JPH0341218A - 真空用軸受の潤滑装置 - Google Patents
真空用軸受の潤滑装置Info
- Publication number
- JPH0341218A JPH0341218A JP17549289A JP17549289A JPH0341218A JP H0341218 A JPH0341218 A JP H0341218A JP 17549289 A JP17549289 A JP 17549289A JP 17549289 A JP17549289 A JP 17549289A JP H0341218 A JPH0341218 A JP H0341218A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- vacuum
- soft metal
- lubricating device
- lubricating
- Prior art date
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- Sliding-Contact Bearings (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造装置、宇宙関連機器など、真空中
で使用される軸受の、寿命を向上させるための潤滑装置
に関するものである。
で使用される軸受の、寿命を向上させるための潤滑装置
に関するものである。
従来から潤滑油やグリースなどを使用できない真空中で
の潤滑は、軟質金属や固体潤滑剤の薄膜を摺動部にコー
ティングして行われている。その例は日本精工テクニカ
ルジャーナル等の軸受メーカカタログ、技術資料などに
も記載されており、−膜内な知見となっている。
の潤滑は、軟質金属や固体潤滑剤の薄膜を摺動部にコー
ティングして行われている。その例は日本精工テクニカ
ルジャーナル等の軸受メーカカタログ、技術資料などに
も記載されており、−膜内な知見となっている。
また、最近玉軸受においては、特開昭６２−２７０８２
６号に記載されているように、玉、内外軸に膜をコーテ
ィングする他に、保持器に固体潤滑剤を設けたり、特開
昭６２−２５８２２４号に記載されているように、複数
の膜を重ねてコーティングするなど長寿命化の工夫が図
られている。
６号に記載されているように、玉、内外軸に膜をコーテ
ィングする他に、保持器に固体潤滑剤を設けたり、特開
昭６２−２５８２２４号に記載されているように、複数
の膜を重ねてコーティングするなど長寿命化の工夫が図
られている。
しかし乍ら上記従来技術のように、コーティングされた
薄膜を用いた潤？ｉ′）装置で使用される軸受は、膜を
摩耗して無くなり潤滑作用を失った時が寿命限界である
。最近、膜の長寿命化のための工夫、例えば材質、コー
ティング方法などの工夫がなされているが、コーティン
グされた膜は、Ｉｙ！擦によりいつかは無くなるもので
ある。
薄膜を用いた潤？ｉ′）装置で使用される軸受は、膜を
摩耗して無くなり潤滑作用を失った時が寿命限界である
。最近、膜の長寿命化のための工夫、例えば材質、コー
ティング方法などの工夫がなされているが、コーティン
グされた膜は、Ｉｙ！擦によりいつかは無くなるもので
ある。
したがって、上桁従来技術による潤滑装置を用いている
軸受を含むシステムは、膜の寿命によりいちいち装置を
止め、分野、交換等のメンテナンスが要るという煩わし
さがあった。
軸受を含むシステムは、膜の寿命によりいちいち装置を
止め、分野、交換等のメンテナンスが要るという煩わし
さがあった。
さらに、部品交換等メンテナンスの難かしい宇宙空間等
においては、上記従来技術による潤滑装置を用いる軸受
を含むシステムは、軸受の寿命により、システム全体が
使用不可能となり、システム全体を放棄せざる得なくな
るという重大な問題があった。
においては、上記従来技術による潤滑装置を用いる軸受
を含むシステムは、軸受の寿命により、システム全体が
使用不可能となり、システム全体を放棄せざる得なくな
るという重大な問題があった。
本研究の目的は、上記したように、潤滑油やグリース等
が使用できない真空中において使用される軸受の潤滑効
果を長期間に亘り良好に維持することを可能とする潤滑
装置を提供することにある。
が使用できない真空中において使用される軸受の潤滑効
果を長期間に亘り良好に維持することを可能とする潤滑
装置を提供することにある。
上記目的を遠戚するため、真空中に使用される軸受の１
部分、あるいは周辺部分の１部を潤滑作用を得ることの
できる軟質金属、固体潤滑剤、あるいは高分子系複合材
で構成して、他の軸受を構成する部材と絶縁し、摺動部
を有する部材との間に電位差を加えることのできる構造
とし、さらにガス導入系などの雰囲気圧力を変化させる
手段を備えるものである。
部分、あるいは周辺部分の１部を潤滑作用を得ることの
できる軟質金属、固体潤滑剤、あるいは高分子系複合材
で構成して、他の軸受を構成する部材と絶縁し、摺動部
を有する部材との間に電位差を加えることのできる構造
とし、さらにガス導入系などの雰囲気圧力を変化させる
手段を備えるものである。
軸受の１部分あるいは周辺部分に配置された潤滑作用を
有する軟質金属、固体潤滑剤あるいは高分子系複合材な
どの部材と、摺動部を有する部材との間に電位差を加え
ることによって、両者の間には放電が起こる。それによ
って、摺動部位に潤滑作用を有する薄膜をコーティング
することができる。すなわち、膜の補給・形成が可能と
なる。
有する軟質金属、固体潤滑剤あるいは高分子系複合材な
どの部材と、摺動部を有する部材との間に電位差を加え
ることによって、両者の間には放電が起こる。それによ
って、摺動部位に潤滑作用を有する薄膜をコーティング
することができる。すなわち、膜の補給・形成が可能と
なる。
したがって、１１！！器の運転中あるいは運転停止をさ
せた際などに間欠的に電位差を与えて、膜を随時補給す
ることにより、飛藷的に寿命を向上させることができる
。
せた際などに間欠的に電位差を与えて、膜を随時補給す
ることにより、飛藷的に寿命を向上させることができる
。
雰囲気圧力が低すぎて、放電が起こらない様な場合には
、備えつけられたガス導入系からガスを導入し放電発生
が可能となる圧力まで変化させれば良い。
、備えつけられたガス導入系からガスを導入し放電発生
が可能となる圧力まで変化させれば良い。
以下、本発明の一実施例を図面に従って説明する。第１
図は、本発明の潤滑装置の第１の実施例を示したもので
ある。この実施例は、軸受として真空中で使用される玉
軸受の例であり、玉軸受の構成部品の一つであるシール
ド板に潤滑性のある軟質金属、固体潤滑剤、高分子系複
合材等を用いたもめである。以後これら潤滑性のある１
欺質金属。
図は、本発明の潤滑装置の第１の実施例を示したもので
ある。この実施例は、軸受として真空中で使用される玉
軸受の例であり、玉軸受の構成部品の一つであるシール
ド板に潤滑性のある軟質金属、固体潤滑剤、高分子系複
合材等を用いたもめである。以後これら潤滑性のある１
欺質金属。
固体潤滑剤材、高分子系複合材等を単に潤滑剤と記す。
第１図において、１は潤滑剤、２は潤滑剤１と他の軸受
部材との間を絶縁する絶縁体、３，４゜５は、それぞれ
玉軸受の玉、外輪および内輪である。また、６は回転す
るシャフト、７は軸受を固定するケーシング、７，８は
潤滑剤１と軸受の外軸１１との間に電位差を与える電源
を示したものである。このように構成された軸受におい
て、電源８により、潤滑剤１と外＠４との間に電位差を
加えると、雰囲気が真空であるために両者の間に放電が
起こり、潤滑剤を放電によりイオン化して外輪に移り薄
膜を形成する。この操作を、機器の運転中、必要な時に
随時行うことにより潤滑性のある薄膜を補給・形成する
ことが可能となり飛躍的に軸受の寿命を伸ばすことがで
きる。
部材との間を絶縁する絶縁体、３，４゜５は、それぞれ
玉軸受の玉、外輪および内輪である。また、６は回転す
るシャフト、７は軸受を固定するケーシング、７，８は
潤滑剤１と軸受の外軸１１との間に電位差を与える電源
を示したものである。このように構成された軸受におい
て、電源８により、潤滑剤１と外＠４との間に電位差を
加えると、雰囲気が真空であるために両者の間に放電が
起こり、潤滑剤を放電によりイオン化して外輪に移り薄
膜を形成する。この操作を、機器の運転中、必要な時に
随時行うことにより潤滑性のある薄膜を補給・形成する
ことが可能となり飛躍的に軸受の寿命を伸ばすことがで
きる。
この例の場合、潤滑剤１、及び対向面の板１′がシード
材であるため周囲への汚染を防止することが可能である
。なお、この例の場合、もし外輪４と玉３．内輸５が４
ｍ体であり導通しているとすれば、内外軸、及び玉にも
ｄ膜を形成することができる。
材であるため周囲への汚染を防止することが可能である
。なお、この例の場合、もし外輪４と玉３．内輸５が４
ｍ体であり導通しているとすれば、内外軸、及び玉にも
ｄ膜を形成することができる。
第２図は他の実施例を示し、玉軸受の周辺部材の１部に
潤滑剤１を用いたものである。この例も第↓の実施例と
同様の操作により、潤滑性のある薄膜と形成できる。ま
た、この場合もシールド板９．９′により周囲への汚染
が防止される。
潤滑剤１を用いたものである。この例も第↓の実施例と
同様の操作により、潤滑性のある薄膜と形成できる。ま
た、この場合もシールド板９．９′により周囲への汚染
が防止される。
第３図は、本発明の更に他の実施例を示すものであり、
第１図、第２図に示した実施例に、さらにガス供給装置
を備え付けたものである。
第１図、第２図に示した実施例に、さらにガス供給装置
を備え付けたものである。
宇宙空間などのように雰囲気が高真空であり、放電が起
こらない様な場合には、薄膜を軸受に補給・形成させた
い時だけ、ガス供給装置１０から放電可能な圧力までガ
スを導入し、電位差を加えて放電を起こす様にする。こ
の場合、ガスとしてアルゴン、酸素、窒素など種々のガ
スのうちから、使用する潤滑剤１に合わせて、最も適し
たガスを用いれば良い。
こらない様な場合には、薄膜を軸受に補給・形成させた
い時だけ、ガス供給装置１０から放電可能な圧力までガ
スを導入し、電位差を加えて放電を起こす様にする。こ
の場合、ガスとしてアルゴン、酸素、窒素など種々のガ
スのうちから、使用する潤滑剤１に合わせて、最も適し
たガスを用いれば良い。
第４図に示す実施例は、軸受としてす人り軸受を用いた
実施例を示したものである。すべり軸受においても、第
工図から第３図に示した実施例と同様の操作により、必
要に応じて随時薄膜を補給形成することが出来、長寿命
化を図ることができる。なお、すベリ軸受の場合は、す
ベリ軸受１１と、シャフト６、すなわち軸受で受ける相
手面が直接摺動するために、この例で示した様にシャツ
１−６、すなわち軸受で受ける相手面と導電体として、
潤滑剤１とシャフト６との間に電着を加え、膜を形成・
補給することができる。本例はシャフト６との通電の手
段の一例としてスリップリングを用いたものである。
実施例を示したものである。すべり軸受においても、第
工図から第３図に示した実施例と同様の操作により、必
要に応じて随時薄膜を補給形成することが出来、長寿命
化を図ることができる。なお、すベリ軸受の場合は、す
ベリ軸受１１と、シャフト６、すなわち軸受で受ける相
手面が直接摺動するために、この例で示した様にシャツ
１−６、すなわち軸受で受ける相手面と導電体として、
潤滑剤１とシャフト６との間に電着を加え、膜を形成・
補給することができる。本例はシャフト６との通電の手
段の一例としてスリップリングを用いたものである。
第５図に示した例は、本実施例を直動ボールベアリング
に適用した例である。第６図は直動すベリ軸受に適用し
た例である。第５図、第６図の実施例とも、第１図から
第４図で示した実施例と同様の操作を行うことにより摺
動面に潤滑剤１の薄膜を補給・形成が可能となり、軸受
の寿命や飛躍的に延ばすことが可能となる。
に適用した例である。第６図は直動すベリ軸受に適用し
た例である。第５図、第６図の実施例とも、第１図から
第４図で示した実施例と同様の操作を行うことにより摺
動面に潤滑剤１の薄膜を補給・形成が可能となり、軸受
の寿命や飛躍的に延ばすことが可能となる。
本発明によれば、真空中で運転される機器の軸受に、潤
滑剤を機器の運転中に必要に応じて、補給・形成できる
ため、機器を長時間にわたり安定に運転することができ
、寿命も飛躍的に伸ばすことができる。
滑剤を機器の運転中に必要に応じて、補給・形成できる
ため、機器を長時間にわたり安定に運転することができ
、寿命も飛躍的に伸ばすことができる。
第１図から第６図までは、それぞれ本発明の実施例を示
す図である。 １・・・潤滑剤、１′ ・シール板、２・絶縁体、３゜
４．５・・・玉、外輪および内輪、６・・シャフト、７
・ケーシング、８・電流、１ｏ・・・ガス供給装置、１
１・・すベリ軸受、１２ ・直動ボールベアリング、１
３・・・スリップリング。
す図である。 １・・・潤滑剤、１′ ・シール板、２・絶縁体、３゜
４．５・・・玉、外輪および内輪、６・・シャフト、７
・ケーシング、８・電流、１ｏ・・・ガス供給装置、１
１・・すベリ軸受、１２ ・直動ボールベアリング、１
３・・・スリップリング。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、真空中で使用される軸受において、摺動部を有する
部材のうち少なくとも１つの部材を導電体で構成し、ま
た軸受の他の部材の１部、あるいは周辺の部材の１部を
軟質金属で構成して、前記摺動部を有する部材を前記軟
質金属との間を絶縁し、さらに前記摺動部を有する部材
と前記軟質金属との間に電流を接続し、両者に間の空間
に電位差を与えて放電を起こすことにより、摺動部を要
する部材の摺動部に軟質金属の膜を補給・形成すること
を特徴とする真空用軸受の潤滑装置。 ２、請求項１記載の潤滑装置において、機器の運転中あ
るいは停止時に間けつ的に放電を起こして軟質金属の膜
を補給・形成することを特徴とする真空用軸受の潤滑装
置。 ３、請求項１または２記載のものにおいて、放電により
軟質金属が軸受以外の部材に付着し、汚染しないようシ
ールド板を設けたことを特徴とする真空用軸受の潤滑方
法。 ４、請求項１乃至３のいずれか一つに記載のものにおい
て、電位差を加えて放電を行う時に、雰囲気圧力を変化
させる手段を有することを特徴とする真空用軸受の潤滑
装置。 ５、請求項１乃至４のいずれか一つに記載のものにおい
て、軸受が玉軸受であることを特徴とする真空用軸受の
潤滑装置。 ６、請求項１乃至６のいずれか一つに記載のものにおい
て、軸受がすベり軸受であることを特徴とする真空用軸
受の潤滑方法。 ７、請求項６記載の潤滑装置において、軸受が受ける相
手面を導電体として軟質金属との間を絶縁し、電源と相
手面との間を通電する手段を設けることにより、軟質金
属と相手間との間の空間に電位差を与えて、相手面に軟
質金属膜を補給形成することを特徴とする真空用軸受の
潤滑装置。 ８、請求項１乃至７のいずれか一つに記載のものにおい
て、前記軟質金属の代りに、固体潤滑剤を用いることを
特徴とする真空用軸受の潤滑装置。 ９、請求項１乃至８のいずれか一つに記載のものにおい
て、前記軟質金属の代りに、高分子系複合材を用いるこ
とを特徴とする真空用軸受の潤滑装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17549289A JP2723980B2 (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 | 真空用軸受の潤滑装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17549289A JP2723980B2 (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 | 真空用軸受の潤滑装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341218A true JPH0341218A (ja) | 1991-02-21 |
| JP2723980B2 JP2723980B2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=15996992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17549289A Expired - Lifetime JP2723980B2 (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 | 真空用軸受の潤滑装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2723980B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4210612A1 (de) * | 1992-03-31 | 1993-10-07 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Ermittlung des Schmierzustandes der Lager einer Maschine |
| JPH1148241A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 成形機の樹脂材料供給装置 |
-
1989
- 1989-07-10 JP JP17549289A patent/JP2723980B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4210612A1 (de) * | 1992-03-31 | 1993-10-07 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Ermittlung des Schmierzustandes der Lager einer Maschine |
| JPH1148241A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 成形機の樹脂材料供給装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2723980B2 (ja) | 1998-03-09 |
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