description 2
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野］
本発明は、グラビア版等の超高精細な画像の描き込みに
使用するアルゴンイオンガスレーザー等のガスレーザー
のビームを最高出力に維持する方法に関する。 ［従来の技術］ ガスレーザーでグラビア版等の超高精細な画像の描き込
みを行う装置は、−木のレーザービームをビームスプリ
ッタ−により強さが等しくかつ一列連鎖状に配列される
２０本程度のビームに分割し、各ビームを画像データに
合わせて独立ドライブされるマルチ型光変調器とオート
フォーカスレンズに通して被写体（感光ドラムあるいは
ドラムに巻付けられた銀塩フィルム）に照射し得るよう
にして、スキャニングしつつレーザー露光する構成であ
る。 ガスレーザー・は、プラズマ管と、該プラズマ管の陽極
側のブリュースター窓の管軸方向外方に該プラズマ管の
管軸に垂直に設けられる陽極側ミラーと、該プラズマ管
の陰極側のブリュースター窓の一管軸方向外方に該プラ
ズマ管の管軸に垂直に設けられる陰極側ミラー（本発明
で言う後方のミラー）とを備えて構成される。該二つの
ミラーは、それぞれプラズマ管の管軸に垂直な平面を通
る互いに直交する二輪に関して若干角度それぞれ往復回
動し得るように、姿勢調製可能に半固定されたミラー取
付は板に支持されている。各ミラー取付は板は、プラズ
マ管の管軸を二等辺直角三角形の底辺とする該三角形の
三頂点の配置に相当するように下部両側に二本、上部片
側に一木設けられた三本のネジで半固定されていて、該
三角形の底辺の両端の二頂点の二本のネジのねじ込みを
調整することにより、ミラーをプラズマ管の管軸方向の
位置及び傾きを精密に調整し得るようになっており、該
調整を適切に行うとガスレーザーのビームを最高出力に
維持することができる。そして、該調整は製品出荷に際
して行われるが、ユーザーは、ケーシングの小孔を通し
てネジの調整ができる。 ［発明が解決しようとする課題］ 本発明者は、アルゴンイオンガスレーザーをグラビア版
等の超高精細な画像の描き込みに使用するレーザー露光
装置（実験機）を開発し、長期に渡り実験を行ったとこ
ろ、グラビア版等の超高精細な画像の描き込みが午前中
は安定して行えたのに、夕方では行えなかったり、少人
数では行えたのに人数が多いと行えなくなったりした。 そこで、原因を調査した所、■室温の変化によってガス
レー ザーの出力が微妙に変化することと、感光膜の感
度が低いことの相乗作用のためであること、■被写体の
振動によりミラーが微妙にずれること判明した。 ■について詳述すると、プラズマ管の管軸方向両側のミ
ラーの距離及び管軸に関する姿勢が、ミラー支持部材の
熱膨張によって微妙にずれるためにガスレーザーの出力
の微妙な変化が起こる一方、被写体としてドラムに銀塩
フィルムを巻付ける高感度被写体露光方式を採用せず、
銅メツキロールを精密研磨したものに低感度感光膜（ア
ルカリ可溶または溶剤可溶感剤）をコーティングしたダ
イレクト製版方式を採用したためであり、ガスレーザー
の出力が低下すると、低感度感光膜に有効に露光できる
ビームスポットの大きさは顕著に小さくなるという相乗
作用が働くためである。 ■について詳述すると、装置架台を外部の振動から縁切
りするように設けても被写体の回転に伴う振動の発生が
避けられず、振動がミラーの微妙なずれを引き起す。 従って、上記のレーザー露光装置で画像の描き込みを行
うには、その都度該描き込みに先行して、光量測定器で
レーザービームの強さを測定しつつ、レーザーのケーシ
ングの小孔を通してネジの調整を適当に行って、両方ま
たは一方のミラーのプラズマ管の管軸方向の位置及び傾
きを調整してガスレーザーのビームを最高出力に維持す
る必要が有り、これではとても該レーザー露光装置を実
用できない。 本発明は、上述した点に鑑み案出したもので、画像の描
き込みに先行してその都度、ミラーの調整を手動でなく
自動に行えるガスレーザーのビームを最高出力に維持す
る方法を提供することを目的としている。 ［課題を解決するための手段］ 本発明のガスレーザーのビームを最高出力に維持する方
法は。 ガスレーザーの後方のミラーをプラズマ管の管軸に垂直
な平面を通る互いに直交する二軸に関して若干角度それ
ぞれ往復回動し得るように、該後方のミラーを支持する
ミラー取付は板の姿勢を調製する三本の中の二本のネジ
軸を、それぞれ各別のモーターにより順次駆動するとと
もに、ガスレーザーから出力されるビームから微少強さ
のビームを分光して、該分光ビームを受光素子で受光し
てビームの強さをデジタル電気信号として検出するよう
にして、前記モーターの順次駆動の都度、デジタル電気
信号が最大値になる回転位置にモーターを停止すること
を特徴とするものである。
使用するアルゴンイオンガスレーザー等のガスレーザー
のビームを最高出力に維持する方法に関する。 ［従来の技術］ ガスレーザーでグラビア版等の超高精細な画像の描き込
みを行う装置は、−木のレーザービームをビームスプリ
ッタ−により強さが等しくかつ一列連鎖状に配列される
２０本程度のビームに分割し、各ビームを画像データに
合わせて独立ドライブされるマルチ型光変調器とオート
フォーカスレンズに通して被写体（感光ドラムあるいは
ドラムに巻付けられた銀塩フィルム）に照射し得るよう
にして、スキャニングしつつレーザー露光する構成であ
る。 ガスレーザー・は、プラズマ管と、該プラズマ管の陽極
側のブリュースター窓の管軸方向外方に該プラズマ管の
管軸に垂直に設けられる陽極側ミラーと、該プラズマ管
の陰極側のブリュースター窓の一管軸方向外方に該プラ
ズマ管の管軸に垂直に設けられる陰極側ミラー（本発明
で言う後方のミラー）とを備えて構成される。該二つの
ミラーは、それぞれプラズマ管の管軸に垂直な平面を通
る互いに直交する二輪に関して若干角度それぞれ往復回
動し得るように、姿勢調製可能に半固定されたミラー取
付は板に支持されている。各ミラー取付は板は、プラズ
マ管の管軸を二等辺直角三角形の底辺とする該三角形の
三頂点の配置に相当するように下部両側に二本、上部片
側に一木設けられた三本のネジで半固定されていて、該
三角形の底辺の両端の二頂点の二本のネジのねじ込みを
調整することにより、ミラーをプラズマ管の管軸方向の
位置及び傾きを精密に調整し得るようになっており、該
調整を適切に行うとガスレーザーのビームを最高出力に
維持することができる。そして、該調整は製品出荷に際
して行われるが、ユーザーは、ケーシングの小孔を通し
てネジの調整ができる。 ［発明が解決しようとする課題］ 本発明者は、アルゴンイオンガスレーザーをグラビア版
等の超高精細な画像の描き込みに使用するレーザー露光
装置（実験機）を開発し、長期に渡り実験を行ったとこ
ろ、グラビア版等の超高精細な画像の描き込みが午前中
は安定して行えたのに、夕方では行えなかったり、少人
数では行えたのに人数が多いと行えなくなったりした。 そこで、原因を調査した所、■室温の変化によってガス
レー ザーの出力が微妙に変化することと、感光膜の感
度が低いことの相乗作用のためであること、■被写体の
振動によりミラーが微妙にずれること判明した。 ■について詳述すると、プラズマ管の管軸方向両側のミ
ラーの距離及び管軸に関する姿勢が、ミラー支持部材の
熱膨張によって微妙にずれるためにガスレーザーの出力
の微妙な変化が起こる一方、被写体としてドラムに銀塩
フィルムを巻付ける高感度被写体露光方式を採用せず、
銅メツキロールを精密研磨したものに低感度感光膜（ア
ルカリ可溶または溶剤可溶感剤）をコーティングしたダ
イレクト製版方式を採用したためであり、ガスレーザー
の出力が低下すると、低感度感光膜に有効に露光できる
ビームスポットの大きさは顕著に小さくなるという相乗
作用が働くためである。 ■について詳述すると、装置架台を外部の振動から縁切
りするように設けても被写体の回転に伴う振動の発生が
避けられず、振動がミラーの微妙なずれを引き起す。 従って、上記のレーザー露光装置で画像の描き込みを行
うには、その都度該描き込みに先行して、光量測定器で
レーザービームの強さを測定しつつ、レーザーのケーシ
ングの小孔を通してネジの調整を適当に行って、両方ま
たは一方のミラーのプラズマ管の管軸方向の位置及び傾
きを調整してガスレーザーのビームを最高出力に維持す
る必要が有り、これではとても該レーザー露光装置を実
用できない。 本発明は、上述した点に鑑み案出したもので、画像の描
き込みに先行してその都度、ミラーの調整を手動でなく
自動に行えるガスレーザーのビームを最高出力に維持す
る方法を提供することを目的としている。 ［課題を解決するための手段］ 本発明のガスレーザーのビームを最高出力に維持する方
法は。 ガスレーザーの後方のミラーをプラズマ管の管軸に垂直
な平面を通る互いに直交する二軸に関して若干角度それ
ぞれ往復回動し得るように、該後方のミラーを支持する
ミラー取付は板の姿勢を調製する三本の中の二本のネジ
軸を、それぞれ各別のモーターにより順次駆動するとと
もに、ガスレーザーから出力されるビームから微少強さ
のビームを分光して、該分光ビームを受光素子で受光し
てビームの強さをデジタル電気信号として検出するよう
にして、前記モーターの順次駆動の都度、デジタル電気
信号が最大値になる回転位置にモーターを停止すること
を特徴とするものである。
【作用】
ガスレーザーをオンすると、ガスレーザーから出力され
るビームから微少強さのビームが分光され受光素子で受
光され、ビームの強さがデジタル電気信号として検出さ
れ制御部に入る。二個のモーターの中、一方のモータは
、対応する一方のネジ軸を原点位置に戻してから微少な
所定角度だけ往回動と復回動を行い このとき得られる
デジタル電気信号の列は、制御部で互いに前後して入力
する二つのデジタル電気信号の大小が次々に比較され、
該最大値が検出され、該最大値が得られるように該一方
のモータが位置決め停止する。 同様に、他方のモータによる他方のネジ軸の所定角度の
往回動と復回動が行われ、そのときに得られるデジタル
電気信号の最大値が検出され、該最大値が得られるよう
に該他方のモータが位置決め停止する。 従って、ガスレーザーの後方のミラーは、プラズマ管の
管軸に垂直な平面を通る互いに直交する二軸に関して微
少な角度だけ、順次に往復回動された後に、それぞれ、
該二輪に関して適切な反射姿勢に保たれてビーム出力が
最高となるように維持される。 このようにして、室温がいかようであっても。 その都度ビーム出力が最高となるように自動調整される
ので、低感度感光膜がコーティングされたグラビア版材
に超高精細な画像の描き込みする際に、有効に露光でき
るビームスポットの大きさが常に一定することになり、
ビームの集合により形成される種々の大きさのセルの露
光が確実に行われ、良好なグラビア画像等の超高精細な
描画が達成できる。 ［実施例・・・第１図〜第４図］ 本発明のガスレーザーのビームを最高出力に維持する方
法をアルゴンイオンレーザ−出力制御装置に適用した実
施例により説明する。 先ず、アルゴンイオンレーザ−の構成について説明する
。 該アルゴンイオンレーザーＡＲは、プラズマ管ｌと、該
プラズマ管１の陽極側のブリュースター窓１ａの管軸方
向外方に該プラズマ管ｌの管軸に垂直に設けられる陽極
側ミラー２と、該プラズマ管ｌの陰極側のブリュースタ
ー窓１ｂの管軸方向外方に該プラズマ管ｌの管軸に垂直
に設けられる陰極側ミラー３（本発明で言う後方のミラ
ー）とを備えて構成される。 該プラズマ管ｌは１両側二ケ所がプラズマ管支持ブラケ
ット４により支持される。該プラズマ管ｌと各ミラー２
．３との間には、一対のミラー取付は用基板６ａ、６ｂ
が位置されている。該一対のミラー取付は用基板６ａ、
６ｂは、前記プラズマ管支持ブラケット４を貫通固定す
るように延びる熱膨張率が極めて小さい三本のタイロッ
ド５で一体に結ばれておりビームを通す孔を有している
。該三本のタイロッド５は、プラズマ管ｌの管軸を二等
辺直角三角形の底辺とする該三角形の三頂点の配置に相
当するように下部両側に二本、上部片側に一本設けられ
ている。ミラー取付は用基板６ａの管軸方向外方には中
心部に小孔７ａを有し、該小孔７ａに前記陽極側ミラー
２が当てかわれ支持している陽極側ミラー取付は板７が
ある。 該陽極側ミラー取付は板７は、タイロッド５に近い周辺
部の三ケ所を板バネ８によって前記ミラー取付は用基板
６ａに結合支持されている。同様に、ミラー取付は用基
板６ｂの管軸方向外方には中心に前記陰極側ミラー３が
当てかわれ支持している陰極側ミラー取付は板１０があ
る。該陰極側ミラー取付は板ｌＯも、タイロッド５に近
い周辺部の三ケ所を板バネ９によって前記ミラー取付は
用基、板６ｂに結合支持されている。 さらに、陽極側ミラー取付は板７の管軸方向外方には、
陽極側ミラー２を通過するビームを通す小孔１１ａを有
するミラーアジャストボルト取付は用ブラケットｌｌが
立設され、また陰極側ミラー取付は板ｌＯの管軸方向外
方には、ミラーアジャストボルト取付は用ブラケット１
２とモーター取付は用プラテン）１３が立設されている
。 そして、陽極側のミラーアジャストボルト取付は用プラ
テン）１１及び陽極側ミラー取付は板７の前記三本のタ
イロッド５の延長線上に対応する位置に設けられたネジ
孔に螺合されてミラー取付は用基板６ａに対して突張っ
て陽極側ミラー２の位置及び傾きを調整する三本のミラ
ー半固定用ネジ１４ａ、１４ｂ、１４ｃが有り、また、
陰極側のミラーアジャストボルト取付は用ブラケット１
２及び陰極側ミラー取付は板１０の前記三本のタイロッ
ド５の延長線上に対応する位置に設けられたネジ孔に螺
合されてミラー取付は用基板６ｂに対して突張って陰極
側ミラー３の位置及び傾きを調整する三本のミラー調整
用ネジ軸１５ａ、１５ｂ、１５ｃがある。しかして、ミ
ラーアジャストボルト取付は用ブラケットｌｌと１２は
、ミラー半固定用ネジ１４ａ、１４ｂ、１４ｃまたはミ
ラー調整用ネジ軸１５ａ、１５ｂ、１５ｃが螺動以外の
微動が生じないように位置決め支持している。ミラー半
固定用ネジ１４ｂは、ミラー取付は用基板６ａに明けた
孔に取付けられた特殊ナー。 ト２３に螺合されており、またミラー調整用ネジ軸１５
ｂもミラー取付は用基板６ｂに明けた孔に取付けられた
特殊ナツト２４に螺合されている。 該特殊ナツト２３．２４は、内面及び外面にネジが設け
られ基板に明けた孔に通されたスリーブと、該スリーブ
に通され基板を挟む半球状の一対のゴム製座金と、スリ
ーブに螺合され該スリーブの鍔部と共同して基板を締付
は挟持するナツトとからなり、従って、基板に明けた孔
に対してフレキシブルに取付けられている。 そうしてさらに、前記モーター取付は用ブラケット１３
に取付けられたステップモーター１６、ａ、１６ｂが、
それぞれ前記陰極側ミラー３の位置及び傾きを調整する
三本のミラー調整用ネジ＠ｈ１５ａ、１５ｂ、１５ｃの
中の三本のミラーｒＡ整用ネジ軸１５ａ、１５ｃとスプ
ライン結合され回転させるようになっている。 なお、符合１７はケーシングである。 以上で、アルゴンイオンレーザ−ＡＲの説明を終え、以
下にガスレーザーのビームを最高出力に維持するための
構成部分について説明する。 アルゴンイオンレーザ−ＡＲから出力されるビームＢ１
は、例えば反射率９８〜９９％のハーフミラ−１８で直
角に方向変換するように反射され図示しない光学系に導
かれてレーザープリンターあるいはカラースキャナー等
の画像描き込みに利用される実用ビームＢ２と、該ハー
フミラ−１８を透過するビームＢｌの２〜１％の強さの
ビームＢ３に分光される。該ビームＢ３は、アルゴンイ
オンレーザ−ＡＲから出力されるビームＢｌが最大値と
なるようにコントロールするためのビーム強さ検出用で
ある。該ビームＢ３は、フォトダイオードまたはＣＯＤ
等の受光素子１９で受光されアナログ電気信号として検
出される。受光素子１９をフォトダイオードとした場合
には、ビームＢ３の光量に対応したアナログ電気信号を
検出することができ、また、受光素子１９をＣＯＤとし
た場合には、ビームの口径に対応したアナログ電気信号
を検出することができるとともに、積分することにより
光量に対応したアナログ電気信号を検出することができ
る。該受光素子１９から出力されるアナログ電気信号は
、Ａ／Ｄ変換器２０でデジタル電気信号に変換され、制
御部２１に入力される。該制御部２１は、ＲＯＭに格納
されたプログラムに従ってモータドライバー２２を介し
てアルゴンイオンレーザ−ＡＲの二個のステップモータ
ー１６ａ、１６ｂを、最初はモーター１６ａ、次にモー
ター１６ｂの順で、原点位置に復帰回転後、所定の正回
転及び逆回転を行わせて、該ミラー調整用ネジ軸１５ａ
、１５ｃのねじこみ量を調整して、陰極ミラー３をプラ
ズマ管１の管軸に直交する水平軸（Ｘ軸）と垂直軸（Ｙ
軸）に関して極少角度俯仰させるようになっており、モ
ーターが上記正回転と逆回転を行う過程で受光素子１９
とＡ／Ｄ変換器２０により得られるデジタル電気信号を
、制御部２１内のＲＯＭに格納されたプログラムに従っ
て次々に前後する信号同士の大小を比較していき、ゼロ
フラッグが二回続けてまたは短い時間で二回変化したと
きに最大値であるとして該最大値を検出するようになっ
ていて、前記二個各モーターの正回転と逆回転のときの
二つの最大値のうちの大きい方を選択するようにして、
ステップモーター１６ａ、１６ｂを順次に該最大値が得
られるステップ位置に調整制御するようになっている。 「発明の１Ｊｈｌ！１ 以上説明してきたように、未発明のガスレーザーのビー
ムを最高出力に維持する方法によれば、 使用に先行してガスレーザーのビームを最高出力に自動
調製できるので、描画のたびに該描画に先行して出力調
整を行うようにすれば、そのときの室温がどのようであ
っても短い描画時間内では室温が大きく変化することは
ないから、有効に露光できるビームスポットの大きさが
常に一定させられるから、ビームの集合により形成され
る種々の大きさのセルの露光を確実に行うことができ。 もって、グラビア画像等の超高精細画像を描画するアル
ゴンイオンガスレーザーを採用したレーザー露光装置の
実用化に大きく貢献し得るほか、ＣＤやＶＤ等のセルを
彫り込むレーザー描き込み装置等の性能の向上化に寄与
できる。
るビームから微少強さのビームが分光され受光素子で受
光され、ビームの強さがデジタル電気信号として検出さ
れ制御部に入る。二個のモーターの中、一方のモータは
、対応する一方のネジ軸を原点位置に戻してから微少な
所定角度だけ往回動と復回動を行い このとき得られる
デジタル電気信号の列は、制御部で互いに前後して入力
する二つのデジタル電気信号の大小が次々に比較され、
該最大値が検出され、該最大値が得られるように該一方
のモータが位置決め停止する。 同様に、他方のモータによる他方のネジ軸の所定角度の
往回動と復回動が行われ、そのときに得られるデジタル
電気信号の最大値が検出され、該最大値が得られるよう
に該他方のモータが位置決め停止する。 従って、ガスレーザーの後方のミラーは、プラズマ管の
管軸に垂直な平面を通る互いに直交する二軸に関して微
少な角度だけ、順次に往復回動された後に、それぞれ、
該二輪に関して適切な反射姿勢に保たれてビーム出力が
最高となるように維持される。 このようにして、室温がいかようであっても。 その都度ビーム出力が最高となるように自動調整される
ので、低感度感光膜がコーティングされたグラビア版材
に超高精細な画像の描き込みする際に、有効に露光でき
るビームスポットの大きさが常に一定することになり、
ビームの集合により形成される種々の大きさのセルの露
光が確実に行われ、良好なグラビア画像等の超高精細な
描画が達成できる。 ［実施例・・・第１図〜第４図］ 本発明のガスレーザーのビームを最高出力に維持する方
法をアルゴンイオンレーザ−出力制御装置に適用した実
施例により説明する。 先ず、アルゴンイオンレーザ−の構成について説明する
。 該アルゴンイオンレーザーＡＲは、プラズマ管ｌと、該
プラズマ管１の陽極側のブリュースター窓１ａの管軸方
向外方に該プラズマ管ｌの管軸に垂直に設けられる陽極
側ミラー２と、該プラズマ管ｌの陰極側のブリュースタ
ー窓１ｂの管軸方向外方に該プラズマ管ｌの管軸に垂直
に設けられる陰極側ミラー３（本発明で言う後方のミラ
ー）とを備えて構成される。 該プラズマ管ｌは１両側二ケ所がプラズマ管支持ブラケ
ット４により支持される。該プラズマ管ｌと各ミラー２
．３との間には、一対のミラー取付は用基板６ａ、６ｂ
が位置されている。該一対のミラー取付は用基板６ａ、
６ｂは、前記プラズマ管支持ブラケット４を貫通固定す
るように延びる熱膨張率が極めて小さい三本のタイロッ
ド５で一体に結ばれておりビームを通す孔を有している
。該三本のタイロッド５は、プラズマ管ｌの管軸を二等
辺直角三角形の底辺とする該三角形の三頂点の配置に相
当するように下部両側に二本、上部片側に一本設けられ
ている。ミラー取付は用基板６ａの管軸方向外方には中
心部に小孔７ａを有し、該小孔７ａに前記陽極側ミラー
２が当てかわれ支持している陽極側ミラー取付は板７が
ある。 該陽極側ミラー取付は板７は、タイロッド５に近い周辺
部の三ケ所を板バネ８によって前記ミラー取付は用基板
６ａに結合支持されている。同様に、ミラー取付は用基
板６ｂの管軸方向外方には中心に前記陰極側ミラー３が
当てかわれ支持している陰極側ミラー取付は板１０があ
る。該陰極側ミラー取付は板ｌＯも、タイロッド５に近
い周辺部の三ケ所を板バネ９によって前記ミラー取付は
用基、板６ｂに結合支持されている。 さらに、陽極側ミラー取付は板７の管軸方向外方には、
陽極側ミラー２を通過するビームを通す小孔１１ａを有
するミラーアジャストボルト取付は用ブラケットｌｌが
立設され、また陰極側ミラー取付は板ｌＯの管軸方向外
方には、ミラーアジャストボルト取付は用ブラケット１
２とモーター取付は用プラテン）１３が立設されている
。 そして、陽極側のミラーアジャストボルト取付は用プラ
テン）１１及び陽極側ミラー取付は板７の前記三本のタ
イロッド５の延長線上に対応する位置に設けられたネジ
孔に螺合されてミラー取付は用基板６ａに対して突張っ
て陽極側ミラー２の位置及び傾きを調整する三本のミラ
ー半固定用ネジ１４ａ、１４ｂ、１４ｃが有り、また、
陰極側のミラーアジャストボルト取付は用ブラケット１
２及び陰極側ミラー取付は板１０の前記三本のタイロッ
ド５の延長線上に対応する位置に設けられたネジ孔に螺
合されてミラー取付は用基板６ｂに対して突張って陰極
側ミラー３の位置及び傾きを調整する三本のミラー調整
用ネジ軸１５ａ、１５ｂ、１５ｃがある。しかして、ミ
ラーアジャストボルト取付は用ブラケットｌｌと１２は
、ミラー半固定用ネジ１４ａ、１４ｂ、１４ｃまたはミ
ラー調整用ネジ軸１５ａ、１５ｂ、１５ｃが螺動以外の
微動が生じないように位置決め支持している。ミラー半
固定用ネジ１４ｂは、ミラー取付は用基板６ａに明けた
孔に取付けられた特殊ナー。 ト２３に螺合されており、またミラー調整用ネジ軸１５
ｂもミラー取付は用基板６ｂに明けた孔に取付けられた
特殊ナツト２４に螺合されている。 該特殊ナツト２３．２４は、内面及び外面にネジが設け
られ基板に明けた孔に通されたスリーブと、該スリーブ
に通され基板を挟む半球状の一対のゴム製座金と、スリ
ーブに螺合され該スリーブの鍔部と共同して基板を締付
は挟持するナツトとからなり、従って、基板に明けた孔
に対してフレキシブルに取付けられている。 そうしてさらに、前記モーター取付は用ブラケット１３
に取付けられたステップモーター１６、ａ、１６ｂが、
それぞれ前記陰極側ミラー３の位置及び傾きを調整する
三本のミラー調整用ネジ＠ｈ１５ａ、１５ｂ、１５ｃの
中の三本のミラーｒＡ整用ネジ軸１５ａ、１５ｃとスプ
ライン結合され回転させるようになっている。 なお、符合１７はケーシングである。 以上で、アルゴンイオンレーザ−ＡＲの説明を終え、以
下にガスレーザーのビームを最高出力に維持するための
構成部分について説明する。 アルゴンイオンレーザ−ＡＲから出力されるビームＢ１
は、例えば反射率９８〜９９％のハーフミラ−１８で直
角に方向変換するように反射され図示しない光学系に導
かれてレーザープリンターあるいはカラースキャナー等
の画像描き込みに利用される実用ビームＢ２と、該ハー
フミラ−１８を透過するビームＢｌの２〜１％の強さの
ビームＢ３に分光される。該ビームＢ３は、アルゴンイ
オンレーザ−ＡＲから出力されるビームＢｌが最大値と
なるようにコントロールするためのビーム強さ検出用で
ある。該ビームＢ３は、フォトダイオードまたはＣＯＤ
等の受光素子１９で受光されアナログ電気信号として検
出される。受光素子１９をフォトダイオードとした場合
には、ビームＢ３の光量に対応したアナログ電気信号を
検出することができ、また、受光素子１９をＣＯＤとし
た場合には、ビームの口径に対応したアナログ電気信号
を検出することができるとともに、積分することにより
光量に対応したアナログ電気信号を検出することができ
る。該受光素子１９から出力されるアナログ電気信号は
、Ａ／Ｄ変換器２０でデジタル電気信号に変換され、制
御部２１に入力される。該制御部２１は、ＲＯＭに格納
されたプログラムに従ってモータドライバー２２を介し
てアルゴンイオンレーザ−ＡＲの二個のステップモータ
ー１６ａ、１６ｂを、最初はモーター１６ａ、次にモー
ター１６ｂの順で、原点位置に復帰回転後、所定の正回
転及び逆回転を行わせて、該ミラー調整用ネジ軸１５ａ
、１５ｃのねじこみ量を調整して、陰極ミラー３をプラ
ズマ管１の管軸に直交する水平軸（Ｘ軸）と垂直軸（Ｙ
軸）に関して極少角度俯仰させるようになっており、モ
ーターが上記正回転と逆回転を行う過程で受光素子１９
とＡ／Ｄ変換器２０により得られるデジタル電気信号を
、制御部２１内のＲＯＭに格納されたプログラムに従っ
て次々に前後する信号同士の大小を比較していき、ゼロ
フラッグが二回続けてまたは短い時間で二回変化したと
きに最大値であるとして該最大値を検出するようになっ
ていて、前記二個各モーターの正回転と逆回転のときの
二つの最大値のうちの大きい方を選択するようにして、
ステップモーター１６ａ、１６ｂを順次に該最大値が得
られるステップ位置に調整制御するようになっている。 「発明の１Ｊｈｌ！１ 以上説明してきたように、未発明のガスレーザーのビー
ムを最高出力に維持する方法によれば、 使用に先行してガスレーザーのビームを最高出力に自動
調製できるので、描画のたびに該描画に先行して出力調
整を行うようにすれば、そのときの室温がどのようであ
っても短い描画時間内では室温が大きく変化することは
ないから、有効に露光できるビームスポットの大きさが
常に一定させられるから、ビームの集合により形成され
る種々の大きさのセルの露光を確実に行うことができ。 もって、グラビア画像等の超高精細画像を描画するアル
ゴンイオンガスレーザーを採用したレーザー露光装置の
実用化に大きく貢献し得るほか、ＣＤやＶＤ等のセルを
彫り込むレーザー描き込み装置等の性能の向上化に寄与
できる。
第１図は、本発明のガスレーザーのビームを最高出力に
維持する方法を利用したガスレーザー高出力装置の断面
図であり、第２は要部断面図であり、第３図は第１図に
おけるｍ−ＤＩ断面図であり、第４図は第１図における
ＩＶ−ＩＴ断面図である。 ＡＲ・・・レーザー ｌ・・・プラズマ管、 １ａ、ｌｂ・・・ブリュースター窓、 ２・・・陽極側ミラー ３・・・陰極側ミラー ４・魯・プラズマ管支持ブラケット、 ５・・・タイロッド、 ６ａ、６ｂ・・・ミラー取付は用基板、７Ｉｌ・・陽極
側ミラー取付は板、 ７ａ◆・・小孔、 ８．９・・・板バネ、 １０・・・陰極側ミラー取付は板、 １１◆・・ミラーアジャストボルト取付は用ブラケット
、 １１ａ・・・小孔、 １２・・・ミラーアジャストボルト取付は用ブラケット
、 １３・・・モーター取付は用ブラケット、１４ａ、１４
ｂ、１４ｃａ＊ａミラー半固定用ネジ、 １５ａ、１５ｂ、１５ｃ・・・ミラー半固定用ネジ、 １６ａ、１６ｂ・・・ステップモーター１７・・・ケー
シング、 １８・・・ハーフミラ− １９・・・受光素子、 ２０・・・Ａ／Ｄ変換器、 ２１・・・制御部。 ２２・・・モータドライバー ２３．２４・・・特殊ナツト。
維持する方法を利用したガスレーザー高出力装置の断面
図であり、第２は要部断面図であり、第３図は第１図に
おけるｍ−ＤＩ断面図であり、第４図は第１図における
ＩＶ−ＩＴ断面図である。 ＡＲ・・・レーザー ｌ・・・プラズマ管、 １ａ、ｌｂ・・・ブリュースター窓、 ２・・・陽極側ミラー ３・・・陰極側ミラー ４・魯・プラズマ管支持ブラケット、 ５・・・タイロッド、 ６ａ、６ｂ・・・ミラー取付は用基板、７Ｉｌ・・陽極
側ミラー取付は板、 ７ａ◆・・小孔、 ８．９・・・板バネ、 １０・・・陰極側ミラー取付は板、 １１◆・・ミラーアジャストボルト取付は用ブラケット
、 １１ａ・・・小孔、 １２・・・ミラーアジャストボルト取付は用ブラケット
、 １３・・・モーター取付は用ブラケット、１４ａ、１４
ｂ、１４ｃａ＊ａミラー半固定用ネジ、 １５ａ、１５ｂ、１５ｃ・・・ミラー半固定用ネジ、 １６ａ、１６ｂ・・・ステップモーター１７・・・ケー
シング、 １８・・・ハーフミラ− １９・・・受光素子、 ２０・・・Ａ／Ｄ変換器、 ２１・・・制御部。 ２２・・・モータドライバー ２３．２４・・・特殊ナツト。
Claims (1)
- ガスレーザーの後方のミラーをプラズマ管の管軸に垂直
な平面を通る互いに直交する二軸に関して若干角度それ
ぞれ往復回動し得るように、該後方のミラーを支持する
ミラー取付け板の姿勢を調製する三本の中の二本のネジ
軸を、それぞれ各別のモーターにより順次駆動するとと
もに、ガスレーザーから出力されるビームから微少強さ
のビームを分光して、該分光ビームを受光素子で受光し
てビームの強さをデジタル電気信号として検出するよう
にして、前記モーターの順次駆動の都度、デジタル電気
信号が最大値になる回転位置にモーターを停止すること
を特徴とするガスレーザーのビームを最高出力に維持す
る方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1170752A JPH0335579A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | ガスレーザーのビームを最高出力に推持する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1170752A JPH0335579A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | ガスレーザーのビームを最高出力に推持する方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0335579A true JPH0335579A (ja) | 1991-02-15 |
Family
ID=15910733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1170752A Pending JPH0335579A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | ガスレーザーのビームを最高出力に推持する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0335579A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04317383A (ja) * | 1991-04-16 | 1992-11-09 | Ushio Inc | レーザ共振器の自動光軸調整方法 |
| CN108565665A (zh) * | 2018-03-23 | 2018-09-21 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 包层功率剥离器以及光纤激光器 |
| CN110086075A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种激光器谐振腔反射镜的远距离角度调节系统 |
| CN116026813A (zh) * | 2022-12-31 | 2023-04-28 | 杭州谱育科技发展有限公司 | 应用于危化行业的icp-aes光路及方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58222585A (ja) * | 1982-06-19 | 1983-12-24 | Agency Of Ind Science & Technol | レ−ザ装置 |
-
1989
- 1989-06-30 JP JP1170752A patent/JPH0335579A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58222585A (ja) * | 1982-06-19 | 1983-12-24 | Agency Of Ind Science & Technol | レ−ザ装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04317383A (ja) * | 1991-04-16 | 1992-11-09 | Ushio Inc | レーザ共振器の自動光軸調整方法 |
| CN108565665A (zh) * | 2018-03-23 | 2018-09-21 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 包层功率剥离器以及光纤激光器 |
| CN108565665B (zh) * | 2018-03-23 | 2023-11-24 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 包层功率剥离器以及光纤激光器 |
| CN110086075A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种激光器谐振腔反射镜的远距离角度调节系统 |
| CN116026813A (zh) * | 2022-12-31 | 2023-04-28 | 杭州谱育科技发展有限公司 | 应用于危化行业的icp-aes光路及方法 |
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