JPH03231124A - 光ビーム径測定装置 - Google Patents
光ビーム径測定装置Info
- Publication number
- JPH03231124A JPH03231124A JP2027510A JP2751090A JPH03231124A JP H03231124 A JPH03231124 A JP H03231124A JP 2027510 A JP2027510 A JP 2027510A JP 2751090 A JP2751090 A JP 2751090A JP H03231124 A JPH03231124 A JP H03231124A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- diameter
- slit
- slits
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光ビームを発生する機器における光ビーム径
を測定する測定装置に関するものである。
を測定する測定装置に関するものである。
従来の技術
以下、従来のスリットを用いた光ビーム径の従来の測定
装置について図面を参照して説明する。
装置について図面を参照して説明する。
第４図において、１はレーザ光などの光ビーム、２はス
リットで、Ｘ軸方向に移動可能になっている。３は、光
検出器である。
リットで、Ｘ軸方向に移動可能になっている。３は、光
検出器である。
以上のように構成された従来例について、以下その動作
について説明する。
について説明する。
レーザ光などの光ビーム１は、ビーム径測定位置に設け
た光軸と垂直な方向にＸに移動可能になっているスリッ
ト２の存在する平面に入射する。スリット２の移動によ
り、光検出器３で検出され条光量は変化する。その光量
の信号とスリット２の移動量から光、ビームの形状及び
ビーム径を測定することができる。
た光軸と垂直な方向にＸに移動可能になっているスリッ
ト２の存在する平面に入射する。スリット２の移動によ
り、光検出器３で検出され条光量は変化する。その光量
の信号とスリット２の移動量から光、ビームの形状及び
ビーム径を測定することができる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、同一断面上で一度
に１方向の光ビーム径しか測定できないので、これと異
なった方向の光ビーム径を測定するためにはスリットを
その方向に回転させて測定する必要があり、同一平面上
の２方向のビーム径をほぼ同時に測定することは機械的
に困難であるという問題点を有していた。
に１方向の光ビーム径しか測定できないので、これと異
なった方向の光ビーム径を測定するためにはスリットを
その方向に回転させて測定する必要があり、同一平面上
の２方向のビーム径をほぼ同時に測定することは機械的
に困難であるという問題点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、同一断面上で２方向の光ビ
ーム径を同時に測定することができる光ビーム径測定装
置を提供するものである。
ーム径を同時に測定することができる光ビーム径測定装
置を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために本発明の光ビーム径測定装置
は、光ビームの光軸と垂直な同一平面内において互いに
平行でない２つのスリットと、これら２つのスリットを
光ビームの光軸と垂直方向に移動させる移動装置と、ス
リットを透過してくる光ビームの透過光量を検出する光
検出器とを有するものである。
は、光ビームの光軸と垂直な同一平面内において互いに
平行でない２つのスリットと、これら２つのスリットを
光ビームの光軸と垂直方向に移動させる移動装置と、ス
リットを透過してくる光ビームの透過光量を検出する光
検出器とを有するものである。
作 用
本発明は上記構成によって、１方向の直線運動で光ビー
ムに対して２方向にスリットを走査できるため、同一断
面上で２方向の光ビームの形状及び径を同時に測定でき
る。
ムに対して２方向にスリットを走査できるため、同一断
面上で２方向の光ビームの形状及び径を同時に測定でき
る。
実 施 例
以下本発明の一実施例における光ビーム径測定装置につ
いて、図面を参照しながら説明する。第１図において、
１は被測定光ビーム、２ａはＸ方向のビーム形状及び径
を測定するスリット、２ｂはＹ方向のビーム形状及び径
を測定するスリットでこれらスリット２ａ、２ｂは互い
に直交するように設けられている。３は光検出器でスリ
ット２ａ。
いて、図面を参照しながら説明する。第１図において、
１は被測定光ビーム、２ａはＸ方向のビーム形状及び径
を測定するスリット、２ｂはＹ方向のビーム形状及び径
を測定するスリットでこれらスリット２ａ、２ｂは互い
に直交するように設けられている。３は光検出器でスリ
ット２ａ。
２ｂを透過してきた光ビームの光量を検出し電気信号に
変換する。その後検出器３の光信号は、増幅回路６で増
幅されることによって光ビーム形状に相当する信号が得
られる。また４はスリット２ａ。
変換する。その後検出器３の光信号は、増幅回路６で増
幅されることによって光ビーム形状に相当する信号が得
られる。また４はスリット２ａ。
２ｂをそれぞれの長手方向と４５°をなす方向に直線運
動させるための移動装置であり、例えばステッピングモ
ータ、セラミック振動子等を用いることができる。そし
て、位置検出器５により得られたスリットの相対位置か
ら光ビーム径が求められる。
動させるための移動装置であり、例えばステッピングモ
ータ、セラミック振動子等を用いることができる。そし
て、位置検出器５により得られたスリットの相対位置か
ら光ビーム径が求められる。
以上のように構成された光ビーム径測定装置について、
以下第２図ａ −ｉを用いてその動作原理を説明する。
以下第２図ａ −ｉを用いてその動作原理を説明する。
スリット２ａ、２ｂをそれぞれの長手方向と４５゜をな
す方向に直線運動させることによって被測定光ビーム１
とスリット２ａ、２ｂの関係は、同図ａからｉのように
変化する。まず同図ａでは被測定光ビーム１は、全く透
過しない。ｂ、ｃ、ｄｅではスリット２ａによって被測
定光ビーム１の透過光量は、順次変化し、Ｘ方向の光ビ
ーム形状及び径を測定したことになる。次のｆ、ｇ、ｈ
ｉは、スリット２ｂによって被測定光ビーム１のＹ方向
のビーム形状及び径を測定したことになる。
す方向に直線運動させることによって被測定光ビーム１
とスリット２ａ、２ｂの関係は、同図ａからｉのように
変化する。まず同図ａでは被測定光ビーム１は、全く透
過しない。ｂ、ｃ、ｄｅではスリット２ａによって被測
定光ビーム１の透過光量は、順次変化し、Ｘ方向の光ビ
ーム形状及び径を測定したことになる。次のｆ、ｇ、ｈ
ｉは、スリット２ｂによって被測定光ビーム１のＹ方向
のビーム形状及び径を測定したことになる。
従って、被測定光ビーム１を同一断面において直交する
２方向から走査したことになる。
２方向から走査したことになる。
またｉからａに変化する場合も同じで、Ｙ方向に走査し
た後にＸ方向に走査することができる。
た後にＸ方向に走査することができる。
以上のように本実施例によれば、光ビーム１の光軸と直
交する同一平面内において、互いに直交する２つのスリ
ット２ａ、２ｂを設けたことにより、同一断面上でＸ及
びＹ方向の２方向の光ビーム１の形状及び径を同時に測
定することができる。
交する同一平面内において、互いに直交する２つのスリ
ット２ａ、２ｂを設けたことにより、同一断面上でＸ及
びＹ方向の２方向の光ビーム１の形状及び径を同時に測
定することができる。
本発明は上記実施例に示すほか、種々の態様に構成する
ことができる。例えば２つのスリットが長手方向におい
て互いになす角度や、２つのスリットの移動方向は上記
実施例に示すものに限定されず必要に応じて適宜設定す
ることができる。
ことができる。例えば２つのスリットが長手方向におい
て互いになす角度や、２つのスリットの移動方向は上記
実施例に示すものに限定されず必要に応じて適宜設定す
ることができる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、同一断面上で、２方向の
光ビームの形状及び径を同時に設定することができる。
光ビームの形状及び径を同時に設定することができる。
第１図は本発明の一実施例における光ビーム径ある。
１・・・・・・被測定光ビーム、２ａ、２ｂ・・・・・
・スリット、３・・・・・・光検出器、４・・・・・・
移動装置。
・スリット、３・・・・・・光検出器、４・・・・・・
移動装置。
Claims (1)
- 光ビームの光軸と直行する同一平面内において、互いに
平行でない２つのスリットと、これら２つのスリットを
光ビームの光軸と垂直な平面内で移動させる移動装置と
、前記スリットから透過する光ビームの透過光量を検出
する光検出器とを備えたことを特徴とする光ビーム径測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2027510A JPH03231124A (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 光ビーム径測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2027510A JPH03231124A (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 光ビーム径測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03231124A true JPH03231124A (ja) | 1991-10-15 |
Family
ID=12223131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2027510A Pending JPH03231124A (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 光ビーム径測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03231124A (ja) |
-
1990
- 1990-02-07 JP JP2027510A patent/JPH03231124A/ja active Pending
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