JPH033738U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH033738U JPH033738U JP6435289U JP6435289U JPH033738U JP H033738 U JPH033738 U JP H033738U JP 6435289 U JP6435289 U JP 6435289U JP 6435289 U JP6435289 U JP 6435289U JP H033738 U JPH033738 U JP H033738U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air cylinder
- air
- supply source
- chip
- air supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第1図及び第2図は本考案の一実施例のチツプ
吸着装置を示し、第1図はエアーシリンダ部分の
拡大断面図、第2図はエアの供給系統を示す配管
系統図である。第3図は従来のチツプ吸着装置を
示す断面図である。 10……チツプ吸着装置、11……支持体、1
2……エアシリンダ、14……ピツクアツプ、1
4a……吸着ノズル、18……ストツパ、19…
…エア供給源、20……圧力制御機構。
吸着装置を示し、第1図はエアーシリンダ部分の
拡大断面図、第2図はエアの供給系統を示す配管
系統図である。第3図は従来のチツプ吸着装置を
示す断面図である。 10……チツプ吸着装置、11……支持体、1
2……エアシリンダ、14……ピツクアツプ、1
4a……吸着ノズル、18……ストツパ、19…
…エア供給源、20……圧力制御機構。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 駆動機構によつて動かされる支持体に固定され
たエアシリンダと、 先端に真空系と連結された吸着ノズルを有し、
上記エアシリンダにピストンとして突出退入自在
に内装されたピツクアツプと、 上記エアシリンダに定圧エアを供給するエア供
給源と、 このエア供給源の出力圧を目標値に合わせる圧
力制御機構と、 上記ピツクアツプの突出限界を決めるストツパ
とを具備したチツプ吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6435289U JPH033738U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6435289U JPH033738U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH033738U true JPH033738U (ja) | 1991-01-16 |
Family
ID=31595221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6435289U Pending JPH033738U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH033738U (ja) |
-
1989
- 1989-05-31 JP JP6435289U patent/JPH033738U/ja active Pending