JPH034175A - プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、基板上にある導体パターンの導通状態を検査
する導通検査装置のプローブに関する。

［従来の技術１ 従来、基板上にある導体パターンの導通状態を検査する
導通検査装置のプローブとしては、例えば、互いに電気
的に絶縁され近接した２つのプローブを２１１用いる、
いわゆる４ｊｌ子測定法のプローブがあり、被検査部に
前記圧いに電気的に絶縁され近接した２つのニードル型
プローブを２組同時に接触させて、被測定導体パターン
間の電圧測定を行なうことにより、予しめ設定された電
圧値と比較しで、前記導体パターンの導通状態を検査す
るようにしたものが本出願人により提案されている（特
開昭６２−２８２２７７）、又、実開昭６１−１００１
３７には、前記導体パターンと接触するプローブの先端
が、ニードル状で、このニードル型プローブは、導体パ
ターンの被検査部に弾性的に付勢されて接触し、導体パ
ターンの電気特性を検査する、いわゆるニードル型プロ
ーブである。

［発明が解決しようとした課題１ このような前記２つの従来の技術の様に先端が点状のニ
ードル型プローブでは、前記導体パターンの被検査部に
接触させる際には、前記被検査部内に非導電部である穴
が存在する場合、プローブの先端と検査すべき被検査部
との位置決めが不正確であると前記ニードル型プローブ
の先端が前記穴内に落札たり、又、穴の外縁の丸味にか
かると、前記ニードル型プローブの先端が、被検査部か
ら外れたり、プローブの本末の接触部と異なる部分で接
触するなど、接触抵抗が不安定になり、そのため、正し
い導通検査が出来なかった。これを解決するため、前記
ニードル型プローブの被検査部に対する位ｒａ調整をよ
り高精度にする必要があり、このため、位置決め装置が
複雑になる課題があった。又、ニードル型プローブの先
端と前記被検査部が接触する面積が０．２ｍｍ２以下だ
と、位置ずれのために接触状態が不安定となったり、接
触抵抗が不安定になる課題があった。

本発明は、被検査部とプローブとの被検査部上での接触
面が、該接触面の長手方向と長手方向と直交する方向の
各々で長さが異なる接触面を有する構造としたため、被
検査部と前記ブａ−ブの位置決めがある程度ずれても、
前記プローブと被検査部との接触が良好に行なえ、導通
検査に悪影響を及ぼすこと無く、前記基板上にある導体
パターンの導通検査が正しく出来るプローブを提供する
ことを目的としている。

［課題を解決する為の手段１ かかる目的を達成するために、基板上にある導体パター
ンの導通状態を検査する導通検査装置における前記プロ
ーブは、前記導体パターンの被検査部とプローブとの被
検査部上での接触面が、該接触面の長手方向と長手方向
と直交する方向の各々で長さが異なる接触面を有する。

また、前記プローブは、前記被検査部とプローブとの被
検査部上での接触面が、プローブの長手方向中心軸に対
し、角度を有し、伸びる接触面を有する。

更に、前記被検査部とプローブとの被検査部上での接触
面の面積が０．２ｍｍ”以上である。

【作用１ 本発明のプローブを用いた場合、前記基板上にある導体
パターンの被検査部とプローブとの被検査部上での接触
面が、該接触面の長手方向と長手方向と直交する方向の
各々で長さが異なる接触面で接触させるので、導通検査
時に、前記被検査部と前記プローブの接触面が増え、か
つ確実に接触させるものである。

「実施例Ｊ 以下、図面に基いて本発明の１実施例である４端子測定
法に用いるプローブの１組を例として説明する。

第１図は、本発明の第１の実施例であるプローブの錯視
図であり、第２図−（ａ）は、ｆ５１図プローブの先端
の拡大図、第２図−（ｂ）は、＃１図プａ−プの先端と
被検査部の接触状態を示す平面図、第２図−（ｃ）は、
第１図プローブが少なくとも被検査部の平坦面と接触す
る断面図である。＃Ｓ１図において、被検査部２は、プ
リント配線基板１２の導体パターン２ａのターミナルに
相当し、銅や金、アルミニウムなどの厚膜導電部材で形
成されており、被検査部２の中に有る非導電部である穴
３は、メモリ等の能動部品のリードあるいは、コンデン
サ、抵抗等の受動部品のリードを挿入する為に、貫通孔
などで形成されており、又、絶縁材で形成された保持板
６と導電部５を介して接続された、はぼ平行な幅を有す
るプローブ１は全体が導電性材料で形成され、先端に曲
げ部１ａ及び１ｂを備えており、第２図−（、）及び第
２図−（ｂ）に示す如く、前記被検査部２とプローブ１
との被検査部２上での接触面４が、該接触面４の長手方
向と長手方向と直交する方向の各々で長さが異なる接触
面４で接触する。

↓ なお、この接触４は、導体パターン２ａの導通状態を検
査する際に、被検査部２とプローブ１との被検査部２上
での接触面である。更に、第２図−（ｂ）においで、矩
形状の接触面４ではなく、被検査部２とプローブ１との
接触面４の長手方向と直交する方向の長さが極めて短く
、線状に接触することどの非平坦面２″以外の平坦面２
″と少な（とも、前記接触面４の長手方向と長手方向と
直交する方向の各々で長さが異なって接触する。

尚、第１図において、リード線７は導電部５を介して、
プローブ１と電気的に接続されており、保持体８はプロ
ーブヘッド（図示省略）へプローブ全体を固定するため
設けられている。

＄３図は、本発明の第１の実施例の変形を示す第２の実
施例であるプローブの斜視図であり、第４図は、第３図
プローブの先端の拡大図、第５図は、第３図プローブが
弾性体を介して、被検査部に接触する際の接触状態を示
す断面図であり、第６図は、第３図、第４図におけるプ
ローブの先端形状を変えた本発明の第３の実施例を示す
図であり、その接触状態の変化を示す断面図である。ｆ
ｊＳ３図において、プローブ９は、前記被検査部２と接
触する、矩形状の接触面９ａを有し、板状の弾性部９ｂ
とからなり、前記弾性部９ｂと前記接触面９ａとは、連
結部材９ｃにより連結されており、又、弾性部９ｂは、
保持体１０に固定されており、プローブ９は、第１の実
施例と同様、導電性材料で形成されて、プローブ９の接
触面９ａと被検査部２の導通電気信号をリード線１１を
もって外部に取り出す構造となっている。そして、保持
体１０は、プローブヘッド（図示省略）へ固定される。

第５図において、前記不図示のプローブヘッドが降下し
、プローブ９がプリント配線基板１２上に形成された導
体パタ矩形状に形成された接触面９ａは、同図の如く、
被検査部２と密着せず、接触面９ａの一方の端が浮上が
るため、第６図の破線で示す如（、予しめ与えた弾性付
勢力に応じて、弾性部９ｂがたわんでも、丁度、被検査
部２の平坦面２′に接触する当接面９ｄが平坦面２′に
接触する接触面９ａ’　を有する様、プローブ９の先端
に角度θを予じめ付けである。

第７図は、７レキシプル基板１３の表面に予しめ設けら
れた任意の幅で形成された銅や金、アルミニウムなどの
厚膜導電部材から成る配線パターン１４ｂをプローブ１
４として用いる本発明のｔｊＳ４の実施例であるプロー
ブの斜視図であり、第８図は、第７図のプローブの一部
と被検査部２の接触状態を示す拡大図、ｔＩ％９図は、
第８図におけるプローブの接触面１４ａ′の形状が異な
るｔｊＳ５の実施例を示す平面図である。

以下本発明の第４の実施例について説明する。

第７図は、２本の配線パターン１４ｂとひとつの被検査
１１ｓ２が接触しうるプローブの例を示しており、フレ
キシブル基＠１３の表面には、任意の幅で形成された銅
や金、アルミニウムなどの厚膜導電部材から成る配線パ
ターン１４ｂが形成されており、前記７レキシプル基板
１３の裏面をゴムやシリコンなどの弾性体１７を介して
、絶縁物から成る保持体１５に前記７レキシプル基＠１
３を固定している。そして、７レキンプル基板１３の被
検査部２との接触面１４ａは、前記被検査部２と接触す
る様、形成し、リード＠１６は、前記配線パターン１４
ｂと電気的に接続されており、前記プリント配縁基板１
２に形成された被検査部２１こ、配線パターン１４ｂを
接触させ、プローブ１４として使用することにより、第
８図に示す接触面１４ａ′で被検査部２の導通検査が行
なわれる。又、前記保持体１５は、プローブヘッド（図
示省略）へ固定されている。

次に本発明の第５の実施例であるｆｆ１９図は、第８図
に示す被検査部２との配線パターン１４ｂの接触面１４
ａ′に相当する部分をコの字状に対向する配線パターン
１８及び１９として用いることを示している。又、第７
図において、２本の配線パターン１４ｂとひとつの被検
査部２が接触する例について説明したが、これに限るも
のではなく、ひとつの被検査部２に対し、接触する配線
パターンの数が１本でも可能である。

なお、以上は被検査部２に穴３がある場合について説明
したが、前記被検査部２には穴３が無い場合にも適用で
きる。又、被検査部２がターミナルの例について説明し
たが、導体パターン２ａについても、前記プローブ１．
９．１４との導体パターン２ａ上での接触面が、該接触
面の長手方向と長手方向と直交する方向の各々で！３が
異なる接触面で接触させて、導通検査を実施出来る。

以」−１４ｉ子測定法に用いるプローブを１組の近接す
る２つのプローブとして述べたが、ひとつのプローブを
独立に別々の場所にある被検査部２にプローブを接触さ
せる場合も同様に適用出来る。

更に、前記導体パターンの導通状態を検査する際に、前
記被検査部とプローブとの被検査部上での接触面の長手
方向と長手方向と直交する方向の各々で長さが異なる接
触面を有することについて述べたが、前記接触面の面積
が０．２ｍ１１２以上あれば、円形、正方形の接触面で
あっても良く、要は、点状でない接触状態を有すれば良
い。

［発明の効果Ｊ 以上本発明によれば、請求項１により、基板上にある導
体パターンの導通状態を検査する導通検査装置のプロー
ブにおいて、前記導体パターンの被検査部と前記プロー
ブを接触させ、導体パターンの導通状態を検査する際に
、前記被検査部と前記プローブとの被検査部上での接触
面が、該接触面の長手方向と長手方向と直交する方向の
各々で長さが異なる接触面を有するので、ニードル型プ
ローブで代表される点状で被検査部と接触することによ
る接触抵抗の不安定さを、接触面が広くできるため、プ
ローブの先端と被検査部の位置がずれても、解消出来る
。又、本発明のプローブと被検査部が点接触から面接触
となり、このため、被検査部とのプローブの位置調整も
より簡単になる。

請求項２により、前記プローブが導体パターンの導通状
態を検査する際に、前記被検査部とプローブとの被検査
部上での接触面が、プローブの長手方向中心軸に対し、
角度を有し、伸びる接触面を有するので、被検査部の外
縁がだれていても、本発明のプローブが滑ること無く、
少なくとも前記被検査部の平坦面と接触し、かつ、被検
査部の中に穴が存在しても、前記プローブが前記穴に落
ちる等の検査ミス・もれが無くなり、基板上にある導体
パターンの正確な導通検査が可能となる。

請求項３により、前記導体パターンの導通状態を検査す
る際に、前記被検査部とプローブとの被検査部上での接
触面の面積が０．２ＩＩＩＩｌ１２以上であるので、本
発明のプローブの接触面が、実用上、十分な程度に確保
出来、安定した導通検査が出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１の実施例であるプローブの斜視
図、第２図−（ａ）は、第１図プローブの先端の拡大図
、第２図−（ｂ）は、第１図プローブの先端と被検査部
の接触状態を示す平面図、ｔｊＳ２図−（ｃ）は、第１
図プローブが少なくとも被検査部の平坦面と接触する断
面図、第３図は、本発明の第２の実施例であるプローブ
の斜視図、第４図は、第３図プローブの先端の拡大図、
ｔｊＳｓ図は、第３図プローブが弾性体を介して、被検
査部に接触する際の接触状態を示す断面図、第６図は、
第３図、第４図におけるプローブの先端形状を変えた本
発明の第３の実施例である接触状態の変化を示す断面図
、＃Ｓ７図は、本発明の第４の実施例であるプローブの
斜視図、第８図は、ｆｊＳ７図のプローブの一部と被検
査部２の接触状態を示す拡大図、ｆｊＳ９図は、第８図
におけるプローブの接触面１４ａ′の形状が異なる本発
明のｆｆ１５の実施例を示す平面図、第１０図は、従来
のニードル型プローブの先端の拡大図、ｆ：ｔＳｌ１図
は、第１０図ニードル型プローブが被検査部と接触する
断面図である。 １．９．１４・φ・プローブ ２０１１拳・ニードル型プローブ ２・・・被検査部 ２′　・・・平坦面　　　２″′・・・非平坦面３・・
・穴 ４．９ａ、　９ａ’　、１４ａ、　１４ａ’　　・・・
接触面８．１０．１５・・・保持体 ７．１１．１６・・・リードｌｉ　　　９ｂ・・・弾性
部１２・・・プリント配線基板 １３・・・７レキシプル基板 １４ｂ　・・・配線パターン

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板上にある導体パターンの導通状態を検査する導
   通検査装置のプローブにおいて、前記導体パターンの被
   検査部と前記プローブを接触させ、導体パターンの導通
   状態を検査する際に、前記被検査部と前記プローブとの
   被検査部上での接触面が、該接触面の長手方向と長手方
   向と直交する方向の各々で長さが異なる接触面を有する
   ことを特徴としたプローブ。 ２、前記プローブが導体パターンの導通状態を検査する
   際に、前記被検査部とプローブとの被検査部上での接触
   面が、プローブの長手方向中心軸に対し、角度を有し、
   伸びる接触面を有することを特徴とした特許請求の範囲
   第１項記載のプローブ。 ３、前記導体パターンの導通状態を検査する際に、前記
   被検査部とプローブとの被検査部上での接触面の面積が
   ０．２ｍｍ＾２以上であることを特徴とした特許請求の
   範囲第１項又は第２項記載のプローブ。