JPH0339701A - 回折格子パターンを有するディスプレイ - Google Patents
回折格子パターンを有するディスプレイInfo
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- JPH0339701A JPH0339701A JP17496189A JP17496189A JPH0339701A JP H0339701 A JPH0339701 A JP H0339701A JP 17496189 A JP17496189 A JP 17496189A JP 17496189 A JP17496189 A JP 17496189A JP H0339701 A JPH0339701 A JP H0339701A
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/26—Processes or apparatus specially adapted to produce multiple sub- holograms or to obtain images from them, e.g. multicolour technique
- G03H1/30—Processes or apparatus specially adapted to produce multiple sub- holograms or to obtain images from them, e.g. multicolour technique discrete holograms only
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/0493—Special holograms not otherwise provided for, e.g. conoscopic, referenceless holography
- G03H2001/0497—Dot matrix holograms
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、微小な回折格子(グレーティング)をドツト
毎に2次元平面に配置することにより形成されるディス
プレイに関する。
毎に2次元平面に配置することにより形成されるディス
プレイに関する。
〈従来の技術〉
2光束干渉による回折格子パターンを有するディスプレ
イ及びその作製方法は4開昭60−156004号に開
示されている。この方法は、2光束干渉による微小な干
渉縞(以下、回折格子とする)をそのピッチ、方向、及
び光強度を変化させて、感光性フィルムに次々と露光す
るものである。
イ及びその作製方法は4開昭60−156004号に開
示されている。この方法は、2光束干渉による微小な干
渉縞(以下、回折格子とする)をそのピッチ、方向、及
び光強度を変化させて、感光性フィルムに次々と露光す
るものである。
また、電子ビームによる回折格子パターンを有するディ
スプレイの作製方法としては、電子ビーム露光装置によ
り微小な回折格子をそのピッチ、方向、及び回折格子の
曲率を変化させて、EBレジストに次々と描画するもの
がある。
スプレイの作製方法としては、電子ビーム露光装置によ
り微小な回折格子をそのピッチ、方向、及び回折格子の
曲率を変化させて、EBレジストに次々と描画するもの
がある。
〈発明が解決しようとする課題〉
上記2光束干渉による方法では、微小な回折格子の明る
さを変化させる為には、露光時間を変化させることによ
り回折格子の回折効率を変化させていた。しかしながら
単純に露光時間を変化させただけの場合、レーザービー
ムの強度分布はガウス分布のため、露光時間を長くする
とビームの中央部が露光オーバーとなり回折格子がつぶ
れてしまい十分な回折効率の変化が得られなかった。
さを変化させる為には、露光時間を変化させることによ
り回折格子の回折効率を変化させていた。しかしながら
単純に露光時間を変化させただけの場合、レーザービー
ムの強度分布はガウス分布のため、露光時間を長くする
とビームの中央部が露光オーバーとなり回折格子がつぶ
れてしまい十分な回折効率の変化が得られなかった。
また、上記電子ビームの膚画による方法では、微小な回
折格子の明るさを変化させることができなかった。その
為、上記の2つの方法では、フルカラーの画像を表現す
ることはできなかった。
折格子の明るさを変化させることができなかった。その
為、上記の2つの方法では、フルカラーの画像を表現す
ることはできなかった。
本発明は上記の如くの問題を解決すべくなされたもので
、回折格子パターンを構成する各ドツト毎の面積を変化
させることにより明度を変化させ、フルカラー画像の表
現を可能とすることを目的とする。
、回折格子パターンを構成する各ドツト毎の面積を変化
させることにより明度を変化させ、フルカラー画像の表
現を可能とすることを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉
上記目的を達成すべくなされた本発明は、平面状の基板
と、該基板の表面に形成された回折格子パターンとから
なるディスプレイであって、咳回折格子パターンが回折
格子により形成された複数の微小なドツトから構成され
、該ドツトの面積が各ドツト毎に指定された大きさに変
化してなることを特徴とする。
と、該基板の表面に形成された回折格子パターンとから
なるディスプレイであって、咳回折格子パターンが回折
格子により形成された複数の微小なドツトから構成され
、該ドツトの面積が各ドツト毎に指定された大きさに変
化してなることを特徴とする。
〈作用〉
本発明のディスプレイでは、回折格子パターンを構成す
る各ドツトの面積を変化させるため、各ドツトの面積に
対応して微小な回折格子による明度の表現ができ、フル
カラーの画像を作成することが可能となる。
る各ドツトの面積を変化させるため、各ドツトの面積に
対応して微小な回折格子による明度の表現ができ、フル
カラーの画像を作成することが可能となる。
〈実施例〉
本発明は、微小な回折格子をドツト毎に面積を変化させ
ながら2次元平面上に配置させたディスプレイであり、
その詳細は第8図に示すようにディスプレイ(1)は2
次元平面上に微小な回折格子のドラ) (16)が所定
の面積、所定の空間周波数、所定の回折格子の角度を持
って配置されている。
ながら2次元平面上に配置させたディスプレイであり、
その詳細は第8図に示すようにディスプレイ(1)は2
次元平面上に微小な回折格子のドラ) (16)が所定
の面積、所定の空間周波数、所定の回折格子の角度を持
って配置されている。
回折格子によって回折される1次の回折光の光量はドツ
トの面積に比例して多くなり、回折格子によって回折さ
れる1次回折光の色は回折格子の空間周波数によって決
定され、回折格子によって回折される1次回折光の方向
は回折格子の角度によって決定される。その為コンピュ
ータ上のデータに従って、2次元平面上に配置した微小
な回折格子を有するドツトは、輝度の高いドツトに相当
する位置のドツトの面積は大きく、輝度の低いドツトの
面積は小さく、ドツトの表現する色は回折格子の空間周
波数を変化させ、さらにドツトの観察されるべき方向か
ら計算された回折格子の角度をつけることにより、回折
格子のドツトの明度、色、観察される方向を任意に変化
させることが可能となる。このように決められた明度、
色、観察される方向に光るドツトを2次元平面上に多数
配置し、その集合としてディスプレイのパターンが形成
される。ディスプレイは、各ドツト毎に明度、色、を決
定できるためフルカラーの画像を表現でき、また回折格
子の角度が変化することにより観察者の視点の位置によ
り観察されるパターンが変化する画像を表現できるもの
である。
トの面積に比例して多くなり、回折格子によって回折さ
れる1次回折光の色は回折格子の空間周波数によって決
定され、回折格子によって回折される1次回折光の方向
は回折格子の角度によって決定される。その為コンピュ
ータ上のデータに従って、2次元平面上に配置した微小
な回折格子を有するドツトは、輝度の高いドツトに相当
する位置のドツトの面積は大きく、輝度の低いドツトの
面積は小さく、ドツトの表現する色は回折格子の空間周
波数を変化させ、さらにドツトの観察されるべき方向か
ら計算された回折格子の角度をつけることにより、回折
格子のドツトの明度、色、観察される方向を任意に変化
させることが可能となる。このように決められた明度、
色、観察される方向に光るドツトを2次元平面上に多数
配置し、その集合としてディスプレイのパターンが形成
される。ディスプレイは、各ドツト毎に明度、色、を決
定できるためフルカラーの画像を表現でき、また回折格
子の角度が変化することにより観察者の視点の位置によ
り観察されるパターンが変化する画像を表現できるもの
である。
2光束のレーザビームを交わらせてグレーティングのド
ツトを作製する方法による、回折格子パターンを有する
ディスプレイを第1図乃至第4図を参照して説明する。
ツトを作製する方法による、回折格子パターンを有する
ディスプレイを第1図乃至第4図を参照して説明する。
第1図に示すように、2本のレーザビームを(lO)、
(12)を乾板(14)上で交わらせると、ドツト(
16)に干渉縞、すなわち回折格子(18〉が生じる。
(12)を乾板(14)上で交わらせると、ドツト(
16)に干渉縞、すなわち回折格子(18〉が生じる。
このとき2本のレーザビーム(10)、 (12)の太
さを変化させることによりドツト(16)の面積を変化
させることか可能となる。また、この回折格子の周期は
レーザビーム(10)、 (12)の交わる角度を変え
ることにより変化させることが可能である。コンピュー
タの指示にしたがってX−Yステージ(20〉を移動さ
せながら、この回折格子を有するドラ)(16〉を乾板
(14)上に形成する。レーザビームの太さは、レーザ
ビームの光路上にレンズを挿入し、そのレンズの位置を
光路に対して平行に移動させることによって変化させる
。赤、緑、青の3色を表わす3種のドツト(16)を形
成するために、3通りの角度を有するレーザビームを準
備する。このようにしてR,G、Bの3色のスポットを
コンピュータの指示にしたがって、乾板(14)上の所
定の位置と所定の面積で形成する。
さを変化させることによりドツト(16)の面積を変化
させることか可能となる。また、この回折格子の周期は
レーザビーム(10)、 (12)の交わる角度を変え
ることにより変化させることが可能である。コンピュー
タの指示にしたがってX−Yステージ(20〉を移動さ
せながら、この回折格子を有するドラ)(16〉を乾板
(14)上に形成する。レーザビームの太さは、レーザ
ビームの光路上にレンズを挿入し、そのレンズの位置を
光路に対して平行に移動させることによって変化させる
。赤、緑、青の3色を表わす3種のドツト(16)を形
成するために、3通りの角度を有するレーザビームを準
備する。このようにしてR,G、Bの3色のスポットを
コンピュータの指示にしたがって、乾板(14)上の所
定の位置と所定の面積で形成する。
第2図は乾板上にドツトを形成するための光学系を示し
ている。レーザ(22〉より発したレーザビームは全反
射ξラー(24)、 (26)により光路を変えて、レ
ンズ(41)に入射する。レンズ(41)はレーザビー
ムと平行な方向にコンピュータ制御によって移動可能に
なっており、乾板(14)上でのレーザビ−五の太さを
変化させることを可能としている。
ている。レーザ(22〉より発したレーザビームは全反
射ξラー(24)、 (26)により光路を変えて、レ
ンズ(41)に入射する。レンズ(41)はレーザビー
ムと平行な方向にコンピュータ制御によって移動可能に
なっており、乾板(14)上でのレーザビ−五の太さを
変化させることを可能としている。
レンズ(41)を通過したレーザビームはハーフミラ−
(32) 、 (34)、 (36)に入射し、4本の
ビーム (B1) (B2)、(B3)、(84)に
分けられる。この時、4本のビーム (Bl) 、 (
82)、 (B3)、 (B4)は等しい強度を持つよ
うに設定される。3本のビーム(B1) (82)
、(B3)はスリット(38)によって1本に選択され
、レンズ(40)、 ミラー(42)を通って乾板(
14)上に入射される。リファレンス光となるレーザビ
ーム(B4)はごラー(44)、 (46)を通って乾
板(14)上に入射される。4本のビーム(Bl)、
(B2)、 (B3)、 (84)は乾板(14)上で
1点に集まるように調整されている。またこれらの4本
のビーム(Bl)、 (B2)、 (B3)、 (B4
)が乾板(14)に入射する角度は、回折格子からの回
折光がR,に、Bの3色の色を表わすように予め計算さ
れた値に設定されている。
(32) 、 (34)、 (36)に入射し、4本の
ビーム (B1) (B2)、(B3)、(84)に
分けられる。この時、4本のビーム (Bl) 、 (
82)、 (B3)、 (B4)は等しい強度を持つよ
うに設定される。3本のビーム(B1) (82)
、(B3)はスリット(38)によって1本に選択され
、レンズ(40)、 ミラー(42)を通って乾板(
14)上に入射される。リファレンス光となるレーザビ
ーム(B4)はごラー(44)、 (46)を通って乾
板(14)上に入射される。4本のビーム(Bl)、
(B2)、 (B3)、 (84)は乾板(14)上で
1点に集まるように調整されている。またこれらの4本
のビーム(Bl)、 (B2)、 (B3)、 (B4
)が乾板(14)に入射する角度は、回折格子からの回
折光がR,に、Bの3色の色を表わすように予め計算さ
れた値に設定されている。
乾板(14)は、X−Yステージに乗せられていて、コ
ンピュータ制御により移動できるようになっている。レ
ーザビーム(Bl)、 (82)、 (B3)、 (B
4)は乾板(14)に入射する直前でシャッター(48
)を通過するようになっており、シャッター(48)の
開閉により露光、非露光を制御する。シャッター(4日
)の開閉の時間は、乾板(14)上での単位面積あたり
の露光量が一定になるように、レーザビームの太さに応
じて変化させる。
ンピュータ制御により移動できるようになっている。レ
ーザビーム(Bl)、 (82)、 (B3)、 (B
4)は乾板(14)に入射する直前でシャッター(48
)を通過するようになっており、シャッター(48)の
開閉により露光、非露光を制御する。シャッター(4日
)の開閉の時間は、乾板(14)上での単位面積あたり
の露光量が一定になるように、レーザビームの太さに応
じて変化させる。
第3図と第4図を参照して、本発明の回折格子パターン
を有するディスプレイの作製工程を説明する。まず、ス
テップAに示すように、画像データをイメージスキャナ
を用いて読み取り、コンピュータに人力する。この時入
力するデータは原稿の画像の明るさの情報も入力する。
を有するディスプレイの作製工程を説明する。まず、ス
テップAに示すように、画像データをイメージスキャナ
を用いて読み取り、コンピュータに人力する。この時入
力するデータは原稿の画像の明るさの情報も入力する。
イメージスキャナで読み取った画像は、原稿として使用
するためには修正を必要とする場合が多いためコンピュ
ータ上で修正を行なう。修正を行なった画像データは、
R,G、Bの各色毎に分解してフロッピーディスク等の
記録媒体に記憶させておく。次に露光する色を指定して
光学系のスリノド(38)を移動させ、レーザビーム(
Bl)、 (B2)、 (83)のうち指定されたレー
ザビームだけをスリット(38)を通して取り出す(ス
テップB、C)。次にステップDでX−Yステージを原
点に移動させる0次に露光を行なう場所の露光を行なう
色のデータを読み取り、露光を行なうか行なわないかの
判断をする(ステップE、F)、露光を行なう場合、レ
ンズ(41)を移動させ、ドツトの明るさに応じてドツ
ト(16)の面積を変化させ(ステップG)、この面積
に応じた時間だけ光学系のシャッター(48)を開き、
露光を行なう(ステップH)、この段階で、一つのドツ
トに対して指定された色と明るさに対応した回折格子の
作製工程は終了する0次にX−Yステージを移動させ(
ステップ■)、指定した色のデータが終了したかどうか
の判断をする(ステップJ)、終了していないときはス
テップ已にもどり、ステップE、F、G、H,I、Jを
繰り返し、指定された色に対応した複数のドツト状の回
折格子パターンを形成する。
するためには修正を必要とする場合が多いためコンピュ
ータ上で修正を行なう。修正を行なった画像データは、
R,G、Bの各色毎に分解してフロッピーディスク等の
記録媒体に記憶させておく。次に露光する色を指定して
光学系のスリノド(38)を移動させ、レーザビーム(
Bl)、 (B2)、 (83)のうち指定されたレー
ザビームだけをスリット(38)を通して取り出す(ス
テップB、C)。次にステップDでX−Yステージを原
点に移動させる0次に露光を行なう場所の露光を行なう
色のデータを読み取り、露光を行なうか行なわないかの
判断をする(ステップE、F)、露光を行なう場合、レ
ンズ(41)を移動させ、ドツトの明るさに応じてドツ
ト(16)の面積を変化させ(ステップG)、この面積
に応じた時間だけ光学系のシャッター(48)を開き、
露光を行なう(ステップH)、この段階で、一つのドツ
トに対して指定された色と明るさに対応した回折格子の
作製工程は終了する0次にX−Yステージを移動させ(
ステップ■)、指定した色のデータが終了したかどうか
の判断をする(ステップJ)、終了していないときはス
テップ已にもどり、ステップE、F、G、H,I、Jを
繰り返し、指定された色に対応した複数のドツト状の回
折格子パターンを形成する。
指定された色のデータが終了した時にはステップKに進
み、別の色が存在するときにはステップBに戻る。そし
て露光する別の色を指定してステップBからステップJ
を繰り返す、そして指定する色がなくなると、本発明の
回折格子パターンを有するディスプレイが完成する。
み、別の色が存在するときにはステップBに戻る。そし
て露光する別の色を指定してステップBからステップJ
を繰り返す、そして指定する色がなくなると、本発明の
回折格子パターンを有するディスプレイが完成する。
このようにして形成させた回折格子を有する乾板は復製
のための原版として使用できる。複製を行なうためには
よく知られているエンボス法を用いる。
のための原版として使用できる。複製を行なうためには
よく知られているエンボス法を用いる。
電子ビームを用いた回折格子を作製する方法による、回
折格子パターンを有するディスプレイを第5図乃至第7
図を参照して説明する。
折格子パターンを有するディスプレイを第5図乃至第7
図を参照して説明する。
第5図に示すように電子ビーム露光装置は、電子銃(5
0)、アライメント(52)、プランカー(54)、コ
ンデンサーレンズ(56)、ステイグメータ(58)、
ディフレクタ−(60)、対物レンズ(62)、X−Y
ステージ(20)からなる、X−Yステージ(20)上
にはEBレジスト(乾板) (15)が載置されている
。プランカー(54)、ディフレクタ−(60)、及び
X−Yステージ(20)はコントロールインターフェー
ス(64)を介してコンピュータ(66)に接続されて
いる。
0)、アライメント(52)、プランカー(54)、コ
ンデンサーレンズ(56)、ステイグメータ(58)、
ディフレクタ−(60)、対物レンズ(62)、X−Y
ステージ(20)からなる、X−Yステージ(20)上
にはEBレジスト(乾板) (15)が載置されている
。プランカー(54)、ディフレクタ−(60)、及び
X−Yステージ(20)はコントロールインターフェー
ス(64)を介してコンピュータ(66)に接続されて
いる。
電子銃(50)から照射された電子ビームは、コンピュ
ータ(66)に制御され乾板(15)を走査する。
ータ(66)に制御され乾板(15)を走査する。
第6図はX−Yステージ(20〉上に載置された乾@
(15)を示している。電子銃(50)から発射された
電子ビーム(70)はドツト(16)を単位にして回折
格子(18)を描画する。x−yステージ(20)を移
動させることにより、次々とドツト毎に回折格子(18
)を描画し、回折格子パターン形成する。
(15)を示している。電子銃(50)から発射された
電子ビーム(70)はドツト(16)を単位にして回折
格子(18)を描画する。x−yステージ(20)を移
動させることにより、次々とドツト毎に回折格子(18
)を描画し、回折格子パターン形成する。
以下、第7図を参照して作製工程を説明する。
まず、ステップaにおいて、イメージスキャナを用いて
画像データを読み取り、コンピュータに入力する。また
は、コンビエータ・グラフィックスの画像データをコン
ピュータに入力してもよい。
画像データを読み取り、コンピュータに入力する。また
は、コンビエータ・グラフィックスの画像データをコン
ピュータに入力してもよい。
この時入力するデータは原稿の画像の明るさの情報も入
力する。イメージスキャナで読み取った画像は、原稿と
して使用するためには修正を必要とする場合が多いため
コンピュータ上で修正を行なう(ステップb)0次にス
テップCにおいて、コンビエータに視域データを入力す
る。この、視域データは、人力した画像データをディス
プレイとして再生した時に、そのディスプレイの見える
方向及び視域を各ドツト毎に定めるものである0次にス
テップdにおいて、X−Yステージを原点に移動させ、
ステップeでドツトデータをデータファイルからコンピ
ュータに入力する。このドツトデータは、修正した画像
のうち、一つのドツトの場所、色(空間周波数)、見え
る方向、見える範囲、そして明るさに関するデータであ
る。そして、それらのデータを用いてステップr、g、
hでグレーティングの形状を決定する。ステップiでは
明るさのデータからコンピュータ上でドツトの面積を決
定する。この時このドツトの面積を持つためのドツトの
形状は、印刷物における網点のようなものでもよいし、
デイザ法のようなものを用いてもよい、なおステップf
、g、h、tの順番はこの例に限られずどの様な順番に
なってもよい。
力する。イメージスキャナで読み取った画像は、原稿と
して使用するためには修正を必要とする場合が多いため
コンピュータ上で修正を行なう(ステップb)0次にス
テップCにおいて、コンビエータに視域データを入力す
る。この、視域データは、人力した画像データをディス
プレイとして再生した時に、そのディスプレイの見える
方向及び視域を各ドツト毎に定めるものである0次にス
テップdにおいて、X−Yステージを原点に移動させ、
ステップeでドツトデータをデータファイルからコンピ
ュータに入力する。このドツトデータは、修正した画像
のうち、一つのドツトの場所、色(空間周波数)、見え
る方向、見える範囲、そして明るさに関するデータであ
る。そして、それらのデータを用いてステップr、g、
hでグレーティングの形状を決定する。ステップiでは
明るさのデータからコンピュータ上でドツトの面積を決
定する。この時このドツトの面積を持つためのドツトの
形状は、印刷物における網点のようなものでもよいし、
デイザ法のようなものを用いてもよい、なおステップf
、g、h、tの順番はこの例に限られずどの様な順番に
なってもよい。
次にステップjにおいてステップeで入力したドツトの
位置までX−Yステージを移動し、ステップkにおいて
、そのドツトのグレーティングの描画を行なう、この、
一連のステップにより、つのドツトに対応した回折格子
の描画が完了する。
位置までX−Yステージを移動し、ステップkにおいて
、そのドツトのグレーティングの描画を行なう、この、
一連のステップにより、つのドツトに対応した回折格子
の描画が完了する。
次にステップIにおいて次のドツトのデータを参照する
ために、データファイルのアドレスを1だけ増す、そし
てステップmにおいて、このアドレスにおける画像デー
タが存在するときには、ステップeに戻り別のドツトの
データを人力し、ステップf、g、h、i、j、に、l
を繰り返す、この一連のステップをドツトに対応した画
像データがなくなるまで続ける。
ために、データファイルのアドレスを1だけ増す、そし
てステップmにおいて、このアドレスにおける画像デー
タが存在するときには、ステップeに戻り別のドツトの
データを人力し、ステップf、g、h、i、j、に、l
を繰り返す、この一連のステップをドツトに対応した画
像データがなくなるまで続ける。
このようにして形成させた回折格子パターンを有する乾
板は複製のための原版として使用できる。
板は複製のための原版として使用できる。
複製を行なうためにはよく知られているエンボス法を用
いる。
いる。
〈発明の効果〉
以上述べたように本発明は、回折格子パターンを有する
ディスプレイにおいて、回折格子から形成されたドツト
の面積を変化させることによって、そのドツトに応じた
明度の変化が可能となったため、フルカラーの画像を表
現することができる。
ディスプレイにおいて、回折格子から形成されたドツト
の面積を変化させることによって、そのドツトに応じた
明度の変化が可能となったため、フルカラーの画像を表
現することができる。
第1図は本発明にかかる回折格子パターンを有するディ
スプレイの作製に2光束干渉を用いた例の概略図、第2
図は本発明を2光束干渉を用いて作製するための光学系
を示す図、第3図は本発明を2光束干渉を用いて作製す
るための工程の概略を示す図、第4図は本発明を2光束
干渉を用いて作製する工程を示すフローチャート、第5
図は本発明にかかる回折格子パターンを有するディスプ
レイの作製に電子ビームを用いた例の概略図、第6図は
X−Yステージ上に載置されたEBレジストを示す図、
第7図は本発叫を電子ビームを用いて作製する工程を示
すフローチャートであり、第8図は本発明の回折格パタ
ーンを有するディスプレイの平面図である。 10.12・・・レーザビーム 14・・・フォトレジスト乾板 15・・・EBレジスト乾板 16・・・ドツト 18・・・回折格子 20・・・X−Yステージ 22・・ ・レーザ 38・ ・・スリット 48 ・ 50 ・ 54 ・ 60 ・ 64 ・ 66 ・ 70 ・ ・シャッター ・電子銃 ・ブランカ− ・ディフレクタ− ・コントロールインターフェース ・コンピュータ ・電子ビーム
スプレイの作製に2光束干渉を用いた例の概略図、第2
図は本発明を2光束干渉を用いて作製するための光学系
を示す図、第3図は本発明を2光束干渉を用いて作製す
るための工程の概略を示す図、第4図は本発明を2光束
干渉を用いて作製する工程を示すフローチャート、第5
図は本発明にかかる回折格子パターンを有するディスプ
レイの作製に電子ビームを用いた例の概略図、第6図は
X−Yステージ上に載置されたEBレジストを示す図、
第7図は本発叫を電子ビームを用いて作製する工程を示
すフローチャートであり、第8図は本発明の回折格パタ
ーンを有するディスプレイの平面図である。 10.12・・・レーザビーム 14・・・フォトレジスト乾板 15・・・EBレジスト乾板 16・・・ドツト 18・・・回折格子 20・・・X−Yステージ 22・・ ・レーザ 38・ ・・スリット 48 ・ 50 ・ 54 ・ 60 ・ 64 ・ 66 ・ 70 ・ ・シャッター ・電子銃 ・ブランカ− ・ディフレクタ− ・コントロールインターフェース ・コンピュータ ・電子ビーム
Claims (1)
- (1)平面状の基板と、該基板の表面に形成された回折
格子パターンとからなるディスプレイであって、該回折
格子パターンが回折格子により形成された複数の微小な
ドットから構成され、該ドットの面積が各ドット毎に指
定された大きさに変化してなることを特徴とする回折格
子パターンを有するディスプレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1174961A JPH0820563B2 (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | 回折格子パターンを有するディスプレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1174961A JPH0820563B2 (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | 回折格子パターンを有するディスプレイ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0339701A true JPH0339701A (ja) | 1991-02-20 |
| JPH0820563B2 JPH0820563B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=15987766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1174961A Expired - Lifetime JPH0820563B2 (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | 回折格子パターンを有するディスプレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820563B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038940A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Toppan Printing Co Ltd | 表示体及びラベル付き物品 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103497116B (zh) * | 2013-09-26 | 2016-04-20 | 江苏亚邦染料股份有限公司 | 1-氨基蒽醌的合成方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6463902A (en) * | 1987-05-21 | 1989-03-09 | Toppan Printing Co Ltd | Diffraction grating exposure device |
-
1989
- 1989-07-06 JP JP1174961A patent/JPH0820563B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6463902A (en) * | 1987-05-21 | 1989-03-09 | Toppan Printing Co Ltd | Diffraction grating exposure device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038940A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Toppan Printing Co Ltd | 表示体及びラベル付き物品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0820563B2 (ja) | 1996-03-04 |
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