JPH0340944B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0340944B2 JPH0340944B2 JP59014870A JP1487084A JPH0340944B2 JP H0340944 B2 JPH0340944 B2 JP H0340944B2 JP 59014870 A JP59014870 A JP 59014870A JP 1487084 A JP1487084 A JP 1487084A JP H0340944 B2 JPH0340944 B2 JP H0340944B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead
- tip
- shoulder
- fiber sensor
- detected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は集積回路素子のリード曲りの検査方
法に関する。
法に関する。
従来この検査は目視検査で行ない人の判断によ
りリード曲りを検査していた。
りリード曲りを検査していた。
これには人的工数が多大にかかり、個人差によ
る判断のばらつきが大きく、見逃しも多かつた。
る判断のばらつきが大きく、見逃しも多かつた。
この発明の目的は従来の問題を解決する為、リ
ードの肩と先端をフアイバーセンサーで検出する
ことにより、リード曲りを自動的に検査すること
にある。
ードの肩と先端をフアイバーセンサーで検出する
ことにより、リード曲りを自動的に検査すること
にある。
この発明はＸ方向へ移動する集積回路素子と直
交するＹ−Ｚ平面上のリードの肩および先端を検
出する位置に各々個別のフアイバーセンサを配置
している。
交するＹ−Ｚ平面上のリードの肩および先端を検
出する位置に各々個別のフアイバーセンサを配置
している。
Ｘ方向へ移動する集積回路素子のリードの先端
がリードの肩幅外へＸ方向に曲つている場合、リ
ードの肩をリードの肩検出用フアイバーセンサー
で検出していない間にもリードの先端がリードの
先端検出用フアイバーセンサーで検出される。
がリードの肩幅外へＸ方向に曲つている場合、リ
ードの肩をリードの肩検出用フアイバーセンサー
で検出していない間にもリードの先端がリードの
先端検出用フアイバーセンサーで検出される。
リード先端がリードの先端検出用フアイバーセ
ンサーのＹ方向検出領域外にＹ方向へ曲つている
場合、リードの肩をリードの肩検出用フアイバー
センサーで検出している間にもリードの先端がリ
ードの先端検出用フアイバーセンサーで検出され
ない。
ンサーのＹ方向検出領域外にＹ方向へ曲つている
場合、リードの肩をリードの肩検出用フアイバー
センサーで検出している間にもリードの先端がリ
ードの先端検出用フアイバーセンサーで検出され
ない。
よつてフアイバーセンサーの信号を処理するこ
とによりリードの曲りの有無を判定できる。
とによりリードの曲りの有無を判定できる。
次にこの発明を実施例にそつて説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示す。第１図に示すよ
うに、ガイド１をＸ方向に滑走する集積回路素子
２の一方のリードの肩をフアイバーセンサー３で
検出し、リードの先端をフアイバーセンサー４で
検出している。集積回路素子２の多方のリードの
肩はフアイバーセンサー５で検出し、リードの先
端はフアイバーセンサー６で検出している。
図はこの発明の一実施例を示す。第１図に示すよ
うに、ガイド１をＸ方向に滑走する集積回路素子
２の一方のリードの肩をフアイバーセンサー３で
検出し、リードの先端をフアイバーセンサー４で
検出している。集積回路素子２の多方のリードの
肩はフアイバーセンサー５で検出し、リードの先
端はフアイバーセンサー６で検出している。
フアイバーセンサー３，４および５，６の信号
は判定回路７へ転送されている。判定回路７では
信号を処理してリード曲りの有無を判定してい
る。
は判定回路７へ転送されている。判定回路７では
信号を処理してリード曲りの有無を判定してい
る。
第１図は本発明の一実施例を示す説明図であ
る。 尚、図において、１……ガイド、２……集積回
路素子、３……フアイバーセンサー、４……フア
イバーセンサー、５……フアイバーセンサー、６
……フアイバーセンサー、７……判定回路であ
る。
る。 尚、図において、１……ガイド、２……集積回
路素子、３……フアイバーセンサー、４……フア
イバーセンサー、５……フアイバーセンサー、６
……フアイバーセンサー、７……判定回路であ
る。
Claims (1)
- １ 集積回路素子のリード曲り検査において、集
積回路素子が移動する方向であるＸ方向と直交す
るＹ−Ｚ平面上の１本のリードの肩および先端を
検出する位置に各々個別のフアイバーセンサーを
配置し、該肩および先端に投射した反射光を該フ
アイバーセンサーで各々検出し、これによる信号
を判定回路へ転送し、該肩を該肩検出用フアイバ
ーセンサーで検出していないときに該先端を該先
端検出用フアイバーセンサーで検出したときはそ
のリードは肩幅外へＸ方向に曲つていると判定
し、該肩を該肩検出用フアイバーセンサーで検出
しているときに該先端を該先端検出用フアイバー
センサーで検出されないときはそのリードはＹ方
向検出領域外にＹ方向に曲つていると判定し、こ
のようにして該判定回路で該信号を処理してリー
ド曲りの有無を判定していることを特徴とするリ
ード曲り検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014870A JPS60160137A (ja) | 1984-01-30 | 1984-01-30 | リ−ド曲り検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014870A JPS60160137A (ja) | 1984-01-30 | 1984-01-30 | リ−ド曲り検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60160137A JPS60160137A (ja) | 1985-08-21 |
| JPH0340944B2 true JPH0340944B2 (ja) | 1991-06-20 |
Family
ID=11873050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59014870A Granted JPS60160137A (ja) | 1984-01-30 | 1984-01-30 | リ−ド曲り検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60160137A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6214449A (ja) * | 1985-07-11 | 1987-01-23 | Nec Kyushu Ltd | 半導体素子のリ−ド曲り検出方法 |
| JP6829946B2 (ja) * | 2016-04-28 | 2021-02-17 | 川崎重工業株式会社 | 部品検査装置および方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5663275A (en) * | 1979-10-30 | 1981-05-29 | Nec Kyushu Ltd | Lead testing device for semiconductor device |
-
1984
- 1984-01-30 JP JP59014870A patent/JPS60160137A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60160137A (ja) | 1985-08-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |