JPH01274943A - 移動テーブルの駆動装置 - Google Patents
移動テーブルの駆動装置Info
- Publication number
- JPH01274943A JPH01274943A JP10239688A JP10239688A JPH01274943A JP H01274943 A JPH01274943 A JP H01274943A JP 10239688 A JP10239688 A JP 10239688A JP 10239688 A JP10239688 A JP 10239688A JP H01274943 A JPH01274943 A JP H01274943A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ball screw
- movable table
- nut member
- moving table
- preload
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/404—Screw bearings therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Support Of The Bearing (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、高速、高精度で移動可能にした移動テーブル
の駆動装置に関するものであり、上記移動テーブルは精
密加工機や計測機器の送り装置として利用される。
の駆動装置に関するものであり、上記移動テーブルは精
密加工機や計測機器の送り装置として利用される。
従来の移動テーブルの駆動装置は第５図に示すようにな
っていて、移動テーブル１はブロック２を介してベース
３上のレール４に移動自在に載置しである。そして上記
ベース３にはレール４と平行にボールねじ５が、これの
両端部を軸受装置６．６を介してブラケット７に支持し
て設けてあり、このボールねじ５に上記移動テーブル１
に固定部材８を介して取付けられたナツト部材９が螺合
しており、ボールねじ５が回転することにより移動テー
ブル１がレール４に沿って往復動するようになっている
。
っていて、移動テーブル１はブロック２を介してベース
３上のレール４に移動自在に載置しである。そして上記
ベース３にはレール４と平行にボールねじ５が、これの
両端部を軸受装置６．６を介してブラケット７に支持し
て設けてあり、このボールねじ５に上記移動テーブル１
に固定部材８を介して取付けられたナツト部材９が螺合
しており、ボールねじ５が回転することにより移動テー
ブル１がレール４に沿って往復動するようになっている
。
ボールねじ５の一端にはカップリング１ｏを介してモー
タ１１が連結してあり、モータ１１の回転制御により移
動テーブル１がボールねじ５にて移動され、かつ所定の
位置に停止されるようになっている。
タ１１が連結してあり、モータ１１の回転制御により移
動テーブル１がボールねじ５にて移動され、かつ所定の
位置に停止されるようになっている。
このような移動テーブルの駆動装置で、移動テーブルの
移動ユ及び停止位置の制御に高精度が要求される場合、
固定部材８側とナツト部材９の間に間座１２ａを介装置
７てボールねじ５に対してナツト部材９に予圧をかけた
り、ボールねじ５を支承する軸受装置６．６についても
シム１２ｂを介装してこれに予圧を与えて軸方向のガタ
を除去するように（２ている。
移動ユ及び停止位置の制御に高精度が要求される場合、
固定部材８側とナツト部材９の間に間座１２ａを介装置
７てボールねじ５に対してナツト部材９に予圧をかけた
り、ボールねじ５を支承する軸受装置６．６についても
シム１２ｂを介装してこれに予圧を与えて軸方向のガタ
を除去するように（２ている。
しかし上記のような手段でボールねじ５の軸方向に与圧
を与えた場合、常にナツト部材９や軸受装置６，６に予
圧が作用した状態にあるため、ナツト部材つと軸受６，
６の摩擦トルクが大きく、特に大トルクを必要とする早
送り時等にモータの大きな負担となっていた。このこと
は位置決め精度に重要なボールねじの摩耗、発熱を増す
原因にもなっていた。
を与えた場合、常にナツト部材９や軸受装置６，６に予
圧が作用した状態にあるため、ナツト部材つと軸受６，
６の摩擦トルクが大きく、特に大トルクを必要とする早
送り時等にモータの大きな負担となっていた。このこと
は位置決め精度に重要なボールねじの摩耗、発熱を増す
原因にもなっていた。
本発明は上記のことにかんがみなされたもので、間座の
厚さを移動テーブルの移動中においても任意に変えて、
ナツト部材や軸受の予圧を変化できるようにして、移動
テーブルの動作の状況に応じて上記間座の予圧を変えて
、軸受やナツト部材の摩擦トルクを減らすことができる
ようにした移動テーブルの駆動装置を提供しようとする
ものである。
厚さを移動テーブルの移動中においても任意に変えて、
ナツト部材や軸受の予圧を変化できるようにして、移動
テーブルの動作の状況に応じて上記間座の予圧を変えて
、軸受やナツト部材の摩擦トルクを減らすことができる
ようにした移動テーブルの駆動装置を提供しようとする
ものである。
」二足目的を解決するために、本発明に係る移動テーブ
ルの駆動装置は、両端部を軸受装置にて支持したボール
ねじに、このボールねじの軸方向に移動自在にした移動
テーブルに設けたナツト部材を螺合し、ボールねじをモ
ータにて駆動することにより移動テーブルが移動するよ
うにした移動テーブルの駆動装置において、ボールねじ
を支持する軸受装置とこれを嵌合するハウジングとの間
、及びボールねじに螺合するナツト部）オとこれを支持
する部材との間に、それぞれ圧電素子よりなる調整間座
を介装した構成となっている。
ルの駆動装置は、両端部を軸受装置にて支持したボール
ねじに、このボールねじの軸方向に移動自在にした移動
テーブルに設けたナツト部材を螺合し、ボールねじをモ
ータにて駆動することにより移動テーブルが移動するよ
うにした移動テーブルの駆動装置において、ボールねじ
を支持する軸受装置とこれを嵌合するハウジングとの間
、及びボールねじに螺合するナツト部）オとこれを支持
する部材との間に、それぞれ圧電素子よりなる調整間座
を介装した構成となっている。
圧電素子への通電によりこれの厚さを変えることにより
、軸受装置及びナツト部材部での予圧量が変化し、上記
両端部分への予圧が移動テーブルの動作状況に応じて任
意に変えられる。
、軸受装置及びナツト部材部での予圧量が変化し、上記
両端部分への予圧が移動テーブルの動作状況に応じて任
意に変えられる。
本発明の実施例を第１図から第４図に基づいて説明する
。なおこの実施例において、第５図に示す従来例の部材
と同一のものは同一符号を付して説明を省略する。
。なおこの実施例において、第５図に示す従来例の部材
と同一のものは同一符号を付して説明を省略する。
ボールねじ５の両端部を支承する軸受装置６゜６はそれ
ぞれ同一の構成となっており、その構成は第２図に示す
ようになっていて、それぞれスラスト力を受けることが
できるようにした２個のボール軸受（アンギュラ−コン
タクト型）１３．１３が座金１４を介して背中合せに配
置されており、これらの内輪１３ａ、１３ａがボールね
じ５に固着され、外輪１３ｂ、１３ｂが軸受ハウジング
１５に嵌合しである。そしてこの外輪１３ｂ、１３ｂの
−・端側は軸受ハウジング１５に螺着した支持部材１６
に当接支持され、他端側は調整間座１７を介して固定板
１８に当接しである。
ぞれ同一の構成となっており、その構成は第２図に示す
ようになっていて、それぞれスラスト力を受けることが
できるようにした２個のボール軸受（アンギュラ−コン
タクト型）１３．１３が座金１４を介して背中合せに配
置されており、これらの内輪１３ａ、１３ａがボールね
じ５に固着され、外輪１３ｂ、１３ｂが軸受ハウジング
１５に嵌合しである。そしてこの外輪１３ｂ、１３ｂの
−・端側は軸受ハウジング１５に螺着した支持部材１６
に当接支持され、他端側は調整間座１７を介して固定板
１８に当接しである。
またボールねじ５に螺合するナツト部材９の間にも調整
間座１９が介装しである。
間座１９が介装しである。
上記再調整間座１７．１９は円筒型圧電素子２０ａ、２
０ｂと、これの両側に位置する電極２１ａ、２１ａ’
、２１ｂ、２１ｂ’ と、これらを覆う絶縁体２２ａ、
２’：ｌｂとからなっており、電極に接続した配線
２３ａ、２３ｂに直流の電圧を印加することにより圧電
素子２０ａ。
０ｂと、これの両側に位置する電極２１ａ、２１ａ’
、２１ｂ、２１ｂ’ と、これらを覆う絶縁体２２ａ、
２’：ｌｂとからなっており、電極に接続した配線
２３ａ、２３ｂに直流の電圧を印加することにより圧電
素子２０ａ。
２０ｂが伸縮して調整間座１−７．１９の厚さが変化す
るようになっている。
るようになっている。
上記構成において、移動テーブル１を早送りするときに
はボールねじ５の両端部の軸受装置６．６に装入した調
整間座１７．１７及びナツト部材９内に装入した調整間
座１９のそれぞれに、これらの間座１７，１７．１９が
薄くなる方向に通電してこれらの厚みを薄くし、軸受装
置６．６及びナツト部材９０予圧が殆ど無い状態にする
。
はボールねじ５の両端部の軸受装置６．６に装入した調
整間座１７．１７及びナツト部材９内に装入した調整間
座１９のそれぞれに、これらの間座１７，１７．１９が
薄くなる方向に通電してこれらの厚みを薄くし、軸受装
置６．６及びナツト部材９０予圧が殆ど無い状態にする
。
これにより移動テーブル１は軽い負荷により移動される
。
。
−刃移動テーブル１の位置決め完了時（停止時）と精密
補間移動時には各調整間座１７，１７゜１９の厚さを厚
くして軸受装置６．６及びナツト部材９に予圧を与える
。
補間移動時には各調整間座１７，１７゜１９の厚さを厚
くして軸受装置６．６及びナツト部材９に予圧を与える
。
これにより駆動系のガタがなくなって剛性が高い状態と
なり、精密な軌跡及び位置決めがなされる。各調整間座
１７．１７．１９の厚さ調整は移動テーブルの移動中で
も任意に行なうことができる。
なり、精密な軌跡及び位置決めがなされる。各調整間座
１７．１７．１９の厚さ調整は移動テーブルの移動中で
も任意に行なうことができる。
第４図は他の実施例を示すもので、第１図に示す１軸型
の移動テーブル装置をＸＹ力方向方向をずらせて上下に
重ねて配置した構成となっており、下側の移動テーブル
装置Ａの移動体に上側の移動テーブル装置Ｂのベース２
３が固着されており、下側の移動テーブル装置へのモー
タ１１を駆動することによりボールねじ５を介して上側
の移動テーブル装置ＢがＸ方向に移動し、上側の移動テ
ーブルＢのモータ１１′を駆動することによりボールね
じ５′を介して上側の移動テーブル装置Ｂの移動テーブ
ル１′がＹ方向に移動し、結局上側の移動テーブル装置
Ｂの移動テーブル１′はＸＹ力方向移動される。
の移動テーブル装置をＸＹ力方向方向をずらせて上下に
重ねて配置した構成となっており、下側の移動テーブル
装置Ａの移動体に上側の移動テーブル装置Ｂのベース２
３が固着されており、下側の移動テーブル装置へのモー
タ１１を駆動することによりボールねじ５を介して上側
の移動テーブル装置ＢがＸ方向に移動し、上側の移動テ
ーブルＢのモータ１１′を駆動することによりボールね
じ５′を介して上側の移動テーブル装置Ｂの移動テーブ
ル１′がＹ方向に移動し、結局上側の移動テーブル装置
Ｂの移動テーブル１′はＸＹ力方向移動される。
本発明によれば、各調整間座１７，１７．１９の厚さが
移動テーブルの移動中にもかかわらず任意に変えること
ができることにより、移動テーブル１．１′の動作の状
況、すなわち移動テーブル１．１′の早送り動作、ある
いは精密な動作及び位置決め動作に応じて調整間座１７
゜１７．１９による予圧を変えることができ、予圧をあ
まり必要とない早送り動作時には上記予圧を少なくして
軸受６，６やナツト部材９の摩擦トルクを減らして早送
り動作時におけるモータ１１の負担を軽減することがで
きると共に、駆動系の耐久性向上、経時変化の減少を図
ることができ、さらにボールねじ５の負担も軽減してこ
れらの発熱によるボールねじ５の伸びが減少して位置決
め精度の向上を図ることができる。
移動テーブルの移動中にもかかわらず任意に変えること
ができることにより、移動テーブル１．１′の動作の状
況、すなわち移動テーブル１．１′の早送り動作、ある
いは精密な動作及び位置決め動作に応じて調整間座１７
゜１７．１９による予圧を変えることができ、予圧をあ
まり必要とない早送り動作時には上記予圧を少なくして
軸受６，６やナツト部材９の摩擦トルクを減らして早送
り動作時におけるモータ１１の負担を軽減することがで
きると共に、駆動系の耐久性向上、経時変化の減少を図
ることができ、さらにボールねじ５の負担も軽減してこ
れらの発熱によるボールねじ５の伸びが減少して位置決
め精度の向上を図ることができる。
第１図から第４図は本考案の実施例を示すもので、第１
図は断面図、第２図、第３図は要部の構成を示す断面図
、第４図は異なる構成例を示す斜視図、第５図は従来例
を示す断面図である。 出願人 株式会社 小 松 製 作 所代理人 弁
理士 米 原 正 章
図は断面図、第２図、第３図は要部の構成を示す断面図
、第４図は異なる構成例を示す斜視図、第５図は従来例
を示す断面図である。 出願人 株式会社 小 松 製 作 所代理人 弁
理士 米 原 正 章
Claims (1)
- 両端部を軸受装置６、６にて支持したボールねじ５に、
このボールねじ５の軸方向に移動自在にした移動テーブ
ル１に設けたナット部材９を螺合し、ボールねじ５をモ
ータ１１にて駆動することにより移動テーブル１が移動
するようにした移動テーブルの駆動装置において、ボー
ルねじ５を支持する軸受装置６、６とこれを嵌合するハ
ウジングとの間、及びボールねじ５に螺合するナット部
材９とこれを支持する部材との間のそれぞれに、圧電素
子２０ａ、２０ｂからなる調整間座１７、１９を介装し
たことを特徴とする移動テーブルの駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10239688A JPH01274943A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | 移動テーブルの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10239688A JPH01274943A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | 移動テーブルの駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01274943A true JPH01274943A (ja) | 1989-11-02 |
Family
ID=14326289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10239688A Pending JPH01274943A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | 移動テーブルの駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01274943A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0265940A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-06 | Okuma Mach Works Ltd | 送りねじの支持構造 |
| JPH0378151U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-07 | ||
| JPH0538445U (ja) * | 1991-10-24 | 1993-05-25 | 日本精工株式会社 | 直線作動ユニツト |
| JP2006189129A (ja) * | 2005-01-07 | 2006-07-20 | Nsk Ltd | 回転機構付軸方向微動機構およびそれを用いた位置決め装置 |
| JP2008208951A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | 粗微動機構の駆動方法 |
| JP2011144927A (ja) * | 2011-02-01 | 2011-07-28 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
| JP2012147666A (ja) * | 2012-03-02 | 2012-08-02 | Nsk Ltd | 回転機構付軸方向微動機構およびそれを用いた位置決め装置 |
| JP2013096479A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Jtekt Corp | 送りねじ装置 |
| JP2017180687A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 株式会社 神崎高級工機製作所 | 転がり軸受型伝動機構 |
-
1988
- 1988-04-27 JP JP10239688A patent/JPH01274943A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0265940A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-06 | Okuma Mach Works Ltd | 送りねじの支持構造 |
| JPH0378151U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-07 | ||
| JPH0538445U (ja) * | 1991-10-24 | 1993-05-25 | 日本精工株式会社 | 直線作動ユニツト |
| JP2006189129A (ja) * | 2005-01-07 | 2006-07-20 | Nsk Ltd | 回転機構付軸方向微動機構およびそれを用いた位置決め装置 |
| JP2008208951A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | 粗微動機構の駆動方法 |
| JP2011144927A (ja) * | 2011-02-01 | 2011-07-28 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
| JP2013096479A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Jtekt Corp | 送りねじ装置 |
| JP2012147666A (ja) * | 2012-03-02 | 2012-08-02 | Nsk Ltd | 回転機構付軸方向微動機構およびそれを用いた位置決め装置 |
| JP2017180687A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 株式会社 神崎高級工機製作所 | 転がり軸受型伝動機構 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6116104A (en) | Actuator | |
| EP0160707B1 (en) | Piezoelectric stepping rotator | |
| JPH1158181A (ja) | 割り出し装置とその駆動方法 | |
| JP2566415B2 (ja) | 精密位置決め装置 | |
| JP3161708B2 (ja) | 超音波振動子によるスクリューロッド駆動機構 | |
| JP5067487B2 (ja) | 位置決め装置 | |
| US6053065A (en) | Spindle drive | |
| JP4992182B2 (ja) | 回転機構付軸方向微動装置 | |
| JPS60256667A (ja) | ボ−ルねじ送り装置の予圧調整機構 | |
| US5349880A (en) | Transmission with variable mechanical prestress | |
| JP2886610B2 (ja) | 非接触支持を有する摩擦駆動装置 | |
| JP2004084880A (ja) | 機械の送り装置 | |
| JPH0673791B2 (ja) | 摩擦送り機構 | |
| JP5273270B2 (ja) | 回転機構付軸方向微動機構およびそれを用いた位置決め装置 | |
| JPH0442132B2 (ja) | ||
| JPH02160441A (ja) | テーブル装置 | |
| JPH0214915Y2 (ja) | ||
| JPS6029385Y2 (ja) | Ｘｙ移動テ−ブル | |
| JPH0430931A (ja) | 移動テーブル | |
| JP3086225B2 (ja) | 直線運動機構及びこれを用いた情報記録再生装置 | |
| JPS5952540B2 (ja) | ボンデイング装置における移動台送り装置 | |
| JP2826760B2 (ja) | 自動画線機におけるｘカーソル支持装置 | |
| JPS63300837A (ja) | 位置決めテ−ブル | |
| JPH0510413A (ja) | ボールねじ | |
| JPH0283407A (ja) | 摩擦送り機構 |