JPH0341842U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0341842U JPH0341842U JP10081589U JP10081589U JPH0341842U JP H0341842 U JPH0341842 U JP H0341842U JP 10081589 U JP10081589 U JP 10081589U JP 10081589 U JP10081589 U JP 10081589U JP H0341842 U JPH0341842 U JP H0341842U
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- JP
- Japan
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- boat
- sectional
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- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ａ，ｂ，ｃはこの考案の一実施例に係る
ボートを示し、ａはｂの長手方向に沿つて切断し
た断面図、ｂは平面図、ｃはｂの短手方向に沿つ
て切断した断面図、第２図ａ，ｂ，ｃはこの考案
の変形例に係るボートを示し、ａはｂの長手方向
に沿つて切断した断面図、ｂは平面図、ｃはｂの
短手方向に沿つて切断した断面図、第３図は第２
図のボートの使用時を示す断面図、第４図は膜厚
分布の測定位置を示す斜視図、第５図は従来及び
この考案のボートによる膜厚分布を示す特性曲線
図、第６図はカラー受像管のパネル内面にアルミ
ニウム層を蒸着形成する場合を示す断面図、第７
図ａ，ｂ，ｃは従来のボートを示し、ａはｂの長
手方向に沿つて切断した断面図、ｂは平面図、ｃ
はｂの短手方向に沿つて切断した断面図、第８図
ａ，ｂ，ｃは従来の別のボートを示し、ａはｂの
長手方向に沿つて切断した断面図、ｂは平面図、
ｃはｂの短手方向に沿つて切断した断面図である
。 １０……ボート、１１……ボート本体、１２…
…キヤビテイ。
ボートを示し、ａはｂの長手方向に沿つて切断し
た断面図、ｂは平面図、ｃはｂの短手方向に沿つ
て切断した断面図、第２図ａ，ｂ，ｃはこの考案
の変形例に係るボートを示し、ａはｂの長手方向
に沿つて切断した断面図、ｂは平面図、ｃはｂの
短手方向に沿つて切断した断面図、第３図は第２
図のボートの使用時を示す断面図、第４図は膜厚
分布の測定位置を示す斜視図、第５図は従来及び
この考案のボートによる膜厚分布を示す特性曲線
図、第６図はカラー受像管のパネル内面にアルミ
ニウム層を蒸着形成する場合を示す断面図、第７
図ａ，ｂ，ｃは従来のボートを示し、ａはｂの長
手方向に沿つて切断した断面図、ｂは平面図、ｃ
はｂの短手方向に沿つて切断した断面図、第８図
ａ，ｂ，ｃは従来の別のボートを示し、ａはｂの
長手方向に沿つて切断した断面図、ｂは平面図、
ｃはｂの短手方向に沿つて切断した断面図である
。 １０……ボート、１１……ボート本体、１２…
…キヤビテイ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ＴｉＢ２とＢＮとを主成分とするボート本体に
蒸着材料を貯蔵するキヤビテイが設けられてなる
蒸着用ボートにおいて、 上記キヤビテイの底面と側面とのなす角度が９
１〜１１５度の範囲に設定されてなることを特徴
とする蒸着用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10081589U JPH0341842U (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10081589U JPH0341842U (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341842U true JPH0341842U (ja) | 1991-04-22 |
Family
ID=31649798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10081589U Pending JPH0341842U (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0341842U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61575A (ja) * | 1985-04-06 | 1986-01-06 | Denki Kagaku Kogyo Kk | アルミニウムの連続蒸着法 |
-
1989
- 1989-08-29 JP JP10081589U patent/JPH0341842U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61575A (ja) * | 1985-04-06 | 1986-01-06 | Denki Kagaku Kogyo Kk | アルミニウムの連続蒸着法 |