JPH0337135B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0337135B2 JPH0337135B2 JP60049949A JP4994985A JPH0337135B2 JP H0337135 B2 JPH0337135 B2 JP H0337135B2 JP 60049949 A JP60049949 A JP 60049949A JP 4994985 A JP4994985 A JP 4994985A JP H0337135 B2 JPH0337135 B2 JP H0337135B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- air
- hot air
- measurement
- purification means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/15—Preventing contamination of the components of the optical system or obstruction of the light path
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、光を利用して測定対象の性状を測
定する光学的測定装置に関するものである。
定する光学的測定装置に関するものである。
［従来の技術］
従来、熱放射を利用して被測定対象の温度を測
定する放射温度計、あるいは水分を吸収する波長
の光と水分を吸収しない波長の光との比から水分
率を測定する水分計等の光学的測定装置が知られ
ている。
定する放射温度計、あるいは水分を吸収する波長
の光と水分を吸収しない波長の光との比から水分
率を測定する水分計等の光学的測定装置が知られ
ている。
［この発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、測定雰囲気の状態が悪く、塵埃
等により被測定対象から十分な放射エネルギーが
来なくなつたり、測定用の窓部が汚れてしまうこ
とがある。このため、測定方向に清浄なエアを噴
出させ、塵埃等の影響を受けないようエアパージ
する方法がある。
等により被測定対象から十分な放射エネルギーが
来なくなつたり、測定用の窓部が汚れてしまうこ
とがある。このため、測定方向に清浄なエアを噴
出させ、塵埃等の影響を受けないようエアパージ
する方法がある。
ところが、このエアパージのため、被測定対象
が冷却され、正しい測定ができなくなつたり、測
定装置の光学系等にも結露を生じる問題点があつ
た。
が冷却され、正しい測定ができなくなつたり、測
定装置の光学系等にも結露を生じる問題点があつ
た。
この発明の目的は、以上の点に鑑み、熱風をエ
アパージのエアに用い、冷却、結露等のおそれの
ない光学的測定装置を提供することである。
アパージのエアに用い、冷却、結露等のおそれの
ない光学的測定装置を提供することである。
［問題点を解決するための手段］
この発明は、被測定対象からの放射エネルギー
を受光する検出部と、この検出部の被測定対象方
向に設けられた熱風を噴出するエアパージ管とを
備えるようにした光学的測定装置である。
を受光する検出部と、この検出部の被測定対象方
向に設けられた熱風を噴出するエアパージ管とを
備えるようにした光学的測定装置である。
［実施例］
第１図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図である。
図である。
図において、１は、被測定対象で、この被測定
対象１に光源２の光を光フアイバー３を介して検
出部４に導いて投光し、その反射光を検出部４で
集光して再び光フアイバー３を介し測定部５に導
き、被測定対象１の水分、その他の性状を測定す
るようにしている。そして、検出部４の外周の被
測定対象１の方向に開口６ａを有するエアパージ
管６が設けられ、エア導入口より暖められた熱風
（温風）Ａが、被測定対象１方向に噴出し、エア
パージがなされる。
対象１に光源２の光を光フアイバー３を介して検
出部４に導いて投光し、その反射光を検出部４で
集光して再び光フアイバー３を介し測定部５に導
き、被測定対象１の水分、その他の性状を測定す
るようにしている。そして、検出部４の外周の被
測定対象１の方向に開口６ａを有するエアパージ
管６が設けられ、エア導入口より暖められた熱風
（温風）Ａが、被測定対象１方向に噴出し、エア
パージがなされる。
このように、熱風をエアパージに用いているの
で、検出部４の光学系等を冷却して結露を生じさ
せることがなく、水滴が被測定対象１に落下して
品質の低下等を招くことがない。また、熱風なの
で被測定対象１を冷却して測定誤差、品質の低下
を招くおそれもない。なお、熱風の温度として
は、雰囲気温度、被測定対象１の温度、状態か
ら、結露、冷却を生じない温度であればよい。
で、検出部４の光学系等を冷却して結露を生じさ
せることがなく、水滴が被測定対象１に落下して
品質の低下等を招くことがない。また、熱風なの
で被測定対象１を冷却して測定誤差、品質の低下
を招くおそれもない。なお、熱風の温度として
は、雰囲気温度、被測定対象１の温度、状態か
ら、結露、冷却を生じない温度であればよい。
また、エアパージ管６の熱風の導入位置は、検
出部６を暖める図示の位置の他に、検出部６の入
射面より被測定対象１の方向に寄つた位置で検出
部４を暖めない位置のいずれの位置であつてもよ
い。また、熱風は、被測定対象１の乾燥用の熱風
を兼ねてもよい。
出部６を暖める図示の位置の他に、検出部６の入
射面より被測定対象１の方向に寄つた位置で検出
部４を暖めない位置のいずれの位置であつてもよ
い。また、熱風は、被測定対象１の乾燥用の熱風
を兼ねてもよい。
第２図は、この発明の他の実施例を示す構成説
明図である。
明図である。
この例では、加熱炉７内に被測定対象１を位置
させ、加熱炉７の壁面からの放射エネルギーの影
響を除去するラジエーシヨンシールを兼ねたエア
パージ管６を炉壁７ａより被測定対象方向に設け
ている。そして、エアパージ管６の他端には受光
窓８を介して検出器４が設けられ、被測定対象１
からの放射エネルギーを検出し、その検出信号は
測定部５に導かれその温度測定等が行われるよう
になつている。そして、加熱炉７内の雰囲気中の
エアＡは、炉壁７ａに設けられたフイルタのよう
な浄化手段９で浄化され、送風器１０を介してエ
アパージ管６より被測定対象１方向に噴出し、エ
アパージとして使用される。
させ、加熱炉７の壁面からの放射エネルギーの影
響を除去するラジエーシヨンシールを兼ねたエア
パージ管６を炉壁７ａより被測定対象方向に設け
ている。そして、エアパージ管６の他端には受光
窓８を介して検出器４が設けられ、被測定対象１
からの放射エネルギーを検出し、その検出信号は
測定部５に導かれその温度測定等が行われるよう
になつている。そして、加熱炉７内の雰囲気中の
エアＡは、炉壁７ａに設けられたフイルタのよう
な浄化手段９で浄化され、送風器１０を介してエ
アパージ管６より被測定対象１方向に噴出し、エ
アパージとして使用される。
このように、被測定対象１とあまり相違しない
雰囲気中の熱風エアを循環させて使用するので、
熱風をつくるための加熱手段は不要で、冷却、結
露のおそれのない、高精度、高信頼性の測定が可
能となる。なお、浄化手段９は必ずしも炉壁７ａ
に設ける必要もなく、適当な位置で、適当な手段
により必要程度浄化させてやればよい。
雰囲気中の熱風エアを循環させて使用するので、
熱風をつくるための加熱手段は不要で、冷却、結
露のおそれのない、高精度、高信頼性の測定が可
能となる。なお、浄化手段９は必ずしも炉壁７ａ
に設ける必要もなく、適当な位置で、適当な手段
により必要程度浄化させてやればよい。
［発明の効果］
以上述べたように、この発明は、エアパージ用
のエアとして熱風を用いているので、検出部に結
露を生じるおそれがなく、また、被測定対象を冷
却してしまうこともなく、高精度、高信頼性の測
定が可能で、被測定対象を損傷させることもな
い。
のエアとして熱風を用いているので、検出部に結
露を生じるおそれがなく、また、被測定対象を冷
却してしまうこともなく、高精度、高信頼性の測
定が可能で、被測定対象を損傷させることもな
い。
第１図、第２図は、この発明の一実施例を示す
構成説明図である。 １……被測定対象、２……光源、３……光フア
イバー、４……検出部、５……測定部、６……エ
アパージ管、７……加熱炉、８……受光窓、９…
…浄化手段、１０……送風機。
構成説明図である。 １……被測定対象、２……光源、３……光フア
イバー、４……検出部、５……測定部、６……エ
アパージ管、７……加熱炉、８……受光窓、９…
…浄化手段、１０……送風機。
Claims (1)
- １ 加熱雰囲気中の被測定対象からの放射エネル
ギーを受光する検出部と、測定雰囲気中のエアを
浄化する浄化手段と、検出部の被測定対象方向に
設けられ浄化手段よりの熱風エアを噴出するエア
パージ管とを備えたことを特徴とする光学的測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4994985A JPS61209338A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光学的測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4994985A JPS61209338A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光学的測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61209338A JPS61209338A (ja) | 1986-09-17 |
| JPH0337135B2 true JPH0337135B2 (ja) | 1991-06-04 |
Family
ID=12845279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4994985A Granted JPS61209338A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光学的測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61209338A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0530083Y2 (ja) * | 1988-08-08 | 1993-08-02 | ||
| JP2617001B2 (ja) * | 1989-10-12 | 1997-06-04 | 株式会社東京精密 | ダイシングマシン |
| KR960010675B1 (ko) * | 1991-01-30 | 1996-08-07 | 니홍 고오강 가부시끼가이샤 | 일립서미터(ellipso meter) 및 이것을 이용한 도포두께 제어방법 |
| US20050005717A1 (en) * | 2003-07-10 | 2005-01-13 | Pfizer Inc | Probe holder |
| DE102009045472B4 (de) * | 2009-10-08 | 2021-06-17 | Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg | Sensorsystem |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS436238Y1 (ja) * | 1965-11-20 | 1968-03-19 | ||
| JPS5160283U (ja) * | 1974-11-06 | 1976-05-12 | ||
| JPS5512050Y2 (ja) * | 1975-10-15 | 1980-03-15 |
-
1985
- 1985-03-13 JP JP4994985A patent/JPS61209338A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61209338A (ja) | 1986-09-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |