JPH0338506Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0338506Y2 JPH0338506Y2 JP1986071542U JP7154286U JPH0338506Y2 JP H0338506 Y2 JPH0338506 Y2 JP H0338506Y2 JP 1986071542 U JP1986071542 U JP 1986071542U JP 7154286 U JP7154286 U JP 7154286U JP H0338506 Y2 JPH0338506 Y2 JP H0338506Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- ceramic
- holder
- restrictor
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は流体を用いた静圧機素の流体供給管路
の流体絞りの構造に関するものである。
の流体絞りの構造に関するものである。
以下ラジアル軸受を例に用いて説明する。
従来、静圧軸受の流体絞りはポケツト部に穴明
け加工を行なう方式、あるいはステンレス・パイ
プ等を取付ける方式があつた。
け加工を行なう方式、あるいはステンレス・パイ
プ等を取付ける方式があつた。
静圧軸受は軸受部にポケツトが設けられ、この
ポケツトにポンプ等より発生させた圧力流体を流
体絞りを通して供給し軸受部に15〜50μmの流体
膜を設け、軸を浮いた状態で運動させており、従
来はこの流体絞りとして穴明け加工あるいはステ
ンレス・パイプを取付ける方式があつた。
ポケツトにポンプ等より発生させた圧力流体を流
体絞りを通して供給し軸受部に15〜50μmの流体
膜を設け、軸を浮いた状態で運動させており、従
来はこの流体絞りとして穴明け加工あるいはステ
ンレス・パイプを取付ける方式があつた。
ポケツト部の軸受の穴明けは、ドリル加工ある
いはドリル加工後リーマ仕上で流体絞りを形成し
ている。この方法の問題点としては、ドリル・リ
ーマ加工では均一な穴寸法精度が得られず、その
結果流体絞りからの流体圧力が変化し軸の幾何学
的誤差が大きくなり高度な回転精度が得られなく
なる。さらにドリルやリーマ加工では流体絞り穴
内壁の面粗さが良くないため正常な流体の流れが
阻害されたり、流体中の微小なゴミが流体絞り内
壁に付着したり錆が発生し、流体圧力が変化す
る。またドリル・リーマは加工できる穴径の加工
限界があり直径0.3mm以下の流体絞りにおいては
均一な穴寸法精度および内壁の良好な面粗さを得
ることは極端に難しくなる。さらにその上加工で
きる箇所の制約も受ける。
いはドリル加工後リーマ仕上で流体絞りを形成し
ている。この方法の問題点としては、ドリル・リ
ーマ加工では均一な穴寸法精度が得られず、その
結果流体絞りからの流体圧力が変化し軸の幾何学
的誤差が大きくなり高度な回転精度が得られなく
なる。さらにドリルやリーマ加工では流体絞り穴
内壁の面粗さが良くないため正常な流体の流れが
阻害されたり、流体中の微小なゴミが流体絞り内
壁に付着したり錆が発生し、流体圧力が変化す
る。またドリル・リーマは加工できる穴径の加工
限界があり直径0.3mm以下の流体絞りにおいては
均一な穴寸法精度および内壁の良好な面粗さを得
ることは極端に難しくなる。さらにその上加工で
きる箇所の制約も受ける。
ステンレス・パイプを軸受のポケツトに取付け
る方法の問題点としては、パイプ外径は取付けよ
うとする穴径より大きくして、しめしろを設けパ
イプを圧入して取付けているが、穴加工精度のバ
ラツキがありパイプを圧入したときパイプ内径が
変化し均一な穴寸法精度の流体絞りを得るのは難
しい。その上パイプを圧入により取付けるため流
体絞りの再調整と組立交換が著しく困難である。
る方法の問題点としては、パイプ外径は取付けよ
うとする穴径より大きくして、しめしろを設けパ
イプを圧入して取付けているが、穴加工精度のバ
ラツキがありパイプを圧入したときパイプ内径が
変化し均一な穴寸法精度の流体絞りを得るのは難
しい。その上パイプを圧入により取付けるため流
体絞りの再調整と組立交換が著しく困難である。
本考案の目的は静圧軸受の流体絞りの穴寸法精
度および内壁の面粗さを改良し、流体絞りの組
立・再調整などの作業性の向上を目的とした流体
絞りを提供するものである。
度および内壁の面粗さを改良し、流体絞りの組
立・再調整などの作業性の向上を目的とした流体
絞りを提供するものである。
上記目的を達成するために流体絞りの流体流出
入穴の材質としてセラミツクを用い、このセラミ
ツクを着脱用のネジ部を持つた保持具に取付けて
流体絞りとして使用する。流体絞りのセラミツク
はラツプ加工を行なうため穴寸法精度・内壁の面
粗さはドリル・リーマ加工に比べ飛躍的に良くな
る。さらにネジ部を持つた保持具に取付けたこと
により、流体絞りの組立・再調整の作業性が向上
する。
入穴の材質としてセラミツクを用い、このセラミ
ツクを着脱用のネジ部を持つた保持具に取付けて
流体絞りとして使用する。流体絞りのセラミツク
はラツプ加工を行なうため穴寸法精度・内壁の面
粗さはドリル・リーマ加工に比べ飛躍的に良くな
る。さらにネジ部を持つた保持具に取付けたこと
により、流体絞りの組立・再調整の作業性が向上
する。
セラミツクのラツプ加工は腕時計に用いられる
貴石軸受の人造ルビーの加工技術が転用できる。
貴石軸受の人造ルビーの加工技術が転用できる。
以下本考案の実施例について図面を用いて説明
する。
する。
第１図は本考案の構造を説明するための静圧軸
受部の流体絞りの分解図と組立図の概略断面図
で、軸５の軸受６のポケツト４に保持具取付用の
メネジ７を設け、ラツプ加工を行なつた流体絞り
のセラミツク１は、個々のセラミツク１に個別に
対応して設けられた保持具２に、圧入または接着
により取り付けられ、保持具取付用オネジ３によ
り、軸受６の保持具取付用メネジ７にシール材１
０を介して挿着される。
受部の流体絞りの分解図と組立図の概略断面図
で、軸５の軸受６のポケツト４に保持具取付用の
メネジ７を設け、ラツプ加工を行なつた流体絞り
のセラミツク１は、個々のセラミツク１に個別に
対応して設けられた保持具２に、圧入または接着
により取り付けられ、保持具取付用オネジ３によ
り、軸受６の保持具取付用メネジ７にシール材１
０を介して挿着される。
第２図は保持具２にセラミツク１の他の固定方
法を説明するための概略断面図で、流体絞りのセ
ラミツク１をセラミツク押えナツト用メネジ９を
用いてセラミツク押えナツト８で固定したもので
ある。
法を説明するための概略断面図で、流体絞りのセ
ラミツク１をセラミツク押えナツト用メネジ９を
用いてセラミツク押えナツト８で固定したもので
ある。
ラジアル軸受を用いて説明してきたが、ラジア
ル軸受以外本考案の流体絞りの構造は回転部分の
スラスト軸受およびラジアルとスラストの合成軸
受、往復運動部分のバースライドおよび平面スラ
イド、送り部分のネジにも使用可能である。
ル軸受以外本考案の流体絞りの構造は回転部分の
スラスト軸受およびラジアルとスラストの合成軸
受、往復運動部分のバースライドおよび平面スラ
イド、送り部分のネジにも使用可能である。
以上の説明で明らかなように、保持具を個々の
セラミツクに個別に対応して設け、さらに、この
保持具にネジ部を形成して着脱可能にしたので、
組立調整及び絞りづまりの対処等を個別に実施で
きるようになり、作業性が向上する等実用上の効
果は非常に大なるものがある。
セラミツクに個別に対応して設け、さらに、この
保持具にネジ部を形成して着脱可能にしたので、
組立調整及び絞りづまりの対処等を個別に実施で
きるようになり、作業性が向上する等実用上の効
果は非常に大なるものがある。
さらに、セラミツクを用いラツプ加工を行つた
流体絞りを保持具に取り付けた結果、穴寸法精度
が管理され良好な内壁面粗さを持ち経時変化が無
い流体絞りにより高度な回転精度・案内精度が得
られる。
流体絞りを保持具に取り付けた結果、穴寸法精度
が管理され良好な内壁面粗さを持ち経時変化が無
い流体絞りにより高度な回転精度・案内精度が得
られる。
第１図は本考案の構造を説明するための流体絞
りの分解断面図と組立図の概略断面図を示す。第
２図は保持具にセラミツクの他の固定方法を説明
するための概略断面図である。 １……セラミツク、２……保持具、３……保持
具取付用オネジ、４……ポケツト、５……軸、６
……軸受、７……保持具取付用メネジ、８……セ
ラミツク押えナツト、９……セラミツク押えナツ
ト用メネジ、１０……シール材。
りの分解断面図と組立図の概略断面図を示す。第
２図は保持具にセラミツクの他の固定方法を説明
するための概略断面図である。 １……セラミツク、２……保持具、３……保持
具取付用オネジ、４……ポケツト、５……軸、６
……軸受、７……保持具取付用メネジ、８……セ
ラミツク押えナツト、９……セラミツク押えナツ
ト用メネジ、１０……シール材。
Claims (1)
- 流体を用いた静圧機素において、流体の流出入
穴を形成したセラミツクと、このセラミツクに個
別に対応して設けられ、かつ、このセラミツクが
挿着され、さらに、着脱用ネジ部が形成された保
持具と、からなり、前記保持具は、流体流入側に
取り外し可能に、流体供給管路の流体絞り部に形
設されていることを特徴とする流体絞りの構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986071542U JPH0338506Y2 (ja) | 1986-05-13 | 1986-05-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986071542U JPH0338506Y2 (ja) | 1986-05-13 | 1986-05-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62183129U JPS62183129U (ja) | 1987-11-20 |
| JPH0338506Y2 true JPH0338506Y2 (ja) | 1991-08-14 |
Family
ID=30914190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986071542U Expired JPH0338506Y2 (ja) | 1986-05-13 | 1986-05-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0338506Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018049058A1 (en) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | New Way Machine Components, Inc. | Snap joint for externally-pressurized gas bearings |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5076453A (ja) * | 1973-11-09 | 1975-06-23 | ||
| JPS60162731U (ja) * | 1983-11-16 | 1985-10-29 | 東京エレクトロン株式会社 | セラミツク材を用いた空気軸受装置 |
-
1986
- 1986-05-13 JP JP1986071542U patent/JPH0338506Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018049058A1 (en) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | New Way Machine Components, Inc. | Snap joint for externally-pressurized gas bearings |
| US10323687B2 (en) | 2016-09-07 | 2019-06-18 | New Way Machine Components, Inc. | Snap joint for externally pressurized gas bearings |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62183129U (ja) | 1987-11-20 |
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