JPH0893774A - 固体潤滑転がり軸受 - Google Patents
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/66—Special parts or details in view of lubrication
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-
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- F16C2208/30—Fluoropolymers
- F16C2208/32—Polytetrafluorethylene [PTFE]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 運転初期時の潤滑性の安定化を図る。
【構成】 内・外輪１、２の外表面、ボール３の表面、
さらに、ＰＴＦＥ系の高分子材からなる保持器４の外表
面にはそれぞれ結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜１
ａ、２ａ、３ａ、４ａが形成されている。
さらに、ＰＴＦＥ系の高分子材からなる保持器４の外表
面にはそれぞれ結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜１
ａ、２ａ、３ａ、４ａが形成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流体潤滑剤が使用でき
ない特殊環境下で運転される固体潤滑転がり軸受に関す
る。
ない特殊環境下で運転される固体潤滑転がり軸受に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】転がり軸受をグリース、油等の流体潤滑
剤が使用できない特殊環境下（真空や極低温等）で運転
する場合、固体潤滑剤を使用することが多い。固体潤滑
剤としては、金、銀、鉛等の軟質金属、二硫化モリブデ
ン等の層状物質、ＰＴＦＥ、ポリイミド等の高分子が多
く使用されている。これら固体潤滑剤は、通常、内・外
輪の軌道面やボールの表面、あるいは、保持器の接触面
（ポケット面、保持器案内面等）に被膜処理されるが、
保持器をＰＴＦＥ等の高分子材で形成したものもある。
剤が使用できない特殊環境下（真空や極低温等）で運転
する場合、固体潤滑剤を使用することが多い。固体潤滑
剤としては、金、銀、鉛等の軟質金属、二硫化モリブデ
ン等の層状物質、ＰＴＦＥ、ポリイミド等の高分子が多
く使用されている。これら固体潤滑剤は、通常、内・外
輪の軌道面やボールの表面、あるいは、保持器の接触面
（ポケット面、保持器案内面等）に被膜処理されるが、
保持器をＰＴＦＥ等の高分子材で形成したものもある。
【０００３】保持器を高分子材で形成した転がり軸受で
は、保持器の摩耗によって生成される高分子の潤滑粉が
内・外輪の軌道面やボールの表面等に転着して被膜が形
成され、この転着被膜によって潤滑がなされる。高分子
の潤滑粉は保持器から継続的に供給されるので、潤滑剤
の枯渇が生じにくく、良好な潤滑性が長期にわたって維
持されるという特徴がある。
は、保持器の摩耗によって生成される高分子の潤滑粉が
内・外輪の軌道面やボールの表面等に転着して被膜が形
成され、この転着被膜によって潤滑がなされる。高分子
の潤滑粉は保持器から継続的に供給されるので、潤滑剤
の枯渇が生じにくく、良好な潤滑性が長期にわたって維
持されるという特徴がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】保持器を高分子材で形
成した転がり軸受において、高分子の転着被膜が充分に
形成され、良好な潤滑性が発揮されるまでにはある程度
の運転時間が必要である。そのため、使用条件によって
は、運転初期に一時的な潤滑不足を生じる場合がある。
成した転がり軸受において、高分子の転着被膜が充分に
形成され、良好な潤滑性が発揮されるまでにはある程度
の運転時間が必要である。そのため、使用条件によって
は、運転初期に一時的な潤滑不足を生じる場合がある。
【０００５】一方、保持器を高分子材で形成し、さら
に、内・外輪の軌道面やボールの表面に高分子の潤滑被
膜を形成した事例もあるが（例えば、本出願人による特
開平５−１９６０４５号参照）、やはり、良好な潤滑性
が発揮されるまでには若干の運転時間が必要である。
に、内・外輪の軌道面やボールの表面に高分子の潤滑被
膜を形成した事例もあるが（例えば、本出願人による特
開平５−１９６０４５号参照）、やはり、良好な潤滑性
が発揮されるまでには若干の運転時間が必要である。
【０００６】本発明は、保持器を高分子材で形成した固
体潤滑転がり軸受において、運転初期時の潤滑性の安定
化を図ることをその目的とするものである。
体潤滑転がり軸受において、運転初期時の潤滑性の安定
化を図ることをその目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明では、内輪及び外
輪の転がり摩擦又は滑り摩擦を生ずる表面、転動体の表
面、及び、ＰＴＦＥ系の高分子材からなる保持器の滑り
摩擦を生ずる表面にＰＴＦＥの潤滑被膜を形成した。
輪の転がり摩擦又は滑り摩擦を生ずる表面、転動体の表
面、及び、ＰＴＦＥ系の高分子材からなる保持器の滑り
摩擦を生ずる表面にＰＴＦＥの潤滑被膜を形成した。
【０００８】
【作用】保持器に形成されたＰＴＦＥの潤滑被膜は、転
動体（軌道輪案内の保持器では転動体及び軌道輪）との
接触によって削り取られて潤滑粉となる。そして、この
潤滑粉が内・外輪の軌道面、転動体の表面等に転着して
転着被膜を形成し潤滑作用をなす。保持器と転動体等と
の接触は滑り接触であるので、保持器の潤滑被膜は運転
開始から比較的短時間の間に摩耗して転着被膜を形成す
る。そのため、運転初期時から安定した潤滑性が得られ
る。
動体（軌道輪案内の保持器では転動体及び軌道輪）との
接触によって削り取られて潤滑粉となる。そして、この
潤滑粉が内・外輪の軌道面、転動体の表面等に転着して
転着被膜を形成し潤滑作用をなす。保持器と転動体等と
の接触は滑り接触であるので、保持器の潤滑被膜は運転
開始から比較的短時間の間に摩耗して転着被膜を形成す
る。そのため、運転初期時から安定した潤滑性が得られ
る。
【０００９】一方、保持器の潤滑被膜は運転初期時にそ
の殆どが摩耗し、その後は、保持器自体の摩耗によって
ＰＴＦＥの潤滑粉が継続的に供給される。
の殆どが摩耗し、その後は、保持器自体の摩耗によって
ＰＴＦＥの潤滑粉が継続的に供給される。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００１１】図１は、ＬＮＧガス搬送用ポンプ（サブマ
ージドポンプ）に組み込まれる転がり軸受を示してい
る。この種の軸受は、極低温（−１９０°Ｃ程度）の液
体ガス中で運転されるため、流体潤滑剤の使用が不可
で、固体潤滑を行なう必要がある。
ージドポンプ）に組み込まれる転がり軸受を示してい
る。この種の軸受は、極低温（−１９０°Ｃ程度）の液
体ガス中で運転されるため、流体潤滑剤の使用が不可
で、固体潤滑を行なう必要がある。
【００１２】この軸受は、内輪１、外輪２、内・外輪
１、２間に介在する複数のボール３、ボール３を円周等
間隔に保持する保持器４で構成される。保持器４は内輪
案内のもので、ＰＴＦＥを基材とする高分子材（例え
ば、ＮＴＮ精密樹脂社製ベアリーＦＬ３８００等）で形
成されている。
１、２間に介在する複数のボール３、ボール３を円周等
間隔に保持する保持器４で構成される。保持器４は内輪
案内のもので、ＰＴＦＥを基材とする高分子材（例え
ば、ＮＴＮ精密樹脂社製ベアリーＦＬ３８００等）で形
成されている。
【００１３】また、内・外輪１、２の外表面、ボール３
の表面、さらに、保持器４の外表面にはそれぞれ結晶性
のＰＴＦＥからなる潤滑被膜１ａ、２ａ、３ａ、４ａが
形成されている。ここで、「結晶性のＰＴＦＥからなる
潤滑被膜」とは、スパッタリング処理被膜のようにＰＴ
ＦＥの分子構造（結晶構造）が細分化されていないもの
をいい、例えば、平均分子量が５０００以下のＰＴＦＥ
の分散液（日本アチソン製ＡＲＣ７等）を被膜形成面に
スプレーして付着させることにより、あるいは、ＰＴＦ
Ｅの分散液に軸受部品又は軸受完成品を浸漬することに
より形成することができる。潤滑被膜１ａ、２ａ、３
ａ、４ａの平均被膜厚さは約０．６μｍ程度である。た
だし、図１では被膜厚さをかなり誇張して示してある。
の表面、さらに、保持器４の外表面にはそれぞれ結晶性
のＰＴＦＥからなる潤滑被膜１ａ、２ａ、３ａ、４ａが
形成されている。ここで、「結晶性のＰＴＦＥからなる
潤滑被膜」とは、スパッタリング処理被膜のようにＰＴ
ＦＥの分子構造（結晶構造）が細分化されていないもの
をいい、例えば、平均分子量が５０００以下のＰＴＦＥ
の分散液（日本アチソン製ＡＲＣ７等）を被膜形成面に
スプレーして付着させることにより、あるいは、ＰＴＦ
Ｅの分散液に軸受部品又は軸受完成品を浸漬することに
より形成することができる。潤滑被膜１ａ、２ａ、３
ａ、４ａの平均被膜厚さは約０．６μｍ程度である。た
だし、図１では被膜厚さをかなり誇張して示してある。
【００１４】潤滑被膜１ａ、２ａ、４ａは、図１では内
・外輪１、２の外表面全体、保持器４の外表面全体に形
成されているが、図２では内・外輪１、２の転がり摩擦
又は滑り摩擦を生ずる表面、保持器４の滑り摩擦を生ず
る表面にのみ、すなわち、内・外輪１、２の軌道面、内
輪１の案内面、保持器４のポケット面および保持器案内
面にのみ形成されている。このように、嵌合面等の潤滑
被膜が本来不要な部分については、マスキングによって
被膜処理を施さない、あるいは、最終製品となる前に除
去するようにすると良い。
・外輪１、２の外表面全体、保持器４の外表面全体に形
成されているが、図２では内・外輪１、２の転がり摩擦
又は滑り摩擦を生ずる表面、保持器４の滑り摩擦を生ず
る表面にのみ、すなわち、内・外輪１、２の軌道面、内
輪１の案内面、保持器４のポケット面および保持器案内
面にのみ形成されている。このように、嵌合面等の潤滑
被膜が本来不要な部分については、マスキングによって
被膜処理を施さない、あるいは、最終製品となる前に除
去するようにすると良い。
【００１５】尚、本発明は図１および図２に示すような
深溝玉軸受に限らず、広く転がり軸受一般に適用するこ
とができる。また、保持器４は内輪案内に限らず、外輪
案内、転動体案内方式でも良く、さらに、潤滑被膜１
ａ、２ａ、３ａ、４ａはスパッタリング処理被膜でも良
い。
深溝玉軸受に限らず、広く転がり軸受一般に適用するこ
とができる。また、保持器４は内輪案内に限らず、外輪
案内、転動体案内方式でも良く、さらに、潤滑被膜１
ａ、２ａ、３ａ、４ａはスパッタリング処理被膜でも良
い。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
内輪及び外輪の転がり摩擦又は滑り摩擦を生ずる表面、
転動体の表面、及び、ＰＴＦＥ系の高分子材からなる保
持器の滑り摩擦を生ずる表面にＰＴＦＥの潤滑被膜を形
成したので、運転初期時から安定した潤滑性が得られ
る。
内輪及び外輪の転がり摩擦又は滑り摩擦を生ずる表面、
転動体の表面、及び、ＰＴＦＥ系の高分子材からなる保
持器の滑り摩擦を生ずる表面にＰＴＦＥの潤滑被膜を形
成したので、運転初期時から安定した潤滑性が得られ
る。
【図１】本発明の実施例に係わる深溝玉軸受を示す断面
図である。
図である。
【図２】図１の軸受において、嵌合面等に潤滑被膜が形
成されていない状態を示す断面図である。
成されていない状態を示す断面図である。
１ 内輪 １ａ 潤滑被膜 ２ 外輪 ２ａ 潤滑被膜 ３ ボール ３ａ 潤滑被膜 ４ 保持器 ４ａ 潤滑被膜
Claims (1)
- 【請求項１】 内輪及び外輪の転がり摩擦又は滑り摩擦
を生ずる表面、転動体の表面、及び、ＰＴＦＥ系の高分
子材からなる保持器の滑り摩擦を生ずる表面に、ＰＴＦ
Ｅの潤滑被膜を形成したことを特徴とする固体潤滑転が
り軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6225446A JPH0893774A (ja) | 1994-09-21 | 1994-09-21 | 固体潤滑転がり軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6225446A JPH0893774A (ja) | 1994-09-21 | 1994-09-21 | 固体潤滑転がり軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0893774A true JPH0893774A (ja) | 1996-04-09 |
Family
ID=16829490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6225446A Pending JPH0893774A (ja) | 1994-09-21 | 1994-09-21 | 固体潤滑転がり軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0893774A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1008775A3 (en) * | 1998-12-11 | 2001-07-11 | SKF INDUSTRIE S.p.A. | A sealing device for bearings |
| DE10110915A1 (de) * | 2001-03-07 | 2002-09-12 | Ina Schaeffler Kg | Käfig für ein Wälzlager |
| WO2004048825A1 (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-10 | Nippon Valqua Industries, Ltd. | グランドパッキン及びその製造方法 |
| DE10259003A1 (de) * | 2002-12-16 | 2004-06-24 | Myonic Gmbh | Wälzlager mit integriertem Schmiermaterial |
| CN100359191C (zh) * | 2003-03-04 | 2008-01-02 | 丁树华 | 一种非金属轻载滚动轴承 |
| DE112007000436T5 (de) | 2006-03-08 | 2009-01-15 | Ntn Corp. | Wälzlager und Verfahren zur Herstellung desselben |
| US7806596B2 (en) * | 2007-08-31 | 2010-10-05 | Hamilton Sundstrand Corporation | High speed bearing system with bind-free axial displacement |
| US20120272786A1 (en) * | 2010-10-22 | 2012-11-01 | Cooligy Inc. | activation mechanism for a liquid cooled rack |
-
1994
- 1994-09-21 JP JP6225446A patent/JPH0893774A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1008775A3 (en) * | 1998-12-11 | 2001-07-11 | SKF INDUSTRIE S.p.A. | A sealing device for bearings |
| DE10110915A1 (de) * | 2001-03-07 | 2002-09-12 | Ina Schaeffler Kg | Käfig für ein Wälzlager |
| DE10110915B4 (de) * | 2001-03-07 | 2010-04-01 | Schaeffler Kg | Käfig für ein Wälzlager |
| WO2004048825A1 (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-10 | Nippon Valqua Industries, Ltd. | グランドパッキン及びその製造方法 |
| DE10259003A1 (de) * | 2002-12-16 | 2004-06-24 | Myonic Gmbh | Wälzlager mit integriertem Schmiermaterial |
| CN100359191C (zh) * | 2003-03-04 | 2008-01-02 | 丁树华 | 一种非金属轻载滚动轴承 |
| DE112007000436T5 (de) | 2006-03-08 | 2009-01-15 | Ntn Corp. | Wälzlager und Verfahren zur Herstellung desselben |
| US8172463B2 (en) | 2006-03-08 | 2012-05-08 | Ntn Corporation | Rolling bearing with a ceramic coating and method for manufacturing the same |
| US7806596B2 (en) * | 2007-08-31 | 2010-10-05 | Hamilton Sundstrand Corporation | High speed bearing system with bind-free axial displacement |
| US20120272786A1 (en) * | 2010-10-22 | 2012-11-01 | Cooligy Inc. | activation mechanism for a liquid cooled rack |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040322 |