JPH0336839Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、クリーンルームシステム天井用床上
型リターンユニツトに係るものである。

「従来の技術と考案が解決しようとする問題点」 従来のクリーンルーム方式には、クリーンルー
ム内全体を均一に清浄空気を流す全面層流方式、
クリーンルーム内にてクリーン域を部分的にかつ
トンネル状に形成するクリーントンネル方式、格
子状の天井フレームに適数のフアン付フイルター
ユニツトと盲板とを位置替え自在に装着し、クリ
ーンルーム内にてクリーン域を部分的に得るフア
ン付フイルターユニツト方式、格子状の天井フレ
ームに適数のフイルターユニツト、リターンユニ
ツトおよび盲板を位置替え可能に配し、また、適
所に空調機を配して、該空調機をフイルターユニ
ツトとリターンユニツトに接続し、クリーンルー
ム内にてクリーン域を部分的に得る天井内空調設
備方式等がある。

しかし、全面層流方式では、クリーン域が部分
的で足りる場合にも、全体として運転しなければ
ならない不経済な面があり、クリーントンネル方
式では、クリーン域が固定的となるため、クリー
ンルーム内の模様替えに対する適応性が低い欠点
があり、フアン付フイルターユニツト方式および
天井内空調設備方式では、リターンスペースが固
定され、或いは、天井内での面倒なダクト工事を
要するため、クリーンルーム内の模様替えに対す
る適応性が未だ十分ではない。

そこで、これらの問題点を解決すべく、格子状
天井フレームを有する天井チヤンバーを設け、そ
の天井フレームに、適数のフアン付リターン口
と、フイルタと、盲板とを、位置替え、交換自在
に装備させて成るシステム天井方式を開発した。

これによると、クリーン域を部分的に構成でき
て経済的であり、フアン付リターン口やフイルタ
ーは、任意の箇所に配置でき、しかも、それぞれ
がフリーであることから、クリーンルーム内の模
様替えに容易に適合させることができて、従来の
問題点を一掃できる。

本考案は、このシステム天井方式の一環とし
て、上記フアン付リターン口に代る便利な床上型
リターンユニツトを提供しようとするものであ
る。

「問題点を解決するための手段」 本考案は、システム天井方式クリーンルームに
おける格子状天井フレームＤの格子目に係る基準
モジユール寸法にて、上端に吐出口１６を、下端
に吸込口１５を形成した堅筒の床上型ケーシング
１を設け、該ケーシングは、上部筒体１１と下部
筒体１２とを摺動自在に嵌合させて上端が上記格
子状天井フレームＤに達すると適宜高さに形成す
ると共に、その上部筒体１１と下部筒体１２との
間に機械的高さ調整手段１３を講じ、また、その
上部筒体１１の上端面１１１を上記格子状天井フ
レームＤの格子目に対応させて、該上端にその格
子状天井フレームとの間の気密性を得る適宜シー
ル手段１４を設け、而して、上部筒体１１内にフ
アン２とダンパー３を設けたことを特徴とする。

「作用」 如上の構成であるから、システム天井方式のク
リーンルームＡ内において、格子状天井フレーム
Ｄの適宜格子目に対応させて配し、高さ調整手段
１３を機械的に作動させて上部筒体１１を上昇さ
せ、上端のシール手段１４を格子状天井フレーム
Ｄの格子目に接合させて、セツトすればよく、ま
た、その高さ調整手段１３を逆作動させて上部筒
体１１を下降させ、シール手段１４を格子状天井
フレームＤから離間させて、取り外し、若しく
は、位置替えすればよい。

而して、フアン２を回転させれば、クリーンル
ームＡ内の空気を天井チヤンバーＢへ、更に、フ
イルターＦを通じて再びクリーンルームＡへと循
環させることができ、また、その際に、ダンパー
３を操作することにより、風量を調整できる。

「実施例」 第１図、第２図は、それぞれ本考案に係る床上
型リターンユニツトを使用したシステム天井方式
のクリーンルームを示している。図において、Ａ
はクリーンルーム、Ｂは、天井チヤンバー、Ｃ
は、床下のリターン空間、Ｄは、格子状天井フレ
ーム、Ｅは、通風床、Ｆは、HEPAフイルター、
Ｇは、本考案に係る床上型リターンユニツト、Ｈ
は、盲板であり、Ｆ〜Ｈは、格子状天井フレーム
の所要の格子目に気密にかつ着脱自在に配されて
いる。

床上型リターンユニツトＧは、第３図、第４図
に示すように、格子状天井フレームＤの格子目に
気密にかつ着脱自在に連係させる堅筒の床上型ケ
ーシング１を有し、該ケーシングは、長い上部筒
体１１と短い下部筒体１２とを摺動自在に嵌合さ
せて成り、両者間に油圧ジヤツキ、手動ジヤツキ
等の高さ調整手段１３を講じている。

また、上部筒体１１の上端面１１１を格子状天
井フレームＤ下面の格子目の内縁に対応させて、
該上端面に各種ガスケツト、各種シール剤、液体
シール等の適宜シール手段１４を設け、而して、
下部筒体１２の下端を吸込口１５に、かつ、上部
筒体１１の上端を吐出口１６に形成し、上部筒体
１１内の上位点にフアン２を、かつ、下位点に回
転式ダンパー３を設けている。なお、上部筒体１
１内の中位点に空調用のクーリングコイル４、ダ
ンパー、回転数コントロールによるフアン風量調
整器を配してもよい。

斯様に構成した床上型リターンユニツトＧは、
第１図、第２図に示すように、クリーンルームＡ
内にて、格子状天井フレームＤの所要の格子目の
下に位置させ、高さ調整手段１３を働かせてセツ
トする。つまり、シール手段１４を以て気密に格
子状天井フレームＤの下面へ当接させ、連係す
る。

なお、セツト後にシール剤等による他のシール
手段を講てもよい。

斯る状態にて、床上型リターンユニツトＧのフ
アン２を回転させると、該リターンユニツトは、
クリーンルームＡ内の空気を、通風床Ｅおよび床
下のリターン空間Ｇを通じて吸込口１５から吸気
し、吐出口１６から天井チヤンバーＢへ送る。こ
れにより、天井チヤンバー内の空気圧が各部ほぼ
均一に高くなり、該空気が各HEPAフイルター
Ｆを通つて清浄化され、再びクリーンルームＡへ
ともたらされる。この清浄空気は、上記の空気圧
により各HEPAフイルターにおいてほぼ均一に
流れる。

リターンユニツトＧを通過する風量はダンパー
３により、或いは、フアン２の電気的制御によ
り、適宜に調整すればよい。

「考案の効果」 本考案によれば、システム天井方式のクリーン
ルームＡ内において、格子状天井フレームＤの適
宜格子目に対応させて配し、高さ調整手段１３を
機械的に作動させて上部筒体１１を上昇させるだ
けで取り付けることができ、また、その高さ調整
手段１３を逆作動させて上部筒体１１を下降させ
るだけで取り外すことができて、極めて簡単に取
付け、取外しができ、位置替え、交換も容易に行
える。

更に、上部筒体１１の上端面に格子状天井フレ
ームとの間に作用する適宜シール手段１４を設け
ているので、その間の気密性を的確に維持でき、
クリーンルームＡ内の気流に支障を生じない。

その上、上部筒体１１内にフアン２とダンパー
３を設けているので、クリーンルームＡ内の空気
を吸入して天井チヤンバーＢへと加圧供給できる
ばかりでなく、その風量を任意に調整できて、格
子状天井フレームに取り付けた各フイルターＦに
はフアンやダンパーを付帯させる必要がない。

したがつて、システム天井方式のクリーンルー
ムに具合よく使用でき、システム天井方式の利点
を十分に発揮させることができる。

【図面の簡単な説明】

図面は、本考案の実施例で、第１図、第２図
は、それぞれ使用態様の説明図、第３図は、縦断
側面図、第４図は、平面図である。 Ａ……クリーンルーム、Ｂ……天井チヤンバ
ー、Ｃ……リターン空間、Ｄ……格子状天井フレ
ーム、Ｅ……通風床、Ｆ……HEPAフイルター、
Ｇ……床上型リターンユニツト、Ｈ……盲板、１
……床上型ケーシング、２……フアン、３……ダ
ンパー、４……クーリングコイル、１１……上部
筒体、１２……下部筒体、１３……高さ調整手
段、１４……シール手段、１５……吸込口、１６
……吐出口。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. システム天井方式クリーンルームにおける格子
   状天井フレームＤの格子目に係る基準モジユール
   寸法にて、上端に吐出口１６を、下端に吸込口１
   ５を形成した堅筒の床上型ケーシング１を設け、
   該ケーシングは、上部筒体１１と下部筒体１２と
   を摺動自在に嵌合させて上端が上記格子状天井フ
   レームＤに達する適宜高さに形成すると共に、そ
   の上部筒体１１と下部筒体１２との間に機械的高
   さ調整手段１３を講じ、また、その上部筒体１１
   の上端面１１１を上記格子状天井フレームＤの格
   子目に対応させて、該上端にその格子状天井フレ
   ームとの間の気密性を得る適宜シール手段１４を
   設け、而して、上部筒体１１内にフアン２とダン
   パー３を設けたことを特徴とするクリーンルーム
   システム天井用床上型リターンユニツト。