JPH0344571A - 誘電体材料定数測定装置および誘電体材料定数測定方法 - Google Patents
誘電体材料定数測定装置および誘電体材料定数測定方法Info
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- JPH0344571A JPH0344571A JP18007489A JP18007489A JPH0344571A JP H0344571 A JPH0344571 A JP H0344571A JP 18007489 A JP18007489 A JP 18007489A JP 18007489 A JP18007489 A JP 18007489A JP H0344571 A JPH0344571 A JP H0344571A
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ）産業上の利用分野
この発明は誘電体材料定数を測定する装置に関し、特に
誘電体試料の温度特性を測定するための装置に関する。
誘電体試料の温度特性を測定するための装置に関する。
（ｂ）従来の技術
誘電体試料をシールドケース内に配置して、ＴＥ０１，
１ （一般的にはｎ＝１）あるいはＴ Ｅ ｏ ｔδモ
ードの共振周波数を測定し、ついで、このケースを恒温
槽に入れて加熱し、熱的に平衡状態に近づけた後、再び
共振周波数を測定してその温度特性を測定する方法が知
られている。
１ （一般的にはｎ＝１）あるいはＴ Ｅ ｏ ｔδモ
ードの共振周波数を測定し、ついで、このケースを恒温
槽に入れて加熱し、熱的に平衡状態に近づけた後、再び
共振周波数を測定してその温度特性を測定する方法が知
られている。
ところが、恒温槽を用いる方法では装置が大型になるば
かりでなく、誘電体試料が所定の温度まで上昇して平衡
状態に達するまでに長時間を要してしまう。
かりでなく、誘電体試料が所定の温度まで上昇して平衡
状態に達するまでに長時間を要してしまう。
そこで、本願出願人は特開昭６２−２１１５６６号にて
、誘電体試料を直接高周波加熱することによって上記従
来の問題点を解消した、誘電体材料定数の測定方法およ
び測定装置について出願している。
、誘電体試料を直接高周波加熱することによって上記従
来の問題点を解消した、誘電体材料定数の測定方法およ
び測定装置について出願している。
ここで上記出願の実施例について簡単に示す。
第４図は装置の概略図であり、同図において１４は有底
円筒状のシールドケースであり、このシールドケース１
４の内部の略中央部に支持棒１８によって、中空筒状の
誘電体試料１６が固定されている。また、シールドケー
ス１４の側壁には対向する位置に入力用コネクタ３ｏお
よび出力用コネクタ３２が取り付けられ、それぞれに結
合ループなどの結合手段が設けられている。この人力用
コネクタ３０および出力用コネクタ３２間にネットワー
クアナライザ３４が接続されている。さらに、シールド
ケース１４の側壁にはもう１つのコネクタ３６が取り付
けられ、このコネクタ３６にも結合ループなどの結合手
段が設けられている。このコネクタ３６に加熱用高周波
注入装置３８が接続されている。
円筒状のシールドケースであり、このシールドケース１
４の内部の略中央部に支持棒１８によって、中空筒状の
誘電体試料１６が固定されている。また、シールドケー
ス１４の側壁には対向する位置に入力用コネクタ３ｏお
よび出力用コネクタ３２が取り付けられ、それぞれに結
合ループなどの結合手段が設けられている。この人力用
コネクタ３０および出力用コネクタ３２間にネットワー
クアナライザ３４が接続されている。さらに、シールド
ケース１４の側壁にはもう１つのコネクタ３６が取り付
けられ、このコネクタ３６にも結合ループなどの結合手
段が設けられている。このコネクタ３６に加熱用高周波
注入装置３８が接続されている。
このような測定装置において、加熱用高周波注入装置３
８が誘電体共振器１２内に高周波電力を注入する。これ
により誘電体試料１６が高周波加熱される。一方、ネッ
トワークアナライザ３４はコネクタ３０および３２間に
結合された誘電体共振器１２の共振周波数などを測定す
る。
８が誘電体共振器１２内に高周波電力を注入する。これ
により誘電体試料１６が高周波加熱される。一方、ネッ
トワークアナライザ３４はコネクタ３０および３２間に
結合された誘電体共振器１２の共振周波数などを測定す
る。
このようにして誘電体試料１６が所定温度であるときの
共振周波数を測定することによって誘電体試料の温度特
性を求めることができる。
共振周波数を測定することによって誘電体試料の温度特
性を求めることができる。
（Ｃ１発明が解決しようとする課題
このように、誘電体試料を直接高周波加熱する方法によ
れば、恒温槽を用いる方法に比較して誘電体試料の加熱
速度が改善される。しかし、この場合、高周波電力が誘
電体共振器に効率よく注入され、注入された高周波電力
が効率的に誘電体試料によって消費されなければならな
い。
れば、恒温槽を用いる方法に比較して誘電体試料の加熱
速度が改善される。しかし、この場合、高周波電力が誘
電体共振器に効率よく注入され、注入された高周波電力
が効率的に誘電体試料によって消費されなければならな
い。
この発明の目的は、誘電体試料を高効率で加熱できるよ
うにし、測定時間をより短縮化できるようにした誘電体
材料定数測定装置を提供することにある。
うにし、測定時間をより短縮化できるようにした誘電体
材料定数測定装置を提供することにある。
（ｄ）課題を解決するための手段
この発明の誘電体材料定数測定装置は、シールドケース
内に誘電体試料が配置され、信号入出力用の複数の結合
手段が設けられた誘電体共振器と信号人力用結合手段と
信号出力用結合手段間に接続されて、誘電体共振器の共
振周波数を測定する共振周波数測定手段と、 特定の結合手段に前記共振周波数と同一周波数の高周波
電力を注入して前記誘電体試料を共振モードと同一モー
ドで加熱する高周波電力注入手段と、 からなり前記誘電体試料の異なる温度における共振周波
数から誘電体試料の所定の材料定数を求めることを特徴
としている。
内に誘電体試料が配置され、信号入出力用の複数の結合
手段が設けられた誘電体共振器と信号人力用結合手段と
信号出力用結合手段間に接続されて、誘電体共振器の共
振周波数を測定する共振周波数測定手段と、 特定の結合手段に前記共振周波数と同一周波数の高周波
電力を注入して前記誘電体試料を共振モードと同一モー
ドで加熱する高周波電力注入手段と、 からなり前記誘電体試料の異なる温度における共振周波
数から誘電体試料の所定の材料定数を求めることを特徴
としている。
（８１作用
この発明の誘電体材料定数測定装置においては、シール
ドケース内に誘電体試料が配置されるとともに、信号の
入出力用の結合手段が複数個設けられて誘電体共振器が
構成され、共振周波数測定手段は、誘電体共振器の信号
人力用結合手段と信号出力用結合手段間に接続されて、
誘電体共振器の共振周波数を測定する。また、高周波電
力注入手段は、特定の結合手段に前記共振周波数と同一
周波数の高周波電力を注入して誘電体試料を共振モード
と同一モードで高周波加熱する。
ドケース内に誘電体試料が配置されるとともに、信号の
入出力用の結合手段が複数個設けられて誘電体共振器が
構成され、共振周波数測定手段は、誘電体共振器の信号
人力用結合手段と信号出力用結合手段間に接続されて、
誘電体共振器の共振周波数を測定する。また、高周波電
力注入手段は、特定の結合手段に前記共振周波数と同一
周波数の高周波電力を注入して誘電体試料を共振モード
と同一モードで高周波加熱する。
このように、誘電体共振器の共振モードと同一モードで
高周波電力が加えられるため、高周波電力が誘電体共振
器に最も高い効率で注入され、注入された高周波電力の
殆どが誘電体試料で消費される。このため、誘電体試料
が速やかに発熱する。また、誘電体試料の加熱により、
誘電体試料の誘電率の温度係数および線膨張係数に応じ
て共振周波数が変化するが、常にその時の共振周波数の
高周波電力が注入されるため、誘電体試料の温度に関わ
らず、継続的に高効率で誘電体試料が加熱される。した
がって誘電体試料を短時間に所定温度まで上昇させるこ
とが可能となる。
高周波電力が加えられるため、高周波電力が誘電体共振
器に最も高い効率で注入され、注入された高周波電力の
殆どが誘電体試料で消費される。このため、誘電体試料
が速やかに発熱する。また、誘電体試料の加熱により、
誘電体試料の誘電率の温度係数および線膨張係数に応じ
て共振周波数が変化するが、常にその時の共振周波数の
高周波電力が注入されるため、誘電体試料の温度に関わ
らず、継続的に高効率で誘電体試料が加熱される。した
がって誘電体試料を短時間に所定温度まで上昇させるこ
とが可能となる。
＜ｒ＞実施例
この発明の実施例である誘電体材料定数測定装置の構成
を第１図に、また、同測定装置に用いられる誘電体共振
器の縦断面図を第２図にそれぞれ示す。
を第１図に、また、同測定装置に用いられる誘電体共振
器の縦断面図を第２図にそれぞれ示す。
第１図において１２は誘電体共振器であり、同図では、
その概略横断面を示している。この誘電体共振器１２は
、例えはアルミニュームあるいはその合金などの導電材
料からなるシールドケースを含む。このシールドケース
は円筒状部５０を側壁とし、下部に底板５１を取り付け
、上部に蓋５２を被せて構威している。なお、シールド
ケースとしてセラミックのような誘電体にシールド電極
を形成したものを用いてもよい。
その概略横断面を示している。この誘電体共振器１２は
、例えはアルミニュームあるいはその合金などの導電材
料からなるシールドケースを含む。このシールドケース
は円筒状部５０を側壁とし、下部に底板５１を取り付け
、上部に蓋５２を被せて構威している。なお、シールド
ケースとしてセラミックのような誘電体にシールド電極
を形成したものを用いてもよい。
第２図に示すように、シールドケース内には低誘電率の
誘電体例えばフォルステライトなどからなる円筒状の支
持台５３によって中空円筒状の誘電体試料１６を載置す
ることによって、この誘電体試料１６をシールドケース
内の略中央部に固定している。シールドケースの一部を
構成する前記側壁５０には、誘電体試料１６と略同−高
さの位置３箇所にコネクタ３０．３２および３６を設け
ている。これらのコネクタにはそれぞれ中心導体とアー
ス間に結合ループ３０ａ、３２ａおよび３６ａを設けて
いる。さらに、側壁５０の他の箇所に誘電体試料の温度
測定用窓５４および真空排気用排気孔５５を設けている
。真空排気装置４９は側壁５０と底板５１からなるシー
ルドケースに対して蓋５２を一定圧力で真空吸着させる
とともに、内部を真空にするためのものである。
誘電体例えばフォルステライトなどからなる円筒状の支
持台５３によって中空円筒状の誘電体試料１６を載置す
ることによって、この誘電体試料１６をシールドケース
内の略中央部に固定している。シールドケースの一部を
構成する前記側壁５０には、誘電体試料１６と略同−高
さの位置３箇所にコネクタ３０．３２および３６を設け
ている。これらのコネクタにはそれぞれ中心導体とアー
ス間に結合ループ３０ａ、３２ａおよび３６ａを設けて
いる。さらに、側壁５０の他の箇所に誘電体試料の温度
測定用窓５４および真空排気用排気孔５５を設けている
。真空排気装置４９は側壁５０と底板５１からなるシー
ルドケースに対して蓋５２を一定圧力で真空吸着させる
とともに、内部を真空にするためのものである。
以上のように構威した誘電体共振器に次に述べる各種回
路装置を接続することによって測定装置を構成している
。スイッチ５８はコネクタ３２および同軸ケーブル５６
からの信号を選択的に方向性結合器へ供給する回路であ
り、後述するように誘電体試料を高周波加熱するときに
開状態にして、結合ループ３２ａに結合した高周波電力
を後述する周波数カウンタおよび正帰還回路に回り込ま
ないようにする。方向性結合器４０は入力信号を分配し
て周波数カウンタ４３およびローパスフィルタ４１へそ
れぞれ供給する。ローパスフィルタ４１は誘電体共振器
１２がＴＥ□δモードで発振する周波数を濾波し、その
他の高次調波成分をカットする。アンプ４２はローパス
フィルタ４１の出力信号を増幅して同軸ケーブル５７、
同軸コネクタ３０および結合ループ３０ａを介して誘電
体共振器１２へ信号を加える。前記同軸ケーブル５６、
スイッチ５８．方向性結合器４０．ローパスフィルタ４
１．アンプ４２および同軸ケーブル５７は誘電体共振器
１２に対する正帰還回路として作動させる。すなわちこ
の正帰還回路による位相差がＴＥ、、δモードの共振周
波数におけ、る波長の整数倍となるように線路長を設定
している。従って誘電体共振器１２と正帰還回路からな
る発振回路は誘電体共振器１２の共振周波数で発振する
。
路装置を接続することによって測定装置を構成している
。スイッチ５８はコネクタ３２および同軸ケーブル５６
からの信号を選択的に方向性結合器へ供給する回路であ
り、後述するように誘電体試料を高周波加熱するときに
開状態にして、結合ループ３２ａに結合した高周波電力
を後述する周波数カウンタおよび正帰還回路に回り込ま
ないようにする。方向性結合器４０は入力信号を分配し
て周波数カウンタ４３およびローパスフィルタ４１へそ
れぞれ供給する。ローパスフィルタ４１は誘電体共振器
１２がＴＥ□δモードで発振する周波数を濾波し、その
他の高次調波成分をカットする。アンプ４２はローパス
フィルタ４１の出力信号を増幅して同軸ケーブル５７、
同軸コネクタ３０および結合ループ３０ａを介して誘電
体共振器１２へ信号を加える。前記同軸ケーブル５６、
スイッチ５８．方向性結合器４０．ローパスフィルタ４
１．アンプ４２および同軸ケーブル５７は誘電体共振器
１２に対する正帰還回路として作動させる。すなわちこ
の正帰還回路による位相差がＴＥ、、δモードの共振周
波数におけ、る波長の整数倍となるように線路長を設定
している。従って誘電体共振器１２と正帰還回路からな
る発振回路は誘電体共振器１２の共振周波数で発振する
。
周波数カウンタ４３はこの発振回路の発振周波数を測定
する。
する。
温度センサ４４は例えば放射温度計からなり、誘電体共
振器の窓部５４を通して誘電体試料１６の放射熱を測定
する。信号発生器４６は制御装置４５から与えられる制
御信号に基づき、周波数カウンタ４３の測定した周波数
に等しい周波数の信号を発生する。ハイパワーアンプ４
７はその信号を電力増幅する。Ｑｅ調整機構４８は結合
ループ３６ａの外部Ｑ（Ｑｅ）を調整するとともに、ハ
イパワーアンプ４７の出力をコネクタ３６を介して誘電
体共振器１２内へ注入する。このとき、結合ループ３６
ｊは第２図に示すように、上記発振回路用の信号入力用
結合ループ３０ａおよび信号出力用結合ループ３２ａと
同様に、誘電体試料の中央高さ位置に設けたため、ＴＥ
、、δモードの電磁界分布が発生し、これにより誘電体
試料１６が発熱する。
振器の窓部５４を通して誘電体試料１６の放射熱を測定
する。信号発生器４６は制御装置４５から与えられる制
御信号に基づき、周波数カウンタ４３の測定した周波数
に等しい周波数の信号を発生する。ハイパワーアンプ４
７はその信号を電力増幅する。Ｑｅ調整機構４８は結合
ループ３６ａの外部Ｑ（Ｑｅ）を調整するとともに、ハ
イパワーアンプ４７の出力をコネクタ３６を介して誘電
体共振器１２内へ注入する。このとき、結合ループ３６
ｊは第２図に示すように、上記発振回路用の信号入力用
結合ループ３０ａおよび信号出力用結合ループ３２ａと
同様に、誘電体試料の中央高さ位置に設けたため、ＴＥ
、、δモードの電磁界分布が発生し、これにより誘電体
試料１６が発熱する。
第１図に示した制御装置４５はパーソナルコンピュータ
などから構威し、前記周波数カウンタ４３および温度セ
ンサ４４の測定結果をそれぞれ読み込み、上記信号発生
器４６を制御する。
などから構威し、前記周波数カウンタ４３および温度セ
ンサ４４の測定結果をそれぞれ読み込み、上記信号発生
器４６を制御する。
ところで、誘電体試料１６を含む誘電体共振器１２の無
負荷Ｑ（Ｑｏ）は次式で与えられる。
負荷Ｑ（Ｑｏ）は次式で与えられる。
１／Ｑｏ＝（１／Ｑ□） ＋（１／Ｑｄｇ） ＋、（１
／Ｑｃ）ここで口□は誘電体試料の誘電損失に関するＱ
Ｏｏは支持台５３の誘電損失に関するＱ、 ＱＣはシ
ールドケースのジュール損に関するＱであるこのような
誘電体共振器１２に対し、高周波電力を注入する際、結
合ループ３６ａの外部Ｑ（Ｑｅ）を誘電体共振器１２の
無負荷Ｑ（Ｑｏ）に近似ないし一致させるとともに、信
号発生器４６の出力する信号の周波数を誘電体共振器１
２の共振周波数に一致させることによって、誘電体共振
器（結合ループ３６ａ）からの反射を最小にする。
／Ｑｃ）ここで口□は誘電体試料の誘電損失に関するＱ
Ｏｏは支持台５３の誘電損失に関するＱ、 ＱＣはシ
ールドケースのジュール損に関するＱであるこのような
誘電体共振器１２に対し、高周波電力を注入する際、結
合ループ３６ａの外部Ｑ（Ｑｅ）を誘電体共振器１２の
無負荷Ｑ（Ｑｏ）に近似ないし一致させるとともに、信
号発生器４６の出力する信号の周波数を誘電体共振器１
２の共振周波数に一致させることによって、誘電体共振
器（結合ループ３６ａ）からの反射を最小にする。
このことによって、高周波電力の殆どが誘電体共振器に
注入され、この注入された高周波電力のうちＱ ｏ ／
Ｑａ＋の割合で誘電体試料１６が加熱され発熱する。
注入され、この注入された高周波電力のうちＱ ｏ ／
Ｑａ＋の割合で誘電体試料１６が加熱され発熱する。
一般に誘電体試料の周波数の温度係数η、は次式で与え
られる。
られる。
ηｆ ＝（１／ｆｌ）（ｆｇ −ｆｌ）／（Ｔ２−ＴＩ
）ここでＴｌは加熱前の温度、Ｔ２は加熱後の温度ｆｌ
は温度ＴＩにおける共振周波数、ｆｇは温度Ｔ２におけ
る共振周波数である。
）ここでＴｌは加熱前の温度、Ｔ２は加熱後の温度ｆｌ
は温度ＴＩにおける共振周波数、ｆｇは温度Ｔ２におけ
る共振周波数である。
すなわち２点の温度について誘電体共振器の共振周波数
を測定することによって、誘電体試料の周波数の温度係
数を求めることができる。
を測定することによって、誘電体試料の周波数の温度係
数を求めることができる。
次に、上記制御装置４５の処理手順を第３図に示すフロ
ーチャートに基づいて説明する。まず、現在の誘電体試
料の温度ｔｏを温度センサ４４により測定し、これを加
熱前の誘電体試料の温度Ｔｌとして記憶する（ｎｌ−４
ｎ２）。続いて、スイッチ５８を閉じて誘電体共振器を
共振させ、その時の共振周波数ｆＯを測定し、これを加
熱前の共振周波数Ｆ１として記憶する（ｎ３→ｎ４）。
ーチャートに基づいて説明する。まず、現在の誘電体試
料の温度ｔｏを温度センサ４４により測定し、これを加
熱前の誘電体試料の温度Ｔｌとして記憶する（ｎｌ−４
ｎ２）。続いて、スイッチ５８を閉じて誘電体共振器を
共振させ、その時の共振周波数ｆＯを測定し、これを加
熱前の共振周波数Ｆ１として記憶する（ｎ３→ｎ４）。
その後、スイッチ５８を開けて信号発生器４６へ制御信
号を与えて、前記ｆＯに等しい周波数の信号を発生させ
、これにより誘電体試料１６を高周波加熱する（ｎ５）
。一定時間加熱を行った後、信号発生器４６の動作を停
止させて誘電体試料１６の温度ｔｏを測定する（ｎ６）
。誘電体試料Ｉ６の現在の温度ｔｏが所定温度Ｔ２未満
であれば、スイッチ５８を再び閉して共振周波数ｆＯを
測定する（ｎ７→ｎ８）。続いて、信号発生器４６へ制
御信号を与えて、今測定した共振周波数ｆＯに等しい周
波数の信号を発生させる。誘電体試料１６の温度が所定
温度Ｔ２に達するまで上記共振周波数の測定およびその
周波数による高周波加熱を繰り返し行い、誘電体試料１
６の温度ｔｏが所定温度Ｔ２に達した時、その時の共振
周波数ｆＯを加熱後の共振周波数Ｆ２として記憶する（
ｎ７→ｎ９）。その後、加熱前の温度ＴＩにおける共振
周波数Ｆｌと加熱後の温度Ｔ２における共振周波数Ｆ２
とによって誘電体試料の周波数の温度係数を算出する（
ｎｌＯ）。
号を与えて、前記ｆＯに等しい周波数の信号を発生させ
、これにより誘電体試料１６を高周波加熱する（ｎ５）
。一定時間加熱を行った後、信号発生器４６の動作を停
止させて誘電体試料１６の温度ｔｏを測定する（ｎ６）
。誘電体試料Ｉ６の現在の温度ｔｏが所定温度Ｔ２未満
であれば、スイッチ５８を再び閉して共振周波数ｆＯを
測定する（ｎ７→ｎ８）。続いて、信号発生器４６へ制
御信号を与えて、今測定した共振周波数ｆＯに等しい周
波数の信号を発生させる。誘電体試料１６の温度が所定
温度Ｔ２に達するまで上記共振周波数の測定およびその
周波数による高周波加熱を繰り返し行い、誘電体試料１
６の温度ｔｏが所定温度Ｔ２に達した時、その時の共振
周波数ｆＯを加熱後の共振周波数Ｆ２として記憶する（
ｎ７→ｎ９）。その後、加熱前の温度ＴＩにおける共振
周波数Ｆｌと加熱後の温度Ｔ２における共振周波数Ｆ２
とによって誘電体試料の周波数の温度係数を算出する（
ｎｌＯ）。
ｆｇ）発明の効果
この発明によれば、誘電体試料をシールドケース内に配
置してなる誘電体共振器に対し、その共振周波数と同一
周波数の高周波電力を注入して、誘電体試料を共振モー
ドと同一モードで加熱するように構成したことにより、
最も高い効率で誘電体共振器に高周波電力が注入され、
その大部分が誘電体試料によって消費されることになり
、しかも誘電体試料の発熱に応じて共振周波数が変化す
る場合でも、常に共振周波数の高周波電力が注入される
ため、誘電体試料を継続的に高効率で加熱することがで
きる。これにより、誘電体試料を速やかに所定温度まで
加熱して、短時間に誘電体材料定数の測定を行うことが
できるようになる。
置してなる誘電体共振器に対し、その共振周波数と同一
周波数の高周波電力を注入して、誘電体試料を共振モー
ドと同一モードで加熱するように構成したことにより、
最も高い効率で誘電体共振器に高周波電力が注入され、
その大部分が誘電体試料によって消費されることになり
、しかも誘電体試料の発熱に応じて共振周波数が変化す
る場合でも、常に共振周波数の高周波電力が注入される
ため、誘電体試料を継続的に高効率で加熱することがで
きる。これにより、誘電体試料を速やかに所定温度まで
加熱して、短時間に誘電体材料定数の測定を行うことが
できるようになる。
第１図はこの発明の実施例である誘電体材料定数測定装
置の構成図、第２図は同装置に用いられる誘電体共振器
の縦断面図である。第３図は同装置における制御装置の
処理手順を表すフローチャートである。第４図は従来の
測定装置の概略ブロック図である。 １２−誘電体共振器、 １６−誘電体試料、 ３〇−信号入力用コネクタ、 ３２−信号出力用コネクタ、 ３０ａ、３２ａ−結合ループ、 ３６−高周波電力注入用コネクタ、 ３６ａ−結合ループ、 ５〇−側壁、 ５１−底板、 ５２−蓋、 ５３−支持台。 第 ２ 図 第４ 図 ３４ ＡＣ：、Ａ −
置の構成図、第２図は同装置に用いられる誘電体共振器
の縦断面図である。第３図は同装置における制御装置の
処理手順を表すフローチャートである。第４図は従来の
測定装置の概略ブロック図である。 １２−誘電体共振器、 １６−誘電体試料、 ３〇−信号入力用コネクタ、 ３２−信号出力用コネクタ、 ３０ａ、３２ａ−結合ループ、 ３６−高周波電力注入用コネクタ、 ３６ａ−結合ループ、 ５〇−側壁、 ５１−底板、 ５２−蓋、 ５３−支持台。 第 ２ 図 第４ 図 ３４ ＡＣ：、Ａ −
Claims (1)
- （１）シールドケース内に誘電体試料が配置され、信号
入出力用の複数の結合手段が設けられた誘電体共振器と
、 信号入力用結合手段と信号出力用結合手段間に接続され
て、誘電体共振器の共振周波数を測定する共振周波数測
定手段と、 特定の結合手段に前記共振周波数と同一周波数の高周波
電力を注入して前記誘電体試料を共振モードと同一モー
ドで加熱する高周波電力注入手段と、 からなり前記誘電体試料の異なる温度における共振周波
数から誘電体試料の所定の材料定数を求めることを特徴
とする誘電体材料定数測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1180074A JPH0820479B2 (ja) | 1989-07-12 | 1989-07-12 | 誘電体材料定数測定装置および誘電体材料定数測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1180074A JPH0820479B2 (ja) | 1989-07-12 | 1989-07-12 | 誘電体材料定数測定装置および誘電体材料定数測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0344571A true JPH0344571A (ja) | 1991-02-26 |
| JPH0820479B2 JPH0820479B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=16077005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1180074A Expired - Fee Related JPH0820479B2 (ja) | 1989-07-12 | 1989-07-12 | 誘電体材料定数測定装置および誘電体材料定数測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820479B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6062092A (ja) * | 1983-09-14 | 1985-04-10 | 松下電器産業株式会社 | 高周波加熱装置 |
| JPS6153839A (ja) * | 1984-08-23 | 1986-03-17 | Sony Corp | 波形整形装置 |
| JPS62211566A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-17 | Murata Mfg Co Ltd | 誘電体材料の周波数温度特性の測定方法および測定装置 |
-
1989
- 1989-07-12 JP JP1180074A patent/JPH0820479B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6062092A (ja) * | 1983-09-14 | 1985-04-10 | 松下電器産業株式会社 | 高周波加熱装置 |
| JPS6153839A (ja) * | 1984-08-23 | 1986-03-17 | Sony Corp | 波形整形装置 |
| JPS62211566A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-17 | Murata Mfg Co Ltd | 誘電体材料の周波数温度特性の測定方法および測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0820479B2 (ja) | 1996-03-04 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |