JPH0335871A - 雰囲気炉 - Google Patents
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- JPH0335871A JPH0335871A JP1170146A JP17014689A JPH0335871A JP H0335871 A JPH0335871 A JP H0335871A JP 1170146 A JP1170146 A JP 1170146A JP 17014689 A JP17014689 A JP 17014689A JP H0335871 A JPH0335871 A JP H0335871A
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- F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
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- F27D19/00—Arrangements of controlling devices
- F27D2019/0006—Monitoring the characteristics (composition, quantities, temperature, pressure) of at least one of the gases of the kiln atmosphere and using it as a controlling value
- F27D2019/0018—Monitoring the temperature of the atmosphere of the kiln
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Coating With Molten Metal (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はクリーム半田を加熱溶融させて半田付けするた
めのりフロー炉等に適用される雰囲気炉に関するもので
ある。
めのりフロー炉等に適用される雰囲気炉に関するもので
ある。
従来の技術
従来のりフロー炉は、第６図に示すように、トンネル状
の炉体３１内を隔壁３２によって複数のブロック３３に
区画するとともに、各ブロック３３に設けたヒータ３４
とファン３５にてブロック３３毎に温度制御を行い、ま
たこの炉体３１内を貫通させてワーク３７の搬送手段３
６を配設し、ワーク３７を炉体３１内の各ブロック３３
を順次通過するように移送することによって所定の温度
プロファイルに基づいてワーク３７を加熱し、クリーム
半田をリフローさせるように構成されている。
の炉体３１内を隔壁３２によって複数のブロック３３に
区画するとともに、各ブロック３３に設けたヒータ３４
とファン３５にてブロック３３毎に温度制御を行い、ま
たこの炉体３１内を貫通させてワーク３７の搬送手段３
６を配設し、ワーク３７を炉体３１内の各ブロック３３
を順次通過するように移送することによって所定の温度
プロファイルに基づいてワーク３７を加熱し、クリーム
半田をリフローさせるように構成されている。
発明が解決しようとする課題
ところが、上記のようなりフロー炉では、隣接するブロ
ック３３間で隔壁３２に設けたワーク通過日を通って雰
囲気が洩れてしまうため、各ブロック３３の温度を精度
良く制御するのが困難であり、かつ熱損失が大きく、熱
効率が大変悪いという問題があった。
ック３３間で隔壁３２に設けたワーク通過日を通って雰
囲気が洩れてしまうため、各ブロック３３の温度を精度
良く制御するのが困難であり、かつ熱損失が大きく、熱
効率が大変悪いという問題があった。
又、リフローを行うには、ワークを常温から略１５０℃
程度まで予熱した後、２００°Ｃ以上の温度に加熱して
所定時間維持し、その後再び１５０℃程度まで温度を降
下させて保持した後常温まで徐冷するのが好ましいが、
上記リフロー炉では第５図（Ｃ）に示すような温度プロ
ファイルとなり、２００°Ｃ前後の温度に所定時間保持
するためには最高温度が２５０°Ｃ程度になり、耐熱性
の高いワークにしか適用できないという問題があった。
程度まで予熱した後、２００°Ｃ以上の温度に加熱して
所定時間維持し、その後再び１５０℃程度まで温度を降
下させて保持した後常温まで徐冷するのが好ましいが、
上記リフロー炉では第５図（Ｃ）に示すような温度プロ
ファイルとなり、２００°Ｃ前後の温度に所定時間保持
するためには最高温度が２５０°Ｃ程度になり、耐熱性
の高いワークにしか適用できないという問題があった。
このような問題を解消するために、本出願人が先に提案
したように、外部に対して閉じられかつ各別に温度制御
可能な複数の炉室を設けるとともに、炉室間及び外部空
間に対して雰囲気を遮断したまま隣接する炉室間でワー
クを受は渡すワーク受渡し手段を設けて、ワークを順次
各炉室に送り込むようにした雰囲気炉を用いることが考
えられる。この雰囲気炉によると、各炉室の雰囲気の洩
れがないので精度のよい温度制御が可能で、かつ熱効率
も高く、また炉室内を均一に所定温度に保持できるため
、第５図（ｂ）に示すような温度プロファイルが得られ
、ワークを所定時間、所定温度以上に保つためにそれよ
りもかなり高い温度にワークが晒されるというようなこ
ともない。ところが、その反面ワークが外部空間と炉室
、あるいは炉室間で移動する際に急激に大きな温度変化
を受けることになり、ワークに熱ストレスが発生し、ワ
ークに損傷や故障を生じるという問題がある。
したように、外部に対して閉じられかつ各別に温度制御
可能な複数の炉室を設けるとともに、炉室間及び外部空
間に対して雰囲気を遮断したまま隣接する炉室間でワー
クを受は渡すワーク受渡し手段を設けて、ワークを順次
各炉室に送り込むようにした雰囲気炉を用いることが考
えられる。この雰囲気炉によると、各炉室の雰囲気の洩
れがないので精度のよい温度制御が可能で、かつ熱効率
も高く、また炉室内を均一に所定温度に保持できるため
、第５図（ｂ）に示すような温度プロファイルが得られ
、ワークを所定時間、所定温度以上に保つためにそれよ
りもかなり高い温度にワークが晒されるというようなこ
ともない。ところが、その反面ワークが外部空間と炉室
、あるいは炉室間で移動する際に急激に大きな温度変化
を受けることになり、ワークに熱ストレスが発生し、ワ
ークに損傷や故障を生じるという問題がある。
本発明は上記従来の問題点に鑑み、精度の良い雰囲気制
御が可能でかつ効率も良く、しかも雰囲気の急激な変化
による損傷や故障を生ずる恐れのない雰囲気炉を提供す
ることを目的とする。
御が可能でかつ効率も良く、しかも雰囲気の急激な変化
による損傷や故障を生ずる恐れのない雰囲気炉を提供す
ることを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明の雰囲気炉は、上記目的を達成するために、雰囲
気の互いに異なる複数の炉室を一線状に配置し、隣接す
る炉室間または両端の炉室と外部空間の間にワーク受渡
し手段を配置し、このワーク受渡し手段は、炉室内又は
外部空間に開口するワーク通過口を両側に有する接続本
体と、一側にのみ開口したワーク収納空間を形成されか
つこのワーク収納空間が前記何れかのワーク通過口に連
通した受渡し位置と何れのワーク通過口にも連通しない
中間位置との間で３位置切換可能に前記接続本体内に配
置された受渡し体にて構成し、前記接続本体に、中間位
置の受渡し体のワーク収納空間内に何れかの炉室又は外
部空間の雰囲気を導入する手段を設けたことを特徴とす
る。
気の互いに異なる複数の炉室を一線状に配置し、隣接す
る炉室間または両端の炉室と外部空間の間にワーク受渡
し手段を配置し、このワーク受渡し手段は、炉室内又は
外部空間に開口するワーク通過口を両側に有する接続本
体と、一側にのみ開口したワーク収納空間を形成されか
つこのワーク収納空間が前記何れかのワーク通過口に連
通した受渡し位置と何れのワーク通過口にも連通しない
中間位置との間で３位置切換可能に前記接続本体内に配
置された受渡し体にて構成し、前記接続本体に、中間位
置の受渡し体のワーク収納空間内に何れかの炉室又は外
部空間の雰囲気を導入する手段を設けたことを特徴とす
る。
又、好適には、前記接続本体に、中間位置の受渡し体の
ワーク収納空間の雰囲気を測定する手段が設けられる。
ワーク収納空間の雰囲気を測定する手段が設けられる。
作 用
本発明によると、隣接する炉室間又は両端の炉室と外部
空間の間でワーク受渡し手段にてワークを受渡しする際
に、受渡し体を中間位置で停止させ、そのワーク収納空
間に次にワークを送り込むべき炉室又は外部空間の雰囲
気を導入することによって、゛このワーク収納空間の雰
囲気を徐々に次にワークを送り込むべき炉室又は外部空
間の雰囲気に近づけることができ、急激な雰囲気の変化
を受けてワークが損傷したり、故障を生じたりするのを
防止できる。
空間の間でワーク受渡し手段にてワークを受渡しする際
に、受渡し体を中間位置で停止させ、そのワーク収納空
間に次にワークを送り込むべき炉室又は外部空間の雰囲
気を導入することによって、゛このワーク収納空間の雰
囲気を徐々に次にワークを送り込むべき炉室又は外部空
間の雰囲気に近づけることができ、急激な雰囲気の変化
を受けてワークが損傷したり、故障を生じたりするのを
防止できる。
又、受渡し体が中間位置にあるときワーク収納空間の雰
囲気を測定することによって、雰囲気が所定状態になっ
たのを確認して受渡し体の位置切換えを行ったり、雰囲
気導入手段を制御して最適な状態で雰囲気を変化させる
ことができる。
囲気を測定することによって、雰囲気が所定状態になっ
たのを確認して受渡し体の位置切換えを行ったり、雰囲
気導入手段を制御して最適な状態で雰囲気を変化させる
ことができる。
実施例
以下、本発明をリフロー炉に適用した一実施例を第１図
〜第４図に基づいて説明する。
〜第４図に基づいて説明する。
リフロー炉ｌは、第４図に示すような全体構成であり、
複数（図示例で３室）の炉室２（２ａ、２ｂ、２ｃ）を
−線状に配設して構成され、炉室２ａ、２ｂ間、２ｂ、
２ｃ間及び両端の炉室２ａ２ｃと外部空間の間にそれぞ
れワーク受渡し手段３が配設されている。各炉室２ａ〜
２ｃ内にはワーク受渡し手段３．３間でワークを搬送す
る搬送手段４と、各炉室２ａ〜２ｃ内を所定の温度に制
御するヒータやファン（図示せず）が配設されている。
複数（図示例で３室）の炉室２（２ａ、２ｂ、２ｃ）を
−線状に配設して構成され、炉室２ａ、２ｂ間、２ｂ、
２ｃ間及び両端の炉室２ａ２ｃと外部空間の間にそれぞ
れワーク受渡し手段３が配設されている。各炉室２ａ〜
２ｃ内にはワーク受渡し手段３．３間でワークを搬送す
る搬送手段４と、各炉室２ａ〜２ｃ内を所定の温度に制
御するヒータやファン（図示せず）が配設されている。
ワーク受渡し手段３は、第１図〜第３図に示すように、
炉室２又は外部空間に開口するワーク透過口６を両側に
有する接続本体５と、この接続本体５内に縦軸心回りに
回転可能に配置された受渡し体７にて構成されている。
炉室２又は外部空間に開口するワーク透過口６を両側に
有する接続本体５と、この接続本体５内に縦軸心回りに
回転可能に配置された受渡し体７にて構成されている。
受渡し体７は、−側にのみ開口したワーク収納空間８を
有し、このワーク収納空間８の開口８ａが前記何れかの
ワーク透過口６に連通した受渡し位置と何れのワーク透
過口６にも連通しない中間位置との間で３位置切換可能
に構成されている。
有し、このワーク収納空間８の開口８ａが前記何れかの
ワーク透過口６に連通した受渡し位置と何れのワーク透
過口６にも連通しない中間位置との間で３位置切換可能
に構成されている。
受渡し体７は、第１図〜第３図に示すように、大径円柱
部９とその上下の小径円柱部１０から戒り、接続本体５
に形成された保持孔１１にて回転自在に支持されている
。接続本体５の両側のワーク透過口６と大径円柱部９の
外周面との摺接部にはそれぞれシール材１２が配設され
ている。ワーク収納空間８にはワークを引き込み若しく
は送り出すための移送手段１３が配設されている。この
移送手段１３は、両側の一対の無端チェノ１４をフレー
ム１５に枢支された５つの歯輪１６．１７によってＴ字
状に巻回して構成され、駆動歯輪１７を固定した回転軸
１８を笠歯車１９を介して受渡し体７の下部に設置され
たモータ２０の駆動軸２０ａにて正逆回転駆動するよう
に構成されている。
部９とその上下の小径円柱部１０から戒り、接続本体５
に形成された保持孔１１にて回転自在に支持されている
。接続本体５の両側のワーク透過口６と大径円柱部９の
外周面との摺接部にはそれぞれシール材１２が配設され
ている。ワーク収納空間８にはワークを引き込み若しく
は送り出すための移送手段１３が配設されている。この
移送手段１３は、両側の一対の無端チェノ１４をフレー
ム１５に枢支された５つの歯輪１６．１７によってＴ字
状に巻回して構成され、駆動歯輪１７を固定した回転軸
１８を笠歯車１９を介して受渡し体７の下部に設置され
たモータ２０の駆動軸２０ａにて正逆回転駆動するよう
に構成されている。
受渡し体７が、第１図に仮想線で示すように、中間位置
にあるとき、ワーク収納空間８の開口８ａはシール材１
２．１２の間に位置し、接続本体５の両側のワーク透過
口６に対してシールされ、両側の炉室２又は外部空間に
対して閉じられている。また、この状態で一方の炉室２
又は外部空間からワーク収納空間８内に雰囲気を導入す
る雰囲気導入通路２１とこの雰囲気導入通路２１を開閉
制御するソレノイド弁２２が接続本体５に設けられてい
る。又、ワーク収納空間８内の雰囲気を他方の炉室２又
は外部空間に排出する排気通路２３が設けられている。
にあるとき、ワーク収納空間８の開口８ａはシール材１
２．１２の間に位置し、接続本体５の両側のワーク透過
口６に対してシールされ、両側の炉室２又は外部空間に
対して閉じられている。また、この状態で一方の炉室２
又は外部空間からワーク収納空間８内に雰囲気を導入す
る雰囲気導入通路２１とこの雰囲気導入通路２１を開閉
制御するソレノイド弁２２が接続本体５に設けられてい
る。又、ワーク収納空間８内の雰囲気を他方の炉室２又
は外部空間に排出する排気通路２３が設けられている。
さらに、このワーク収納空間８に臨むように接続本体５
に形成された空間に突出させてワーク収納空間８内の温
度を測定する温度計２４が設けられ、その検出信号が受
渡し体７の位置切換えを行う駆動手段（図示せず）及び
ソレノイド弁２２を開閉制御する制御手段２５に入力さ
れている。
に形成された空間に突出させてワーク収納空間８内の温
度を測定する温度計２４が設けられ、その検出信号が受
渡し体７の位置切換えを行う駆動手段（図示せず）及び
ソレノイド弁２２を開閉制御する制御手段２５に入力さ
れている。
尚、第１図では、図の左側の炉室２内の圧力が右側の炉
室２内の圧力よりも大きく、雰囲気導入通路２１を開く
だけでワーク収納空間８内に左側の炉室２の雰囲気が流
入する例を示したが、炉室２．２間で圧力差が小さかっ
たり、逆の圧力差がある場合にはファン等の強制圧送手
段を付設すればよいことは言うまでもない。
室２内の圧力よりも大きく、雰囲気導入通路２１を開く
だけでワーク収納空間８内に左側の炉室２の雰囲気が流
入する例を示したが、炉室２．２間で圧力差が小さかっ
たり、逆の圧力差がある場合にはファン等の強制圧送手
段を付設すればよいことは言うまでもない。
以上の構成において、ワークに塗布されたクリーム半田
をリフローして半田付けする場合、入口側と出口側の炉
室２ａ、２ｃ内を１５０°Ｃに、中間の炉室２ｂを２０
０°Ｃに雰囲気温度を制御してお く 。
をリフローして半田付けする場合、入口側と出口側の炉
室２ａ、２ｃ内を１５０°Ｃに、中間の炉室２ｂを２０
０°Ｃに雰囲気温度を制御してお く 。
この状態で、入口側の炉室２ａと外部空間の間のワーク
受渡し手段３の受渡し体７を外部空間側のワーク透過口
６に連通した受渡し位置に位置させ、ワーク収納空間８
に外部空間からワークを挿入する０次に、受渡し体７を
回転駆動して中間位置で停止させ、ソレノイド弁２２を
開いて炉室２ａの雰囲気をワーク収納空間８に導入する
ことによってワーク収納空間８内の雰囲気温度を常温か
ら徐々に１５０℃に向かって上昇させ、ワークに熱衝撃
を与えることなく加熱する。この時ワーク収納空間８の
雰囲気温度を温度計２４にて検出してソレノイド弁２２
を開閉制御するこ、とによって、その温度上昇速度を、
例えば電子部品がヒートショックで損傷しない範囲であ
る４℃／ｓｅｃ程度に制御することができる。
受渡し手段３の受渡し体７を外部空間側のワーク透過口
６に連通した受渡し位置に位置させ、ワーク収納空間８
に外部空間からワークを挿入する０次に、受渡し体７を
回転駆動して中間位置で停止させ、ソレノイド弁２２を
開いて炉室２ａの雰囲気をワーク収納空間８に導入する
ことによってワーク収納空間８内の雰囲気温度を常温か
ら徐々に１５０℃に向かって上昇させ、ワークに熱衝撃
を与えることなく加熱する。この時ワーク収納空間８の
雰囲気温度を温度計２４にて検出してソレノイド弁２２
を開閉制御するこ、とによって、その温度上昇速度を、
例えば電子部品がヒートショックで損傷しない範囲であ
る４℃／ｓｅｃ程度に制御することができる。
ワーク収納空間８内の温度が所定温度以上になると温度
計２４からの検出信号に基づいて受渡し体７を回転駆動
し、ワーク収納空間８の開口８ａを炉室２ａ側のワーク
透過口６に連通ずる受渡し位置に位置させ、ワークを移
送手段１３にて炉室２ａ内の搬送手段４に受は渡す、こ
れによって、ワークは炉室２ａ内を通過する間１５０
”Ｃの雰囲気にて加熱される。一方、受渡し体７はワー
ク収納室間８の開口８ａが外部空間側のワーク通過口６
に連通ずる受渡し位置に位置するＩように復帰回転され
る。
計２４からの検出信号に基づいて受渡し体７を回転駆動
し、ワーク収納空間８の開口８ａを炉室２ａ側のワーク
透過口６に連通ずる受渡し位置に位置させ、ワークを移
送手段１３にて炉室２ａ内の搬送手段４に受は渡す、こ
れによって、ワークは炉室２ａ内を通過する間１５０
”Ｃの雰囲気にて加熱される。一方、受渡し体７はワー
ク収納室間８の開口８ａが外部空間側のワーク通過口６
に連通ずる受渡し位置に位置するＩように復帰回転され
る。
炉室２ａで加熱されたワークは、次にこの炉室２ａと中
間の炉室２ｂの間のワーク受渡し手段３を介して中間の
炉室２ｂに送られる。この時にも、上記と同様にワーク
受渡し手段３において、受渡し体７が中間位置で停止し
、中間の炉室２ｂの雰囲気が導入されて徐々に２００°
Ｃに向かって温度上昇された後、中間の炉室２ｂに送ら
れる。この中間の炉室２ｂ内において、２００ ”Ｃの
雰囲気でワークが加熱され、リフローが行われる。
間の炉室２ｂの間のワーク受渡し手段３を介して中間の
炉室２ｂに送られる。この時にも、上記と同様にワーク
受渡し手段３において、受渡し体７が中間位置で停止し
、中間の炉室２ｂの雰囲気が導入されて徐々に２００°
Ｃに向かって温度上昇された後、中間の炉室２ｂに送ら
れる。この中間の炉室２ｂ内において、２００ ”Ｃの
雰囲気でワークが加熱され、リフローが行われる。
その後、ワークは１５０″Ｃに温度制御された出口側の
炉室２Ｃ２及びこの炉室２Ｃと外部空間の間に介装され
たワーク受渡し手段３を通って徐冷された後、外部空間
に取り出される。
炉室２Ｃ２及びこの炉室２Ｃと外部空間の間に介装され
たワーク受渡し手段３を通って徐冷された後、外部空間
に取り出される。
かくして、ワークは第５図（ａ）に示すような温度プロ
ファイルにて加熱され、２００℃でリフローされた後、
徐冷されて取り出される。
ファイルにて加熱され、２００℃でリフローされた後、
徐冷されて取り出される。
上記実施例では円柱状の受渡し体７を例示したが、球形
状にしてもよい等、接続本体及び受渡し体の形状は適宜
設計することができる。又、ワーク収納空間に配置され
る移送手段も、上記のような無端チェーンを用いたもの
に限らず、シリンダ装置による押し出し手段や引き込み
手段等にて構成することもできる。
状にしてもよい等、接続本体及び受渡し体の形状は適宜
設計することができる。又、ワーク収納空間に配置され
る移送手段も、上記のような無端チェーンを用いたもの
に限らず、シリンダ装置による押し出し手段や引き込み
手段等にて構成することもできる。
又、上記実施例では、本発明をリフロー炉に適用した例
を示したが、加温炉、ガス炉、低圧炉等にも適用でき、
それに伴って制御対象の雰囲気を温度、ガス濃度、圧力
等にすればよい。
を示したが、加温炉、ガス炉、低圧炉等にも適用でき、
それに伴って制御対象の雰囲気を温度、ガス濃度、圧力
等にすればよい。
発明の効果
本発明によれば、外部に対して閉じられて各別に雰囲気
制御が可能な複数の炉室を設けているので、精度の良い
雰囲気制御が可能でかつ効率も良く、しかも隣接する炉
室間又は両端の炉室と外部空間の間でワーク受渡し手段
にてワークを受渡しする際に、受渡し体を中間位置で停
止させ、そのワーク収納空間に次にワークを送り込むべ
き炉室又は外部空間の雰囲気を導入してその雰囲気を徐
々に次にワークを送り込むべき炉室又は外部空間の雰囲
気に近づけることができるため、急激な雰囲気の変化を
受けてワークが損傷したり、故障を生じたりするのを防
止できるという効果を発揮する。
制御が可能な複数の炉室を設けているので、精度の良い
雰囲気制御が可能でかつ効率も良く、しかも隣接する炉
室間又は両端の炉室と外部空間の間でワーク受渡し手段
にてワークを受渡しする際に、受渡し体を中間位置で停
止させ、そのワーク収納空間に次にワークを送り込むべ
き炉室又は外部空間の雰囲気を導入してその雰囲気を徐
々に次にワークを送り込むべき炉室又は外部空間の雰囲
気に近づけることができるため、急激な雰囲気の変化を
受けてワークが損傷したり、故障を生じたりするのを防
止できるという効果を発揮する。
又、受渡し体が中間位置にあるときワーク収納空間の雰
囲気を測定することによって、雰囲気が所定状態になっ
たのをＴｉｆＩＵ２シて受渡し体の位置切換えを行った
り、雰囲気導入手段を制御して最適な状態で雰囲気が変
化するようにできる等、大なる効果を発揮する。
囲気を測定することによって、雰囲気が所定状態になっ
たのをＴｉｆＩＵ２シて受渡し体の位置切換えを行った
り、雰囲気導入手段を制御して最適な状態で雰囲気が変
化するようにできる等、大なる効果を発揮する。
第１図〜第５図は本発明の一実施例を示し、第１図は要
部の横断平面図、第２図は要部の縦断正面図、第３図は
要部の縦断側面図、第４図は全体の概略構成を示す平面
図、第５図［ａ）〜（Ｃ）は温度プロファイルを示す図
、第６図は従来例の概略構成を示す縦断正面図である。 ２．２ａ〜２ｃ・・・・・・炉室、３・・・・・・ワー
ク受渡し手段、５・・・・・・接続本体、６・・・・・
・ワーク通過口、７・・・・・・受渡し体、８・・・・
・・ワーク収納空間、２１・・・・・・雰囲気導入通路
、 ４・・・・・・温度計。
部の横断平面図、第２図は要部の縦断正面図、第３図は
要部の縦断側面図、第４図は全体の概略構成を示す平面
図、第５図［ａ）〜（Ｃ）は温度プロファイルを示す図
、第６図は従来例の概略構成を示す縦断正面図である。 ２．２ａ〜２ｃ・・・・・・炉室、３・・・・・・ワー
ク受渡し手段、５・・・・・・接続本体、６・・・・・
・ワーク通過口、７・・・・・・受渡し体、８・・・・
・・ワーク収納空間、２１・・・・・・雰囲気導入通路
、 ４・・・・・・温度計。
Claims (2)
- （１）雰囲気の互いに異なる複数の炉室を一線状に配置
し、隣接する炉室間または両端の炉室と外部空間の間に
ワーク受渡し手段を配置し、このワーク受渡し手段は、
炉室内又は外部空間に開口するワーク通過口を両側に有
する接続本体と、一側にのみ開口したワーク収納空間を
形成されかつこのワーク収納空間が前記何れかのワーク
通過口に連通した受渡し位置と何れのワーク通過口にも
連通しない中間位置との間で３位置切換可能に前記接続
本体内に配置された受渡し体にて構成し、前記接続本体
に、中間位置の受渡し体のワーク収納空間内に何れかの
炉室又は外部空間の雰囲気を導入する手段を設けたこと
を特徴とする雰囲気炉。 - （２）接続本体に、中間位置の受渡し体のワーク収納空
間の雰囲気を測定する手段を設けたことを特徴とする請
求項１記載の雰囲気炉。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1170146A JPH0739028B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 雰囲気炉 |
| KR1019900009774A KR930001236B1 (ko) | 1989-06-30 | 1990-06-29 | 분위기로 |
| US07/545,891 US5017131A (en) | 1989-06-30 | 1990-06-29 | Atmosphere furnace |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1170146A JPH0739028B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 雰囲気炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0335871A true JPH0335871A (ja) | 1991-02-15 |
| JPH0739028B2 JPH0739028B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=15899526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1170146A Expired - Lifetime JPH0739028B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 雰囲気炉 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5017131A (ja) |
| JP (1) | JPH0739028B2 (ja) |
| KR (1) | KR930001236B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0663733A (ja) * | 1992-08-11 | 1994-03-08 | Saamaru:Kk | ろう付け連続装置 |
| JP2022185954A (ja) * | 2021-06-03 | 2022-12-15 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | リフロー方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3200282B2 (ja) * | 1993-07-21 | 2001-08-20 | キヤノン株式会社 | 処理システム及びこれを用いたデバイス製造方法 |
| US20020195201A1 (en) * | 2001-06-25 | 2002-12-26 | Emanuel Beer | Apparatus and method for thermally isolating a heat chamber |
| JP2019123647A (ja) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | 日本碍子株式会社 | セラミックス焼成体の製造方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3063878A (en) * | 1958-05-07 | 1962-11-13 | Wilson Lee | Method of and apparatus for annealing |
| DE2254769C3 (de) * | 1972-11-09 | 1985-06-05 | Vereinigte Aluminium-Werke AG, 1000 Berlin und 5300 Bonn | Durchlaufofen zum flußmittellosen Löten von Aluminiumwerkstoffen unter Schutzgas |
| US4397451A (en) * | 1981-06-10 | 1983-08-09 | Chugai Ro Kogyo Co., Ltd. | Furnace for the heat treatment of scale-covered steel |
| JPS609801A (ja) * | 1983-06-27 | 1985-01-18 | Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd | 真空焼結炉 |
| JPS6127485A (ja) * | 1984-07-17 | 1986-02-06 | 中外炉工業株式会社 | 連続式雰囲気熱処理炉 |
| US4586898A (en) * | 1984-12-14 | 1986-05-06 | Btu Engineering Corporation | Multi-zone furnace system |
| IT1205512B (it) * | 1986-12-30 | 1989-03-23 | Mauro Poppi | Forno per la cottura di materiali ceramici quali piastrelle e simili |
| US4767320A (en) * | 1987-10-29 | 1988-08-30 | Chugai Ro Co., Ltd. | Automatically flow controlled continuous heat treating furnace |
| JPH01252886A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-09 | Central Glass Co Ltd | 熱加工炉並びにそれによる熱処理方法 |
-
1989
- 1989-06-30 JP JP1170146A patent/JPH0739028B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-06-29 US US07/545,891 patent/US5017131A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-06-29 KR KR1019900009774A patent/KR930001236B1/ko not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| JPH0663733A (ja) * | 1992-08-11 | 1994-03-08 | Saamaru:Kk | ろう付け連続装置 |
| JP2022185954A (ja) * | 2021-06-03 | 2022-12-15 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | リフロー方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR930001236B1 (ko) | 1993-02-22 |
| KR910001344A (ko) | 1991-01-30 |
| US5017131A (en) | 1991-05-21 |
| JPH0739028B2 (ja) | 1995-05-01 |
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