JPH0338714Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、少なくともＺ軸を含む平面内で移
動可能な複合移動テーブル装置に関し、特に移動
テーブルを移動させる場合の平行度の劣化を防止
して位置決めを高精度に行うようにしたものであ
る。

〔従来の技術〕

半導体集積回路の製造工程には、フオトレジス
トを塗布したウエハに回路パターンを露光して焼
付ける露光装置が用いられている。この露光装置
は、半導体集積回路の高集積化に伴い、0.1ミク
ロンオーダの高精度位置決めが要求されるように
なつてきている。

このような高精度の位置決めを行うには、単に
移動テーブルを送りねじで移動させる従来から公
知の移動台装置では困難である。このため、送り
ねじによつて移動されるテーブルを粗動テーブル
として用い、この粗動テーブル上に微小移動可能
に支持された微動台を設け、この微動台の絶対位
置をレーザー測定器により測定し、粗動テーブル
の動きの誤差を微動台を微小変位させて補正し、
精密な位置決めを行うようにすることが提案され
ている。

そして、露光装置としては、縮小投影式の露光
装置が一般に採用されている。この縮小投影式の
露光装置は、ウエハに小さな集積回路パターンを
一つづつ順に焼付けて行く所謂ステツプアンドリ
ピート式となつているので、ウエハの受光面の平
行度を高精度に維持する必要があり、従つてウエ
ハを載置するテーブルの上面の平行度も高精度に
維持する必要がある。

従来の複合移動テーブル装置としては、例えば
実開昭58−196834号公報に記載されているものが
ある。

この従来例には、その第２図に示されているＺ
軸テーブルを最上段側に設ける方式と、第３図に
示されているＺ軸テーブルを最下段側に設ける方
式とが開示されている。両者ともテーブルをＺ軸
方向に移動させる方式として傾斜面を利用した傾
斜送り方式を採用していると共に、Ｚスライダを
水平方向に移動させることによりＺ軸方向の移動
を行うように構成されている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記従来例における第２図の方
式にあつては、ＺスライダがXYスライダの上面
に載置されているので、Ｚスライダの重量がXY
スライダに掛かり、被Ｙスライダの作動時の慣性
質量が大きくなるから、作動速度を高めることが
できず、しかもXYスライダの支持部に対する負
荷が大きいからXYスライダの強度を大きくする
必要があり、XYスライダが大型重量化し、小型
軽量化を図ることができないという問題点があ
り、さらにXYスライダの支持部が独立してお
り、XY移動平面とＺスライダの上面を平行とす
る必要があるが、XYスライダの作動によりＺ方
向誤差が生じ易く、厳密な平行度を要求される露
光装置等には適用し得ないという問題点があつ
た。

また、第３図の方式にあつては、Ｚスライダの
上にXYスライダが載置されているので、XYス
ライダの作動時にはＺスライダが何ら関与せず、
しかも露光装置に適用した場合には、Ｚスライダ
を作動させるときは、焦点調整を行う場合であ
り、Ｚ方向の作動頻度はあまり多くないので、Ｚ
スライダ上にXYスライダが載置されていても慣
性の影響を排除することができる利点があるが、
Ｚスライダをテーパー状に加工する必要があるの
で、平行度を厳密に維持することが困難であると
いう問題点は依然として残る。

さらに、上記第２図及び第３図の方式は、共に
Ｚスライダを水平方向に移動させてＺ軸方向の移
動を行うようにしており、しかもＺスライダとこ
れに載置されたＺ軸方向に移動するテーブルとが
傾斜面の面接触となつているので、すべり摩擦抵
抗が大きく、Ｚスライダの移動に大きな動力を必
要とする（特に第３図の方式にあつては、XYス
ライダを載置しているのでなおさらである。）と
共に、Ｚスライダ上に載置したテーブルに対して
作用するＺスライダの移動によりその移動方向へ
の力が大きくなり、テーブルの支持力を大きくす
る必要があり、また、ステイツクスリツプを生じ
易いという問題点もある。このため、Ｚスライダ
の傾斜案内面とこれに対接するテーブルとの間に
保持器付転動体を介在させることも考えられる
が、保持器付転動体を介在させる面が傾斜面であ
るため、使用中に保持器が傾斜面の下方にずれて
しまい保持器が固定部に当接して移動不能となる
と、テーブルの円滑な作動を保証し得なくなると
いう新たな問題点が生じる。この場合、保持器の
下方へのずれは、Ｚスライダの移動によつて生じ
る量は僅かであるが、これが累積されるので、長
期の使用によつて固定部に当接して移動不能とな
る。これを解決するために、保持器の移動を拘束
する力を加えるようにしてもよいが、Ｚスライダ
の精密な作動を確保する意味から好ましくない。

そこで、この考案は、上記従来例の問題点に着
目してなされたものであり、Ｚ軸スライダの上面
と水平移動テーブルとの間に保持器付転動体を介
在させたときに、その保持器のずれを防止すると
共に、平行度を高精度に維持することが可能な複
合移動テーブル装置を提供することを目的として
いる。

〔問題点を解決するための手段〕 上記目的を達成するために、この考案は、少な
くともＺ軸を含む平面内で移動可能な複合移動テ
ーブル装置において、傾斜案内部を有する基台
と、該傾斜案内部に案内されて移動可能で且つ水
平上面を有する斜面スライダと、該斜面スライダ
を前記傾斜案内部に沿つて進退駆動する駆動機構
と、前記斜面スライダの水平上面上に保持器付転
動体を介して載置された水平移動可能な移動テー
ブルとを備えたことを特徴としている。

〔作用〕

この考案においては、駆動機構によつて、水平
上面を有する斜面スライダを基台の傾斜案内部に
沿つて移動させることにより、斜面スライダの移
動に拘らず、この斜面スライダとこれに載置され
る移動テーブルとの間を水平状態に維持すること
ができ、これら間に介装された保持器付転動体の
位置ずれを防止することができる。また、基台の
傾斜案内面の直線性を確保し、且つ斜面スライダ
の水平上面の平行度を確保することにより、斜面
スライダ上に保持器付転動体を介して載置する移
動テーブルの上下面を平行に面とすれば、斜面ス
ライダの移動に影響されることなく移動テーブル
の上面の平行度を確保することができ、この場合
の移動テーブルの上下面を平行面とするので、そ
の精密加工が容易であり、全体の精度を向上させ
ることができる。

〔実施例〕

以下、この考案の実施例を図面に基づいて説明
する。

まず、この考案を適用し得る縮小投影露光装置
を第１図について説明する。

図中、１０１は縮小投影露光装置であつて、ウ
エハ１０２を載置するステージ１０３と、その上
面に対向して固定配置された縮小レンズ１０４
と、その上方位置に配置されたレチクル１０５を
載置するレチクル載置台１０６と、その上方位置
に配置された光源部１０７とから構成されてお
り、光源部１０７からの露光光線がレチクル１０
５及び縮小レンズ１０４を介して複合移動テーブ
ル装置としてのXYZステージ１０３上のウエハ
１０２に照射され、レチクル１０５に形成された
回路パターンをウエハ１０２上に縮小投影する。

XYZステージ１０３は、XYZ軸の３軸方向に
移動可能に構成され、Ｚ軸方向に移動させること
により焦点調整を行う。

縮小レンズ１０４を保持する筒体１０８のウエ
ハに対向する下端部には、露光光線を透過する透
孔１０９と、その周囲に等角間隔で４つの空気吹
き出しノズル１１０が形成されている。各ノズル
１１０は、共通の空気供給源１１１に絞り１１２
を介して接続されていると共に、共通の差圧変換
器１１３の一方の入力側に接続されている。差圧
変換器１１３の他方の入力側は、絞り１１４を介
して前記空気供給源１１１に接続されていると共
に、待機に連通されている。これらノズル１１
０、空気供給源１１１、絞り１１２，１１４及び
差圧変換器１１３で空気マイクロメータ１１５が
構成されている。

そして、差圧変換器１１３の検出信号が焦点調
整制御装置１１６に供給され、この制御装置１１
６で目標値設定器１１６ａで予め設定した所定の
目標値と比較してその差値である誤差信号が増幅
器等で構成される駆動回路１１６ｂに供給され、
これにより、モータ等のアクチユエータを作動さ
せる励磁電流を形成し、これをXYZステージ１
１３のＺ軸駆動機構に供給してこれを駆動し、ノ
ズル１１０とウエハ１０２との間の間隔を適正値
に調節する。

前記XYZステージ１０３の具体例は、第２図
〜第８図に示すように構成されている。

すなわち、第２図において、１は基台としての
粗動テーブルであり、図示しないXY駆動機構に
よつて水平面内で移動可能に構成されている。

この粗動テーブル１の中央部には、第３図，第
４図及び第５図に示すように、案内台２が取付け
られている。この案内台２は、上面側に前下がり
に傾斜する幅広の凹部３を有して断面コ字状に形
成され、その凹部３を形成する対向内面に夫々傾
斜案内部としての前下がりに傾斜する傾斜案内溝
４ａ，４ｂが形成されている。

そして、案内台２の凹部３内に斜面スライダ５
が傾斜案内溝４ａ，４ｂに沿つて摺動可能に配設
されている。この斜面スライダ５は、その下面５
ａが凹部３と平行な傾斜面とされ、且つ上面５ｂ
が水平面に形成された台形状に形成され、その傾
斜案内溝４ａ，４ｂに対向する側面に傾斜案内溝
６ａ，６ｂが形成され、これら案内溝６ａ，６ｂ
と前記傾斜案内溝４ａ，４ｂとの間に保持器付ク
ロスローラ７が介装されている。このクロスロー
ラ７は、第５図で拡大図示するように、多数の円
柱状のローラ７ａが保持器７ｂにその延長方向に
交互に回動軸を90度異ならせた関係で保持され、
これらローラ７ａが傾斜案内溝４ａ，４ｂ及び６
ａ，６ｂの各対向面に交互に接触している。この
場合、クロスローラ７には予圧が掛けてあるの
で、保持器ずれは殆ど生じないが、保持器ずれを
少なくするために必要なら保持器７ｂの両端にば
ね力等を利用した保持器ずれ防止手段を設けるよ
うにしてもよい。このように、保持器ずれ防止手
段を設けたとしても、案内台２と斜面スライダ５
との間の摺動抵抗は斜面スライダ５の動きに影響
を与えることはない。すなわち、案内台２と斜面
スライダ５との間の摺動抵抗が略一定の摺動抵抗
が作用するようになつていれば摺動抵抗の絶対値
は後述する直流モータ９の出力を調整することに
よつて吸収することができる。ここで、傾斜案内
溝４ａ，４ｂ及び６ａ，６ｂと保持器付クロスロ
ーラ７とでクロスローラガイドCGが形成されて
いる。

斜面スライダ５は、その後端面にボールナツト
８が固着され、このボールナツト８に駆動機構を
構成する直流モータ９の回転軸に連結されたボー
ルねじ１１が螺合され、直流モータ９を回転駆動
することにより、傾斜案内溝４ａ，４ｂの延長方
向に移動される。

斜面スライダ５の水平上面５ｂには、保持器付
転動体１３を介して移動テーブル１４が水平面内
で移動可能に載置されている。ここで、保持器付
転動体１３は、高精度に仕上げられた多数のボー
ル１３ａとこれを保持する保持器１３ｂとで構成
されている。なお、１３ｃは保持器付転動体１３
の抜出しを防止するガイドである。

一方，粗動テーブル１上には、その左右両側部
にコ字状部１５ａとその両側の下端部から夫々前
後方向に延長する支持台１６ａ，１６ｂが固着さ
れ、この支持台１６ａ，１６ｂ上にXY軸方向に
移動可能な移動テーブル１７が制振剤としてのシ
リコングリースを介してXY方向に移動可能に支
持されている。

この移動テーブル１７は、第５図及第７図に示
す如く、正方形部１７ａとその左右側面から段部
１７ｂを形成して外方に延長する支持部１７ｃ，
１７ｄとが一体に構成され、正方形部１７ａの中
央部に略正方形の透孔１７ｅが、支持部１７ｃ，
１７ｄに長方形の透孔１７ｆ，１７ｇが夫々穿設
され、透孔１７ｆ，１７ｇ内に夫々第５図に示す
如く、前記支持台１６ａ，１６ｂに対向する制振
面１８を有する制振部１９が固着されており、ま
た、透孔１７ｅ内に前記移動テーブル１４が挿入
されている。そして、移動テーブル１７の上面と
移動テーブル１４の上面との間に第７図に示す如
く板ばね２０が橋架されている。この板ばね２０
は、略台形状に形成され、その底辺部に中心線を
挟んで対称位置に平行なスリツト２０ａが形成さ
れて両側部２０ｂと中央部２０ｃとに分割され、
その中央部２０ｃが移動テーブル１４に、両側部
２０ｂが移動テーブル１７に夫々ビスによつて固
定され、移動テーブル１４を下方に付勢してい
る。

また、粗動テーブル１には、前後方向に端部に
夫々コ字状の支持台２１ａ，２１ｂが固着され、
これら支持台２１ａ，２１ｂの脚部に板ばね２２
を介してＸ方向に移動可能なコ字状のブロツク２
３ａ，２３ｂが連接されている。これらブロツク
２３ａ，２３ｂの両側の支柱部２４ｆ，２４ｒ
は、上方に前記移動テーブル１７の段部１７ｂの
近傍に延長され、支柱部２４ｆの前端側及び支柱
部２４ｒの後端側と移動テーブル１７の正方形１
７ａとが板ばね２５によつて連結されている。

そして、前記支持台２１ａ，２１ｂ上に夫々コ
字状鉄心に励磁コイルを巻回した電磁石２６ａ，
２６ｂが配設され、これら電磁石２６ａ，２６ｂ
の両端部が移動テーブル１７の前後側縁に固着さ
れた磁性板２７ａ，２７ｂに所定間隔を保つて対
向され、且つ粗動テーブル１の支持台１６ａ，１
６ｂ下に同様のコ字状鉄心に励磁コイルを巻回し
た電磁石２８ａ，２８ｂが配設され、これらの電
磁石２８ａ，２８ｂの両端部がブロツク２３ａ，
２３ｂの中央部に固着された磁性板２９ａ，２９
ｂに所定間隔を保つて対向されている。したがつ
て、電磁石２８ａ，２８ｂの励磁コイルに通電す
る励磁電流量を調整することにより、ブロツク２
３ａ，２３ｂを板ばね２２に抗してＸ方向に微動
させ、これにより板ばね２５を介して移動テーブ
ル１７をＸ方向に微動させる。また、電磁石２６
ａ，２６ｂの励磁コイルに通電する励磁電流量を
調整することにより、板ばね２５に抗して移動テ
ーブル１７をＹ方向に微動させる。

また、移動テーブル１７の上面には、幅広のチ
ヤツク取付板３０が固着され、このチヤク取付板
３０上に円板状の治具チヤク３１が固着されてい
る。この治具チヤツク３１は、上面に扇状の凹部
３２が所定間隔を保つて形成されていると共に、
位置決め用ピン３３が植設され、さらに外周縁部
に位置決め用環状枠３４が固着され、また内部
に、真空源（図示せず）に接続された、左端縁か
ら中心部に達し、これから上面に開口する空気通
路３４と、この空気通路３４を囲むようにコ字状
に形成された空気通路３５とを有し、空気通路３
５が前記各凹部３２に連通されている。そして、
治具チヤツク３１上にウエハ又はレチクルを載置
するチヤツク３７が載置されている。このチヤツ
ク３７は、治具チヤツク３１に真空吸着され、下
面中心部から上方に向かう空気通路３８と、その
上端部から外方に90度の間隔を保つて延長する空
気通路３９とを有し、空気通路３９と上面間に所
定間隔で吸引口が開口されている。

また、チヤツク取付板３０には、その外周縁に
第４図に示す如くＬ字状の反射ミラー４１が固着
されている。この反射ミラー４１は、図示しない
Ｘ及びＹ軸のレーザー測長器からのレーザー光線
を反射するものであり、これらレーザー測長器に
よつて微動台の位置を性格に検出し、これに基づ
き前記電磁石２６ａ，２６ｂ，２８ａ，２８ｂの
通電量を制御し、チヤツク３７の位置決めを行
う。

なお、第４図〜第６図において、４２は露光用
光源の光量むらを検出するための光検出素子であ
つて、移動テーブル１７の支持部１７ｃに固着し
たＬ字状支持部材４３に取付けられ、粗動テーブ
ル１を順次移動させて複数個所での光量を測定す
ることにより、その測定位置と光量とに基づきパ
ターン認識して露光用光源の位置合わせを行う。
また、第４図において、４４は温度検出器であつ
て、チヤツク３７位置の温度を測定し、その測定
値に基づきチヤツク３７位置の温度を所定値に維
持するように図示しない空調装置を制御する。さ
らに、第４図において、４５はＺ軸方向の制御原
点（中立位置）とその上限及び下限位置との３点
を検出する磁気を利用した検出器であつて、その
発磁体４５ａがチヤツク取付板３０に取付けら
れ、検出部４５ｂが支持台２１ａに取付けられて
おり、検出部４５ｂから出力される検出信号を前
記焦点調整制御装置１１６の駆動回路１１６ｂに
供給することにより原点セツトを行う。

次に上記実施例の動作を説明する。まず、チヤ
ツク３７上にウエハ又はレチクルを載置し、これ
を吸着保持させる。次いで、焦点調整を行う。こ
の焦点調整は、空気供給源１１１から圧力空気を
絞り１１２を介してノズル１１０に供給して空気
マイクロメータ１１５を作動状態とし、この状態
で焦点調整制御装置１１６を作動状態とする。

このように焦点調整制御装置１１６が作動状態
となると、目標値設定器１１６ａで予め設定され
た焦点調整目標値と、差圧変換器１１３から出力
される差圧検出信号との差値でなる誤差信号が駆
動回路１１６ｂに供給され、この駆動回路１１６
ｂから出力される励磁電流がＺ軸駆動機構を構成
する直流モータ９に出力される。このため、差圧
検出信号が目標値に対して小さいときには、ノズ
ル１１０とウエハ１０２との間隔が基準値より広
いので、例えば直流モータ９を逆転させる。この
ように直流モータ９が逆転すると、その回転力が
減速機１０及びポールねじ１１を介して斜面スラ
イダ５に伝達されるので、この斜面スライダ５が
クロスローラガイド７によつて案内されて後退
し、この後退に伴つて斜面スライダ５自体が上方
に移動する。このとき、斜面スライダ５は、その
上面５ｂを水平面に保つて移動するので、この上
面５ｂ上に配置された保持器付転動体１３は位置
ずれを生じることがなく、斜面スライダ５の円滑
な後退を確保することができる。しかも、この状
態で、クロスローラガイド７による斜面スライダ
５の直線移動性を確保しておくことにより、斜面
スライダ５の上面の平行度にくるいを生じること
がなく、また保持器付転動体１３は高精度に製作
することができ、移動テーブル１４、チヤツク取
付板３０、治具チヤツチ３１及びチヤツク３７も
それらの上下面の平行度を精密に仕上げることが
可能であるので、斜面スライダ５の移動によつて
もウエハ１０２を載置するチヤツク３７の上面の
平行度にくるいを生じることを防止することがで
きる。

そして、斜面スライダ５の上面５ｂが上方に移
動することにより、これに保持器付転動体１３を
介して載置された移動テーブル１４が上方に移動
し、この移動テーブル１４上に載置されたチヤツ
ク取付板３０、治具チヤツク３１及びチヤツク３
７も上昇するので、ウエハ１０２とノズル１１０
との間隔が狭まり、基準値と一致した時点で上昇
が停止されて焦点調整を終了する。逆に差圧検出
信号の値が目標値より大きいときには、制御装置
１１６から直流モータ９を正転駆動する励磁電流
が出力され、直流モータ９が正転して、斜面スラ
イダ５を前進させて、移動テーブル１４、チヤツ
ク取付板３０、治具チヤツク３１及びチヤツク３
７を下降させてウエハ１０２とノズル１１０との
間隔を広げ、これが基準位置に達したときに、そ
の下降が停止されて焦点調整を終了する。

この焦点調整を終了した状態で、ウエハ１０２
の位置調整を行うには、ウエハ１０２の移動距離
が大きい場合には、粗動テーブル１を駆動機構に
よつて高速移動させて目標位置近傍に移動させ、
次いで微動台の電磁石２６ａ，２６ｂ及び／又は
電磁石２８ａ，２８ｂの励磁コイルに通電して移
動テーブル１７をXY方向に微動させ、この微動
の絶対値ををレーザー測長器（図示せず）で正確
に検出し、この検出値に基づき電磁石２水平面内
で振動することになるが、移動テーブル１７に制
振部１９が形成され、その制振面１８が高粘度の
シリコングリースを介して支持台１６ａ，１６ｂ
の上面に支持されているので、大きな制振効果を
得ることができる。

さらに、光源部１０７の水銀ランプ等を交換す
る際に、水銀ランプの取付け位置を調整する場合
には、一旦水銀ランプを所定位置に取付け、この
状態で点灯して、露光光線をステージ１０３の上
面上に照射する。この露光光線の照射状態で、粗
動テーブル１を駆動機構によつて移動させ、露光
光線の照射範囲内に複数個所の光量検出器４２を
移動させ、各位置における光量検出器４２の光量
検出出力を図示しない処理装置に供給することに
より、露光光線の光量分布を検出し、これを例え
ば光量毎に異なる色でデイスプレイ装置に表示
し、この表示に応じて水銀ランプの取付け位置を
調整することにより、水銀ランプの取付け精度を
向上することができる。

なお、上記実施例においては、斜面スライダ５
を粗動テーブル１上の案内台２にクロスローラガ
イドCGを介して支持する場合について説明した
が、これに限定されるものではなく、案内台２の
傾斜凹部３と斜面スライダ５の下面５ａとを面接
触させるようにしてもよい。

また、斜面スライダ５の駆動機構としては、上
記実施例に限定されるものではなく、直流モータ
に代えてパルスモータを適用することもできると
共に、必要に応じて減速機を介装することもで
き、また送りねじ方式、カム駆動方式等の種々の
駆動機構を適用し得る。

さらに、上記実施例においては、斜面スライダ
５上に載置した移動テーブル１４がXY方向に移
動する場合について説明したが、Ｘ方向又はＹ方
向のみ移動する場合でもこの考案を適用すること
ができ、この場合には、保持器付転動体１３とし
てボールに限らずころも適用することができる。

またさらに、上記実施例においては、この考案
の縮小投影露光装置に適用した場合について説明
したが、これに限定されるものではなく、他の工
作機械のXYZテーブル等任意のXYZテーブルに
適用し得ること勿論である。

〔考案の効果〕

以上説明したように、この考案によれば、傾斜
案内部を有する基台上に、水平上面を有する斜面
スライダを駆動機構によつて傾斜案内部に沿つて
移動可能に配置し、この斜面スライダの上面に保
持器付転動体を介して水平面内に移動可能な移動
テーブルを配置する構成としたので、保持器付転
動体によつて移動テーブルを移動させる際の負荷
が大幅に軽減され、しかも保持器付転動体は、斜
面スライダの水平上面と移動テーブル間に介在さ
れているので、移動テーブル又は斜面スライダの
移動によつても位置ずれを起こすことがなく、両
者の円滑な移動を確保することができ、さらに斜
面スライダ又は移動テーブルの移動によつて平行
度にくるいを生じることを防止することができ、
高精度の移動テーブル装置を提供することができ
る等の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案を適用し得る縮小投影露光装
置の一例を示す概略構成図、第２図はこの考案の
一実施例を示す概略斜視図、第３図は第２図の分
解斜視図、第４図はステージの平面図、第５図は
第４図の−線状の断面図、第６図は第４図の
−線上の断面図、第７図は第５図の−線
上の断面図、第８図はこの考案に適用し得る治具
チヤツクの平面図である。 図中、１は粗動テーブル（基台）、２は案内台、
５は斜面スライダ、７はクロスローラガイド、９
は直流モータ、１０は減速機、１１はボールね
じ、１３は保持器付転動体、１４，１７は移動テ
ーブル、１９は制振部、２０，２２，２５は板ば
ね、２６ａ，２６ｂ，２８ａ，２８ｂは電磁石、
３１は治具チヤツク、３７はウエハチヤツク、１
０１は縮小投影露光装置、１０２はウエハ、１０
３はステージ、１０４は縮小レンズ、１０７は光
源部、１１５は空気マイクロメータ、１１６は焦
点調整制御装置である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 少なくともＺ軸を含む平面内で移動可能な複
   合移動テーブル装置において、傾斜案内部を有
   する基台と、該傾斜案内部に案内されて移動可
   能で且つ水平上面を有する斜面スライダと、該
   斜面スライダを前記傾斜案内部に沿つて進退駆
   動する駆動機構と、前記斜面スライダの水平上
   面上に保持器付転動体を介して載置された水平
   移動可能な移動テーブルとを備えたことを特徴
   とする複合移動テーブル装置。 ２ 前記傾斜案内部がクロスローラガイドで構成
   されている実用新案登録請求の範囲第１項記載
   の複合移動テーブル６ａ，２６ｂ及び／又は電
   磁石２８ａ，２８ｂの励磁コイルへの通電量を
   制御することにより、サブミクロンオーダの位
   置決めを行うことができる。このように、XY
   軸方向の微動を行う駆動機構として、電磁石を
   採用することにより、モータを使用する場合の
   ように振動を発生することがなく、移動テーブ
   ル１４，１７のXY方向への移動の際にＺ軸方
   向の位置ずれを防止することができる。また、
   粗動テーブル１を駆動機構によつて高速移動さ
   せたとき、移動テーブル１４，１７、チヤツク
   取付板３０、治具チヤツク３１及びチヤツク３
   ７等の慣性により、これらが装置。