JPH0342614Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0342614Y2 JPH0342614Y2 JP1984007469U JP746984U JPH0342614Y2 JP H0342614 Y2 JPH0342614 Y2 JP H0342614Y2 JP 1984007469 U JP1984007469 U JP 1984007469U JP 746984 U JP746984 U JP 746984U JP H0342614 Y2 JPH0342614 Y2 JP H0342614Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass spectrometer
- collision chamber
- slits
- collector
- ions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本案は分解能を向上させた質量分析装置に関す
る。
る。
近時、衝突室を介して質量分析計を２台直列に
接続し、第１の質量分析計で、特定質量数のイオ
ンを選択し、該イオンを衝突室に導入して解離反
応を行なわせ、該反応によつて生成するメタステ
ーブルイオンを第２質量分析計にて質量分析す
る、所謂MS／MS法が有機化合物の分析法とし
て発展してきた。
接続し、第１の質量分析計で、特定質量数のイオ
ンを選択し、該イオンを衝突室に導入して解離反
応を行なわせ、該反応によつて生成するメタステ
ーブルイオンを第２質量分析計にて質量分析す
る、所謂MS／MS法が有機化合物の分析法とし
て発展してきた。
しかし、この方法によると、第２質量分析計で
充分な分解能が得られない。その理由は、前記衝
突室内における衝突によるエネルギの拡がりと、
該衝突によるイオンビームの角度及び焦点位置の
拡がりがあるからである。これらの内、エネルギ
の拡がりをカバーする方法としては２重収束質量
分析法があるが、イオンビームの角度及び焦点位
置の拡がりをカバーする方法は現在ない。そこ
で、このイオンビームの角度の拡がりと焦点位置
の拡がりの生因を次に考察してみた。
充分な分解能が得られない。その理由は、前記衝
突室内における衝突によるエネルギの拡がりと、
該衝突によるイオンビームの角度及び焦点位置の
拡がりがあるからである。これらの内、エネルギ
の拡がりをカバーする方法としては２重収束質量
分析法があるが、イオンビームの角度及び焦点位
置の拡がりをカバーする方法は現在ない。そこ
で、このイオンビームの角度の拡がりと焦点位置
の拡がりの生因を次に考察してみた。
さて、第１図は従来の質量分析装置の概略を示
したもので、１は第１質量分析計、２は該第１質
量分析計で選択されたイオンが入射する衝突室、
３は該衝突室から出射するイオンが入射する第２
質量分析計である。該装置において、第１質量分
析計１のコレクタスリツト４を通過したイオンビ
ーム５は前記衝突室２内での衝突により、微小の
軌道変更作用を受ける為、角度が広がると共に、
焦点位置も広い範囲に分布してしまうのである。
したもので、１は第１質量分析計、２は該第１質
量分析計で選択されたイオンが入射する衝突室、
３は該衝突室から出射するイオンが入射する第２
質量分析計である。該装置において、第１質量分
析計１のコレクタスリツト４を通過したイオンビ
ーム５は前記衝突室２内での衝突により、微小の
軌道変更作用を受ける為、角度が広がると共に、
焦点位置も広い範囲に分布してしまうのである。
本考案はこの様なイオンビームの角度の拡がり
と焦点位置の拡がりを防止することを目的として
成されたもので、第１質量分析計、該第１質量分
析計で選択されたイオンが入射する衝突室、該衝
突室から出射するイオンが入射する第２質量分析
計から成る装置において、前記衝突室の入射側壁
が前記第１質量分析計のコレクタスリツトを、出
射側壁が前記第２質量分析計のメインスリツトを
夫々成す様に配置すると共に、衝突室内にイオン
通路を挟んで１対の電極を配置し、該電極に該電
極間を通過するイオンを出射側壁のスリツトへ向
けて収束させる電界を発生させるめの電圧を印加
するようにした新規な質量分析装置を提供するも
のである。
と焦点位置の拡がりを防止することを目的として
成されたもので、第１質量分析計、該第１質量分
析計で選択されたイオンが入射する衝突室、該衝
突室から出射するイオンが入射する第２質量分析
計から成る装置において、前記衝突室の入射側壁
が前記第１質量分析計のコレクタスリツトを、出
射側壁が前記第２質量分析計のメインスリツトを
夫々成す様に配置すると共に、衝突室内にイオン
通路を挟んで１対の電極を配置し、該電極に該電
極間を通過するイオンを出射側壁のスリツトへ向
けて収束させる電界を発生させるめの電圧を印加
するようにした新規な質量分析装置を提供するも
のである。
第２図は本考案の一実施例を示した質量分析装
置の概略図で、図中、第１図にて用いた番号と同
一の番号の付したものは同一構成要素である。
置の概略図で、図中、第１図にて用いた番号と同
一の番号の付したものは同一構成要素である。
衝突室は側壁２′，２Ａ，２Ｂから構成され、
第１質量分析計１に面した側壁２Ａを該第１質量
分析計のコレクタスリツトの働きを成す様なスリ
ツト構造にする。又、第２質量分析計３に面した
側壁２Ｂを該第２質量分析計のメインスリツトの
働きを成す様なスリツト構造にする。該衝突室２
内には２枚（又は４枚）の偏向板６Ａ，６Ｂが配
置されている。尚、該偏向板には夫々偏向電源が
接続されている。
第１質量分析計１に面した側壁２Ａを該第１質量
分析計のコレクタスリツトの働きを成す様なスリ
ツト構造にする。又、第２質量分析計３に面した
側壁２Ｂを該第２質量分析計のメインスリツトの
働きを成す様なスリツト構造にする。該衝突室２
内には２枚（又は４枚）の偏向板６Ａ，６Ｂが配
置されている。尚、該偏向板には夫々偏向電源が
接続されている。
斯くの如き装置において、第１質量分析計１か
らのイオンビームは衝突室２の側壁２Ａのスリツ
トから該衝突室内部に入る。そして、該衝突室２
内で解離反応が行なわれ、該反応によつて生成し
たメタステーブルイオンは該衝突室の側壁２Ｂの
スリツトから出射され、第２質量分析計に導入さ
れて、ここで分析される。この時、該衝突室に入
射して来たイオンビームは偏向板からの電界によ
り収束作用を受け、側壁２Ｂのスリツトを効率よ
く通過する。尚、この様な収束作用を偏向板６
Ａ，６Ｂに持たせるためには、イオンビームが正
イオンの場合、偏向板６Ａ，６Ｂに同じ程度の正
電圧を印加すれば良いことは言うでもない。
らのイオンビームは衝突室２の側壁２Ａのスリツ
トから該衝突室内部に入る。そして、該衝突室２
内で解離反応が行なわれ、該反応によつて生成し
たメタステーブルイオンは該衝突室の側壁２Ｂの
スリツトから出射され、第２質量分析計に導入さ
れて、ここで分析される。この時、該衝突室に入
射して来たイオンビームは偏向板からの電界によ
り収束作用を受け、側壁２Ｂのスリツトを効率よ
く通過する。尚、この様な収束作用を偏向板６
Ａ，６Ｂに持たせるためには、イオンビームが正
イオンの場合、偏向板６Ａ，６Ｂに同じ程度の正
電圧を印加すれば良いことは言うでもない。
この様に衝突室の両側壁を夫々、第１質量分析
計のコレクタスリツト、第２質量分析計のメイン
スリツトとなるように第１、第２質量分析計及び
衝突室の配置を配慮すると共に、衝突室内にイオ
ンを収束させる偏向板を設ければ、イオン光学上
の入射及び出射点は機械的に決定される位置に等
しくなり、イオンビームの位置の決定が容易に出
来る。従つて、前記第２質量分析計３に入射する
イオンビームの角度及び焦点位置の拡がりを防止
することが出来、この結果分解能が向上する。
計のコレクタスリツト、第２質量分析計のメイン
スリツトとなるように第１、第２質量分析計及び
衝突室の配置を配慮すると共に、衝突室内にイオ
ンを収束させる偏向板を設ければ、イオン光学上
の入射及び出射点は機械的に決定される位置に等
しくなり、イオンビームの位置の決定が容易に出
来る。従つて、前記第２質量分析計３に入射する
イオンビームの角度及び焦点位置の拡がりを防止
することが出来、この結果分解能が向上する。
又、一般に、衝突室を通過したイオンビームの
拡がりと角度の拡がりに相関関係があることか
ら、前記偏向板６Ａ，６Ｂでイオンを上下左右に
偏向させて、該エネルギの分布を測定することが
出来る。
拡がりと角度の拡がりに相関関係があることか
ら、前記偏向板６Ａ，６Ｂでイオンを上下左右に
偏向させて、該エネルギの分布を測定することが
出来る。
第１図は従来の質量分析装置の概略図、第２図
は本考案の一実施例を示した質量分析装置の概略
図である。 １…第１質量分析計、２′…衝突室、２Ａ，２
Ｂ…側壁、３…第２質量分析計、６Ａ，６Ｂ…偏
向板。
は本考案の一実施例を示した質量分析装置の概略
図である。 １…第１質量分析計、２′…衝突室、２Ａ，２
Ｂ…側壁、３…第２質量分析計、６Ａ，６Ｂ…偏
向板。
Claims (1)
- 第１質量分析計、該第１質量分析計で選択され
たイオンが入射する衝突室、該衝突室から出射す
るイオンが入射する第２質量分析計から成る装置
において、前記衝突室の入射側壁が前記第１質量
分析計のコレクタスリツトを、出射側壁が前記第
２質量分析計のメインスリツトを夫々成す様に配
置すると共に、衝突室内にイオン通路を挟んで１
対の電極を配置し、該電極に該電極間を通過する
イオンを出射側壁のスリツトへ向けて収束させる
電界を発生させるための電圧を印加するようにし
たことを特徴とする質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP746984U JPS60121251U (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP746984U JPS60121251U (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60121251U JPS60121251U (ja) | 1985-08-15 |
| JPH0342614Y2 true JPH0342614Y2 (ja) | 1991-09-06 |
Family
ID=30485850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP746984U Granted JPS60121251U (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60121251U (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5820102A (ja) * | 1981-07-24 | 1983-02-05 | 株式会社クボタ | 対地作業車 |
-
1984
- 1984-01-23 JP JP746984U patent/JPS60121251U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60121251U (ja) | 1985-08-15 |
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