JPH0341994B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0341994B2 JPH0341994B2 JP62048411A JP4841187A JPH0341994B2 JP H0341994 B2 JPH0341994 B2 JP H0341994B2 JP 62048411 A JP62048411 A JP 62048411A JP 4841187 A JP4841187 A JP 4841187A JP H0341994 B2 JPH0341994 B2 JP H0341994B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transformer
- voltage
- frequency power
- current
- output voltage
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ発振器の出力電圧検出装置に関
し、特に低電圧で安価に構成できるようにしたレ
ーザ発振器の出力電圧検出装置に関する。
し、特に低電圧で安価に構成できるようにしたレ
ーザ発振器の出力電圧検出装置に関する。
レーザ管は内部のガスの状態等によつて、電気
的なインピーダンスが変化し、このためにレーザ
管に供給される電圧が変動し、高周波電源装置の
出力電圧が変動する。例えば、レーザ管への電流
帰還ループを有するレーザ発振器において、電気
的インピーダンスが変動すれば、電流を一定にな
るように制御していれば当然に供給電圧が変動す
る。これをそのまま放置すれば、高周波電源内の
インバータを構成している半導体を損傷する原因
となる。また、安定な供給電圧を得るために出力
電圧を監視する必要もある。
的なインピーダンスが変化し、このためにレーザ
管に供給される電圧が変動し、高周波電源装置の
出力電圧が変動する。例えば、レーザ管への電流
帰還ループを有するレーザ発振器において、電気
的インピーダンスが変動すれば、電流を一定にな
るように制御していれば当然に供給電圧が変動す
る。これをそのまま放置すれば、高周波電源内の
インバータを構成している半導体を損傷する原因
となる。また、安定な供給電圧を得るために出力
電圧を監視する必要もある。
このため従来より、高周波電源装置の出力電圧
を検出し、基準の電圧を越えるときはアラームを
上げ、また危険電圧を越えたときは運転を停止す
る等の制御を行い、さらに、出力電圧を一定に制
御するために、出力電圧を検出して監視する必要
があつた。従つて、レーザ発振器において、高周
波電源装置の出力電圧の監視、測定は重要であ
る。従来これらの測定は計器用変圧器または分割
コンデンサを使用して行われてきた。
を検出し、基準の電圧を越えるときはアラームを
上げ、また危険電圧を越えたときは運転を停止す
る等の制御を行い、さらに、出力電圧を一定に制
御するために、出力電圧を検出して監視する必要
があつた。従つて、レーザ発振器において、高周
波電源装置の出力電圧の監視、測定は重要であ
る。従来これらの測定は計器用変圧器または分割
コンデンサを使用して行われてきた。
しかし、計器用変圧器を使用するときは、電圧
が相当高いので相当の絶縁耐圧を有する変圧器が
必要であり、また高周波電源の周波数が高いので
高周波特性も必要であつた。このために非常に高
価な計器用変圧器を必要とした。
が相当高いので相当の絶縁耐圧を有する変圧器が
必要であり、また高周波電源の周波数が高いので
高周波特性も必要であつた。このために非常に高
価な計器用変圧器を必要とした。
また、コンデンサで電圧を分圧する方法ではレ
ーザ管への供給電力ラインと制御装置側のアース
を分離することができず、制御回路へのノイズ等
が混入する危険性が高いという問題点があつた。
ーザ管への供給電力ラインと制御装置側のアース
を分離することができず、制御回路へのノイズ等
が混入する危険性が高いという問題点があつた。
本発明の目的は上記問題点を解決し、低電圧で
安価に構成できるようにしたレーザ発振器の出力
電圧検出装置を提供することにある。
安価に構成できるようにしたレーザ発振器の出力
電圧検出装置を提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、第
１図に示すように、 高周波電源１とレーザ管４の間に昇圧トランス
２を有するレーザ発振器の出力電圧検出装置にお
いて、 前記トランス２の一次側のアース側に電流を検
出する変流器５を設け、 該変流器５の電流から前記高周波電源装置１の
出力電圧を検出するように構成したことを特徴と
するレーザ発振器の出力電圧検出装置が、提供さ
れる。
１図に示すように、 高周波電源１とレーザ管４の間に昇圧トランス
２を有するレーザ発振器の出力電圧検出装置にお
いて、 前記トランス２の一次側のアース側に電流を検
出する変流器５を設け、 該変流器５の電流から前記高周波電源装置１の
出力電圧を検出するように構成したことを特徴と
するレーザ発振器の出力電圧検出装置が、提供さ
れる。
変流器をトランスの一次巻線のアース側に設け
たので、変流器の電圧は非常に低いものでたり
る。この変流器からの電流値とトランスの一次側
の入力インピーダンスとの積から出力電圧を計算
することができる。
たので、変流器の電圧は非常に低いものでたり
る。この変流器からの電流値とトランスの一次側
の入力インピーダンスとの積から出力電圧を計算
することができる。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図に本発明の一実施例のブロツク図を示
す。図において、１は高周波電源装置であり、商
用電源を整流して直流に変換し、これを高周波イ
ンバータによつて高周波の電圧に変換する。２は
昇圧用のトランスであり、高周波電源装置から高
周波電源を必要な電圧まで昇圧する。３はマツチ
ング回路であり、トランス２とレーザ管とのイン
ピーダンスマツチングをとり、高周波電源装置か
らの電力を効率よくレーザ管に供給する。本実施
例ではπ型のマツチング回路を使用している。３
１及び３３は並列リアクタンスを構成するコンデ
ンサであり、３２は直列するリアクタンスを構成
するインダクタンスである。
す。図において、１は高周波電源装置であり、商
用電源を整流して直流に変換し、これを高周波イ
ンバータによつて高周波の電圧に変換する。２は
昇圧用のトランスであり、高周波電源装置から高
周波電源を必要な電圧まで昇圧する。３はマツチ
ング回路であり、トランス２とレーザ管とのイン
ピーダンスマツチングをとり、高周波電源装置か
らの電力を効率よくレーザ管に供給する。本実施
例ではπ型のマツチング回路を使用している。３
１及び３３は並列リアクタンスを構成するコンデ
ンサであり、３２は直列するリアクタンスを構成
するインダクタンスである。
４はレーザ管である。４１は石英ガラス等で形
成された管であり、内部にレーザ媒質ガス４２が
循環されている。４３ａ及び４３ｂは電極であ
り、この電極を介して管４１に高周波電源が印可
されいる。この管４１内にあるレーザ媒質ガス４
２に高周波電源による放電をおこない、レーザ光
を発振、増幅させている。レーザ光の方向は紙面
と直角方向である。
成された管であり、内部にレーザ媒質ガス４２が
循環されている。４３ａ及び４３ｂは電極であ
り、この電極を介して管４１に高周波電源が印可
されいる。この管４１内にあるレーザ媒質ガス４
２に高周波電源による放電をおこない、レーザ光
を発振、増幅させている。レーザ光の方向は紙面
と直角方向である。
５は変流器であり、トランス２の一次側のアー
スに設けられている。従つて、変流器５の電圧は
非常に低く、変流器５の絶縁電圧は低いものでた
りる。また、変流器５はアースがレーザ放電用の
電力ラインから分離されており、ノイズ等が混入
する可能性も低い。
スに設けられている。従つて、変流器５の電圧は
非常に低く、変流器５の絶縁電圧は低いものでた
りる。また、変流器５はアースがレーザ放電用の
電力ラインから分離されており、ノイズ等が混入
する可能性も低い。
６は制御装置であり、変流器５からの電流信号
値とトランスの一次側の入力インピーダンスの積
から高周波電源装置１から出力される高周波電源
の電圧を算出することができる。これは、変流器
５からの電流信号値をDAコンバータによつてデ
イジイタル値に変換し、予めトランスの一次側の
入力インピーダンス値をデイジイタル値として記
憶しておき、両者の積から求めることができる。
この検出電圧によつて、高周波電源装置１内で使
用されているFET等を保護することができる。
値とトランスの一次側の入力インピーダンスの積
から高周波電源装置１から出力される高周波電源
の電圧を算出することができる。これは、変流器
５からの電流信号値をDAコンバータによつてデ
イジイタル値に変換し、予めトランスの一次側の
入力インピーダンス値をデイジイタル値として記
憶しておき、両者の積から求めることができる。
この検出電圧によつて、高周波電源装置１内で使
用されているFET等を保護することができる。
これらの電圧値を予め定められた基準電圧値と
比較して、基準電圧値を所定の値以上越えている
ときはアラームを表示する。また、この電圧値が
危険電圧以上に達した場合は運動を停止する。さ
らに、この電圧を監視して、自動的に電圧を一定
に保つように制御することもできる。
比較して、基準電圧値を所定の値以上越えている
ときはアラームを表示する。また、この電圧値が
危険電圧以上に達した場合は運動を停止する。さ
らに、この電圧を監視して、自動的に電圧を一定
に保つように制御することもできる。
上記の説明でトランスの一次側に変流器を設け
たが、トランス２を３巻トランスとして、特別の
変流器を設けることなく構成することもできる。
たが、トランス２を３巻トランスとして、特別の
変流器を設けることなく構成することもできる。
以上説明したように本発明では、高周波電源装
置の出力電圧の検出をトランスの一次側のアース
側に設けた変流器から検出した電流から得るよう
に構成しているので、変流器の絶縁電圧が低く、
安価な変流器を使用でき、簡単な構成で高周波電
源装置の出力電圧を測定することができる。
置の出力電圧の検出をトランスの一次側のアース
側に設けた変流器から検出した電流から得るよう
に構成しているので、変流器の絶縁電圧が低く、
安価な変流器を使用でき、簡単な構成で高周波電
源装置の出力電圧を測定することができる。
第１図は本発明の一実施例のブロツク図であ
る。 １……高周波電源装置、２……トランス、３…
…マツチング回路、４……レーザ管、５……変流
器。
る。 １……高周波電源装置、２……トランス、３…
…マツチング回路、４……レーザ管、５……変流
器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 高周波電源装置とレーザ管の間に昇圧トラン
スを有するレーザ発振器の出力電圧検出装置にお
いて、 前記トランスの一次側のアース側に電流を検出
する変流器を設け、 該変流器の電流から前記高周波電源装置の出力
電圧を検出するように構成したことを特徴とする
レーザ発振器の出力電圧検出装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62048411A JPS63213986A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 |
| PCT/JP1988/000183 WO1988006810A1 (fr) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Dispositif de detection de la tension de sortie d'un oscillateur laser |
| DE8888901930T DE3870086D1 (de) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Anordnung zum nachweis der ausgangsspannung eines laser-oszillators. |
| EP91100898A EP0433266B1 (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Output voltage detecting device in a laser oscillator |
| DE3851896T DE3851896T2 (de) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Ausgangsspannungsdetektionsvorrichtung in einem Laseroszillator. |
| EP88901930A EP0303712B1 (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Device for detecting output voltage of a laser oscillator |
| US07/269,743 US4876689A (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Output voltage detecting device in a laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62048411A JPS63213986A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63213986A JPS63213986A (ja) | 1988-09-06 |
| JPH0341994B2 true JPH0341994B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=12802562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62048411A Granted JPS63213986A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63213986A (ja) |
-
1987
- 1987-03-03 JP JP62048411A patent/JPS63213986A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63213986A (ja) | 1988-09-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |