JPH0336840Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、クリーンルームシステム天井のフア
ン付リターン口に係るものである。

「従来の技術と考案が解決しようとする問題点」 従来のクリーンルーム方式には、クリーンルー
ム内全体に均一に清浄空気を流す全面層流方式、
クリーンルーム内にてクリーン域を部分的にかつ
トンネル状に形成するクリーントンネル方式、格
子状の天井フレームに適数のフアン付フイルター
ユニツトと盲板とを位置替え自在に装着し、クリ
ーンルーム内にてクリーン域を部分的に得るフア
ン付フイルターユニツト方式、格子状の天井フレ
ームに適数のフイルターユニツト、リターンユニ
ツトおよび盲板を位置替え可能に配し、また、適
所に空調機を配して、該空調機をフイルターユニ
ツトとリターンユニツトに接続し、クリーンルー
ム内にてクリーン域を部分的に得る天井内空調設
備方式等がある。

しかし、全面層流方式では、クリーン域が部分
的で足りる場合にも、全体として運転しなければ
ならない不経済な面があり、クリーントンネル方
式では、クリーン域が固定的となるため、クリー
ンルーム内の模様替えに対する適応性が低い欠点
があり、フアン付フイルターユニツト方式および
天井内空調設備方式では、リターンスペースが固
定され、或いは、天井内での面倒なダクト工事を
要するため、クリーンルーム内の模様替えに対す
る適応性が未だ十分ではない。

そこで、これらの問題点を解決すべく、格子状
天井フレームを有する天井チヤンバーを設け、そ
の天井フレームに、適数のフアン付リターン口
と、フイルタと、盲板とを、位置替え、交換自在
に装備させて成るシステム天井方式を開発した。

これによると、クリーン域を部分的に構成でき
て経済的であり、フアン付リターン口やフイルタ
ーは、任意の箇所に配置でき、しかも、それぞれ
がフリーであることから、クリーンルーム内の模
様替えに容易に適合させることができて、従来の
問題点を一掃できる。

本考案は、このシステム天井方式に具合よく使
用できるフアン付リターン口を提供しようとする
ものである。

「問題点を解決するための手段」 本考案は、格子状天井フレームの格子目に係る
基準モジユール寸法に適合するケーシングを設
け、該ケーシングには、クリーンルームに開口す
る吸込口と天井チヤンバーに開口する吐出口とを
設け、また、ケーシング内にその吸込口から吸気
して吐出口から排気するフアンを装着して成る。

「作用」 如上の構成であるから、天井チヤンバーの下面
の任意の箇所にリターン口を装備ささせることが
でき、また、このリターン口は、フアンを備えて
いるので、クリーンルーム内の空気を自ら積極的
に吸い込み、天井チヤンバー内へ吐出する。吐出
された空気は、天井チヤンバー内で加圧状態とな
るため、フイルターを通過して清浄化され、再び
クリーンルームへと供給される。

「実施例」 図面は、本考案の実施例を示している。

第１図、第２図は、乗載型の例であり、格子状
天井フレームＤの格子目に適合する箱形のケーシ
ング１を設け、該ケーシングの下面に、クリーン
ルームＡに開口する吸込口２を、また、上部側面
に、天井チヤンバーＢに開口する吐出口３を形成
し、ケーシング内上部に、吸込口２から吸気して
吐出口３から排気するフアン４を設け、吐出口３
に、スライド式ダンパー５を設け、ケーシングの
下縁に、各種ガスケツト、液体シール等のシール
手段６を講じて成る。図中、７は、フアンのモー
タである。なお、ケーシング内下部に、空調用ク
リーングコイル８等を装備させてもよい。

而して、第４図に示すように、斯様に構成した
フアン付リータン口Ｅは、天井チヤンバーＢ内に
て、格子状天井フレームＤの適所の格子目に乗載
し、シール手段６を以つて気密に取り付ける。

天井チヤンバーＢは、適宜大きさに形成したユ
ニツトＣにより構成し、下面に格子状天井フレー
ムＤを付設させればよく、斯るユニツトを、クリ
ーンルームＡ上に、その広さに応じて所要数配列
するとよい。

格子状天井フレームＤには、上述のようにして
適数のフアン付リターン口Ｅ…を取り付ける他、
同様にして、適数のHEPAフイルターＦ…と盲
板Ｇ…を気密に取り付ける。

斯る状態において、フアン付リターン口Ｅ…の
モータ７に通電し、フアン４を働かせると、クリ
ーンルームＡ内の空気が吸込口２から吸入されて
吐出口３から天井チヤンバーＢへと送られ、天井
チヤンバー内の空気圧が増大する。これにより、
その空気が各HEPAフイルターＦ…で清浄化さ
れて、クリーンルームＡへ供給される。

吸込口２からの吸込量は、スライド式ダパー５
により適宜に調整すればよい。また、フアン４の
電気的制御により調整してもよい。

次に、第３図は、垂下型の例であり、格子状天
井フレームＤの格子目の中に嵌る箱形のケーシン
グ１１を設け、該ケーシングの下面に、クリーン
ルームＡに開口する吸込口１２を、また、上面
に、天井チヤンバーＢに開口する吐出口１３を形
成し、ケーシング内上部に、吸込口１２から吸気
して吐出口１３から排気するフアン１４を設け、
吐出口１３に、回転式のダンパー１５を設け、ケ
ーシングの上端に外向きフランジ１９を周設し、
該外向きフランジの下面に、各種ガスケツト、各
種シール剤、液体シール等のシール手段１６を講
じて成る。図中、１７は、フアンのモータであ
る。なお、ケーシング１１の下端に、空調用クリ
ーングコイル１８等を連結させてもよい。

而して、格子状天井フレームＤの適所の格子目
に上方から挿入し、外向きフランジ１９にて、シ
ール手段１６を以つて気密に取り付ける。

その他については、前例と同様であり、説明を
省略する。

第５図乃至第９図は、それぞれ乗載型のものの
変形例を示している。これらは、第１図、第２図
のものとフアンの数、吸込口と吐出口の形状およ
び向き、ダンパーの形式等において、設計上の相
異はあるが、実質的には同じである。

「考案の効果」 本考案によれば、システム天井方式のクリーン
ルームに具合よく使用でき、天井チヤンバー下面
の任意の箇所に簡単に取り付けることができ、か
つ、その位置替えや交換が容易であり、システム
天井方式を十分に活すことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は、本考案の実施例で、第１図は、乗載型
フアン付リターン口の截断側面図、第２図は、同
平面図、第３図は、垂下型フアン付リターン口の
截断側面図、第４図は、使用説明図、第５図乃至
第９図は、それぞれ乗載型フアン付リターン口の
他の例を示す截断側面図である。 １……ケーシング、２……吸込口、３……吐出
口、４……フアン、５……ダンパー、６……シー
ル手段、７……モータ、８……クーリングコイ
ル、１１……ケーシング、１２……吸込口、１３
……吐出口、１４……フアン、１５……ダンパ
ー、１６……シール手段、１７……モータ、１８
……クーリングコイル、１９……外向きフラン
ジ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 格子状天井フレームの格子目に係る基準モジユ
   ール寸法に適合するケーシングを設け、該ケーシ
   ングには、クリーンルームに開口する吸込口と天
   井チヤンバーに開口する吐出口とを設け、また、
   ケーシング内にその吸込口から吸気して吐出口か
   ら排気するフアンを装着したことを特徴とするク
   リーンルームシステム天井のフアン付リターン
   口。