JPH0336003A - ダイシング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はＬＳＩおよび工０の組立におけるダイシング方
法およびその装置に関する。

［従来の技術］ 従来のダイシング装置はスピンドルが１本であり、時計
回りに回転した。そのためＤＯＷｎ　　Ｏｕｔによる良
好な加工状態を得るためには、第２図に示すようにスピ
ンドル・（ブレード）の動きは最初に２方向に下降する
■。次にＤＯＷｎ　　Ｏｕｔによる加工を行う■。セし
て２方向に上昇し■ブレードが加工を行わないでＸ方向
に移動する■。そして、Ｘ方向に設定された割出し量だ
け進む。以降は、上記動作を繰り返していた。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、前述の従来技術では動作■の時に加工を行うと
ＵＰ　　ＯＵＴになるため、スピンドルは２方向に上昇
しＸ方向に移動するだけであり、加工時間のロスとなっ
ていた。

そこで、本発明は従来のこのような問題点を解決するも
ので、その目的とするところは、加工時間のロスの少た
いダイシング装置及び加工方法を提供するところにある
。

［課題を解決するための手段］ 本発明のダイシング装置は、スピンドルを２本備え、一
方のスピンドルが他方のスピンドルと逆回転するごとを
特徴とする特 ［実施例］ 以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図（α）において、ダイシング装置はスピンドル１．
スピンドル２０２本のスピンドルを備えている。その先
端にはそれぞれブレード３、ブレード４がブレード押工
５．ブレード押工６によってスピンドルに固定されてい
る。スピンドルの回転方向はスピンドル１が時計回りに
、スピンドル２は反時計回りに回転している。

第１図（ｂ）は本発明のダイシング装置において加工を
行なった場合のスピンドル中心の軌跡を示したもので、
実線がスピンドル１の、破線がスピンドル２の軌跡を示
している。加工はスピンドルが２方向に下降し、Ｘ方向
に移動した時に行われる。

ウェーハの加工方法は第１図（ｂ）に示すように、まず
、スピンドル１が２方向に下降する■。

次に、スピンドル１が加工を行う■。その時、スピンド
ル２は上昇したままスピンドル１と供に移動する■′。

そして、スピンドル１が２方向に上昇し■、Ｙ方向に設
定されたチップサイズだけ進む。次に、スピンドル２が
２方向に下降し■′スピンドル２が加工を行う■′。そ
の時スピンドル１は上昇したままスピンドル２と供に移
動する■。そして、スピンドル２が２方向に上昇し■′
Ｙ方向に設定されたチップサイズだけ進む。以降は上記
動作を繰り返して、加工を進める。

以上のような実施例において、第２図に示すようなブレ
ードが加工を行わないでＸ方向に移動する動作は、スピ
ンドル２が反時計回りに回転してＤｏｗｎ　　Ｃｕｔ　
　を行うことによりなくなる。そのため装置の処理能力
は従来装置に比べて約３０％程向上する。

［発明の効果］ 本発明のダイシング装置は、以上説明したように、スピ
ンドルを２本備え、一方のスピンドルが他方のスピンド
ルと逆回転するという構造によって、加工時間のロスを
少なくし、装置の処理能力を向上させるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図（α）は、本発明のダイシング装置のスピンドル
部分の説明図。 第１図（ｂ）は、本発明のダイシング装置により加工を
行なった際のスピンドル中心の航跡を示す説明図。 第２図は、従来のダイシング装置により加工を行なった
際のスピンドル中心の軌跡を示す説明図１・・・・・・
・・スピンドル１ ２・・・・・・・・・スピンドル２ ３・・・・・・・・・ブレード１ ４・・・・・・・・・ブレード２ ５・・・・・・・・・ブレード押工 ６・・・・・・・・・ブレード押エ フ・・・・・・・・・ウェーハ 以 上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. スピンドルを２本備え、一方のスピンドルが他方のスピ
   ンドルと逆回転することを特徴とするダイシング装置。