JPH0345150Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0345150Y2 JPH0345150Y2 JP19320984U JP19320984U JPH0345150Y2 JP H0345150 Y2 JPH0345150 Y2 JP H0345150Y2 JP 19320984 U JP19320984 U JP 19320984U JP 19320984 U JP19320984 U JP 19320984U JP H0345150 Y2 JPH0345150 Y2 JP H0345150Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interferometer
- sensor
- output
- movable mirror
- interferogram
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 7
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
本考案はフーリエ変換型分光光度計において特
にインターフエログラムを積算する場合の位相整
定手段に関する。
にインターフエログラムを積算する場合の位相整
定手段に関する。
フーリエ変換型分光光度計では測定のＳ／Ｎ比
を改善するため、干渉計の移動鏡で複数回の走査
を行い、毎回の走査で得られるインターフエログ
ラムを積算（重ね合せ）して一つのインターフエ
ログラムとし、これをフーリエ変換してもとの光
のスペクトルを再現している。こゝで毎回の走査
により得られるインターフエログラムは位相を合
せて積算しなければならないから、位相合せの手
段が必要である。本考案はこの位相合せの手段に
関するものである。
を改善するため、干渉計の移動鏡で複数回の走査
を行い、毎回の走査で得られるインターフエログ
ラムを積算（重ね合せ）して一つのインターフエ
ログラムとし、これをフーリエ変換してもとの光
のスペクトルを再現している。こゝで毎回の走査
により得られるインターフエログラムは位相を合
せて積算しなければならないから、位相合せの手
段が必要である。本考案はこの位相合せの手段に
関するものである。
ロ 従来技術
従来フーリエ変換型分光光度計のインターフエ
ログラムの積算時の位相合せは、主干渉計と連動
した別の干渉計に白色光を入射させて白色光のイ
ンターフエログラムを利用して行うようにしてい
る。白色光のインターフエログラムは干渉計の二
つの光路の光路長が等しい移動鏡位置に一つのピ
ークを現わすデルタ関数状の形をしているので、
このピーク位置を検出して主干渉計のインターフ
エログラムの積算開始のトリガ信号とするのであ
る。この方法は主干渉計と連動したトリガ信号発
生用の別の干渉計を必要とするので、分光光度計
全体としての構造が複雑となり高価な装置となる
上、使用者が調整を行う必要がある。
ログラムの積算時の位相合せは、主干渉計と連動
した別の干渉計に白色光を入射させて白色光のイ
ンターフエログラムを利用して行うようにしてい
る。白色光のインターフエログラムは干渉計の二
つの光路の光路長が等しい移動鏡位置に一つのピ
ークを現わすデルタ関数状の形をしているので、
このピーク位置を検出して主干渉計のインターフ
エログラムの積算開始のトリガ信号とするのであ
る。この方法は主干渉計と連動したトリガ信号発
生用の別の干渉計を必要とするので、分光光度計
全体としての構造が複雑となり高価な装置となる
上、使用者が調整を行う必要がある。
ハ 考案が解決しようとする問題点
本考案は上述したような従来例の問題点に鑑
み、主干渉計とは別の干渉計を要せず装置の構造
が簡単で安価であり、使用者の調整が必要でない
フーリエ変換型分光光度計を提供しようとするも
のである。
み、主干渉計とは別の干渉計を要せず装置の構造
が簡単で安価であり、使用者の調整が必要でない
フーリエ変換型分光光度計を提供しようとするも
のである。
ニ 問題点を解決するための手段
本考案は干渉計の移動鏡の位置を磁気的位置セ
ンサによつて検出し、そのときの磁気的位置セン
サの出力信号をインターフエログラム積算開始の
トリガ信号とするものである。
ンサによつて検出し、そのときの磁気的位置セン
サの出力信号をインターフエログラム積算開始の
トリガ信号とするものである。
ホ 作用
磁気的位置センサは検出相手の永久磁石の中心
の位置を0.1μm以下の再現性で検出することがで
きる。従つて干渉計の移動鏡に永久磁石を固定し
ておき、移動鏡のガイドに磁気的位置センサを取
付けておくと、永久磁石従つて移動鏡がガイド上
の特定の位置を通過するとき位置センサから信号
が出力され、そのときの移動鏡の位置の精度は
0.1μm以上であり、この精度で移動鏡の位置を検
出できるのでインターフエログラム積算のトリガ
信号として充分な精度を有する。
の位置を0.1μm以下の再現性で検出することがで
きる。従つて干渉計の移動鏡に永久磁石を固定し
ておき、移動鏡のガイドに磁気的位置センサを取
付けておくと、永久磁石従つて移動鏡がガイド上
の特定の位置を通過するとき位置センサから信号
が出力され、そのときの移動鏡の位置の精度は
0.1μm以上であり、この精度で移動鏡の位置を検
出できるのでインターフエログラム積算のトリガ
信号として充分な精度を有する。
ヘ 実施例
第１図は本考案の一実施例の干渉計の部分を示
す。図で１はビームスプリツタ、２は固定鏡で３
が移動鏡である。図には示されていないが、ビー
ムスプリツタ１の右方に光源、下方に光検出器が
ある。光検出器の出力を移動鏡３の移動量を横軸
として記録したものがインターフエログラムであ
る。移動鏡３はホルダ４に固定されており、ホル
ダ４は空気ベアリングを介してガイド５上に載置
され、リニヤモータ６によつて図で左右に駆動さ
れる。ホルダ４には永久磁石７が固定してあり、
この永久磁石の移動軌跡に臨んで磁気的位置セン
サ８が配置されている。
す。図で１はビームスプリツタ、２は固定鏡で３
が移動鏡である。図には示されていないが、ビー
ムスプリツタ１の右方に光源、下方に光検出器が
ある。光検出器の出力を移動鏡３の移動量を横軸
として記録したものがインターフエログラムであ
る。移動鏡３はホルダ４に固定されており、ホル
ダ４は空気ベアリングを介してガイド５上に載置
され、リニヤモータ６によつて図で左右に駆動さ
れる。ホルダ４には永久磁石７が固定してあり、
この永久磁石の移動軌跡に臨んで磁気的位置セン
サ８が配置されている。
第２図は磁気的位置センサの特性の一例を示
す。この特性は同図の第１象限に図示された永久
磁石７とセンサ８の位置関係で得られるものであ
る。この図でｘは永久磁石の中心とセンサ中心と
の距離（mm）でＶはセンサの出力（ボルト）であ
る。センサの出力変化は０＝０を中心とする±
0.15mmの範囲で最大であり、変化率はｘ＝０にお
いて50mV／μmである。
す。この特性は同図の第１象限に図示された永久
磁石７とセンサ８の位置関係で得られるものであ
る。この図でｘは永久磁石の中心とセンサ中心と
の距離（mm）でＶはセンサの出力（ボルト）であ
る。センサの出力変化は０＝０を中心とする±
0.15mmの範囲で最大であり、変化率はｘ＝０にお
いて50mV／μmである。
実施例では磁気的位置センサの出力変化率がｘ
＝０において最大であることを利用しセンサ８の
出力を０レベルを基準レベルとしたコンパレータ
９で０レベルと比較し、センサ８の出力が負から
正へ０レベルを切る時点でコンパレータ９の出力
が反転するのを検出してトリガ信号として制御回
路１０は光検出器（不図示）の出力のサンプリン
グを開始する。このようにしてサンプリングした
データをメモリの先頭アドレスから順に格納して
行くと、メモリの同一アドレスには毎回同じ移動
鏡位置の光検出器出力が入つて来るのでインター
フエログラムの同一位相点のデータが精算される
ことになる。
＝０において最大であることを利用しセンサ８の
出力を０レベルを基準レベルとしたコンパレータ
９で０レベルと比較し、センサ８の出力が負から
正へ０レベルを切る時点でコンパレータ９の出力
が反転するのを検出してトリガ信号として制御回
路１０は光検出器（不図示）の出力のサンプリン
グを開始する。このようにしてサンプリングした
データをメモリの先頭アドレスから順に格納して
行くと、メモリの同一アドレスには毎回同じ移動
鏡位置の光検出器出力が入つて来るのでインター
フエログラムの同一位相点のデータが精算される
ことになる。
インターフエログラムの積算の仕方は上述実施
例の方法に限られない。積算用のメモリの他に移
動鏡走査中の光検出器出力を記憶しておくバツフ
アメモリを用意し、位置センサからのトリガ信号
の有無とは無関係に光検出器出力のサンプリング
を行つてバツフアメモリにメモリして行き、走査
途中で位置センサからトリガ信号が出るようにし
ておいて、トリガ信号が出たときのサンプリング
回数ｎを記憶しておき、バツフアメモリの内容を
積算メモリに加算するとき、バツフアメモリのｎ
番目のアドレスが積算メモリの特定のアドレスに
対応するようにしてやればよい。
例の方法に限られない。積算用のメモリの他に移
動鏡走査中の光検出器出力を記憶しておくバツフ
アメモリを用意し、位置センサからのトリガ信号
の有無とは無関係に光検出器出力のサンプリング
を行つてバツフアメモリにメモリして行き、走査
途中で位置センサからトリガ信号が出るようにし
ておいて、トリガ信号が出たときのサンプリング
回数ｎを記憶しておき、バツフアメモリの内容を
積算メモリに加算するとき、バツフアメモリのｎ
番目のアドレスが積算メモリの特定のアドレスに
対応するようにしてやればよい。
ト 効果
本考案に係るフーリエ変換型分光光度計は上述
したような構成で、インターフエログラム積算の
位相合せの信号を得るために主干渉計の他にもう
一つの干渉計を必要とせず、位置センサを設ける
だけであるから装置構成が大変簡単になり、使用
者による調整個所がなく取扱いも楽になる。
したような構成で、インターフエログラム積算の
位相合せの信号を得るために主干渉計の他にもう
一つの干渉計を必要とせず、位置センサを設ける
だけであるから装置構成が大変簡単になり、使用
者による調整個所がなく取扱いも楽になる。
第１図は本考案の一実施例の要部平面図及びブ
ロツク図、第２図は上記実施例で用いる磁気的位
置センサの特性グラフである。
ロツク図、第２図は上記実施例で用いる磁気的位
置センサの特性グラフである。
Claims (1)
- 干渉計の移動鏡が任意の一つの位置を通過する
のを検出する磁気的位置センサを備え、同センサ
による移動鏡の上記位置通過検出信号によつて指
定されるインターフエログラムのサンプリングデ
ータがインターフエログラム積算手段内で毎回同
じ場所に加算されるように制御する制御手段を有
するフーリエ変換型分光光度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19320984U JPH0345150Y2 (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19320984U JPH0345150Y2 (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61105829U JPS61105829U (ja) | 1986-07-05 |
| JPH0345150Y2 true JPH0345150Y2 (ja) | 1991-09-24 |
Family
ID=30750629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19320984U Expired JPH0345150Y2 (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0345150Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-12-19 JP JP19320984U patent/JPH0345150Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61105829U (ja) | 1986-07-05 |
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