JPH0341846U - - Google Patents

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JPH0341846U
JPH0341846U JP10291389U JP10291389U JPH0341846U JP H0341846 U JPH0341846 U JP H0341846U JP 10291389 U JP10291389 U JP 10291389U JP 10291389 U JP10291389 U JP 10291389U JP H0341846 U JPH0341846 U JP H0341846U
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chamber
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carrier gas
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例によるミキシングチ
ヤンバを示す断面構成図、第２図は前記ミキシン
グチヤンバが採用された成膜装置のガス導入系を
示す図、第３図は前記実施例の作用効果を従来装
置と比較して示す図、第４図は従来装置のミキシ
ングチヤンバを示す図である。 １……成膜用チヤンバ、２……ガス導入系、３
……ミキシングチヤンバ、１２……チヤンバボデ
イ、１３……キヤリアガス流路、１３ａ……先端
開口部、１４……Ｏ２ガス導入管、１５……ＴＥ
ＯＳ導入管。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 液化材料を気化して得られた反応ガスをキヤリ
    アガスと混合して成膜用チヤンバに導入するため
    の成膜装置のガス導入用ミキシングチヤンバであ
    つて、 先端開口部に向かつて先細形状のキヤリアガス
    流路を有するチヤンバボデイと、前記チヤンボデ
    イのキヤリアガス流路の先端先細部に気化した反
    応ガスを導入する反応ガス導入管とを備えた成膜
    装置のガス導入用ミキシングチヤンバ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014128755A (ja) * 2012-12-28 2014-07-10 Horiba Ltd 流体混合素子
WO2017061498A1 (ja) * 2015-10-06 2017-04-13 株式会社アルバック 混合器、真空処理装置

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JPWO2017061498A1 (ja) * 2015-10-06 2017-10-19 株式会社アルバック 混合器、真空処理装置
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