JPH0341679A - 磁気ヘッドスライダ支持機構 - Google Patents

磁気ヘッドスライダ支持機構

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JPH0341679A
JPH0341679A JP1175491A JP17549189A JPH0341679A JP H0341679 A JPH0341679 A JP H0341679A JP 1175491 A JP1175491 A JP 1175491A JP 17549189 A JP17549189 A JP 17549189A JP H0341679 A JPH0341679 A JP H0341679A
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若月 耕作
Shoji Suzuki
昇二 鈴木
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岡本 紀明
Yoshihiko Miyake
三宅 芳彦
Yuzo Yamaguchi
雄三 山口
Katsuaki Kikuchi
勝昭 菊地
Mikio Tokuyama
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気ヘッドスライダの支持装置、磁気ヘッドス
ライダ、磁気ディスク装置及びその製造方法に係り、特
に粘着を防止するオートローディング機構と塵埃除去機
構を有するガイドアームを備えた磁気ヘッドスライダ支
持装置、磁気ヘッドスライダ、磁気ディスク装置に関す
る。
〔従来の技術〕
磁気ディスク装置の高密度化・高信頼性化を達成するた
めには、磁気ディスク装置の非作動時に生じる磁気ヘッ
ドスライダと磁気ディスク間の粘着を防止すること、磁
気ディスク装置内に存在する塵埃等の微粒子を除去し、
ヘッドクラッシュと呼ばれる磁気ヘッドスライダと磁気
ディスクとの接触事故を回避す゛ることか極めて重要な
課題とむっている。
従来、粘着を防止することを目的としたエアーロデイン
グ機構としては1例えば、特開昭55−90795号公
報に記載されているように、磁気ディスクの回転に伴う
磁気ディスク円板間の空気流を磁気ヘッドスライダや支
持バネ構造体の背面に吸き付けてローディングさせる方
法が知られている。
また別の従来例として例えば特開昭59−104769
号公報に記載されているように、磁気ヘッドスライダの
背面に設けた袋状弾性体や粘弾性膜に空気を送り、ロー
ディングさせる方法がある。
また、塵埃を除去する手段としては例えば、特開昭63
−161514号公報に記載されているように磁気ヘッ
ドスライダのフラットレール部から背面にわたって貫通
する気体流通孔より排出された塵埃等を含んだ気体を、
吸入孔を穿孔したプローブを用いて捕捉し排除する方法
がある。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが上記従来技術は、磁気ディスク装置の信頼性向
上を図る上で問題となる前述の項目のうちどちらか一方
しか配慮がなされておらず (ji気ディスク装置の信
頼性の面において問題があった。
本発明の目的は、前述の粘着防止と磁気ヘッドスライダ
と磁気ディスクの接触による発成防止及び塵埃除去の問
題を同時に解決することを可能とした磁気ヘッドスライ
ダ支持装置を提供することにある。
また1本発明の他の目的は、前述の磁気ヘッドスライダ
支持装置に好適な磁気ヘッドスライダを提供することに
ある。
また、本発明の他の目的は、磁気ディスク装置内に存在
する塵埃等の微粒子を除去することが可能なガイドアー
ムを用いた磁気ディスク装置及びその製造方性を提供す
ることにある。
また1本発明の他の目的は、特に粘着を防止するオート
ローディング機構を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記粘着と塵埃防止の目的を達成するために。
磁気ヘッドスライダ支持手段に磁気ヘッドスライダの磁
気記録媒体と対向する部分に開口部を有する中空内部と
、開口部から中空内部に導入される気体を外部に移動す
る気体流通路を配設することにより達成される。
また、上記の目的を達成する磁気ヘッドスライダは、複
数のヘッド端子を配置位置を変えることにより達成され
る。
また、ローディング時、気体流通路に連通して配設され
た吸引手段を制御することにより、達成される。また、
粘着防止と塵埃除去を可能とした磁気ディスク装置は、
前述の磁気ヘッドスライダ支持手段と、吸引手段を備え
ることにより達成される。
〔作用〕
磁気ヘッドスライダの背面方向の圧力をP、媒体対向面
の圧力をPoとすると、その差圧Po−Pと磁気ヘッド
スライダの媒体対向面の面積A乗じた値Foを磁気ヘッ
ドスライダ加わる負荷4重下より大きくすることによっ
て、オートローディングが可能となる。また、ここで磁
気ヘッドスライダの浮上時に、背面方向の圧力を調整し
、磁気ヘッドスライダと開口部の隙間より移動する気体
を補集することによって、その気体中に含まれている塵
埃等の微粒子を補足することが可能となる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第1図及び第2図は本発明の一実施例における支持手段
としてのガイドアームの平面図及び斜視図である。磁気
ヘッドスライダ1は弾性的に支持するための支持バネ構
造体2に取付けられ、ガイドアーム3に固定されている
。さらにその上から遮蔽板4がガイドアーム3に固定さ
れている。遮蔽板4は、この磁気ヘッドスライダ1の磁
気記録媒体対向面となる部分に磁気ヘッドスライダlの
動きを拘束しない程度の大きさの開口部31が設けられ
ておりこの開口部31から磁気ヘッドスライダ1がわず
かに突出するようになっている。気体の流通路となるパ
イプ5は、遮蔽板4の開口部31の隙間からガイドアー
ムの中空内部32に導いた気体をフレキシブルチューブ
等を介して磁気ディスク装置内の圧力勾配部あるいは外
部の圧力勾配を発生させる手段に導くものであり、ガイ
ドアーム3の側面に取付けられる。
このガイドアーム3の作用を負圧発生機構を有する磁気
ヘッドスライダを用いて説明すると、第3図のように、
遮蔽板4の開口部31と磁気ヘッドスライダ1との隙間
から磁気ディスク装置内の塵埃等を含んだ気体が、圧力
勾配を発生させる手段によってガイドアーム3の中空内
部へ導かれる。
また、磁気ヘッドスライド1の気体ベアリング発生部す
なわちフラットレール部7で圧縮された後、負圧テーパ
部8で再膨張した気体の一部も共に導かれる。ここで5
モノリシツクヘッドスライダ1や磁気記録媒体である磁
気ディスク9の塗膜表面の突起を除去し、平滑化させる
工程に用いられるバニッシュスライダにおいても同様の
効果が得られる。
第4図はフラットレール部7から浮上面の背面にわたっ
て貫通する気体流通孔10を設けた磁気ヘッドスライダ
1を用いた例である。この磁気ヘッドスライダ1は1回
転する磁気ディスク9の表面に付着した塵埃等がフラッ
トレール部7の下に侵入すると、気体ベアリング作用を
発生する浮上面で圧縮された気体の圧力と気体流通孔1
0の大気圧との圧力差により、浮上面の背面に流出させ
る作用があるため、さらに大きな効果が得られる。
第5図は本発明の磁気ヘッドスライダ支持装置の他の実
施例である。この場合ガイドアーム3先端部の枠体30
に上方及び下方から開口部31を有する遮蔽板4を取付
けることにより、ガイドアーム3内部に気体流通路33
を形成するもので。
第1図に示すガイドアーム側面に取り付けられるパイプ
5の役目を、ガイドアーム自身にもたせることができる
第6図は第1図、第2図に示す実施例のような遮蔽板4
を取り付けるかわりに、ガイドアーム3先端部の枠体3
0に、開口部31を有する袋状のカバー11をかぶせる
ことによって気体流通路33を形成するものである。ま
た、第7図に示す実施例は1分割されたガイドアーム3
をそれぞれ組合わせることによって気体流通路33を形
成するものである。
磁気ディスク装置は、高密度化を図るために、一般に複
数枚の磁気ディスクが積層されて構成されている。第8
図はこれに対応したものである。
ガイドアームは第5図、第6図及び第7図に示すように
内部に気体流通路33を有するもので、それぞれ積層さ
れて、アームホルダ12に取付けられる。ガイドアーム
3の気体排出口の間は気体流通路を有するパツキン13
によって密封されており、それぞれの開口部31と磁気
ヘッドスライダ1の隙間から吸引される気体を一個所の
パイプから引き出せるような構造となっている。
ここで、本発明のガイドアームに従来の磁気ヘッドスラ
イダを用いる場合、薄膜ヘッド端子に取付けられるリー
ド線は、端子から垂直に引き出されるため、開口部と接
触し、磁気ヘッドスライダの動きを拘束してしまうこと
がある。第9図、第10図、第11図及び第12図に示
すものは、その問題点に対応したものである。第9図に
示す例は磁気ヘッドスライダ1に搭載した薄膜ヘッド端
子14からのリード線15を磁気ヘッドスライダ1の背
面方向に導き、エアーローディングのための開口部31
をほぼ磁気ヘッドスライダ■と同じ長方形に形成できる
ようにしたものである。
第10図に示す例は2つの薄膜ヘッド端子14のうち、
フラットレール部7が形成された浮上面側の端子14を
磁気ヘッドスライダ本体の気体流れ方向に直交する方向
に対して中央側に設け、背面側の端子14を距離aだけ
外側に設けている。
これにより、浮上面側の端子14からも直線背面方向に
リード線15を引きだすことができる。
第11図に示す例は磁気ヘッドスライダ1の幅方向に長
い薄膜ヘッド端子14を磁気ヘッドスライダ1の幅方向
にぼぼ一列に並べている。このように構成してもリード
線を背面方向に引き出すことが可能である。また、この
ような構造では、磁気ヘッドスライダ1の厚さを薄くす
ることができ、磁気ヘッドスライダ1の質量の軽減及び
同一ウェハから多数の磁気ヘッドスライダ1を作ること
が可能である。
第12図に示す例は、薄膜ヘッド端子14を浮上面から
01.θ2傾けて設けている。本形状によってもリード
線を磁気ヘッドスライダ背面方向に引き出すことができ
、また、θl、θ2を45°程度に取ることにより、磁
気ヘッドスライダ1の厚さを厚くすることなしに目的を
達成することができる。
第13図は本発明の磁気ヘッドスライダ支持装置を用い
た磁気ディスク装置の一例であり、磁気ディスク装置は
、磁気ディスク9と、磁気ディスク9と相対運動する磁
気ヘッドスライダを支持する支持バネ構造体を配設する
ガイドアーム3を枠体内に収めた磁気ディスク装置本体
19を備え、これに気体吸引用及び気体導入用として1
例えば真空ポンプなどの吸引手段16及びフィルタなど
のろ過手段18が配設されている。この吸引手段16の
吸入側は、前記のパイプ5に連通しており。
また、吐出側は磁気ディスク装置本体19の磁気ディス
ク設置部内に連通している。これにより第14図、第1
5図及び第16図に示すような動作が可能である。第1
4図に示すように、アンロード時には、磁気ヘッドスラ
イダ1は磁気ディスク9の面外に設置されている。この
時、支持バネ構造体2はバネ力によって変形するが、そ
の一端は開口部31と接触し支えられるため、対向する
磁気ヘッドスライダ同士が衝突することはない。また、
第15図に示すようにロード時には、真空ポンプなどの
吸引手段16によりガイドアーム3の中空内部32の圧
力を調整し、磁気ヘッドスライダ1を背面方向に持ち上
げる。磁気ディスクが定常回転に立上った時点で、磁気
ヘッドスライダ1を磁気ディスク9の面内に移動させ、
吸引手段16の吸引力を調整してガイドアーム3の中空
内部32を所望の圧力まで解放し、磁気ヘッドスライダ
1を磁気ディスク面上に浮上させる。この時。
圧力変化を緩やかにすることで磁気ディスク9に接触す
ることなく、滑らかに浮上させることができる。そして
、磁気ヘッドスライダ1の浮上姿勢に影響を与えない程
度の圧力に設定し、開口部31と磁気ヘッドスライダ1
の隙間からガイドアーム内に気体を吸収する。ガイドア
ーム3の中空内部32に導かれた気体は、パイプ5.フ
レキシブルチューブ17等の気体流通路を通り、真空ポ
ンプ等の吸引手段16に吸引される。吸引された気体は
再び排出され、その後フィルタ等のろ過手段18によっ
て塵埃を捕捉された清浄な気体は、再度磁気ディスク装
置本体19内に戻される。このほか、第16図に示すよ
うに、磁気ヘッドスライダ1の浮上時、つまり清浄中は
、外部の吸引手段16とろ過手段18を使用せず、磁気
ディスク装置内部の圧力勾配部を利用し、内部のろ過手
段18に導びき塵埃を捕捉することも可能である。
また、磁気ディスク装置の起動時に、磁気ディスクの回
転を定常回転より下げることによって磁気ヘッドスライ
ダlの浮上量を所望の浮上量に設定し、所定回数シーク
動作を行ないながら磁気ディスク上の塵埃を除去し、そ
の後、磁気ディスク9を定常回転に立上げ通常のアクセ
スを行なうことも可能である。
さらに、磁気ディスク装置の起動停止時には。
磁気ヘッドスライダは磁気ディスク9に接しており、起
動前にガイドアーム3内に乾燥した気体あるいは熱風を
送り粘着を解除させた後起動させることもできる。その
熱源は、図示はされていないが、シーク機構系を駆動さ
せるボイスコイルモータのコイルとすることも可能であ
る。磁気ディスク装置を起動停止させる場合には、前述
の逆の手順をふまえればよい。以上説明した磁気ディス
ク装置において、磁気ヘッドスライダの浮上量は、磁気
ディスク9の回転速度や吸引手段16の吸引圧力を変え
ることにより行われる。
即ち、第17図において磁気ヘッドスライダ1に加わる
負荷荷重をF、磁気ヘッドスライダ1の背面方向の圧力
及びディスク対向面方向の圧力をP及びPO、磁気ヘッ
ドスライダ1のディスク対向面の面積をAとした場合、
磁気ディスク回転時A(Pa−P)>F のとき、磁気
ヘッドスライダ1は浮上する。ここで、Pl)は磁気デ
ィスク9の回転速度が決まり、Pは吸引手段の吸引圧力
で決まるものである。
このように、磁気ディスク装置の起動停止時、磁気ヘッ
ドスライダ1に対し、コンタクト・スタート・ストップ
動作(CSS動作)を行う必要がないため塵埃及び粘着
による磁気ディスクの損傷。
支持バネ構造体の破損等を事実上回避することが可能と
なり、磁気ディスク装置の信頼性を大幅に向上させるこ
とができる。また、付随効果として、支持バネ構造体2
がガイドアーム3の中空内部32に収納されているため
、風孔による磁気ヘッドスライダ1の浮上量変動の低減
を図ることができ、安定した出力を得ることができる。
第18図は、筺体20に収納された磁気ディスク装置本
体19に、吸引手段16とろ過手段18を連結した例で
ある。このように、それぞれ複数の磁気ディスク装置1
9を一つの吸引手段とろ過手段とに接続することによっ
て、筺体20の設置スペースの低減を図ることができる
第19図は、制御装置22を含む磁気ディスク装置の平
面図である。吸引手段16は、その吸引側がガイドアー
ム3の中空内部に連通されている。
この吸引手段16は、ダストカウンタ21を内蔵してお
り、!!埃を含んだ気体は、フレキシブルチューブ17
を介してダストカウンタ21に導かれる。ダストカウン
タ21は塵埃量を測定し、その情報は制御装置22に送
られる。制御装置22において、ダストカウンタ21t
’1lll定されたデータとあらかじめ設定されたデー
タとの比較演算を行ない、その結果を磁気ディスク装置
のステータス情報としてホスト制御装置25に送る。こ
の情報をもとに塵埃量が許容値を越えると判断される場
合には、ホスト制御装置25より異常状態を知らせると
同時に、吸引手段16に命令を出し、ガイドアーム3の
中空内部の圧力を清浄時より下げ磁気ヘッドスライダを
アンロード状態にする。そして、シーク機構系23に命
令を与え、磁気ヘッドスライダを磁気ディスク9の面外
に移動させ、回転機構系24を停止させることも可能で
ある。
なお、上記の説明では、ダストカウンタ21を吸引手段
(6内に有する構造について説明したが。
吸引手段16とダストカウンタ21が別個に配設される
ものでもよいのは言うまでもない。また、ここでは磁気
ヘッドスライダの支持系としてワトラス形を例に用いた
が、その支持系の形状及び支持方法は限定されるもので
はない。またガイドアーム、遮蔽板及びカバーの材質に
関しても限定されるものではない。さらに、同一ガイド
アームに設けられる磁気ヘッドスライダの数についても
限定されるものではない。
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明によれば、高信頼性化を図る
上で障害となる粘着と塵埃の問題を同時に解決すること
ができる磁気ディスク装置を提供することができる。
また、本発明によれば、粘着と塵埃停止を可能とした簡
単な構造の磁気ヘッドスライダ支持装置を提供すること
ができる。
また1本発明によれば、粘着の防止が可能なオートロー
ディング機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】 第1図は、本発明の磁気ヘッドスライダ支持装置の一実
施例におけるガイドアームの平面図第2図は第1図の断
面図、第3図は負圧スライダを用いた場合の作用を説明
する図、第4図は浮上面に気体流通孔を設けた磁気ヘッ
ドスライダを用いた作用を説明する図、第5図、第6図
及び第7図は本発明の磁気ヘッドスライダ支持装置の他
の例の分解斜視図、第8図は複数個のガイドアームを−
体に取り付けた場合の気体流通経路の一例を示す図、第
9図はリード線を磁気ヘッドスライダの直線背面方向に
取り付けた場合の構造図、第10図。 第11図及び第12図は薄膜ヘッド端子の取り付は位置
を示す図、第13図は本発明の磁気ヘッドスライダ支持
装置を備えた磁気ディスク装置の他の例の構成図、第1
4図、第15図、第16図及び第17図は第13図にお
けるオートローディング174の作用を説明する図、第
18図は本発明の磁気ディスク装置の更に他の例を説明
する概略構成図、第19図は本発明の磁気ディスク装置
の更に他の例を説明する概略構成図である。 1・・・磁気ヘッドスライダ、2・・・支持バネ構造体
、3・・・ガイドアーム、4・・・遮蔽板、5・・・パ
イプ、15・・・フレキシブルチューブ、16・・・吸
引手段、18・・・ろ過手段、31・・・開口部、32
・・・中空内部、33・・・気体流通路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、磁気記録媒体と、この磁気記録媒体と相対運動する
    磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドスライダ支持
    手段とを備える磁気ディスク装置において、前記支持手
    段には、ヘッドスライダの記録媒体と対向する部分に開
    口部を有する中空内部と、開口部から中空内部に導入さ
    れる気体を中空内部から外部に導出するための気体流通
    路を配設してなる磁気ディスク装置。 2、複数枚積層された磁気記録媒体と、これらの磁気記
    録媒体と相対運動する磁気ヘッドスライダを支持する複
    数の磁気ヘッドスライダ支持手段とを備える磁気ディス
    ク装置において、前記支持手段は、磁気ヘッドスライダ
    を弾性的に支持する支持バネ構造体と、支持バネ構造体
    の一端を支持するガイドアームを備え、ガイドアームに
    は、前記磁気ヘッドスライダ及び支持バネ構造体を収め
    ると共にヘッドスライダの記録媒体と対向する部分に開
    口部を有する中空内部と、開口部から中空内部に導入さ
    れる気体を移動させる気体流通路を形成したことを特徴
    とする磁気ディスク装置。 3、記録媒体と、記録媒体と相対運動する磁気ヘッドス
    ライダを支持する磁気ヘッドスライダ支持手段を枠体内
    に収納した磁気ディスク装置本体を備える磁気ディスク
    装置において、前記磁気ヘッドスライダ支持手段は、前
    記磁気ディスク装置本体の磁気ディスク設置部から気体
    を導入する中空内部と、この気体を移動させる気体流通
    路を有し、前記気体流通路と前記磁気ディスク設置部の
    間には中空内部の気体を吸引し、磁気ディスク設置部へ
    送出する吸引手段を配設したことを特徴とする磁気ディ
    スク装置。 4、記録媒体と、記録媒体と相対運動する磁気ヘッドス
    ライダを支持する磁気ヘッドスライダ支持手段を枠体内
    に収納した磁気ディスク装置本体を複数台備え、これら
    複数台の磁気ディスク装置本体は筐体内に配設され、前
    記磁気ヘッドスライド支持手段は、前記磁気ディスク装
    置本体の磁気ディスク設置部から気体を導入する中空内
    部と、この気体を移動する気体流通路を有し、前記複数
    台の磁気ディスク装置本体の各々の気体を流通路と各々
    の磁気ディスク設置部の間には、各々の中空内部の気体
    を吸引し、磁気ディスク設置部へ送出する吸引手段を設
    置したことを特徴とする磁気ディスク装置。 5、請求項4において、各々の気体流通路と各々の磁気
    ディスク設置部の間には1台の吸引手段を配設したこと
    を特徴とする磁気ディスク装置。 6、記録媒体と、記録媒体と相対運動する磁気ヘッドス
    ライダを支持する磁気ヘッドスライダ支持手段と、この
    支持手段を駆動する駆動手段を枠体内に収納した磁気デ
    ィスク装置本体を備える磁気ディスク装置において、前
    記磁気ヘッドスライダ支持手段は、前記磁気ディスク装
    置本体の磁気ディスク設置部から気体を導入する中空内
    部と、この気体を移動する気体流通路を有し、前記気体
    流通路と磁気ディスク設置部との間には、気体を移動さ
    せるための吸引手段を配設し、前記吸引手段の気体吐出
    側には、吐出される気体中の塵埃量を検出する検出手段
    を配設し、この検出手段からの検出信号に基づき、前記
    磁気ディスク装置本体の動作条件を制御する制御装置を
    備えることを特徴とする磁気ディスク装置。7、請求項
    3、4及び6のうちいずれか1項において、磁気ヘッド
    スライダ支持手段は、磁気ヘッドスライダを弾性的に支
    持する支持バネ構造体と、支持バネ構造体の一端を支持
    するガイドアームを備え、このガイドアームに、ヘッド
    スライダが記録媒体に対向する開口部と、支持バネ構造
    体を収める中空内部と、開口部から中空内部に導入され
    る気体を移動させる気体流通路を備えることを特徴とす
    る磁気ディスク装置。 8、記録媒体に対向するように配設される磁気ヘッドス
    ライダをその自由端側に弾性的に支持する支持バネ構造
    体と、この支持バネ構造体の他端側を支持するガイドア
    ームを備え、前記ガイドアームには、前記ヘッドスライ
    ダと支持バネ構造体を収納する中空内部を形成すると共
    にヘッドスライダの記録媒体に対向する部分に開口部を
    形成する遮蔽部材と、前記開口部から中空内部に導入さ
    れる気体を中空内部外に移動するための気体流通路を設
    けたことを特徴とする磁気ヘッドスライダ支持装置。 9、複数枚積層された記録媒体に各々対向するように配
    設される複数個の磁気ヘッドスライダをその自由端側に
    弾性的に支持する複数個の支持バネ構造体と、これらの
    支持バネ構造体を各々一端側で支持し、他端側が保持部
    材により一体となつて積層保持される複数個のガイドア
    ームとを備え、前記ガイドアームには、ヘッドスライダ
    と支持バネ構造体を収納する中空内部を形成すると共に
    ヘッドスライダの記録媒体に対向する部分に開口部を形
    成する遮蔽部材と気体流通路を設け、前記複数個のガイ
    ドアームに各々設けられた気体流通路は、保持部材に形
    成され外部流路に接続され気体流通路に連通されている
    ことを特徴とする磁気ヘッドスライダ支持装置。 10、磁気ディスクに対向する面にフラットレール部を
    有する浮上面が形成され、このフラットレール部の気体
    流出側の側面に複数の薄膜ヘッド端子が形成された磁気
    ヘッドスライダにおいて、前記複数の薄膜ヘッド端子の
    うち一方の端子をヘッドスライダ本体の気体流れ方向に
    直交する方向に対し中央側に配設し、他方の端子をヘッ
    ドスライダ本体の気体流れ方向に直交する方向に対し外
    側に配設したことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。 11、請求項10において、複数の薄膜ヘッド端子のう
    ち、一方の端子をヘッドスライダ本体の浮上面側に配置
    し、他の端子をヘッドスライダ本体の背面側に配置した
    ことを特徴とする磁気ヘツドスライダ。 12、請求項10において、複数の薄膜ヘッド端子のう
    ち、一方の端子と他方の端子をそれぞれ、浮上面から異
    なる角度を有して配置したことを特徴とする磁気ヘッド
    スライダ。13、磁気記録媒体と、磁気記録媒体と相対
    運動する磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドスラ
    イダ支持手段を備え、この支持手段はヘッドスライダの
    記録媒体と対向する部分に開口部を有する中空内部と、
    開口部から中空内部に導入される気体を移動する気体流
    通路を有する磁気ディスク装置におけるヘッドスライダ
    ローディング機構において、ヘッドスライダのアンロー
    ド時には、ヘッドスライダを磁気記録媒体の面外に位置
    させ、ヘッドスライダロード時には、前記支持手段の中
    空内部の圧力を磁気ディスク装置部の圧力に対して負圧
    とする手段と、この状態でヘッドスライダを磁気記録媒
    体の面内に移動する手段と磁気記録媒体が定常回転状態
    になつたら前記中空内部の圧力を所定圧力とし、ヘッド
    スライダをローディングさせる手段を備えたことを特徴
    とする磁気ディスク装置におけるヘッドスライダローデ
    ィング機構。 14、磁気記録媒体と、記録媒体と相対運動する磁気ヘ
    ッドスライダを支持する磁気ヘッドスライダ支持手段と
    、この支持手段を駆動する駆動手段を備える磁気ディス
    ク装置におけるヘッドスライダローディング機構におい
    て、前記支持手段には、ヘッドスライダの記録媒体と対
    向する部分に開口部を有する中空内部と、開口部から中
    空内部に導入される気体を移動する気体流通路を設け、
    前記中空内部と磁気ディスク装置本体の磁気ディスク装
    置部の間に吸引手段を配設し、前記ヘッドスライダのア
    ンロード時には、ヘッドスライダを磁気記録媒体の面外
    に位置させロード時には、前記支持手段の中空内部の圧
    力を磁気ディスク装置の磁気ディスク設置部の圧力より
    負圧とし、この状態でヘッドスライダを磁気記録媒体の
    面内に移動させ、磁気記録媒体が定常回転に達した時点
    で、前記支持手段の中空内部の圧力を所定の圧力にして
    ヘッドスライダをローディングさせる前記駆動手段及び
    吸引手段を制御することを特徴とする磁気ディスク装置
    におけるヘッドスライダローディング機構。 15、磁気記録媒体と、磁気記録媒体と相対運動する磁
    気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドスライダ支持手
    段を備える磁気ディスク装置において、前記支持手段に
    はヘッドスライダを弾性的に支持する支持バネ構造体と
    、この支持バネ構造体を支持するガイドアームを備え、
    ガイドアームには、前記ヘッドスライダと支持バネ構造
    体を収納する中空内部と、ヘッドスライダの記録媒体と
    対向する部分に形成された開口部と開口部から中空内部
    に導入される気体を外部に移動する気体流通路を有し、
    磁気ディスク装置の起動時には磁気記録媒体の回転数を
    定常回転数より下げ、この状態で中空内部に開口部を通
    して気体を吸引しながらヘッドスライダを記録媒体面内
    に移動させて磁気ディスク装置本体の磁気ディスク設置
    部内の塵埃補集を行うように構成したことを特徴とする
    磁気ディスク装置。 16、磁気記録媒体と、磁気記録媒体と相対運動する磁
    気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドスライダ支持手
    段を備える磁気ディスク装置の製造方法において、磁気
    記録ディスク装置本体の磁気記録媒体設置部内に磁気記
    録媒体と回転機構系を収納し、この収納工程の後であつ
    て、ヘッドスライダ支持手段の駆動機構系を前記駆動機
    構系設置部分に組み込む前に、前記磁気ヘッドスライダ
    の磁気記録媒体対向面に、磁気ヘッドスライダの動きを
    拘束しない開口部と中空内部と気体を移動させる気体流
    通路を有するガイドアームを用いて、前記磁気ディスク
    装置本体内の塵埃を除去する工程をもつことを特徴とす
    る磁気ディスク装置の製造方法。
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