JPH0335951A - 案内装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、工作機械等のテーブル駆動部等に用いられ、
精密なテーブル案内が行なえる案内装置に関する。

（従来の技術） 第１１図（＾）は従来の工作機械等にわけるテーブル駆
動部の一例の送り方向の概略断面図であり、同図（Ｂ）
はそのＡ−Ａ線断面図である。モータ１によって得られ
る回転駆動力はプーリ２．３及びヘルド４を介してボー
ルネジ５に伝達され、ホールネジ５に螺合するポールネ
ジナラ］・６により直線駆動力に変換され、支えブラダ
・＋ト７を介して被駆動体（テーブル）８を直線駆動し
ている。ここで、テーブル８は同図（Ｂ）に示すように
固定部（ベツド）９に対して矢印ａて示ず摺動部により
案内されている。

（発明が解決しようとする課題） 上述した従来の工作機械等におけるテーブル駆動部でテ
ーブル８を精密に案内するためには、摺動部ａにおける
スキを無くす必要かあるが、テーブル８はベツド９に対
して相夕４的にスヘリ運動をしながら案内されている為
、スキを無くすとＦＪ擦からくる発熱による焼付、ある
いはこしれによる貴いイづきなどの問題か発生して機能
上不都合を生じる。また、これらの問題に至ら１（いま
でもテーブル８を駆動中に大きな負前変動が生じて、送
り速度ムラか発生したり異常音が出たりすることが十分
考えられる。そこで、摺動部ａには精密ｔヱテーブル案
内を行なううえで支１（１をきたさない程度の一定量の
スキが通常設けられる。このスキ：まスキマ調整用板１
０により調整されるが、正Ｍｔ、　％　＝’を整が難し
く、調整のバラツキによって：まスキか少なくなって上
記焼付又は食い付きの問題が発生し、また逆にスキか大
きくなるとテーブル８（まベット９に対してスキ分だけ
蛇行しなから動くことと１２９、結局工作機械等にわい
てはその加丁１′１１度を低下させる要因となっている
。また、摺Φ１］抵抗特性は非線形であって負性抵抗を
示すため、スティックスリップ現象が発生する等’ＭＪ
　ＩＩ　Ｊ−不都合な点もある。

このようなスキ調整の必要がない案内としては油圧静圧
案内及びコロガリ案内等がある。ところが、油圧静圧案
内は摺動部を油圧で浮かす必要がある島、装置及び部品
の製造を考えると非常に高価になり、剛性が高く取れず
、高速送りの場合に油の粘性抵抗によるテーブルの浮き
上がりが発生して精度が悪くなるなどの欠点がある６又
、コロガリ案内の場合は案内用ボールガイド或いはロー
ラガイド等の精度誤差及び固定側ガイド部の精度誤差に
より案内部での抵抗が均一でない事からデープル送り時
の速度ムラが発生するという欠点がある。

本発明は上述したような事情から威されたものであり、
本発明の目的は、摺動部を必要とせず、被駆動体を精密
に案内することができる案内装置を提供することにある
。

（課題を解決するための手段） 本発明は、工作機械等のテーブル駆動部等に用いられ、
精密なテーブル案内が行なえる案内装置に関するもので
あり、本発明の上記目的は、固定部と被駆動体とを固定
２分離する第１の微動アクチュエータと、この第１の微
動アクチュエータに固着され、前記被駆動体の駆動方向
に微小移動〕可能な可動部とで成る案内ユニットを複数
個（Ｊｆｉλ、前記第１の微動アクチュエータの固定動
作及び分ｍ動作を繰返すことにより、前記固定部と前記
被駆動体との間隔を一定に保ちつつ前記被駆動体の駆動
を所定の軌道にて案内することによって達成される。

（作用） 本発明の案内装置は、複数個設４Ｊられた微動アクチュ
エータのうちのいずれかが、被駆動体を所定位置で常に
支え、かつ？ｔＪ、駈動体の駆動に（ｉって移動するの
で、摺動部か無くなり、安定した案内を行なうことがで
きる。

（実施例） 第１図は本発明の案内装置の一例を第１１図ＣＢ）に対
応させて示す断面図であり、同一構成箇所は同符号を付
しである。モータ（図示せず）によって得られる回転駆
動力がボールネジ５に伝達され、ボールネジ５に螺合す
るポールネジナツト６により直緯駆動力に変換され、支
えブラケット７を介してテーブル１１を直線駆動する。

テーブルＩＩはその駆動方向に直交する方向の断面が略
丁字形を成し、テーブル】１の上部が中空角柱状の本体
１２に設けられたスリットから突出し、このスリットに
沿って移動するように、テーブル１１の上部を除く部分
とボールネジ５．ポールネジナツト６、支えブラケット
７とが本体１２の内部に収納されている。そして、棒状
の支柱２１の一端が本体１２の内側面に固着され、支柱
２１の他端に圧電素子等の伸縮自在の微動アクチュエー
タ２２の一端が固着され、微動アクチュエータ２２の他
端がその伸縮によってテーブル１１の下部に接触、離脱
可能な構成の案内ユニットが４箇所放射状に配置されて
いる。同図はテーブルＩＩが各案内ユニット２０＾、２
０Ｂ、２０Ｇ、２ＱＤによって固定１位置決めされてい
る状態を示し、テーブル１１の上下方向の固定９位置決
めは案内ユニット２０＾及び２０Ｂの上向きの力Ｆ８及
びＦｂと案内ユニット２０Ｇ及び２０Ｄの下向きの力Ｆ
ｃ＋及びＦｄ（それぞれはＦＣ及びＦ、の分力）により
行なわれ、テーブルの左右方向の固定１位置決めは案内
ユニット２０Ｇの右向きの力ＦＣ２（ＦＣの分力）と案
内ユニット２０Ｄの左向きの力Ｆｄ２（Ｆｄの分力）に
より行なわれるようになっている。

第２図は第１図に示す案内装置の概略１１ｉ１１面断面
図であり、上述した案内ユニット２０Ａ、２０１１．２
０１１：。

２００から成るユニット群がテーブル１１の！’Ａ　動
方向に３列配置されている。このような構成においてそ
の動作例を第３図のタイムチャートに示し、各時点にお
ける動作を以下説明する。

（１）時点ｔ。

第１ユニット群及び第３ユニット群は共に固定−［−−
トチアリ、各案内−１−−−ット２ＯＡ、２０Ｂ　２０
［：、２００の微動アクチュエータ２２が“伸状態にあ
ってテーブル１１を固定１位置決めすると共に、各案内
ユニット２ＯＡ、２０Ｂ、２０Ｃ，２０Ｄの支柱２１が
テーブルＩＩの駆動方向に弾性変形している。ここで、
微動アクチュエータ２２とテーブル１１との接触部は支
柱２１がテーブル１１の駆動方向に弾性変形しても本体
１２からの距離が変わらない形状（例えば円弧）となっ
ている。

７ｉＪ２ユニット群は分離モードであり、各案内ユニッ
ト２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ，２００の微動アクチュエー
タ２２が縮状態にあってテーブル１１と分離した自由な
状態にある。

（２）時点を 第２ユニット群は分ガ１モードから固定モードに移り、
各案内ユニット２〇八、２０［１，２０Ｇ、２０Ｄの微
動アクチュエータ２２が仲状態となってテーブル１１を
固定１位置決めする。

第１ユニット群及び第３ユニット群は固定モードを維持
し、各案内ユニット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ，２０Ｄの
微動アクチュエータ２２は伸状態にあってテーブルＩＩ
を固定１位置決めしている。

（３ン時点［１２〜時点ｔｌ 第３ユニット群は固定モードから分離モードに移り、各
案内ユニット２〇八、２０８．２０Ｇ、２０Ｄの微動ア
クチュエータ２２が縮状態となってテーブルＩＩから分
離すると同時に、各案内ユニット２０Ａ、２０Ｂ、２０
Ｃ２０ｔ１の支柱２１はその弾性力により復元する。そ
して、直ちに次の固定モードに移り、各案内ユニット２
ＯＡ、２０Ｂ、２０（：、２０Ｄの微動アクチュエータ
２２が伸状態となってテーブル１１を固定１位置決めす
る。

２１ユニット群及び第２ユニット群は固定モードを維持
し、各案内ユニット２０＾、２０８，２００，２０Ｄの
微動アクチュエータ２２は仲状態にあってテーブルＩＩ
を固定１位置決めしている。

（４）時点ｔ１４〜時点Ｅ１５ 第１ユニット群は固定モードから分圓モートに移り、各
案内ユニット２〇八、２０Ｂ、２０Ｃ，２００の微動ア
クチュエータ２２が縮状態となってテーブル１１から分
離すると同時に、各案内ユニット２０八、２０Ｂ、２０
Ｃ。

２００の支柱２１はその弾性力により復元する。そして
、直ちに次の固定モードに移り、各案内ユニット２〇八
、２０Ｂ、２０Ｃ，２００の＠動アクチュエータ２２が
伸状態となってテーブル１１を固定１位置決めする。

第２ユニット群及び第３ユニット群は固定モードを維持
し、各案内ユニット２〇八、２０Ｂ、２０Ｇ、２００の
微動アクチュエータ２２は仲状態にあってテーブル１１
を固定７位置決めしている。

（５）時点し、６〜時点ｔ。

第２ユニット群は固定モートから分離モードに移り、各
案内ユニット２０＾、２０Ｂ、２０Ｃ，２００の微動ア
クチュエータ２２か縮状態となってテーブル１１から分
離すると同時に、各案内ユニット２０Ａ、２０Ｂ、２０
Ｇ２００の支柱２１はその弾性力により復元する。そし
て、直ちに次の固定モートに移り、各案内ユニット２０
＾、２０８．２０Ｆ：、２００の微動アクチュエータ２
２か伸状、態となってテーブルＩＩを副定１位置決めす
る。

第１ユニット群及び第３ユニット群は固定モートを維持
し、各案内ユニット２０Ａ、２０Ｂ、２０ｔｌ：、２０
０の。

微動アクチュエータ２２は伸状態にあってテーブル１１
を固定１位置決めしている。

以上の動作を連続して行なうことにより、テーブル１１
はいずれかのユニット群に常に固定１位置決めされた状
態で案内されることになる。テーブル１１の駆動速度は
微動アクチュエータ２２の応答時間の関係と支柱２１の
弾性限度の関係とから支柱２１の弾性限度を越えない範
囲で任意に決められるが、案内ユニットはテーブルＩＩ
の駆動速度とは無関係に上記動作を常時繰返す。

第４図は本発明の案内装置の第２の実施例を第２図に対
応させて示す概略側面断面図であり、同構成箇所は同符
号を付して説明を省略する。この案内はガイド２３が各
ユニット群の間であって各案内ユニットから所定の距剣
隔てて配置され、ガイド２３の一端は本体１２に固着さ
れている。テーブル））の駆動速度は上述したよう！、
ｌ：微動アクヂュエータ２２の応答時間の関係と支柱２
１の弾性限度の関係とから支柱２１の弾性限度を越えな
い範囲て決められているが、テーブル１１の駆動速度制
御が異常となった場合やＩ２＋！動アクチュエータ２２
が正常に動作しなくなった場合に支柱２１はその弾性限
度を越えて曲げられて破壊に敗る場合がある。このよう
な異常事態が発生した場合でも上記ガイド２３により支
柱２１の曲げが制限されるので、支柱２１はその弾性限
度を越えて曲げらることは無く、支柱２１の破壊を未然
に防止することかできる。

なお、上述した第１及び第２の実施例においては、駆動
機構としてボールネジ等を使用したが、例えばリニアモ
ータを使用した駆動機構であっても本発明を適用するこ
とが可能である。このリニアモータを使用した駆動機構
の場合は、テーブル側を固定とし、本体側を可動として
も本発明を適用することができる。

第５図は本発明の案内装置の第３の実施例を第２図に対
応させて示す概略側面断面図であり、同一構成箇所は同
符号を付して説明を省略する。この案内はブラケット２
４が各ユニット群の間であって案内ユニット２０Ａ、２
０Ｂ側に配置され、ブラケット２４の一端は本体１２に
固着されている。さらに、ブラケット２４と案内ユニッ
ト２０Ａ　（２０Ｂ）の支柱２１とが微動アクチュエー
タ２５により連結されている。

この微動アクチュエータ２５の伸縮により支柱２１は弾
性変形を繰返し、テーブル１１が駆動される。

従って、この案内はボールネジ等の駆動機構か不要とな
る。このような構成においてその動作例を第６図のタイ
ムチャートで説明する。なお、案内ユニット２０Ａ、２
０Ｂを下ユニット、案内ユニット２０Ｃ，２００を上ユ
ニットと呼び、ＩＳ５！動アクチュエータ２２及び２５
を区別するために微動アクチュエータ２２を固定分離用
微動アクチュエータ、微動アクチュエータ２５を騒動用
微動アクチュエータと呼ぶ。

（１）時点ｔ０〜時点ｈ２ 第１ユニット群及び第３ユニット群の各案内ユニット２
〇八、２０８．２０Ｇ、２００の固定分離用微動アクチ
ュエータ２２は固定モードにあってテーブル１１を固定
１位置決めしており、下ユニツト２０Ａ、２０Ｂの駆動
用微動アクチュエータ２５は仲状態にあって下ユニツト
２ＯＡ、２０Ｂの支柱２１を弾性変形させ、テーブル１
１を駆動している。このとき上ユニツト２０Ｃ２００の
支柱２１もテーブル１１の動きに従って弾性変形してい
る。第２ユニット群の下ユニツト２〇八。

２０Ｂの駆動用微動アクチュエータ２５は縮状態から伸
状態に移って下ユニツト２０Ａ・、２０Ｂの支柱２１を
弾性変形させる。その後、下ユニツト２０＾、２０Ｂの
支柱２１とテーブル１１の相対速度が一定値以下となっ
た時点で、各案内ユニット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ，２
００の固定分離用微動アクチュエータ２２が分離モード
から固定モートに移ってテーブル１１を固定１位置決め
し、下ユニツト２０Ａ、２０Ｂの支柱２１がその弾性変
形によりテーブル＋１を駆動する。このとき上ユニツト
２０Ｇ、２０Ｄの支柱２１もテーブル１１の動きに従っ
て弾性変形する。

（２）時点ｔ２２〜時点ｔ２４ 第３ユニット群の各案内ユニット２０＾、２０８．２０
Ｇ。

２０Ｄの固定分町用微動アクチュエータ２２は固定モー
ドから分離モードに移ってテーブル１１から分離し、上
ユニツト２０１；、２００の支柱２１はそれ自体の弾性
力により復元する。その後の時点Ｌ２３に下ユニツト２
０Ａ、２０Ｂの駆動用微動アクチュエータ２５が仲状態
から縮状態に移って下ユニツト２０Ａ、２０Ｂの支柱２
１の変形を復元させる。

第１ユニット群及び第２ユニット群の各案内ユニット２
ＯＡ、２０１１．２０Ｇ、２００の固定分離用微動アク
チュエータ２２は固定モードにあってテーブル１１を固
定１位置決めしており、下ユニツト２０Ａ、２０Ｂ　（
７）駆動用微動アクチュエータ２５は仲状態にあって下
ユニツト２０＾、２０Ｂの支柱２１を弾性変形させ、テ
ーブル１１を駆動している。このとキ上ユニット２０Ｃ
，２００の支柱２１もテーブル１１の動きに従って弾性
変形している。

（３）時点ｈｌ〜時点ｔ２ｓ 第３ユニット群の下ユニツト２０Ａ、２０Ｂの態動用微
動アクチュエータ２５が縮状態から伸状態に移って下ユ
ニツト２０Ａ、２０Ｂの支柱２１を弾性変形させる。そ
の後、下ユニツト２０Ａ、２０Ｂの支柱２１とテーブル
１１の相対速度が一定値以下となった時点で、各案内ユ
ニット２０Ａ、２０８．２０Ｇ、２０Ｄの固定分離用微
動アクチュエータ２２が分離モードから固定モードに移
ってテーブル１１を固定１位置決めし、下ユニツト２０
八、２０Ｂの支柱２１がその弾性変形によりテーブル１
１を駆動する。このとき上ユニツト２０Ｃ２００の支柱
２１もテーブル１１の動きに従って弾性変形する。

第１ユニット群及び第２ユニット群の各案内ユニット２
０＾、２０Ｂ、２０Ｃ，２００の固定分離用微動アクチ
ュエータ２２は固定モードにあってテーブル１１を固定
１位置決めしており、下ユニツト２０八、２０Ｂの駆動
用微動アクチュエータ２５は伸状態にあって下ユニツト
２０Ａ、２０Ｂの支柱２１を弾性変形させ、テーブル１
１を駆動している。このとき上ユニツト２０Ｃ０２００
の支柱２１もテーブル１１の動きに従って弾性変形して
いる。

（４）時点ｔ４８ 第１ユニット群の各案内ユニット２０八、２０Ｂ、２０
Ｇ。

２００の固定分間用微動アクチュエータ２２は固定モー
ドから分離モードに移ってテーブル１１から分離するが
、第２ユニット群及び第３ユニット群の各案内ユニット
２０＾、２０８．２０Ｃ，２０Ｄの固定分離用微動アク
チュエータ２２が固定モートにあってテーブル１１を固
定２位置決めしており、下ユニツト２０＾２０Ｂの駆動
用微動アクチュエータ２５が伸状態にあって下ユニツト
２０＾、２０Ｂの支柱２１を弾性変形させ、テーブル１
１を駆動している。

以上の動作が所定の時間差をもって第１ユニット群から
第３ユニット群まで順次繰返されるので、テーブル１１
は常に第１ユニット群から第３ユニット群までのいずれ
か２つ以上のユニッ１−群の固定分離用微動アクチュエ
ータ２２により固定１位置決めされると共に、駆動用微
動アクチュエータ２５により駆動されることになり、そ
の動きとしては第６図下方に示すようにテーブル１１が
停止することなく連続した送りを行なうことができる。

第７図は本発明の案内装置の第４の実施例を第５図に対
応させて示す概略側面断面図であり、同−構成箇所は同
符号を付して説明を省略する。この案内は案内ユニット
２ＯＡ、２０Ｂの支柱２１の代わりに本体１２上をテー
ブル１１の駆動方向に滑動自在な可動台２６が配置され
ており、この可動台２６上に先端が平坦な固定分離用微
動アクチュエータ２２０が固着されている。さらに、可
動台２６の一端とブラケット２４とが駆動用微動アクチ
ュエータ２５により連結され、可動台２６の他端と別の
ブラケット２４とが圧縮バネ２７により連結されている
。この圧縮バネ２７は固定分離用微動アクチュエータ２
２０がテーブル１１から離脱し、駆動用微動アクチュエ
ータ２５が線状態に移るときに可動台２６を元の位置に
戻す役目をする。この場合の動作は第６図のタイムチャ
ートと同様になるが、先端が平坦な固定分離用微動アク
チュエータ２２０を使用しているため、テーブル１１の
固定及び駆動をより安定に行なうことかできる。

第８図は本発明の案内装置の第５の実施例を第７図に対
応させて示す概略側面断面図であり、同−構成箇所は同
符号を付して説明を省略する。この案内は可動台２６の
代わりに一部に切欠き穴２１０ａを有する支柱２１０が
本体１２に固着されている。この切欠き穴２１０ａによ
り支、柱２１０はテーブルＩＩの駆動方向と平行な方向
に弾性変形し易くなっている。この場合の動作例も第６
図のタイムチャートと同様になる。

なお、上述した第３実施例〜第５実施例においては駆動
用微動アクチュエータ２５を下ユニツト２０Ａ、２０Ｂ
側に配置したが、上ユニツト２０Ｃ，２００側に配置し
ても同様の効果を呈する。

第９図は本発明の案内装置の第６の実施例を第８図に対
応させて示す概略側面断面図であり、同一構成箇所は同
符号を付して説明を省略する。この案内は各案内ユニッ
ト２ＯＡ、２０８．２０Ｃ，２００の固定分離用微動ア
クチュエータ２２０が２列配置され、それぞれの一端が
本体１２に固着されている支持台２８にピン接合され、
それぞれの他端がテーブルＩＩに接触、Ｓ脱可能なブロ
ック２９にピン接合されている。さらに、駆動用微動ア
クチュエータ２５の一端がブロック２９の一端にピン接
合され、駆動用微動アクチュエータ２５の他端がブラケ
ット２４にピン接合されている。そして、ブロック２９
の他端と別のブラケット２４とが圧縮バネ２７により連
結されている。この場合の動作例も第６図のタイムチャ
ートと同様になる。

なお、上述した第１〜第６の各実施例においては３つの
ユニット群で構成される案内装置について説明したが特
に限定されるものではなく、複数のユニット群にて構成
可能である。また、案内ユニットをテーブル側に固着し
て、本体側に対して動作させるようにしても同様の効果
を呈する。

（変形例） 第１Ｏ図は本発明の案内装置の変形例を第１図に対応さ
せて示す断面図であり、同−構成筒所は同符号を付して
説明を省略する。各案内ユニット２０Ａ、２０Ｂ、２０
Ｃ，２０Ｄの支柱２１と固定分離用微動アクチュエータ
２２の間には圧力センサ３０が装着されており、テーブ
ル１１を固定したときの力と同一の圧縮力が検出され、
各案内ユニット２０八、２０８．２０Ｃ。

２０Ｄの力が適正値となるように各固定分暉用微動アク
チュエータ２２が制御されるようになっている。このよ
うな制御が可能となることで、本体１２とテーブル１１
との間に加工誤差が生じている場合でもテーブル１１の
位置決めを高精度に行なうことができる。

なお、このような圧力センサ３０の装着は上述した第１
〜第６の各実施例について適用可能である。

（発明の効果） 以上のように本発明の案内装置によれば、摺動部が無い
ため精密なテーブル案内を行なうことか可能となり、例
えば工作機械に適用した場合は加工精度を大幅に向上さ
せることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の案内装置の一例を示す断面図、第２図
はその概略側面断面図、第３図はその動作例を説明する
タイムチャート、第４図、第５図、第７図、第８図及び
第９図はそれぞれ本発明の案内装置の別の一例を示す概
略側面断面図、第６図はその動作例を説明するタイムチ
ャート、第１０図は本発明の案内装置の変形例を示す断
面図、第１１図（Ａ）は従来の案内装置の一例を示す側
面断面図、同図（Ｂ）はその八−へＬＪ断面図である。 １・・・モータ、２，３・・・プーリ、４・・・ヘルド
、５・・・ボールネジ、６・・・ポールネジナツト、７
・・・支えブラケット、８．１１・・・テーブル、９・
・・ヘッド、ＩＯ・・・スキマ調整用板、１２・・・本
体、２０Ａ、２０口、２０Ｇ、２００・・・案内ユニッ
ト、２１．２１０・・・支柱、２２，２２０・・・固定
分離用微動アクチュエータ、２３・・・ガイド、２４・
・・ブラタ・ント、２５・・・駆動用微動アクチュエー
タ、２６・・・可動台、２７・・・圧縮バネ、２８・・
・支持台、２９・・・ブロック、３０・・・圧力センサ
、２１０ａ・・・切欠き穴。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、固定部と被駆動体とを固定、分離する第１の微動ア
   クチュエータと、この第１の微動アクチュエータに固着
   され、前記被駆動体の駆動方向に微小移動可能な可動部
   とで成る案内ユニットを複数個備え、前記第１の微動ア
   クチュエータの固定動作及び分離動作を繰返すことによ
   り、前記固定部と前記被駆動体との間隔を一定に保ちつ
   つ前記被駆動体の駆動を所定の軌道にて案内するように
   したことを特徴とする案内装置。 ２、前記可動部の微小移動を所定値以内に制限する手段
   を設けた請求項１に記載の案内装置。 ３、前記第１の微動アクチュエータの力を制御する手段
   を設けた請求項１に記載の案内装置。 ４、前記可動部に機械的に連結され、前記可動部を前記
   被駆動体の駆動方向に微小移動させる第２の微動アクチ
   ュエータを設けた請求項１に記載の案内装置。 ５、前記第２の微動アクチュエータの速度と前記被駆動
   体の速度との差が所定値以下となったときに前記第１の
   微動アクチュエータの固定動作を行なうようにした請求
   項４に記載の案内装置。 ６、前記可動部が前記被駆動体の駆動方向に弾性変形し
   易く、その駆動方向と直交する方向に弾性変形し難い形
   状をなしている請求項４に記載の案内装置。 ７、微小移動している請求項４に記載の可動部を前記第
   １の微動アクチュエータの分離動作時に元に戻す手段を
   設けた案内装置。