JPH0341471Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 考案の技術分野 本考案は、ウエハなどの半導体部品を必要な高
クリーン度で保管することのできるクリーン格納
庫に関するものである。

従来技術 一般に、保管庫本体内に配設された無端状の搬
送手段に一定間隔をおいて棚を取り付け、この搬
送手段を介して複数の棚を垂直方向に回転させる
ようにした、いわゆるたて型移動棚方式を採用し
たものとして、書類の整理収納を目的とする保管
庫が既に実用化されている。このようなたて型移
動棚方式の保管庫によれば、従来の固定棚方式の
ものに比べて高い位置の空間内にも多数の書類を
収納保管することができ、収納効率を大幅に改善
することができる。

ところで、前記保管庫は、単に書類の整理収納
のために使用することを目的として製作されたも
ので、したがつて、これをそのままウエハなどの
半導体部品の保管庫として使用することはできな
い。すなわち、ウエハなどの半導体部品は、空気
中の微粒子や雑菌などの付着を避け、精密で高品
質の製品を作りだすために、清浄空間いわゆるク
リーンルームで、清潔な作業環境のもとに加工さ
れ、かつ組み立てられる必要がある。しかしなが
ら、従来の保管庫の構造では、清浄空間を保てる
ような構成とはなつておらず、これを半導体部品
の保管庫として使用した場合、その周囲のごみが
半導体部品に付着し悪影響を及ぼす。このような
理由から、従来の保管庫は、そのままでは半導体
部品の保管庫として使用するには適さなかつた。

考案の目的 したがつて、本考案の目的は、ウエハなどの半
導体部品を必要な高クリーン度で保管することの
できるクリーン格納庫を提供するにある。

考案の概要 そこで、本考案は、格納庫本体内で多数の箱型
の移動棚を垂直方向に回転したりあるいは昇降す
るように構成されたいわゆるたて型移動棚方式を
採用したクリーン格納庫において、格納庫本体内
に下向きの空気流を発生させておくとともに、前
記移動棚の外側に送風機を取り付け、格納庫本体
内の空気を移動棚内のフイルター上流側に強制的
に送り込むようにした。したがつて、移動棚の周
囲にごみ等が発生したとしても、そのごみは移動
棚のフイルターによつて排除されるため、移動棚
に保管された半導体部品に付着するようなことは
ない。また、移動棚には送風機により常に空気が
送られているため、その内部は予圧された状態と
なつており、格納庫本体内の空気がこの移動棚の
開口面から内部に流入することは極力阻止され
る。したがつて、以上の構成により半導体部品は
ごみの発生の影響を直接受けない。

一方、格納庫本体に設けられた搬入出口の上端
側に吸引固定部材が設けられており、搬入出口の
位置にきた移動棚を吸引固定部材の内部負圧によ
る吸引力で固定し、かつ移動棚の開口部の上縁を
あたかもひさしのように覆うようになつているの
で、移動棚内の半導体部品を格納庫内の空気流に
直接触れない状態で、搬入、搬出することができ
る。

実施例の構成 以下、図に示す実施例を用いて本考案の詳細を
説明する。

第１図ないし第３図は本考案に係わるクリーン
格納庫１を示すものである。このクリーン格納庫
１は、例えばクリーンルーム内に設置された格納
庫本体２により組み立てられている。そして、こ
の実施例の格納庫本体２の上端面および下底面側
は、一例として、開口した構造となつており、ク
リーンルーム内の清浄な空気が上端側から下端側
に向けて流れている。また、この格納庫本体２の
正面側の所定の位置には搬入出口３が設けられて
いる。この搬入出口３は、格納庫本体２に上下方
向に摺動自在に取り付けられた開閉蓋４および図
示しない公知の自動開閉機構によつて開閉される
ようになつている。また、前記搬入出口３の内側
上縁側には、この搬入出口３の長手方向全域にわ
たつて、さらに左右の開口縁の上端部を被うよう
に、吸引固定部材５が配設固定されている。すな
わち、この吸引固定部材５は、第３図に詳細に示
すように、中空状に形成されているとともに、そ
の上面およびその背面側にはそれぞれ孔６，７が
設けられている。そして、吸引固定部材５の上面
側に設けられた孔６には、吸引パイプ８が接続さ
れており、さらにこの吸引パイプ８は、図示しな
い吸引源に連結されている。したがつて前記吸引
源を作動させることによつて、前記吸引固定部材
５の内部は、負圧状態に設定されることになり、
前記吸引固定部材５の背面側に設けられた孔７を
介して移動棚９の前面を吸引固定部材５側に吸引
力により引き寄せて固定することができる。な
お、前記吸引固定部材５の背面側には、孔７の上
下に位置するようにしてパツキン等の弾性部材１
８が設けられており、この吸引固定部材５は移動
棚９を吸引固定する際のクツシヨンおよび気密保
持の役目を果たしている。

この移動棚９は、前面開口の箱型であり、第２
図に詳細に示すように、前記格納庫本体２内に、
左右の垂直面上で回転駆動し得るよう配設された
搬送手段、本実施例においては左右一対の無端状
のチエーン１１に、各移動棚９の重心位置より上
の部分で支軸１１ａにより回動自在に取り付けら
れた構成となつている。また、前記移動棚９は、
チエーン１１の適宜位置に一定間隔おきに取り付
けられており、チエーン１１の回転駆動によつ
て、所定の移動棚９が前記格納庫本体２の搬入出
口３の位置まで循環しながら割り出されるように
なつている。なお、第２図に示すように、前記チ
エーン１１は、格納庫本体２の内部で、上下のチ
エーンホイール１６，１７に巻き掛けられてお
り、駆動側のチエーンホイール１６をモータ（図
示せず）で回転駆動することによつて、垂直方向
に回転し得るようになつている。

一方、前記移動棚９の正面側に開口部１５が形
成されており、その底部には、第１図に示すよう
に、ウエハ等の半導体部品１０を収容したカセツ
ト１０ａが例えば４つ配列できるようになつてお
り、かつ移動棚９の内部には、半導体部品１０の
上部に位置するごとくしてフイルター１２が配設
されている。さらにこのフイルター１２より上方
側には、送風出口１３（第３図参照）が穿設され
ている。この送風出口１３は、送風機１４の吐出
口につながつており、この送風機１４は、第１図
に示すごとく、前記移動棚９の一側面側に取り付
け固定されている。なお、この送風機１４は、常
時作動した状態にあり、したがつて格納庫本体２
内の空気、つまり移動棚９の外部の空気は、この
送風機１４によつて移動棚９の内部のフイルター
１２の上流側の部分に送り込まれ、さらにフイル
ター１２を通つて半導体部品１０側に送り込まれ
るようになつている。

実施例の作用 次に、以上のように構成されたクリーン格納庫
１の作用について説明する。

既述の通り、格納庫本体２内には、常にその上
端側から下端側に向けて空気が流れているが、こ
の空気は、送風機１４から移動棚９のフイルター
１２の上部内に取り入れられ、さらにこのフイル
ター１２を通つて半導体部品１０側へ流れ込み、
最終的にクリーンルームの床下に流れるようにな
つている。したがつて、この半導体部品１０へは
清浄な空気のみが流れ込むことになる。また、こ
の状態で、移動棚９の開口部１５を通つて移動棚
９内へ移動棚９の外部のクリーン度の低い空気が
流れ込むことも考えられるが、移動棚９内には送
風機１４から常時空気が送り込まれており、予圧
された状態となつているので、外部からの空気は
この移動棚９内には流れ込みにくい。したがつて
移動棚９内の半導体部品１０には汚染された空気
は、開放状態の開口部１５の存在下でも、流れ込
まないようになつている。

搬入または搬出作業に際し、まず、必要とする
移動棚９を格納庫本体２の搬入出口３の位置まで
もつてくるためにチエーンホイール１６を回転駆
動させる。なお、このチエーンホイール１６は、
作業員の判断により、または図示しない制御手段
によつてその回転方向および回転量が制御される
ようになつており、必要な移動棚９を搬入出口３
の位置までもつてくるとき、必要に応じ、搬送距
離が最短距離となるように、その回転方向を制御
することもできる。

次に、必要とする移動棚９が搬入出口３の位置
まで搬送されてきたとき、制御系によつて、図示
しない吸引源を作動させる。すると、吸引固定部
材５の内部には負圧が発生し、この負圧吸引力に
よつて、搬入出口３に割り出された移動棚９の上
部正面板９ａ（第３図参照）を吸引固定部材５側
に引き寄せ、前記負圧吸引力で移動棚９を吸引固
定部材５の背面に押し当てて固定する。この後、
搬入出口３を閉じた状態にある開閉蓋４を開い
て、移動棚９の底部に、例えば半導体装置から搬
送されてくる工程処理後の半導体部品１０を収容
したカセツト１０ａを納めるか、あるいは、逆に
この移動棚９の底部に処理前のカセツト１０ａが
収納されている場合は、その処理前のカセツト１
０ａを取り出して各半導体加工装置へ供給する。
この搬出入作業は、人または走行ロボツトにより
行われる。この搬出入作業中に、上方からの空気
流が搬入出口３から外部に出ようとしたり、また
開口部１５から移動棚９の内部に入ろうとする
が、それらの上方に吸引固定部材５があつて、こ
れが空気の流れをしや断し、両側に案内している
ため、上方からの空気流は、搬入出中の半導体部
品１０に直接触れず、それらを汚すこともない。
このようにして、クリーン格納庫１は、半導体の
製造工程において、各工程のバツフアストツクと
しての役目を果たす。

他の実施例 なお、上述した実施例においては、搬送手段と
して無端状のチエーン１１を採用した例を述べた
が、搬送手段は回転方式ではなく、棚を昇降させ
るようにした、いわゆるエレベータ方式を採用し
た構造であつてもよい。

また、吸引固定部材５は、搬入出口３を完全に
とり囲む形状のものであれば、汚染防止の観点か
らなおよい。また、格納庫本体２内に、上方から
下向きの空気流があれば、汚染防止効果が高くな
るが、それは、なくてもよい。また、その空気流
は、上記実施例のように、クリーンルーム内の空
気流をそのまま利用してもよく、また格納庫本体
２に専用の清浄空気循還装置を付設してもよい。

考案の効果 以上説明したように本考案に係わるクリーン格
納庫によれば、搬送手段の適宜位置に取り付けら
れた移動棚の外側に送風機を固定し、この送風機
から移動棚内に送り込まれる空気がフイルターを
通つて半導体部品側へ流れ込むよう構成されてい
るので、ウエハなどの半導体部品の収納空間つま
り移動棚の内部を高クリーン領域に維持でき、半
導体部品が汚染される心配がなくなつた。したが
つて、半導体の製造工程において、各工程のバツ
フアストツクとして半導体部品を必要な高クリー
ン度で保管することが可能となつた。特に、本ク
リーン格納庫を走行型クリーンロボツトと組み合
わせて使用すれば発塵源である人間を不要にでき
るので、半導体製造の生産性の大幅な向上を図る
ことができる。また、搬入出口の位置にきた移動
棚は、吸引固定部材により搬入出作業中に渡つて
固定されるので、その移動棚に対する半導体部品
の搬入、搬出を移動棚の安定な状態で、迅速かつ
確実に行え、しかもその作業中に部品がクリーン
度の低い空気流に直接さらされることもないの
で、搬入出中の汚染もなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係わるクリーン格納庫の一実
施例を示す正面図、第２図は同クリーン格納庫の
一部破断側面図、第３図は同クリーン格納庫の一
部拡大断面図である。 １……クリーン格納庫、２……格納庫本体、３
……搬入出口、５……吸引固定部材、９……移動
棚、１０……半導体部品、１１………チエーン、
１２……フイルター、１４……送風機。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 正面に搬入出口を有する格納庫本体と、この格
   納庫本体内に配設された搬送手段と、この搬送手
   段の適宜位置に取り付けられかつ内部にはフイル
   ターが配設された複数の移動棚と、この移動棚の
   外側に固定されかつ格納庫本体内の空気を前記移
   動棚内のフイルター上流側に強制的に送り込む送
   風機と、前記格納庫本体に設けられた搬入出口の
   上端側に固定されかつ搬入出口の位置に来た移動
   棚を内部負圧の吸引力により固定する吸引固定部
   材とを備えたことを特徴とするクリーン格納庫。