JPH0344655U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0344655U JPH0344655U JP10464989U JP10464989U JPH0344655U JP H0344655 U JPH0344655 U JP H0344655U JP 10464989 U JP10464989 U JP 10464989U JP 10464989 U JP10464989 U JP 10464989U JP H0344655 U JPH0344655 U JP H0344655U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- camera
- cylindrical body
- light source
- observation device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
図は本考案の実施例を示すものであつて、第１
図は基板の観察装置の斜視図、第２図は要部側面
図、第３図は基板認識マークの平面図、、第４図
及び第５図は他の実施例の側面図、第６図は従来
装置の側面図、第７図ａ，ｂは基板認識マークの
平面図である。 １……カメラ、３……鏡筒、４……リング状光
源部、８，１７，１８……筒体、８ｂ，１７ｂ…
…縮径部。
図は基板の観察装置の斜視図、第２図は要部側面
図、第３図は基板認識マークの平面図、、第４図
及び第５図は他の実施例の側面図、第６図は従来
装置の側面図、第７図ａ，ｂは基板認識マークの
平面図である。 １……カメラ、３……鏡筒、４……リング状光
源部、８，１７，１８……筒体、８ｂ，１７ｂ…
…縮径部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) カメラと、このカメラの光路に設けられて
、基板の上面に形成された外凸球面状被測定物に
光を照射するリング状光源部とを備え、この光源
部に、内部に反射面を有する筒体を装着したこと
を特徴とする基板の観察装置。 (2) 上記筒体が、下方へ向つてテーパ状に縮径
する縮径部を有することを特徴とする上記実用新
案登録請求の範囲第１項に記載の基板の観察装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10464989U JPH0344655U (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10464989U JPH0344655U (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0344655U true JPH0344655U (ja) | 1991-04-25 |
Family
ID=31653438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10464989U Pending JPH0344655U (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0344655U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015197563A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | 富士電機株式会社 | 画像認識用照明装置 |
| JP2018004306A (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-11 | 株式会社ディスコ | 表面検査装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5876745A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 傷検出装置 |
| JPS62299709A (ja) * | 1986-06-20 | 1987-12-26 | Matsushita Electric Works Ltd | 半田付外観検査方法 |
| JPS63142239A (ja) * | 1986-12-05 | 1988-06-14 | Nec Corp | 表面形状の観察装置 |
-
1989
- 1989-09-06 JP JP10464989U patent/JPH0344655U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5876745A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 傷検出装置 |
| JPS62299709A (ja) * | 1986-06-20 | 1987-12-26 | Matsushita Electric Works Ltd | 半田付外観検査方法 |
| JPS63142239A (ja) * | 1986-12-05 | 1988-06-14 | Nec Corp | 表面形状の観察装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015197563A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | 富士電機株式会社 | 画像認識用照明装置 |
| JP2018004306A (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-11 | 株式会社ディスコ | 表面検査装置 |