JPH0343730U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0343730U JPH0343730U JP10424789U JP10424789U JPH0343730U JP H0343730 U JPH0343730 U JP H0343730U JP 10424789 U JP10424789 U JP 10424789U JP 10424789 U JP10424789 U JP 10424789U JP H0343730 U JPH0343730 U JP H0343730U
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- JP
- Japan
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- flow channel
- tray
- vapor
- substrate
- portable
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- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 7
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 1
Description
第１図乃至第３図は本考案の気相成長装置の一
実施例を示すもので、第１図は断面正面図、第２
図は可搬フローチヤンネルの斜視図、第３図は第
１図の−断面図、第４図及び第５図は本考案
の他の実施例を示すもので、第４図は断面正面図
、第５図は第４図の−断面図、第６図及び第
７図は従来の気相成長装置を示すもので、第６図
は断面正面図、第７図は断面平面図である。 ２……気相成長室、４……基板交換室、５……
保持台、７……トレイ、９……ホーク、１１……
気相成長装置、１２……固定フローチヤンネル、
１３，２１……可搬フローチヤンネル、１４，２
３……開口部、２２……段部、Ｐ……基板。
実施例を示すもので、第１図は断面正面図、第２
図は可搬フローチヤンネルの斜視図、第３図は第
１図の−断面図、第４図及び第５図は本考案
の他の実施例を示すもので、第４図は断面正面図
、第５図は第４図の−断面図、第６図及び第
７図は従来の気相成長装置を示すもので、第６図
は断面正面図、第７図は断面平面図である。 ２……気相成長室、４……基板交換室、５……
保持台、７……トレイ、９……ホーク、１１……
気相成長装置、１２……固定フローチヤンネル、
１３，２１……可搬フローチヤンネル、１４，２
３……開口部、２２……段部、Ｐ……基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 気相成長室内に気相成長ガスのガス導入管と
連設するフローチヤンネルを設けると共に、該気
相成長室内の保持台と気相成長室に連設する基板
交換室とに、前記保持台より大径のトレイを介し
て基板を搬送する基板搬送機構を設けてなる気相
成長装置において、前記フローチヤンネルを前記
ガス導入管に連設する固定フローチヤンネルと、
該固定フローチヤンネルに着脱自在に連設する可
搬フローチヤンネルとから構成し、該可搬フロー
チヤンネルに前記基板搬送機構に係止される係止
部を設けると共に、該可搬フローチヤンネルの底
面に前記トレイより小径で、かつ、保持台より大
径の開口部を形成し、該開口部の縁部に前記トレ
イを載置して、該トレイ上の基板と共に可搬フロ
ーチヤンネルを搬送できるよう構成したことを特
徴とする気相成長装置。 ２ 前記可搬フローチヤンネルの底面に前記トレ
イより大径にして下方に突設した段部を形成し、
該段部の底面に前記開口部を形成したことを特徴
とする請求項１記載の気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10424789U JP2505425Y2 (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 | 気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10424789U JP2505425Y2 (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 | 気相成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0343730U true JPH0343730U (ja) | 1991-04-24 |
| JP2505425Y2 JP2505425Y2 (ja) | 1996-07-31 |
Family
ID=31653048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10424789U Expired - Lifetime JP2505425Y2 (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 | 気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2505425Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013026429A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Toshiba Corp | 半導体製造装置 |
-
1989
- 1989-09-05 JP JP10424789U patent/JP2505425Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013026429A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Toshiba Corp | 半導体製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2505425Y2 (ja) | 1996-07-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323533 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |