JPH0340355A - 複合走査型トンネル顕微鏡 - Google Patents

複合走査型トンネル顕微鏡

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は走査型トンネル顕微鏡に関する。
〔発明の概要〕
光学顕微鏡又は電子顕微鏡（ＳＥＭ）と結合した走査型
トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）において、光学顕微鏡又はＳ
ＥＭ試料面を観測した特待られる焦点距離を記録し、こ
の距離をもとにして、ＳＴＭの探針と試料の間隔をトン
ネル領域（〜１０人）まで近づける（以後Ｚ粗動と記す
）速度を調節し、測定のスルーブソトを向上した複合走
査型トンネル顕微鏡。
〔従来の技術〕
ｚＩＩＩ動は、試料を楽に交換するために、ストローク
として５關程度必要になる。一方試料面より〜２ｆｉ程
度のトンネル領域まで探針を送るためには、最大でも５
０　ａｍ　／　ｓ　ｔｅｐの精度が必要となる。探針が
試料に近づく最後のステップでトンネル電流を検知し、
Ｚ粗動のモータを停止、同時にＺ方向の微動素子が探針
を引きとげ試料と探針の衝突を防止する。従って、微動
素子の動作速度がＺ粗動のモータ送り速度より早くなけ
ればならない。現状では、２００〜３００ｔｌｚ以下で
Ｚ粗動のパルスモータを送るのが探針と試料の衝突防止
上、Ｚ粗動の速度の上限である。このための方策として
従来、下記の３つの手段がとられていた。即ち、（従来
技術ｌ） 実体顕微鏡で探針と試料の間をモニターしながら、Ｚ移
動ステージを探針が試料に接近するまで高速で送り、以
後低速にマニュアルで切り換える。
（従来技術２） 最初の１回のＺ粗動は、すべて低速で送りトンネル領域
までパルス数を記録する０次回は試料近くまで高速に送
り以後低速に切り換える。
（従来技術３） 試料ホルダーが試料の上面を押さえるようにしておき、
試料の厚みが変化しても探針と試料間の距離は一定にな
るようにする。（以後試料の上面規制と記す）従って、
Ｚ粗動の高速、低速の切換点は、サンプルの厚さによら
ず一定にできる。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来技術１は、探針又は試料の動きを常時モニターして
いなければならない、また、従来技術２は、１回目のＺ
粗動に時間がかかり、試料の厚みが頻繁に変わる時は、
その都度低速で送らなければならず、スールプソトが低
下してしまう。さらに従来技術３は、平面的サンプルで
は良いが、試料が小さくてホルダーの上面で押さえられ
ない場合、又試料の凹凸が大きい場合は適用が難しいと
いう問題点がそれぞれある。
本発明はかかる問題点を解決するためなされたものであ
って、光学顕微鏡又は電子顕微鏡で測定した焦点距離を
もとにＳＴＭの探針の試料表面までの距離とトンネル領
域へ探針又は試料の移動をするようにした複合型トンネ
ル顕微鏡を提供することを目的とする。
Ｃ！！ＩＮを解決するための手段〕 本発明は上記目的を達成するためになされたもので、そ
の主たる構成は、 （１１走査型トンネル顕微鏡と光学顕微鏡または電子ｗ
４微鏡とを有する複合走査型トンネル顕微鏡において、
これをｔＩＩｒｌｉするＺ軸移動機構は、上記光学顕微
鏡または電子顕微鏡で測定した焦点距離をもとに走査型
トンネル顕微鏡の探針と試料表面までの距離を演算する
移動路Ｍ演算器に接続され、それの出力に基づいてＺ軸
移動機構の移動速度を高速移動から低速移動へと切換え
る切換点を演算し制御するＺ軸移動機構コントローラを
具備していることを特徴とする複合走査型トンネル顕微
鏡。
（２）上記Ｚ軸移動機構がＺ移動ステージであることを
特徴とする請求項ｌ記載の複合走査型トンネル８１ｉ微
鏡である。
〔作用〕
本発明はの上記Ｚ軸移動機構コントロールは、高速移動
距離を極力長くとるように、移動速度の切換点を演算し
Ｚ軸移動機構を制御するので、探針をトンネル領域へ送
る時間が短縮される。
（実施例〕 ここでは、光学ｒＸＡ微鏡とＳＴＭの複合装置に例を取
り詳しく説明する。Ｚ粗動の方法については、ＳＥＭと
ＳＴＭの複合装置にも同様な方法が適用可能である。
第１図に実施例を示す、光学ｓ！１微鏡の対物レンズｌ
とＳＴＭの微動素子２，３を平行に支持Ｆｉ４で支持し
、試料９の下にＺ６．Ｙ７．Ｘ８のステージがあり、試
料９はＺステージ上に乗せられている。光学顕微鏡像は
接眼レンズ５を通して肉眼又はＣＣＤカメラ１０を通し
て観測される。ユニットＡはＺステージの送り速度を調
節するコントローラ、ユニットＢは２ステージの座標を
演算する演算２ＬユニツトＣはフォーカス点を求めるフ
ォーカスコントロールユニットである。人間が焦点の合
った点を認識し、ユニットＢにフォーカス点を入力すれ
ば、このユニットはなくてもよい。
以下の手順を示す、第２図に示すように、ステージ下限
ＳＬと探針先端までの距離をｌとする。
最初にＸステージ８で試料を光学ｇｌ微鏡位置ａに移動
する。次にＺステージコントローラＡにてＺステージ６
を移動させて、サンプルの上面が結像するようなＺステ
ージ座標Ｓｆを探す、この操作はマニュアルで行っても
、ユニットＣのようなフオーカス点検出部で行っても良
い。焦点が合った状態でＸ、Ｙステージを移動させ試料
の観測点を探す。その後、Ｘステージをｍだけ移動しＳ
ＴＭの探針下に試料がくるようにする。次にＺ粗動を行
う。移動距離演算器Ｂで１−　（ＳＬ−３ｆ）−１（探
針とステージ下限距離２〜焦点面とステージ下限距離−
低速移動距離ε）で高速に２ステージを移動する距離を
求め、Ｚ粗動を行う、今、Ｘステージをパルスモータで
送る場合を例として移動速度を求めて見る。ｌ＝５　（
關）ｓｆ−３Ｌ＝３（關）（試料厚１ｆｌ焦点面までの
距＃　２　ｗｓ＊として）ε−０，１ｍｍとし、Ｘステ
ージの移動速度を５０ａｍ　／　ｓ　ｔｅｐとし速度は
低速度２５０１１ｚ、高速２ｋｌｌｚとする。低速に移
動する時間は、１００．０００／　（５０Ｘ　２５０）
−８ｓｅｃ、高速で移動する時間は、 ２．９　ｘｌＯｂ ５０Ｘ２ＸｌＯ・＝２９秒 合計３７ｓｅｃでトンネル領域へ送ることができる。
一方従来技術２ですべて低速で送った場合は、４Ｘ１０
’ ５０　Ｘ　２５０　　″３２０秒 で従来技術に比較して７〜８倍早くトンネル領域へ送れ
ることがわかる。
他の実施例を第３図、第４図に示す。第３図は第１図の
ようなステージのりニア−な動きで、対物レンズとＳＴ
Ｍを切り換えるのではなく、光学顕微鏡のレボルバ−４
１にＳＴＭを組み入れ、焦点合わせはＺ移動ステージ９
で行う構成にした。第４図は、Ｘ移動ステージのかわり
に、光学顕微鏡の鏡筒部分を上下に移動する構成にした
ものである。顕微鏡のレボルバ一部にＳＴＭを組み込む
と、複数の対物レンズとの切換が可能となる。
〔発明の効果〕
光学顕微鏡又は電子顕微鏡とＳＴＭを複合化した装置に
おいて、光学顕微鏡で測定した焦点距離をもとにＺ粗動
の速度を切り換えることにより試料の形状によらず、短
時間で探針をトンネル領域へ送ることが可能となり、測
定のスループットが向上した。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は第１図に
おいてＺ移動ステージのＺ１ｇｉ動を説明する詳細図、
第３図は本発明の他の実施例を示す図、第４図は本発明
の別の実施例を示す図である。 光学ＳＪｉ微鏡射鏡対物レ ンズＭ微動素子（Ｘ、Ｙ、Ｚ三次元 アクチエーター〉 探針 対物レンズ及びアクチエータ支持板 光学顕微鏡レボルバ− 光学顕微鏡接眼レンズ Ｚ移動ステージ Ｚ軸移動機構 Ｙ移動ステージ Ｘ移動ステージ 試料 ＣＯＤカメラ Ｚ軸移動機構コントローラ（Ｘステ ージコントローラ） Ｂ・・・移動距離演算器 Ｃ・　・ ・フォーカスコントロール 以 上

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）走査型トンネル顕微鏡と光学顕微鏡または電子顕
    微鏡とを有する複合走査型トンネル顕微鏡において、こ
    れを構成するＺ軸移動機構は、上記光学顕微鏡または電
    子顕微鏡で測定した焦点距離をもとに走査型トンネル顕
    微鏡の探針と試料表面までの距離を演算する移動距離演
    算器に接続され、それの出力に基づいてＺ軸移動機構の
    移動速度を高速移動から低速移動へと切換える切換点を
    演算し制御するＺ軸移動機構コントローラを具備してい
    ることを特徴とする複合走査型トンネル顕微鏡。
  2. （２）上記Ｚ軸移動機構がＺ移動ステージであることを
    特徴とする請求項１記載の複合走査型トンネル顕微鏡。
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