JPH0341941U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例に係る半導体ペレツ
ト整列供給装置の斜視図、第２図イ，ロ，ハ，ニ
，ホはそれぞれ同装置の動作を順次説明する説明
図、第３図は従来装置の説明図である。 １……基台、２……軸、３ａ，３ｂ……ペレツ
ト整列治具、４ａ……第一運搬ハンド、４ｂ……
第二運搬ハンド、１１……回転ハンド。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 軸を中心に揺動しながら軸方向に振動する基台
   と、 上記基台から回転ポジシヨンへ上向き姿勢で運
   搬された一方のペレツト整列治具と受渡しポジシ
   ヨンから回転ポジシヨンへ下向き姿勢で運搬され
   た他方のペレツト整列治具とを重ね合わせた状態
   で上下より挟持して１８０度回転させる上下一対
   の回転ハンドと、 上記一方のペレツト整列治具を左右より挟持し
   て基台から回転ポジシヨンへ運搬し、上記他方の
   ペレツト整列治具を回転後に左右より挟持して回
   転ポジシヨンから基台へ運搬する左右一対の第一
   運搬ハンドと、 上記他方のペレツト整列治具を左右より挟持し
   て受渡しポジシヨンから回転ポジシヨンへ運搬し
   、上記一方のペレツト整列治具を回転後に左右よ
   り挟持して回転ポジシヨンから受渡しポジシヨン
   へ運搬する左右一対の第二運搬ハンド、 を具備したことを特徴とする半導体ペレツト整列
   供給装置。