JPH0341992B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0341992B2 JPH0341992B2 JP62048409A JP4840987A JPH0341992B2 JP H0341992 B2 JPH0341992 B2 JP H0341992B2 JP 62048409 A JP62048409 A JP 62048409A JP 4840987 A JP4840987 A JP 4840987A JP H0341992 B2 JPH0341992 B2 JP H0341992B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- laser
- current
- current transformer
- matching circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ発振器の出力電圧検出装置に関
し、特に低電圧で安価に構成できるようにしたレ
ーザ発振器の出力電圧検出装置に関する。
し、特に低電圧で安価に構成できるようにしたレ
ーザ発振器の出力電圧検出装置に関する。
レーザ管は内部のガスの状態等によつて、電気
的なインピーダンスが変化し、このためにレーザ
管に供給される電圧が変動する。例えば、レーザ
管への電流帰還ループを有するレーザ発振器にお
いて、レーザ管の電気的インピーダンスが変動す
れば、電流を一定になるように制御しているので
供給電圧が変動する。これをそのまま放置すれ
ば、高周波電源内のインバータを構成している半
導体、レーザ管等を損傷する原因となる。また、
安定な供給で電圧を得るために出力電圧を監視す
る必要もある。
的なインピーダンスが変化し、このためにレーザ
管に供給される電圧が変動する。例えば、レーザ
管への電流帰還ループを有するレーザ発振器にお
いて、レーザ管の電気的インピーダンスが変動す
れば、電流を一定になるように制御しているので
供給電圧が変動する。これをそのまま放置すれ
ば、高周波電源内のインバータを構成している半
導体、レーザ管等を損傷する原因となる。また、
安定な供給で電圧を得るために出力電圧を監視す
る必要もある。
このため従来より、レーザ管に供給される電圧
を検出し、基準の電圧を越えるときはアラームを
上げ、また危険電圧を越えたときは運転を停止す
る等の制御を行い、さらに、出力電圧を一定に制
御するために、出力電圧を検出して監視する必要
があつた。従つて、レーザ発振器において、レー
ザ管への供給電圧監視、測定は重要な測定項目の
一つである。従来これらの測定は計器用変圧器ま
たは分割コンデンサを使用して行われてきた。
を検出し、基準の電圧を越えるときはアラームを
上げ、また危険電圧を越えたときは運転を停止す
る等の制御を行い、さらに、出力電圧を一定に制
御するために、出力電圧を検出して監視する必要
があつた。従つて、レーザ発振器において、レー
ザ管への供給電圧監視、測定は重要な測定項目の
一つである。従来これらの測定は計器用変圧器ま
たは分割コンデンサを使用して行われてきた。
しかし、計器用変圧器を使用するときは、電圧
が相当高いので相当の絶縁耐圧を有する変圧器が
必要であり、また高周波電源の周波数が高いので
高周波特性も必要であつた。このために非常に高
価な計器用変圧器を必要とした。
が相当高いので相当の絶縁耐圧を有する変圧器が
必要であり、また高周波電源の周波数が高いので
高周波特性も必要であつた。このために非常に高
価な計器用変圧器を必要とした。
また、コンデンサで電圧を分圧する方法ではレ
ーザ管への供給電力ラインと制御装置側のアース
を分離することができず、制御回路へのノイズ等
が混入する危険性が高いという問題点があつた。
ーザ管への供給電力ラインと制御装置側のアース
を分離することができず、制御回路へのノイズ等
が混入する危険性が高いという問題点があつた。
本発明の目的は上記問題点を解決し、低電圧で
安価に構成できるようにしたレーザ発振器の出力
電圧検出装置を提供することにある。
安価に構成できるようにしたレーザ発振器の出力
電圧検出装置を提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、第
１図に示すように、 高周波電源１とレーザ管４の間にマツチング回
路３を有し、該マツチング回路４が並列にリアク
タンス素子３１，３３を有するレーザ発振器の出
力電圧検出装置において、 前記マツチング回路の出力端リアクタンス素子
３３のアース側に電流を検出する変流器５を設
け、 該変流器５の電流からレーザ管４に印加される
電圧を検出するように構成したことを特徴とする
レーザ発振器の出力電圧検出装置が、 提供される。
１図に示すように、 高周波電源１とレーザ管４の間にマツチング回
路３を有し、該マツチング回路４が並列にリアク
タンス素子３１，３３を有するレーザ発振器の出
力電圧検出装置において、 前記マツチング回路の出力端リアクタンス素子
３３のアース側に電流を検出する変流器５を設
け、 該変流器５の電流からレーザ管４に印加される
電圧を検出するように構成したことを特徴とする
レーザ発振器の出力電圧検出装置が、 提供される。
変流器をリアクタンス素子のアース側に設けた
ので、変流器の電圧は非常に低いものでたりる。
また、この変流器からの電流値の並列リアクタン
ス３３のインピーダンスの積から出力電圧を計算
することができる。
ので、変流器の電圧は非常に低いものでたりる。
また、この変流器からの電流値の並列リアクタン
ス３３のインピーダンスの積から出力電圧を計算
することができる。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図に本発明の一実施例のブロツク図を示
す。図において、１は高周波電源装置であり、商
用電源を整流して直流に変換し、これを高周波イ
ンバータによつて高周波の電圧に変換する。２は
昇圧用のトランスであり、高周波電源装置からの
高周波電源を必要な電圧まで昇圧する。３はマツ
チング回路であり、トランス２とレーザ管とのイ
ンピーダンスマツチングをとり、高周波電源装置
からの電力を効率よくレーザ管に供給する。本実
施例ではπ型のマツチング回路を使用している。
３１及び３３は並列リアクタンスを構成するコン
デンサであり、３２は直列するリアクタンスを構
成するインダクタンスである。
す。図において、１は高周波電源装置であり、商
用電源を整流して直流に変換し、これを高周波イ
ンバータによつて高周波の電圧に変換する。２は
昇圧用のトランスであり、高周波電源装置からの
高周波電源を必要な電圧まで昇圧する。３はマツ
チング回路であり、トランス２とレーザ管とのイ
ンピーダンスマツチングをとり、高周波電源装置
からの電力を効率よくレーザ管に供給する。本実
施例ではπ型のマツチング回路を使用している。
３１及び３３は並列リアクタンスを構成するコン
デンサであり、３２は直列するリアクタンスを構
成するインダクタンスである。
４はレーザ管である。４１は石英ガラス等で形
成された管であり、内部にレーザ媒質ガス４２が
循環されている。４３ａ及び４３ｂは電極であ
り、この電極を介して管４１に高周波電源が印可
されいる。この管４１内にあるレーザ媒質ガス４
２に高周波電源による放電をおこない、レーザ光
を発振、増幅させている。レーザ光の方向は紙面
と直角方向である。
成された管であり、内部にレーザ媒質ガス４２が
循環されている。４３ａ及び４３ｂは電極であ
り、この電極を介して管４１に高周波電源が印可
されいる。この管４１内にあるレーザ媒質ガス４
２に高周波電源による放電をおこない、レーザ光
を発振、増幅させている。レーザ光の方向は紙面
と直角方向である。
５は変流器であり、出力端の並列コンデンサ３
３のアース側に設けられている。従つて、変流器
５の電圧は非常に低く、変流器５の絶縁電圧は低
いものでたりる。また、変流器５はアースがマツ
チング回路３から分離されており、ノイズ等が混
入する可能性も低い。
３のアース側に設けられている。従つて、変流器
５の電圧は非常に低く、変流器５の絶縁電圧は低
いものでたりる。また、変流器５はアースがマツ
チング回路３から分離されており、ノイズ等が混
入する可能性も低い。
６は制御装置であり、変流器５からの電流信号
値と並列コンデンサのインピーダンスの積からレ
ーザ管に供給される高周波電源の電圧を算出する
ことができる。これは、変流器５からの電流信号
値をDAコンバータによつてデイジイタル値に変
換して、予めコンデンサ３３のインピーダンス値
を記憶しておき２つ値の積を求めることにより算
出することができる。この電圧値を予め定められ
た基準電圧値と比較して、基準電圧値を所定の値
以上越えているときはアラームを表示する。ま
た、この電圧値が危険電圧以上に達した場合は運
動を停止する。さらに、この電圧を監視して、自
動的に電圧を一定に保つように制御することもで
きる。
値と並列コンデンサのインピーダンスの積からレ
ーザ管に供給される高周波電源の電圧を算出する
ことができる。これは、変流器５からの電流信号
値をDAコンバータによつてデイジイタル値に変
換して、予めコンデンサ３３のインピーダンス値
を記憶しておき２つ値の積を求めることにより算
出することができる。この電圧値を予め定められ
た基準電圧値と比較して、基準電圧値を所定の値
以上越えているときはアラームを表示する。ま
た、この電圧値が危険電圧以上に達した場合は運
動を停止する。さらに、この電圧を監視して、自
動的に電圧を一定に保つように制御することもで
きる。
上記の説明では、マツチング回路はπ型のマツ
チング回路を使用したが、これ以外のマツチング
回路でも出力端に並列インピーダンスがあれば、
同様に変流器を使用することができる。
チング回路を使用したが、これ以外のマツチング
回路でも出力端に並列インピーダンスがあれば、
同様に変流器を使用することができる。
以上説明したように本発明では、電圧の検出を
マツチング回路の出力端リアクタンスのアース側
に設けた変流器から検出した電流から得るように
構成しているので、変流器の絶縁電圧が低く、安
価な変流器を使用でき、簡単な構成でレーザ管へ
の供給電圧を測定することができる。
マツチング回路の出力端リアクタンスのアース側
に設けた変流器から検出した電流から得るように
構成しているので、変流器の絶縁電圧が低く、安
価な変流器を使用でき、簡単な構成でレーザ管へ
の供給電圧を測定することができる。
第１図は本発明の一実施例のブロツク図であ
る。 １……高周波電源装置、２……トランス、３…
…マツチング回路、３３……並列コンデンサ、４
……レーザ管、５……変流器。
る。 １……高周波電源装置、２……トランス、３…
…マツチング回路、３３……並列コンデンサ、４
……レーザ管、５……変流器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 高周波電源装置とレーザ管の間にマツチング
回路を有し、該マツチング回路が並列にリアクタ
ンス素子を有するレーザ発振器の出力電圧検出装
置において、 前記マツチング回路の出力端のリアクタンス素
子のアース側に電流を検出する変流器を設け、 該変流器の電流からレーザ管に印加される電圧
を検出するように構成したことを特徴とするレー
ザ発振器の出力電圧検出装置。 ２ 前記リアクタンス素子がコンデンサであるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレー
ザ発振器の出力電圧検出装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62048409A JPS63213984A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 |
| US07/269,745 US4872178A (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Output voltage detecting device in a laser oscillator |
| EP88901929A EP0306536B1 (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Device for detecting output voltage of a laser oscillator |
| PCT/JP1988/000182 WO1988006809A1 (fr) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Dispositif de detection de la tension de sortie d'un oscillateur laser |
| DE8888901929T DE3864479D1 (de) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Anordnung zum nachweis der ausgangsspannung eines laser-oszillators. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62048409A JPS63213984A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63213984A JPS63213984A (ja) | 1988-09-06 |
| JPH0341992B2 true JPH0341992B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=12802505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62048409A Granted JPS63213984A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4872178A (ja) |
| EP (1) | EP0306536B1 (ja) |
| JP (1) | JPS63213984A (ja) |
| DE (1) | DE3864479D1 (ja) |
| WO (1) | WO1988006809A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2204442B (en) * | 1987-05-06 | 1992-01-08 | Ferranti Plc | Radio-frequency excited gas laser |
| DE58904793D1 (de) * | 1988-12-22 | 1993-07-29 | Herfurth Gmbh | Gasentladungsstreckenanordnung mit einem oszillator. |
| US5295149A (en) * | 1992-04-10 | 1994-03-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Gas laser device |
| EP2565653B1 (en) * | 2011-09-05 | 2019-05-08 | Fluke Corporation | Watchdog for voltage detector with display triggering visual warning |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53117399A (en) * | 1977-03-23 | 1978-10-13 | Vladimir Uradeimirofu | Method of and device for generating high reproducing laser pulse |
| JPS58147185A (ja) * | 1982-02-26 | 1983-09-01 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
| JPS5931255U (ja) * | 1982-08-20 | 1984-02-27 | 株式会社東芝 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
| JPS5965492A (ja) * | 1982-10-05 | 1984-04-13 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレ−ザ用電源装置 |
| JPS60180182A (ja) * | 1984-02-28 | 1985-09-13 | Ushio Inc | レ−ザの発振方法 |
| US4876689A (en) * | 1987-03-03 | 1989-10-24 | Fanuc Ltd. | Output voltage detecting device in a laser oscillator |
| US4748634A (en) * | 1987-03-20 | 1988-05-31 | Hughes Aircraft Company | Pumping system for RF excited gas devices |
-
1987
- 1987-03-03 JP JP62048409A patent/JPS63213984A/ja active Granted
-
1988
- 1988-02-19 DE DE8888901929T patent/DE3864479D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-02-19 WO PCT/JP1988/000182 patent/WO1988006809A1/ja not_active Ceased
- 1988-02-19 US US07/269,745 patent/US4872178A/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-02-19 EP EP88901929A patent/EP0306536B1/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0306536A4 (en) | 1989-02-23 |
| EP0306536B1 (en) | 1991-08-28 |
| US4872178A (en) | 1989-10-03 |
| JPS63213984A (ja) | 1988-09-06 |
| DE3864479D1 (de) | 1991-10-02 |
| WO1988006809A1 (fr) | 1988-09-07 |
| EP0306536A1 (en) | 1989-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05188155A (ja) | 車両検出システム | |
| TWI759972B (zh) | 無線功率傳輸系統之快速異物檢測方法與相關之無線功率發送模組 | |
| JPH0341992B2 (ja) | ||
| EP0433266B1 (en) | Output voltage detecting device in a laser oscillator | |
| JPH0341995B2 (ja) | ||
| JPH0341994B2 (ja) | ||
| JPH10246750A (ja) | 共振型絶縁耐電圧試験装置による絶縁耐電圧試験方法 | |
| JP3515147B2 (ja) | レーザ発振器の高周波電源の位相検出による異常検出装置 | |
| JPS628737U (ja) | ||
| JPH0722036Y2 (ja) | 高電圧電源 | |
| JPH0341993B2 (ja) | ||
| JP2506421B2 (ja) | 高周波電力供給装置 | |
| JPS5843220Y2 (ja) | 増幅形計器用変圧器 | |
| SU1285315A1 (ru) | Датчик зазора | |
| SU1098052A1 (ru) | Устройство дл измерени внутреннего сопротивлени электрохимического источника тока | |
| KR20240039743A (ko) | 비접촉 직류 전계 센서 | |
| SU808982A1 (ru) | Активный измерительныйпРЕОбРАзОВАТЕль | |
| JPH05292742A (ja) | スイッチング電源装置 | |
| SU756313A1 (ru) | Измерительный преобразователь активной электрической проводимости в напряжение 1 2 | |
| JPS63273379A (ja) | レ−ザ発振装置用ロゴスキ−コイル | |
| WO1983003533A1 (en) | Improved inductance to frequency converter circuit | |
| JPH0413872B2 (ja) | ||
| JPS62145699A (ja) | プラズマ発生用高周波電源の整合方法 | |
| JPS602626B2 (ja) | インピーダンス測定回路の出力安定化法 | |
| JPH04132969A (ja) | 漏れ電流計測装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |