JPS5876745A - 傷検出装置 - Google Patents
傷検出装置Info
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- JPS5876745A JPS5876745A JP56175475A JP17547581A JPS5876745A JP S5876745 A JPS5876745 A JP S5876745A JP 56175475 A JP56175475 A JP 56175475A JP 17547581 A JP17547581 A JP 17547581A JP S5876745 A JPS5876745 A JP S5876745A
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- optical system
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、金属板、プラスナック板等の被検出体の表面
傷を検出する装置に関するものである。
傷を検出する装置に関するものである。
第１図に示すように金属板、プラス−Ｊ−ツク板等の板
１の表面に＋Ｊけられた。引掻き傷の如き微小な表面傷
ａｉｄ切欠状となっている。 ｌ、Ｊ＜かってその板１
を透かして見なければ肉眼でｔｌ、その表面傷ａの識別
が困難であり、しかも確実１’ｌがない、このため、従
来、このような板１の表面傷ａを検出するには、顕微鏡
測定の際に用いらＪするｌｌｉ’ｌ祝！１１ｆ照明法が
採用されている。即ち、仮１０人面に光を矢印で示すよ
うに斜め方向より照射し、表面傷ａのノｌ 検出光を」一方に反射させて表面傷ａのメヲ浮上がらせ
るようにしている。しかしながら板１０表面傷は第２図
に示すようにａｌ、 ａ２． ａ３の如く種々の方向に
伺けられているので、各表面傷ａ１．ａ２゜ａ３毎ｒ（
光線の照射方向が傷の直角方向から当るように、光の向
きを変えて照射し、捷だその反射光を検出しなければな
らないっ従って種々の方向から光線を照射する複数個の
照明機を必要とし、特に産業用の板のように広い視野を
照明する必要がある場合には、照明機が大型化し、設置
も困難であった。−！、た一１＝述した方法では微小な
引掻き傷ａの検出が困難であった。
１の表面に＋Ｊけられた。引掻き傷の如き微小な表面傷
ａｉｄ切欠状となっている。 ｌ、Ｊ＜かってその板１
を透かして見なければ肉眼でｔｌ、その表面傷ａの識別
が困難であり、しかも確実１’ｌがない、このため、従
来、このような板１の表面傷ａを検出するには、顕微鏡
測定の際に用いらＪするｌｌｉ’ｌ祝！１１ｆ照明法が
採用されている。即ち、仮１０人面に光を矢印で示すよ
うに斜め方向より照射し、表面傷ａのノｌ 検出光を」一方に反射させて表面傷ａのメヲ浮上がらせ
るようにしている。しかしながら板１０表面傷は第２図
に示すようにａｌ、 ａ２． ａ３の如く種々の方向に
伺けられているので、各表面傷ａ１．ａ２゜ａ３毎ｒ（
光線の照射方向が傷の直角方向から当るように、光の向
きを変えて照射し、捷だその反射光を検出しなければな
らないっ従って種々の方向から光線を照射する複数個の
照明機を必要とし、特に産業用の板のように広い視野を
照明する必要がある場合には、照明機が大型化し、設置
も困難であった。−！、た一１＝述した方法では微小な
引掻き傷ａの検出が困難であった。
本発明は」−記従来の欠点を除去し、−個の光源で、被
検出体に付けられた種々の表面傷を簡単。
検出体に付けられた種々の表面傷を簡単。
且つ確実に検出することができ、また装置全体をコンバ
クｉ・にまとめることができて取扱いの便を図ることが
でき、史にはコストの低下を図ることができるようにし
た傷検出装置全提供することを目的とするものである。
クｉ・にまとめることができて取扱いの便を図ることが
でき、史にはコストの低下を図ることができるようにし
た傷検出装置全提供することを目的とするものである。
本発明は、か＼る目的を二達成する／とめ、）１′、源
からの入射光を第１のミラーによりわに検出体の被検出
面に対し所定の方向に偏向さ、１（、（の反Ｑ１ハ：
４第２のミラーにより被検出面に勾（２，ｉ、１め方向
に反射させて照射させ、被検出面の傷＜、明部、！、：
Ｉ、、、 Ｔ−検出することを特徴とするもので、（
うｚｌ。
からの入射光を第１のミラーによりわに検出体の被検出
面に対し所定の方向に偏向さ、１（、（の反Ｑ１ハ：
４第２のミラーにより被検出面に勾（２，ｉ、１め方向
に反射させて照射させ、被検出面の傷＜、明部、！、：
Ｉ、、、 Ｔ−検出することを特徴とするもので、（
うｚｌ。
身重、本発明についてイ、−の実がり例１１８共に訂細
に説明する。
に説明する。
第３図幻−その実施例の）Ｙ、掌部分の昂“、族４小す
断面図であって、１は仮状の測定物体、２ ｉｌ、検出
カメラで、内部に前記測定物体１からの反射光を集光す
るレンズ４及びフ、、ｌトダイオート゛リニアアレイ（
通称ラインセンザー）等の尤電横出素ｒ３を・備えてい
るｊ ３’ｋｉこの九電検出素ｒ３の出力４・処理する
２値化変換器、５幻、前記力メシ２の１）ＩＩ方にこれ
と一体に設けたミラーボックス、６ｔ１牢而反面ミラー
で、前記ミラーボックス６の佃し１．・に利（。
断面図であって、１は仮状の測定物体、２ ｉｌ、検出
カメラで、内部に前記測定物体１からの反射光を集光す
るレンズ４及びフ、、ｌトダイオート゛リニアアレイ（
通称ラインセンザー）等の尤電横出素ｒ３を・備えてい
るｊ ３’ｋｉこの九電検出素ｒ３の出力４・処理する
２値化変換器、５幻、前記力メシ２の１）ＩＩ方にこれ
と一体に設けたミラーボックス、６ｔ１牢而反面ミラー
で、前記ミラーボックス６の佃し１．・に利（。
て４ピの角度で設けらｌじＣいる。９ｔ１．照明づ１土
りガる光源、１０す：前記光源からの）ｖ４の集）１５
度１１１・ひに３ｒ行度の調節を行なう集）Ｙ、レンズ
、７ｔ、１前記ミラーボツクス５の下部で、前記平面形
状の第１の反射ミラー６から離隔するに従って次第に径
が縮小する逆円錐状の反射面を有する散光用の第２の反
射ミラーである。なお第１の反射ミラー６は前記光電素
子１への光の通過のために中心部６′は透明になってい
る。１１は前記集光レンズ１０の前方でこれと同軸に設
けた透明ガラス等よりなる透光部である。
りガる光源、１０す：前記光源からの）ｖ４の集）１５
度１１１・ひに３ｒ行度の調節を行なう集）Ｙ、レンズ
、７ｔ、１前記ミラーボツクス５の下部で、前記平面形
状の第１の反射ミラー６から離隔するに従って次第に径
が縮小する逆円錐状の反射面を有する散光用の第２の反
射ミラーである。なお第１の反射ミラー６は前記光電素
子１への光の通過のために中心部６′は透明になってい
る。１１は前記集光レンズ１０の前方でこれと同軸に設
けた透明ガラス等よりなる透光部である。
次にこの実施例の動作について説明する。光源９からの
光は集光レンズ１０．透光部１１を経て、第１の反射ミ
ラー６の周辺部で下方に反射され、次に第２の反射ミラ
ーＴにより再び反射され測定物体１の斜上方よりこＩ′
１５を照射する。１ｌＩＩＩ定物体１からの反射光のう
ち測定物体１と垂直な成分は、第１の反射ミラー６を透
過後、集光レンズ４により集光し、これを光電検出素子
３で検出して、２値化変換器３′ヲ経て電気信号として
取り出す、前記信号のレベルと傷の有無との関係を第４
図に示す。
光は集光レンズ１０．透光部１１を経て、第１の反射ミ
ラー６の周辺部で下方に反射され、次に第２の反射ミラ
ーＴにより再び反射され測定物体１の斜上方よりこＩ′
１５を照射する。１ｌＩＩＩ定物体１からの反射光のう
ち測定物体１と垂直な成分は、第１の反射ミラー６を透
過後、集光レンズ４により集光し、これを光電検出素子
３で検出して、２値化変換器３′ヲ経て電気信号として
取り出す、前記信号のレベルと傷の有無との関係を第４
図に示す。
第４図Ａにおいて、１２は○レベル、１４はスライスレ
ベル、１５ｉ１：実際の電気信シシのレベル（検出レベ
ル）を示す、）Ｙ４電検出素子３の走査が同図の左から
右に向って行なわ、ｔまたとずろと、測定物１の表面に
傷がないと−１，方・＼の散乱＞Ｙ４＆：１．’ ｆＪ
：いので、検出レベル１５ｆ：Ｉ：ｌ″ｒ、 ｐ＊：○
に近い暗レベルになる。しかしその１ｌｌｌ ｊＹ物１
０表面に傷かあ右ｄ：、同図のイで示す」：うにその点
で１１を乱光か急増し、スライスレベル１４を越える。
ベル、１５ｉ１：実際の電気信シシのレベル（検出レベ
ル）を示す、）Ｙ４電検出素子３の走査が同図の左から
右に向って行なわ、ｔまたとずろと、測定物１の表面に
傷がないと−１，方・＼の散乱＞Ｙ４＆：１．’ ｆＪ
：いので、検出レベル１５ｆ：Ｉ：ｌ″ｒ、 ｐ＊：○
に近い暗レベルになる。しかしその１ｌｌｌ ｊＹ物１
０表面に傷かあ右ｄ：、同図のイで示す」：うにその点
で１１を乱光か急増し、スライスレベル１４を越える。
ＣのｌＬ’ｊ、Ｉ、’、ｉの出力を２値化して２値化変
換器３／ 、１： （′）取りＩｌｉ ４！−ｔ、Ｉ、
同図Ｂに示すように出力がデジタル（ｌ’ｉ’ ｊ；と
し、、 −Ｃ（ＩＣ〕れる。
換器３／ 、１： （′）取りＩｌｉ ４！−ｔ、Ｉ、
同図Ｂに示すように出力がデジタル（ｌ’ｉ’ ｊ；と
し、、 −Ｃ（ＩＣ〕れる。
上記実施例によれば、光計９か１）の）ｒ１ケ第２のミ
ラーにより反射させて、＃ＩＩＩ ’Ｍｌ物１の外周方
向の多方向の斜上方から光な二照Ｑ１できるので、傷が
どちらの方向を向いでいでも常に１１１を乱光がイ：ｌ
ら、１１る利点を有する。
ラーにより反射させて、＃ＩＩＩ ’Ｍｌ物１の外周方
向の多方向の斜上方から光な二照Ｑ１できるので、傷が
どちらの方向を向いでいでも常に１１１を乱光がイ：ｌ
ら、１１る利点を有する。
なお、ミラーボックス６は小型１１．（す７．）／コめ
に、逆円錐体に限らず、複数個の平面反則ｆＥ：； Ｖ
Ｃ分割して多面体で構成してもよい。このような多面体
反射ミラー７′ヲ用いて構成１−た他の実施例の外観図
全第６図に示す。
に、逆円錐体に限らず、複数個の平面反則ｆＥ：； Ｖ
Ｃ分割して多面体で構成してもよい。このような多面体
反射ミラー７′ヲ用いて構成１−た他の実施例の外観図
全第６図に示す。
同図において、２′は検出力ノラ、５′はミラーボック
ス、７′は多面体反射ミラー、８′は照明灯による光源
９′の支持具、１１′は透光部、１２は光電検出素子３
と処理機１３を接続するケーブル、１４は装置の支持台
である。
ス、７′は多面体反射ミラー、８′は照明灯による光源
９′の支持具、１１′は透光部、１２は光電検出素子３
と処理機１３を接続するケーブル、１４は装置の支持台
である。
この実施例によ扛ば、装置全体をコンパクトに１とめら
れ、測定物体１の前方に置くたけで高速に移動する測定
物体１」−の傷を確実に検出することができるっ なお上記実施例では反射ミラー６．７を用いでいるが、
この代りにプリズム等の偏向手段を用いてもよい。
れ、測定物体１の前方に置くたけで高速に移動する測定
物体１」−の傷を確実に検出することができるっ なお上記実施例では反射ミラー６．７を用いでいるが、
この代りにプリズム等の偏向手段を用いてもよい。
以上の説明より明らかなように本発明によれば、光源か
らの光を第１の光学系により被検出体の被検出面方向に
偏向させ、この反射光を第２の光学系により被検出面に
対し斜め方向に偏向させて照射するので、−個の光源で
種々の表面傷を簡単。
らの光を第１の光学系により被検出体の被検出面方向に
偏向させ、この反射光を第２の光学系により被検出面に
対し斜め方向に偏向させて照射するので、−個の光源で
種々の表面傷を簡単。
且つ確実に検出することができる。、また装置全体をコ
ンパクトに１とめることができるので、取扱い便を図る
ことができ、史にｃ−１、：Ｊストの低１−′ヲ図るこ
とができる等の利点かある。
ンパクトに１とめることができるので、取扱い便を図る
ことができ、史にｃ−１、：Ｊストの低１−′ヲ図るこ
とができる等の利点かある。
第１図は被検出体の表面傷と一子の検出用の照明灯の関
係の説明図、第２図＆：１：被イが１１１体の表面傷を
示す平面図、第３図＆Ｊ木発明の 実施例に１、る傷検
出装置の断面図、第４図Ａ、Ｊ、１回υ部の出方信号波
形図、第５図ｒＪ、他の実施例（／４目）１１図である
−１１・・・・・・被検出体、２・・・・・・検出ツノ
メラ、３・・・・・光電検出素子、４・−・・・・レン
ズ、５・・・・・・ミラーボックス、６・−・・・・第
１の反射ミラー、７・・・・・第２の反射ミラー、９・
・・・・・）Ｙ、ｄｉ瓶ａ・・・・・・傷。
係の説明図、第２図＆：１：被イが１１１体の表面傷を
示す平面図、第３図＆Ｊ木発明の 実施例に１、る傷検
出装置の断面図、第４図Ａ、Ｊ、１回υ部の出方信号波
形図、第５図ｒＪ、他の実施例（／４目）１１図である
−１１・・・・・・被検出体、２・・・・・・検出ツノ
メラ、３・・・・・光電検出素子、４・−・・・・レン
ズ、５・・・・・・ミラーボックス、６・−・・・・第
１の反射ミラー、７・・・・・第２の反射ミラー、９・
・・・・・）Ｙ、ｄｉ瓶ａ・・・・・・傷。
Claims (5)
- （１）光源の発した光を被検出体の被検出面の方向に偏
向する第１の光学手段と、この第１の光学手段からの光
を前記被検出面に対し斜め方向に反射して照射する第２
の光学系と、被検出而の傷を明部として検出する手段と
を備えたことを特徴とする傷検出装置。 - （２）被検出而の傷の検出手段としてラインセンサーカ
メラを用いラインセンサーの明暗判別スライスレベルを
被検出面からの反射光の暗レベルを基準として設定し、
被検出面上の傷からの反射光を明レベルとして検出する
こと全特徴とする特許請求の範囲第１項記載の傷検出装
置。 - （３）第１の光学系として反射ミラーを用い、被検出面
の傷からの反射光とラインセンサーカメラに対し造渦さ
せる部分前記反射ミラーに設けたことを特徴とする特許
請求の範囲第２項記載の傷検出装置。 - （４）第２の光学系（ｄ第１の光学系１．す１加隔する
に従い径が次第に縮小する円釦状に形成しｌ（−反射ミ
ラーを用いたことを唱°徴とする牛ｌｌ、τ′１．．ｌ
ｌＩ水の範囲第２項または第３項記載の傷検出装置。 - （５）第２の光学系として複数個の１／１ｒｌｊ ｆ！
＋！ ？ｉ”多角卸台形状に組合せて用いたこと４−１
冒；ｔ１１−する実用１ｊＪｌ案登録請求の範囲第２項
７１・たｉＬ第ａ ＪＪ：ｉ記載の傷検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56175475A JPS5876745A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 傷検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56175475A JPS5876745A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 傷検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5876745A true JPS5876745A (ja) | 1983-05-09 |
Family
ID=15996701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56175475A Pending JPS5876745A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 傷検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5876745A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0344655U (ja) * | 1989-09-06 | 1991-04-25 |
-
1981
- 1981-10-30 JP JP56175475A patent/JPS5876745A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0344655U (ja) * | 1989-09-06 | 1991-04-25 |
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