JPS58222585A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS58222585A JPS58222585A JP10469282A JP10469282A JPS58222585A JP S58222585 A JPS58222585 A JP S58222585A JP 10469282 A JP10469282 A JP 10469282A JP 10469282 A JP10469282 A JP 10469282A JP S58222585 A JPS58222585 A JP S58222585A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- laser
- rotation angle
- outputs
- control device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、レーザの出力を最大値に容易圧制御するこ
とができるレーザ装置に関するものである。
とができるレーザ装置に関するものである。
従来この鴇の装置として第１図に下すものがあった。図
忙おいて、（１）は対間する陽極と陰極間においてグロ
ー放電させた放？ＩＥ部、（２）および（３）は放′亀
部口）をはさんで対向した一対の反射鏡であり。
忙おいて、（１）は対間する陽極と陰極間においてグロ
ー放電させた放？ＩＥ部、（２）および（３）は放′亀
部口）をはさんで対向した一対の反射鏡であり。
レーザ共振器を栴成している。電４）はレーザ光の取り
出し鏡ｅ （５１は取り出し＊＋４１から取り出された
レーザ光の喉り出し窓、（６）はスイッチであり９反射
鏡（２）の回転角を調贅する駆動装置２例えばパルスモ
ータ（８１、１９１を制御する制御装置（７）へ回転方
向な制御する信号を入力するものである。ｕＩｌは取り
出し窓（５１からのレーザ光ＱＧの出力を検知して電気
信号に変換して出力する光検知器、 ０３は元検知器ａ
υにより検知されたレーザ出力を指示する出力計である
。なお、この従来装置では反射鏡（２）が凹ｔｉｉ鋭。
出し鏡ｅ （５１は取り出し＊＋４１から取り出された
レーザ光の喉り出し窓、（６）はスイッチであり９反射
鏡（２）の回転角を調贅する駆動装置２例えばパルスモ
ータ（８１、１９１を制御する制御装置（７）へ回転方
向な制御する信号を入力するものである。ｕＩｌは取り
出し窓（５１からのレーザ光ＱＧの出力を検知して電気
信号に変換して出力する光検知器、 ０３は元検知器ａ
υにより検知されたレーザ出力を指示する出力計である
。なお、この従来装置では反射鏡（２）が凹ｔｉｉ鋭。
反射鏡１３１が凸面鏡であり、これらは不安定形共振器
を構成している。
を構成している。
次に従来装Ｍｔの動作について説明する。先ず。
放電部（！１にグロー放電を発生維持させる。次いで。
スイッチ（６１を任慈に切り換えて制御装置（７）を作
動させてパルスモータ（８１または（９）を駆動させて
反射ｖ４！、１２＋を回転させる。すると、一対の反Ｍ
４鋭（２）と（３１が元軸に対して平行に近くなったと
ころでレーザ発振が開始され、レーザ光＋ｌ［Ｉが収り
出し鋭（４）、取り出しｊ％ １５１ Ｙ介してレーザ
共振器外へ取り出される。そして、レーザ光ａＯは光検
知器αＵに照射され。
動させてパルスモータ（８１または（９）を駆動させて
反射ｖ４！、１２＋を回転させる。すると、一対の反Ｍ
４鋭（２）と（３１が元軸に対して平行に近くなったと
ころでレーザ発振が開始され、レーザ光＋ｌ［Ｉが収り
出し鋭（４）、取り出しｊ％ １５１ Ｙ介してレーザ
共振器外へ取り出される。そして、レーザ光ａＯは光検
知器αＵに照射され。
電気信号に変換後、その光強度に応じた出力を出力計Ｑ
′ＡＶＣ，指示する。さらに、パルスモータ（８）又は
（９）ケ鴫動させて反射鏡（２）を回転し一対の反射鏡
（２１，１３１ｆｔ元１ｊｌｌに対して平行にすると最
大出力を有するレーザ光０１が取り出されることＫなる
。一般に。
′ＡＶＣ，指示する。さらに、パルスモータ（８）又は
（９）ケ鴫動させて反射鏡（２）を回転し一対の反射鏡
（２１，１３１ｆｔ元１ｊｌｌに対して平行にすると最
大出力を有するレーザ光０１が取り出されることＫなる
。一般に。
この棟の共振器構成のレーザ装置は、第２図に示すよう
に、破線で示す安定形共振器構成のレーザ出力と比較し
て１反射鏡（２）の回転角に対するレーザ出力の変動が
大きいものである。このため、熱影響などによってレー
ザ出力かｆ＃Ｊｔ特に低下しやすく、レーザ出力か低下
した場合は手動により上述の操作を繰り返し行ないレー
ザ出力を最大値に安定させる必炊かあった。
に、破線で示す安定形共振器構成のレーザ出力と比較し
て１反射鏡（２）の回転角に対するレーザ出力の変動が
大きいものである。このため、熱影響などによってレー
ザ出力かｆ＃Ｊｔ特に低下しやすく、レーザ出力か低下
した場合は手動により上述の操作を繰り返し行ないレー
ザ出力を最大値に安定させる必炊かあった。
従来のレーザ装置は以上のように構成されているので、
スイッチ（６）の操作を繰り返し行ないレーザ出力を最
大値に安定させねはならす、ひんほんに操作することが
心安で作栗注が慾り、また、精度が恋いという欠点かあ
った。
スイッチ（６）の操作を繰り返し行ないレーザ出力を最
大値に安定させねはならす、ひんほんに操作することが
心安で作栗注が慾り、また、精度が恋いという欠点かあ
った。
この発明は上記のような従来のものの欠点？除去するた
め和なされたものでｅ Ａ／’Ｄ変換器でめ変換した光
検知器からのレーザ出力信号と回転角検出器で検出した
反射鏡の回転角とをマイクロコンピュータに入力して記
憶・比較・演算処理し。
め和なされたものでｅ Ａ／’Ｄ変換器でめ変換した光
検知器からのレーザ出力信号と回転角検出器で検出した
反射鏡の回転角とをマイクロコンピュータに入力して記
憶・比較・演算処理し。
さらに、マイクロコンピュータから制御装置に対して駆
動装置を適当な方向く回転制御させる１ｌｊｌＪ御信号
を与えるよう忙してレーザ出力の最大位置九反射鏡を綽
導するようＫＬ、自動的［、Ｌかも精度よくレーザ共振
器の角度制振かできるレーザ装ｍを提供すること？目的
としている。
動装置を適当な方向く回転制御させる１ｌｊｌＪ御信号
を与えるよう忙してレーザ出力の最大位置九反射鏡を綽
導するようＫＬ、自動的［、Ｌかも精度よくレーザ共振
器の角度制振かできるレーザ装ｍを提供すること？目的
としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第３
図はこの発明の一実施例な示し９図において、 （１３
は光検知器ｆｉυからの出力１Ｍ＠’ｌディジタル伯＠
に変換するめ変換器、α４はパルスモータ（８）又は（
９）の回転角を検知し、斑気イＳ号に変換して出力する
回転角検出器、 ＱＳは制（Ｉ［１装齢、（７；へ制御
信号な出力する出力部、００はめ変換器ｕ３からのレー
ザ出力１ｇ吋と回転角検出器ａ４によりＩ１１気１ぎ牲
に変換されたパルスモータ（８）又は１９）の回転角と
が入力され、記憶・比較・演算処理され、パルスモータ
（８）又は（９）を適当な方向に設定された角度分だけ
駆動させるための制御信号管出力部ａ！１７に介して制
ｎ装＃（７）に与えるＴイクロコンピュータである。
図はこの発明の一実施例な示し９図において、 （１３
は光検知器ｆｉυからの出力１Ｍ＠’ｌディジタル伯＠
に変換するめ変換器、α４はパルスモータ（８）又は（
９）の回転角を検知し、斑気イＳ号に変換して出力する
回転角検出器、 ＱＳは制（Ｉ［１装齢、（７；へ制御
信号な出力する出力部、００はめ変換器ｕ３からのレー
ザ出力１ｇ吋と回転角検出器ａ４によりＩ１１気１ぎ牲
に変換されたパルスモータ（８）又は１９）の回転角と
が入力され、記憶・比較・演算処理され、パルスモータ
（８）又は（９）を適当な方向に設定された角度分だけ
駆動させるための制御信号管出力部ａ！１７に介して制
ｎ装＃（７）に与えるＴイクロコンピュータである。
このように構成された実施例装置の動作について説明す
る。この実施例装置の基本的動作は、レーザ出力か低下
した際に所定の反射鏡（２）の回転位置を中心として反
射′ＩＩ＃、（２）を左右、上下に撮り回転させ、その
過程における回転角及びレーザ出力を記憶し、その振り
巾におけるレーザ出力の最大出力位置に反射鏡（２）ヲ
回転誘導させることである。
る。この実施例装置の基本的動作は、レーザ出力か低下
した際に所定の反射鏡（２）の回転位置を中心として反
射′ＩＩ＃、（２）を左右、上下に撮り回転させ、その
過程における回転角及びレーザ出力を記憶し、その振り
巾におけるレーザ出力の最大出力位置に反射鏡（２）ヲ
回転誘導させることである。
以下、この動作を第４図、第５図により＃Ｐ解する。先
ず、レーザ発振状態において、熱影響などによって一対
の反射鏡１２１ 、１３１の平行性かくすれたとする。
ず、レーザ発振状態において、熱影響などによって一対
の反射鏡１２１ 、１３１の平行性かくすれたとする。
この時点で、マイクロコンピュータｔｔｌ！をスイッチ
・オン（第４図ｇ）すると、あらかじめマイクロコンピ
ュータａＱにセットされた比丘条件（第４図ｂ）Ｋ基づ
いて第４図に示す動作を行なう。すなわち、第５図に示
すように、先すＩＸ４％ｉＩのパルスモータ（８）ヲ補
正巾分だけ一方向に回転させる（第４図ｇ）。（この場
合はサンプリングは行なわれない。）次いで、パルスモ
ータ（８） ｗ 逆転（第４図ｇ）させて回転角検出器
Ｑ４１で電気信号に変換された反射鏡（２）の回転角と
、７１／Ｄ変換器ｔ１３でディジタル信号に変換された
レーザ出力とを一定の間隔でサンプリングする。このサ
ンプリングされた夫々の信号ハセイクロコンピュータ１
ｅに入力される。この動作を補正申分行ない、マイクロ
コンピュータ顧ハその補正申分走査された中でレーザ出
力の最大値とその時の反射鏡（２）の回転角位置をイ准
認し、ピックアップする（＠４図ｊ）。そして、マイク
ロコンピュータαｌはパルスモータ（８）ヲ出力が最大
値の位置になるようにもとの方向忙もどすように制御信
号を出力都饅を介して１ｔＩ制御装置（７）へ出力し、
制御装置（７）はパルスモータ（ｓｌ ｌｋ躯勧制御す
る（第４図ｋ）。ここまでの動作でＸ軸方向の回転に対
する最大出力化が終了し９次忙、同様の方法でｙ軸方向
の回転に対する最大出力化を行なう。なお、ｙ＠力方向
最大出力化はＸ軸方向の最大出力化と同じ動作なのでそ
の説ｕＡハ省略する。このようにして、低下したレーザ
光ｉｌｌの出力は再び最大出力圧設定される。したがっ
て、この動作を２例えば、タイマを用いである時間毎に
繰り返し行なえは、レーザ出力が低下しても自動的に最
大出力値に設定補正されることＫなる。
・オン（第４図ｇ）すると、あらかじめマイクロコンピ
ュータａＱにセットされた比丘条件（第４図ｂ）Ｋ基づ
いて第４図に示す動作を行なう。すなわち、第５図に示
すように、先すＩＸ４％ｉＩのパルスモータ（８）ヲ補
正巾分だけ一方向に回転させる（第４図ｇ）。（この場
合はサンプリングは行なわれない。）次いで、パルスモ
ータ（８） ｗ 逆転（第４図ｇ）させて回転角検出器
Ｑ４１で電気信号に変換された反射鏡（２）の回転角と
、７１／Ｄ変換器ｔ１３でディジタル信号に変換された
レーザ出力とを一定の間隔でサンプリングする。このサ
ンプリングされた夫々の信号ハセイクロコンピュータ１
ｅに入力される。この動作を補正申分行ない、マイクロ
コンピュータ顧ハその補正申分走査された中でレーザ出
力の最大値とその時の反射鏡（２）の回転角位置をイ准
認し、ピックアップする（＠４図ｊ）。そして、マイク
ロコンピュータαｌはパルスモータ（８）ヲ出力が最大
値の位置になるようにもとの方向忙もどすように制御信
号を出力都饅を介して１ｔＩ制御装置（７）へ出力し、
制御装置（７）はパルスモータ（ｓｌ ｌｋ躯勧制御す
る（第４図ｋ）。ここまでの動作でＸ軸方向の回転に対
する最大出力化が終了し９次忙、同様の方法でｙ軸方向
の回転に対する最大出力化を行なう。なお、ｙ＠力方向
最大出力化はＸ軸方向の最大出力化と同じ動作なのでそ
の説ｕＡハ省略する。このようにして、低下したレーザ
光ｉｌｌの出力は再び最大出力圧設定される。したがっ
て、この動作を２例えば、タイマを用いである時間毎に
繰り返し行なえは、レーザ出力が低下しても自動的に最
大出力値に設定補正されることＫなる。
以上のように、この発明装置によれば〜を変換器でＡ／
Ｄ変換した光検知器の出力４ｇ号と回転角検出器で検知
した回転角を電気信号に変換した反射鏡の回転角とをマ
イクロコンピュータに入力し。
Ｄ変換した光検知器の出力４ｇ号と回転角検出器で検知
した回転角を電気信号に変換した反射鏡の回転角とをマ
イクロコンピュータに入力し。
マイクロコンピュータで記憶・比較・演算処理し。
さらにマイクロコンピュータから制＃装置に対して駆動
波Ｒを適当な方向に回転制御する制御信号を与えるよう
圧して反射鏡なレーザ出力の最大位置に鋳導するよう（
構成したので、自動的罠、しかも精度よくレーザ共振器
の角度網整ができる効果がある。
波Ｒを適当な方向に回転制御する制御信号を与えるよう
圧して反射鏡なレーザ出力の最大位置に鋳導するよう（
構成したので、自動的罠、しかも精度よくレーザ共振器
の角度網整ができる効果がある。
第１図は従来のレーザ装置１ｔ、を示す図、第２図はレ
ーザ装置の出力特性を示す図、第３図はこの発工゛ニー
の一実施例によるレーザ族＃を示す図、第４図１□、〜
第５図はこの発明の一実施例罠よるレーザ共振器・） φ動作を説明する図である。 口）・・・放電部、（２）、（３１・・・反射鏡、（４
１・・・取り出し鏡。 （５）・・・取り出し窓、（７）・・・制御装置ｔ （
ｓｌ 、 ＋９１・・・パルスモータ、（＋（１−・・
レーザ光、０ト・・光検知器、 １１３・・・Ａ／Ｄ変
換器、 ａ４・・・回転角検出器、Ｑ９・・・出力部、
ＣＩ卜・・マイクロコンピュータ。 なお１図中、同一符号はＦＩＪ−又は相当部分を示す。 反射錐の回転角 θ 第４図 第５図
ーザ装置の出力特性を示す図、第３図はこの発工゛ニー
の一実施例によるレーザ族＃を示す図、第４図１□、〜
第５図はこの発明の一実施例罠よるレーザ共振器・） φ動作を説明する図である。 口）・・・放電部、（２）、（３１・・・反射鏡、（４
１・・・取り出し鏡。 （５）・・・取り出し窓、（７）・・・制御装置ｔ （
ｓｌ 、 ＋９１・・・パルスモータ、（＋（１−・・
レーザ光、０ト・・光検知器、 １１３・・・Ａ／Ｄ変
換器、 ａ４・・・回転角検出器、Ｑ９・・・出力部、
ＣＩ卜・・マイクロコンピュータ。 なお１図中、同一符号はＦＩＪ−又は相当部分を示す。 反射錐の回転角 θ 第４図 第５図
Claims (1)
- （１１対向する陽極と陰極間においてグロー放電を発生
させる放電部、上記放′＃Ｌ部をはさんで対向する一対
の反射鏡から成るレーザ共振器、上記一対の反射鏡のい
ずれか一方の反射鏡を回転駆動し他方の反射鏡との回転
角を調整する駆動装置、上記駆動装置の駆動を制御する
制御装置、上記駆動装置から上記一方の反射線の回転角
を検知し電気１６号に変換して出力する同転角検出器、
上記一対の反射鏡のいずれかから出力されるレーザ光な
検知し電気信号に変換して出力する光検知器、上記光検
知器からの出力イδ号をディジタル信号に変換するＡ／
ｎ変換器、上記一方の反射鏡を所定位置を中心に設定方
向へ設定角度同転させる制御信号を上記制御装＋＊に出
力し、上記回転角検出器からの（ロ）転角帽δ号と上記
〜４変換器からのレーザ出力信号とを随時記憶し、上記
設定角度間におけるレーザ出力信号の最大値を演算し、
上記最大値の回転角に上記一方の反射鏡な回転＃Ｓ尋さ
せる制御信号を上記ｍＪ 御装置へ出力するマイクロコ
ンピュータを儒えたことを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10469282A JPS58222585A (ja) | 1982-06-19 | 1982-06-19 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10469282A JPS58222585A (ja) | 1982-06-19 | 1982-06-19 | レ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58222585A true JPS58222585A (ja) | 1983-12-24 |
| JPS6152599B2 JPS6152599B2 (ja) | 1986-11-13 |
Family
ID=14387520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10469282A Granted JPS58222585A (ja) | 1982-06-19 | 1982-06-19 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58222585A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0335579A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Think Lab Kk | ガスレーザーのビームを最高出力に推持する方法 |
| US5121405A (en) * | 1990-12-20 | 1992-06-09 | Coherent, Inc. | Alignment control system for lasers |
| JPH04317383A (ja) * | 1991-04-16 | 1992-11-09 | Ushio Inc | レーザ共振器の自動光軸調整方法 |
-
1982
- 1982-06-19 JP JP10469282A patent/JPS58222585A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0335579A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Think Lab Kk | ガスレーザーのビームを最高出力に推持する方法 |
| US5121405A (en) * | 1990-12-20 | 1992-06-09 | Coherent, Inc. | Alignment control system for lasers |
| JPH04317383A (ja) * | 1991-04-16 | 1992-11-09 | Ushio Inc | レーザ共振器の自動光軸調整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6152599B2 (ja) | 1986-11-13 |
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